技術(shù)總結(jié)
一個實例包括用于對動作進(jìn)行感應(yīng)的微機(jī)電芯片，包括：固定部分；連接到所述固定部分的錨；在所述錨的一側(cè)連接到所述錨的第一非線性懸吊構(gòu)件；在所述錨的所述一側(cè)連接到所述錨的第二非線性懸吊構(gòu)件，所述第二非線性懸吊構(gòu)件具有與所述第一非線性懸吊構(gòu)件關(guān)于錨二等分面成鏡像關(guān)系的形狀和位置；以及平面形的質(zhì)量塊，所述質(zhì)量塊至少部分地由所述第一非線性懸吊構(gòu)件和所述第二非線性懸吊構(gòu)件懸吊，從而所述質(zhì)量塊能夠圍繞所述錨旋轉(zhuǎn)并能夠在平行于所述固定部分的平面中滑動。

技術(shù)研發(fā)人員：C·阿卡;約翰·加德納·布盧姆斯伯
受保護(hù)的技術(shù)使用者：快捷半導(dǎo)體公司
文檔號碼：201180044919
技術(shù)研發(fā)日：2011.09.16
技術(shù)公布日：2016.12.14