用于共振微細加工裝置的減小轉(zhuǎn)向差的撓曲支承部優(yōu)先權(quán)要求及相關(guān)申請本申請要求于2010年9月18日遞交的題為“LOW-QUADRATURESUSPENSIONSYSTEMFORMULTI-AXISGYROSCOPES”的美國臨時專利申請序號No.61/384,247及于2010年9月20日遞交的題為“IMPROVEDQUADRATUREREDUCTIONSTRUCTUREFORRESONATINGMICROMACHINEDDEVICES”的美國臨時專利申請序號No.61/384,512的優(yōu)先權(quán)，其全部內(nèi)容通過引用并入本文。本申請涉及于2010年8月3日遞交的題為“MICROMACHINEDINERTIALSENSORDEVICES”的美國專利申請序號No.12/849,742、于2010年8月3日遞交的題為“MICROMACHINEDDEVICESANDFABRICATINGTHESAME”的美國專利申請序號No.12/849,787及于2010年9月18日遞交的題為“MICROMACHINEDMONOLITHIC6-AXISINERTIALSENSOR”的美國臨時專利申請序號No.61/384,240，其全部內(nèi)容通過引用并入本文。技術(shù)領(lǐng)域

背景技術(shù)：
轉(zhuǎn)向差誤差是限制微細加工傳感器(如陀螺儀)性能的主要因素之一?？紤]到驅(qū)動震蕩和感應(yīng)震蕩的相對量級，即使極小部分驅(qū)動動作耦合進感應(yīng)模式都可能支配科氏力(Coriolis)響應(yīng)。實際上，制作的不完善可導(dǎo)致不理想的幾何結(jié)構(gòu)，如陀螺儀結(jié)構(gòu)。不理想的幾何結(jié)構(gòu)會使得驅(qū)動震蕩部分耦合到感應(yīng)模式。即使存在幾種交叉耦合的方法，如彈性、粘性和靜電耦合方法，但在某些情況下，由于懸吊元件中的非等彈性，彈性耦合在幅度上的增加超過期望水平。在具有面外(out-of-plane)工作模式的傳感器系統(tǒng)中(如陀螺儀系統(tǒng))，面內(nèi)方向和面外方向之間的非等彈性是轉(zhuǎn)向差誤差的主導(dǎo)根源。深反應(yīng)離子刻蝕(deepreactive-ionetching，“DRIE”)中的側(cè)壁偏斜或傾斜能夠?qū)е聯(lián)锨С胁康慕孛鎻木匦纹x為平行四邊形，導(dǎo)致懸吊器的撓曲支承部的彈性主軸從平行正交偏離到裝置表面。在一個實例中，單軸或多軸的微細加工傳感器結(jié)構(gòu)(如陀螺儀結(jié)構(gòu))要受到至少部分由DRIE刻蝕傾斜導(dǎo)致的高轉(zhuǎn)向差誤差的影響。而且，現(xiàn)有的共振器依賴于簡單的直線形撓曲支承部來形成撓曲結(jié)構(gòu)以允許裝置在共振中移位。當(dāng)刻蝕在撓曲支承部中產(chǎn)生變形，會造成重大問題，引起很大的非期望的移位，且通常會驅(qū)使感應(yīng)機構(gòu)。

技術(shù)實現(xiàn)要素：
附圖說明在附圖(其不一定按比例繪制)中，相似的附圖標(biāo)記可在不同的視圖中表示相似的部件。具有不同字母后綴的相似附圖標(biāo)記可表示相似部件的不同例子。附圖以示例而非限制的方式大體示出了本文中所論述的各個實施例。圖1例示出根據(jù)一個實例的包括懸吊結(jié)構(gòu)的傳感器結(jié)構(gòu)；圖2A例示出根據(jù)一個實例的懸吊器的部分；圖2B例示出一個實例中的處于頂部部分向上彎曲的彎曲狀態(tài)下的圖8A所示的懸吊器；圖2C例示出一個實例中的處于頂部部分向下彎曲的彎曲狀態(tài)下的圖8A所示的懸吊器；圖3例示出根據(jù)一個實例的懸吊結(jié)構(gòu)圍繞z軸的扭轉(zhuǎn)動作；圖4例示出根據(jù)一個實例的懸吊結(jié)構(gòu)圍繞x軸的扭轉(zhuǎn)動作；圖5例示出根據(jù)一個實例的懸吊結(jié)構(gòu)圍繞y軸的扭轉(zhuǎn)動作；圖6例示出根據(jù)一個實例的包括低轉(zhuǎn)向差誤差懸吊器的二軸陀螺儀；圖7例示出根據(jù)一個實例的包括低轉(zhuǎn)向差誤差懸吊器的三軸陀螺儀；圖8例示出一個實例的懸吊器的轉(zhuǎn)向差誤差；圖9例示出根據(jù)一個實例的驅(qū)動模式；圖10例示出根據(jù)一個實例的有四個彎曲部的撓曲支承部；圖11例示出根據(jù)一個實例的撓曲支承部，所述撓曲支承部包括撓曲的撓曲支承部和不撓曲的撓曲支承部；圖12例示出根據(jù)一個實例的撓曲支承部，所述撓曲支承部包括比圖11所示的撓曲支承部短的撓曲的撓曲支承部和比圖11所示的不撓曲的撓曲支承部短的不撓曲的撓曲支承部；圖13A例示出根據(jù)一個實例的具有很大間隙的懸吊器；圖13B例示出與撓曲支承部的撓曲度相關(guān)的應(yīng)力；圖14例示出根據(jù)一個實例的包括Z字形部的懸吊器；圖15例示出根據(jù)一個實例的繞z軸扭轉(zhuǎn)撓曲的圖14所示的懸吊器；圖16A例示出根據(jù)一個實例的繞z軸扭轉(zhuǎn)撓曲的圖14所示的懸吊器；圖16B例示出根據(jù)一個實例的圍繞y軸撓曲的圖14所示懸吊器；圖16C例示出根據(jù)一個實例的圍繞x軸撓曲的圖14所示懸吊器；圖16D例示出根據(jù)一個實例的沿y軸移位撓曲的圖14所示的懸吊器；圖17例示出根據(jù)一個實例的制造低轉(zhuǎn)向差誤差懸吊器的方法。具體實施方式多余的側(cè)壁撓曲可能消極地影響撓曲支承部(“撓曲部”)的性能，所述撓曲支承部例如為支撐諸如芯片的微機電系統(tǒng)(“MEMS”)結(jié)構(gòu)的一個或多個部分的撓曲支承部。在一個實例中，例如當(dāng)斜軸沿著撓曲支承部或梁(beam)的長度時，如果一個或多個側(cè)壁具有角誤差，則面內(nèi)驅(qū)動(in-planedrive)動作會導(dǎo)致面外動作。在一個實例中，當(dāng)傾斜的柔韌或柔性的撓曲支承部或梁位于驅(qū)動動作的相反側(cè)時，產(chǎn)生的面外偏轉(zhuǎn)可能導(dǎo)致或促成轉(zhuǎn)向差誤差(quadratureerror)。在一個實例中，低轉(zhuǎn)向差懸吊系統(tǒng)(low-quadraturesuspensionsystem)致力于減少或消除不期望的面外動作。圖1示出了根據(jù)一個實例的包括懸吊結(jié)構(gòu)的傳感器結(jié)構(gòu)。多種實例公開了用于傳感器的低轉(zhuǎn)向差懸吊系統(tǒng)。在一個實例中，懸吊結(jié)構(gòu)可用在具有質(zhì)量塊(proof-mass)，如單個質(zhì)量塊104的扭轉(zhuǎn)多軸微細加工陀螺儀系統(tǒng)中。在一個實例中，質(zhì)量塊104在其中心處通過單個的中心錨106懸吊。在一個實例中，一個或多個撓曲支承部將所述錨106連接到質(zhì)量塊104，如連接到質(zhì)量塊的主框架116。在一個實例中，一個或多個撓曲部允許質(zhì)量塊圍繞三個垂直的軸扭轉(zhuǎn)地震蕩(oscillate)。在一個實例中，懸吊撓曲支承部或梁提供面內(nèi)偏轉(zhuǎn)和面外偏轉(zhuǎn)，允許質(zhì)量塊圍繞x軸、y軸和z軸扭轉(zhuǎn)地震蕩。一個實例包括固定部分118，其中錨106連接至固定部分118。在一個實例中，第一非線性懸吊構(gòu)件108在錨的一側(cè)連接至錨106。在一個實例中，第二非線性懸吊構(gòu)件120在錨的同一側(cè)連接至錨106，所述第二非線性懸吊構(gòu)件具有與所述第一非線性懸吊構(gòu)件關(guān)于錨二等分面122(如x-z面)成鏡像關(guān)系的形狀和位置。多種實例包括平面式的質(zhì)量塊104，所述質(zhì)量塊至少部分地由第一非線性懸吊構(gòu)件108和第二非線性懸吊構(gòu)件120懸吊，使得質(zhì)量塊可圍繞錨106旋轉(zhuǎn)且可在平行于所述固定部分的平面(如x-y面)中滑動。在一個實例中，C形撓曲支承部108包括連接到錨106且向錨二等分面122延伸的內(nèi)部部分110以及具有近端部分和遠端部分的中心部分114，其中近端部分連接至內(nèi)部部分110，遠端部分沿錨二等分面122延伸遠離錨106且連接到延伸遠離錨二等分面122的外部部分112。在一個實例中，中心部分114垂直于內(nèi)部部分110和外部部分112。在一個實例中，中心部分114平行于錨二等分面122。在一個實例中，錨106、第一非線性懸吊構(gòu)件108、第二非線性懸吊構(gòu)件120和質(zhì)量塊104由整體式材料(monolithicmaterial)形成。在一個實例中，固定部分118包括與錨106、第一非線性懸吊構(gòu)件108、第二非線性懸吊構(gòu)件120和質(zhì)量塊104的整體式材料不同的固定整體式材料(fixedmonolithicmaterial)。在一個實例中，固定部分118包括與錨106、第一非線性懸吊構(gòu)件108、第二非線性懸吊構(gòu)件120和質(zhì)量塊104的整體式材料相同的固定整體式材料。在一個實例中，撓曲支承部置于所述中心錨的每一側(cè)，如所述錨的相反側(cè)。在一個實例中，由一側(cè)的每個C形撓曲支承部引起的面外動作被其對稱的撓曲支承部抵消。相應(yīng)地，在一個實例中，在每個撓曲支承部上引起的轉(zhuǎn)向差誤差被就地減小或消除。在一個實例中，中心懸吊結(jié)構(gòu)102被用于傳感器中，如六自由度(DOF)傳感器100(如包括對稱的撓曲支承部的整體式六自由度傳感器)中。在一個實例中，對稱的撓曲支承部包括“C形撓曲支承部”108。在一個實例中，每個C形撓曲支承部包括內(nèi)撓曲支承部110和外撓曲支承部112以及在所述兩個撓曲支承部之間的高硬度的連接撓曲支承部114。在一個實例中，內(nèi)撓曲支承部112在一端連接至錨106，外撓曲支承部112在另一端連接至質(zhì)量塊104。在一個實例中，懸吊系統(tǒng)102共計由8個C形撓曲支承部108形成。在一個實例中，兩個對稱的C形撓曲支承部位于中心錨結(jié)構(gòu)的四個側(cè)面的每一側(cè)。在一個實例中，懸吊系統(tǒng)提供三種陀螺儀工作模式：圍繞z軸的面內(nèi)扭轉(zhuǎn)，用于驅(qū)動動作；圍繞x軸的面外扭轉(zhuǎn)，用于y軸陀螺儀感應(yīng)動作；圍繞y軸的面外扭轉(zhuǎn)，用于x軸陀螺儀感應(yīng)動作。在一個實例中，震蕩模式能夠彼此之間互相切換。圖2A示出了根據(jù)一個實例的懸吊器的一部分。圖2B示出了在一個實例中處于頂部部分向上彎曲的彎曲狀態(tài)的圖2A所示的懸吊器。圖2C示出了在一個實例中處于頂部部分向下彎曲的彎曲狀態(tài)的圖2A所示的懸吊器。所示的實例例示出懸吊機構(gòu)在各個方向變形的輪廓。在一個實例中，在圖2B和圖2C示出的兩種變形情況中，彎曲等同且相反地發(fā)生。在一個實例中，在每一方向上，兩個撓曲支承部以相反的方式彎曲。在一個實例中，通過產(chǎn)生相互抵消的相反的面外變形，使得從撓曲部一端到另一端的總體的面外變形最小化。圖3示出了根據(jù)一個實例的懸吊結(jié)構(gòu)圍繞z軸的扭轉(zhuǎn)動作。在一個實例中，懸吊系統(tǒng)300包括在中心錨結(jié)構(gòu)306的每一側(cè)的兩個對稱的C形撓曲支承部302、304。在一個實例中，C形撓曲支承部302、304中的一個或兩個由置于兩個撓曲支承部310、312之間的高硬度連接撓曲支承部308形成。在一個實例中，在面內(nèi)扭轉(zhuǎn)動作(如平行于圖的平面的動作)期間，由一側(cè)的每個C形撓曲支承部中的撓曲支承部的偏轉(zhuǎn)引起的面外動作被對稱的撓曲支承部310’、312’所抵消。相應(yīng)地，在每個撓曲支承部上引起的轉(zhuǎn)向差誤差被就地(locally)減小或消除。描述的實例例示出圍繞Z軸(即延伸進入頁面并延伸出頁面的軸)的扭轉(zhuǎn)動作。在一個實例中，在面內(nèi)扭轉(zhuǎn)動作期間，在每個C形撓曲支承部中的內(nèi)撓曲支承部310和外撓曲支承部312面內(nèi)彎曲。在一個實例中，高硬度連接支承部308不經(jīng)歷明顯的彎曲。對于質(zhì)量塊圍繞z軸的逆時針旋轉(zhuǎn)，質(zhì)量塊的頂部部分向左移動，如圖所示。在一個實例中，高硬度連接支承部均向左移動。因此，右側(cè)的C形撓曲支承部的內(nèi)撓曲部和外撓曲部向下彎曲，同時左側(cè)的C形撓曲支承部的內(nèi)撓曲部和外撓曲部向上彎曲。因此，在一個實例中，所述動作引起對稱的C形撓曲支承部的撓曲部沿相反方向的偏轉(zhuǎn)。由于對稱的C形撓曲支承部中的撓曲部沿相反方向的偏轉(zhuǎn)，由一側(cè)的每個C形撓曲支承部中的撓曲支承部的偏轉(zhuǎn)引起的面外動作被對稱的撓曲支承部抵消。因此，在每個撓曲支承部上引起的轉(zhuǎn)向差誤差被就地消除。圖4例示出根據(jù)一個實例的懸吊結(jié)構(gòu)圍繞x軸的扭轉(zhuǎn)動作。在一個實例中，懸吊結(jié)構(gòu)可用于具有質(zhì)量塊(如單個的質(zhì)量塊404)的扭轉(zhuǎn)多軸微細加工陀螺儀系統(tǒng)。在一個實例中，質(zhì)量塊404在其中心處通過單個的中心錨406懸吊。在一個實例中，一個或多個撓曲支承部402將錨406連接到質(zhì)量塊404。在一個實例中，在圍繞x軸的面外扭轉(zhuǎn)動作期間，主要是y軸側(cè)的C形懸吊器對412、412’偏轉(zhuǎn)。在一個實例中，這些C形懸吊器中的內(nèi)撓曲支承部410、410’圍繞x軸扭轉(zhuǎn)地彎曲，起到扭轉(zhuǎn)鉸鏈的作用。在一個實例中，芯片為薄片形(wafershaped)，第一非線性懸吊構(gòu)件408和第二非線性懸吊構(gòu)件412各自具有大體上矩形的橫截面，所述橫截面的高度小于寬度。圖5例示出根據(jù)一個實例的懸吊結(jié)構(gòu)圍繞y軸的扭轉(zhuǎn)動作。在一個實例中，懸吊結(jié)構(gòu)可用于具有質(zhì)量塊(如單個的質(zhì)量塊404)的扭轉(zhuǎn)多軸微細加工陀螺儀系統(tǒng)。在一個實例中，質(zhì)量塊404在其中心處通過單個的中心錨406懸吊。在一個實例中，一個或多個撓曲支承部402將錨406連接到質(zhì)量塊404。在一個實例中，在圍繞y軸的面外扭轉(zhuǎn)動作期間，主要是在錨的x軸側(cè)的C形懸吊器對412、412’偏轉(zhuǎn)。這些C形撓曲支承部414，414’中的內(nèi)撓曲支承部圍繞y軸扭轉(zhuǎn)地彎曲，起到扭轉(zhuǎn)鉸鏈的作用。圖6示出了根據(jù)一個實例的包括低轉(zhuǎn)向差誤差懸吊器的二軸陀螺儀。在一個實例中，結(jié)構(gòu)602可用于多種扭轉(zhuǎn)多軸微細加工陀螺儀系統(tǒng)，所述扭轉(zhuǎn)多軸微細加工陀螺儀系統(tǒng)具有單個質(zhì)量塊604，所述單個質(zhì)量塊604在其中心處通過單個的中心錨606懸吊。撓曲部608將所述錨連接到質(zhì)量塊604且允許所述質(zhì)量塊圍繞所有三個軸扭轉(zhuǎn)地震蕩。所例示的實例檢測圍繞x軸和y軸各自的動作，并顯示出三中陀螺儀工作模式：圍繞z軸的面內(nèi)扭轉(zhuǎn)，用于驅(qū)動動作；圍繞x軸的面外扭轉(zhuǎn)，用于y軸陀螺儀感應(yīng)動作；圍繞y軸的面外扭轉(zhuǎn)，用于x軸陀螺儀感應(yīng)動作。在一個實例中，一個或多個梳狀電極616連接到所述裝置的固定部分，并感應(yīng)連接到質(zhì)量塊604的梳狀電極618的動作。在一個實例中，梳狀電極618的梳齒沿著二等分x軸與x軸之間的角的軸而設(shè)置。圖7例示出根據(jù)一個實例的包括低轉(zhuǎn)向差誤差懸吊器的三軸陀螺儀。在一個實例中，結(jié)構(gòu)702可用于多種扭轉(zhuǎn)多軸微細加工陀螺儀系統(tǒng)，所述扭轉(zhuǎn)多軸微細加工陀螺儀系統(tǒng)具有單個質(zhì)量塊704，所述單個質(zhì)量塊704在其中心處通過單個的中心錨706懸吊。撓曲部708將所述錨連接到質(zhì)量塊704，并允許所述質(zhì)量塊圍繞所有三個軸扭轉(zhuǎn)地震蕩。在一個實例中，裝置起到三軸(X/Y/Z)陀螺儀的功能。在一個實例中，懸吊系統(tǒng)702提供與圖6所示的裝置相似的陀螺儀工作模式。在一個實例中，圖7所示的裝置包括提供用于z軸感應(yīng)模式的附加的撓曲支承部720。在一個實例中，一個或多個梳狀電極716連接到所述裝置的固定部分，并感應(yīng)連接到質(zhì)量塊704的梳狀電極718的動作。在一個實例中，梳狀電極718的梳齒沿著二等分x軸與x軸之間的角的軸而設(shè)置。圖8示出了一個實例懸吊器的轉(zhuǎn)向差誤差。在一個實例中，撓曲支承部的角度對轉(zhuǎn)向差(quadrature)具有顯著影響。在一個實例中，對于每個設(shè)計，能夠選擇角度以優(yōu)化由共振器撓曲支承部的撓曲部的傾斜(skew)產(chǎn)生的轉(zhuǎn)向差誤差。在一個實例中，對于所期望的懸吊系統(tǒng)的安裝，最佳角度為15度。在一個實例中，最佳角度取決于結(jié)構(gòu)形狀，并基于相應(yīng)裝置的結(jié)構(gòu)而選擇。在一個實例中，對于所期望的結(jié)構(gòu)，兩個撓曲支承部設(shè)置為相同的角位移，但兩個撓曲支承部可容易地設(shè)置為不同的角度。圖9例示出根據(jù)一個實例的驅(qū)動模式。發(fā)明者認識到傾斜影響在包括錨906的懸吊構(gòu)造中引起轉(zhuǎn)向差誤差，并且它們可通過在同一撓曲部902或撓曲部對904上產(chǎn)生相反的傾斜而將上述影響最小化。相應(yīng)地，存在由框架隔開的兩個撓曲的撓曲支承部，每個撓曲支承部在驅(qū)動工作模式中在相反方向上變形。相反方向的變形導(dǎo)致產(chǎn)生相反方向的面外變形的傾斜，在最終連接到移動部件時，相反方向的面外變形互相抵消。這可用以取代僅包括一個撓曲支承部的現(xiàn)有機械裝置，所述現(xiàn)有機械裝置的一個撓曲支承部的傾斜僅在一個方向上產(chǎn)生變形，引起無任何抵消的大量的面外動作。然而，在一些實例中，內(nèi)撓曲支承部910、910’和外撓曲支承部912、912’旋轉(zhuǎn)，從而在驅(qū)動模式致動期間，變形使得一個撓曲支承部向上彎曲、一個撓曲支承部向下彎曲。在一個實例中，驅(qū)動模式為圍繞中心錨的旋轉(zhuǎn)模式。在一個實例中，對于四個懸吊器對404中的每一對，驅(qū)動模式使得一個在一個方向上變形且另一個在另一方向上變形。圖10例示出根據(jù)一個實例的四個彎曲部的撓曲支承部。在一個實例中，撓曲部1002可包括一個以上的彎曲部。在一個實例中，這可允許產(chǎn)生被更牢固地控制的面外動作。在一個實例中，包括多個Z字形部1004。在一個實例中，Z字形部限定了從錨1006延伸至質(zhì)量塊1005的鋸齒形線路(zigzag)。在一個實例中，鋸齒形線路包括沿著從錨1006延伸至質(zhì)量塊1005的圖案(patter)的規(guī)則幅度的Z字形部。在另外的實施例中，所述幅度是變化的。在一個實例中，所述Z字形部為C形，具有互相平行但不平行于高硬度部分1016的頂部構(gòu)件1008和底部構(gòu)件1014。圖11例示出根據(jù)一個實例的撓曲支承部，所述撓曲支承部包括撓曲的撓曲支承部和不撓曲的撓曲支承部。在一個實例中，還可通過延長或縮短撓曲的撓曲支承部1110、1114或不撓曲的撓曲支承部1112來確定撓曲部1102的參數(shù)。在圖12所示的實例中，縮短了外部撓曲的撓曲支承部1110和不撓曲的撓曲支承部1112。圖12例示出根據(jù)一個實例的撓曲支承部，所述撓曲支承部包括比圖11中的撓曲支承部短的撓曲的撓曲支承部和比圖11中不撓曲的撓曲支承部短的不撓曲的撓曲支承部。與圖11的部件相比，縮短了外部撓曲的撓曲支承部1210和不撓曲的撓曲支承部1212。圖13A例示出根據(jù)一個實例的具有很大間隙的懸吊器。圖13B例示出與撓曲支承部的撓曲度相關(guān)的應(yīng)力(stress)。在實例中，在撓曲支承部1304和質(zhì)量塊1306之間存在空隙1302。圖14例示出根據(jù)一個實例的包括具有Z字形部的懸吊器的芯片1400。Z字形部1402在C形撓曲支承部1406和質(zhì)量塊1408之間延伸。至少由于Z字形部1402減小了至少部分由DRIE刻蝕帶來的面外撓曲，因此Z字形部1402的增加進一步減小了轉(zhuǎn)向差誤差。在一個實例中，第一非線性懸吊構(gòu)件1416的外部部分1412具有近端部分和遠端部分，其中近端部分連接至第一非線性懸吊構(gòu)件1416的中心部分1420，遠端部分延伸遠離錨二等分面1422，第一非線性懸吊構(gòu)件1416的第四部分1402在該第四部分1402的近端部分處連接到所述外部部分的遠端部分，并朝向錨1404延伸至所述第四部分的遠端部分，所述第四部分的遠端部分連接到第一非線性懸吊構(gòu)件的朝向錨二等分面1422延伸的第五部分1424。在一個實例中，內(nèi)部部分1410和外部部分1412是線性且平行的。圖15例示出根據(jù)一個實例的繞z軸扭轉(zhuǎn)撓曲的圖14所示的懸吊器。圖16A例示出根據(jù)一個實例的繞z軸扭轉(zhuǎn)撓曲的圖14所示的懸吊器。圖16B例示出根據(jù)一個實例的y軸撓曲的圖14所示的懸吊器。圖16C例示出根據(jù)一個實例的圍繞x軸撓曲的圖14所示的懸吊器。圖16D示出了根據(jù)一個實例的沿y軸移位撓曲的圖14所示的懸吊器。圖17示出了根據(jù)一個實施例的制造低轉(zhuǎn)向差誤差懸吊器的方法。在步驟1702，所述方法包括刻蝕材料以限定錨。在步驟1704，所述方法包括刻蝕所述材料以限定在所述錨的一側(cè)連接到錨的第一非線性懸吊構(gòu)件。在步驟1706，所述方法包括刻蝕所述材料以限定在所述錨的與上述一側(cè)相同的側(cè)連接到錨的第二非線性懸吊構(gòu)件，所述第二非線性懸吊構(gòu)件具有與所述第一非線性懸吊構(gòu)件關(guān)于錨二等分面成鏡像關(guān)系的形狀和位置。在步驟1708，所述方法包括刻蝕所述材料以限定平面形的質(zhì)量塊，所述質(zhì)量塊至少部分地由所述第一非線性懸吊構(gòu)件和所述第二非線性懸吊構(gòu)件懸吊，從而所述質(zhì)量塊能夠圍繞所述錨旋轉(zhuǎn)并能夠在平行于基片的平面中滑動?？赡艽嬖诳蛇x的方法，包括在其中刻蝕包括深反應(yīng)離子刻蝕的方法。在一些可選的方法中，所述第一非線性懸吊構(gòu)件和所述第二非線性懸吊構(gòu)件為第一組部件，包括刻蝕所述材料以限定與所述第一組相反的第二組非線性懸吊構(gòu)件。一些可選的方法包括：刻蝕用于將錨連接到質(zhì)量塊的第三組非線性懸吊構(gòu)件，以及刻蝕用于將錨連接到質(zhì)量塊的第四組非線性懸吊構(gòu)件，其中所述第三組和第四組具有與所述第一組和第二組相似的要素(factor)且由垂直于第一錨二等分面的第二錨二等分面二等分(bisected)。補充注釋本文的主題能夠用幾個實例來描述。實例1包括一種用于對動作進行感應(yīng)的微機電芯片，包括：固定部分；連接到所述固定部分的錨；在所述錨的一側(cè)連接到所述錨的第一非線性懸吊構(gòu)件；在所述錨的所述一側(cè)連接到所述錨的第二非線性懸吊構(gòu)件，所述第二非線性懸吊構(gòu)件具有與所述第一非線性懸吊構(gòu)件關(guān)于錨二等分面成鏡像關(guān)系的形狀和位置；以及平面形的質(zhì)量塊，所述質(zhì)量塊至少部分地由所述第一非線性懸吊構(gòu)件和所述第二非線性懸吊構(gòu)件懸吊，從而所述質(zhì)量塊能夠圍繞所述錨旋轉(zhuǎn)并能夠在平行于所述固定部分的平面中滑動。實例2包括實例1的主題，其中所述第一非線性懸吊構(gòu)件為C形。實例3包括實例2的主題，其中所述C形包括連接到所述錨并且朝向所述錨二等分面延伸的內(nèi)部部分以及具有近端部分和遠端部分的中心部分，其中所述近端部分連接到所述內(nèi)部部分，所述遠端部分沿所述錨二等分面延伸遠離所述錨且連接到延伸遠離所述錨二等分面的外部部分。實例4包括實例3的主題，其中所述第一非線性懸吊構(gòu)件的所述外部部分具有連接到所述第一非線性懸吊構(gòu)件的所述中心部分的近端部分，及延伸遠離所述錨二等分面的遠端部分；所述第一非線性懸吊構(gòu)件的第四部分，在其近端部分處連接到所述外部部分的所述遠端部分，并朝向所述錨延伸至所述第四部分的遠端部分，所述第四部分的遠端部分連接到所述第一非線性懸吊構(gòu)件的朝向所述錨二等分面延伸的第五部分。實例5包括實例3-4中任一實例的主題，其中所述內(nèi)部部分和所述外部部分是線性且平行的。實例6包括實例5的主題，其中所述中心部分垂直于所述內(nèi)部部分和所述外部部分。實例7包括實例3-6中任一實例的主題，其中所述中心部分平行于所述錨二等分面。實例8包括實例1-7中任一實例的主題，其中所述錨、所述第一非線性懸吊構(gòu)件、所述第二非線性懸吊構(gòu)件和所述質(zhì)量塊由整體式材料形成。實例9包括實例8的主題，其中所述固定部分包括與所述錨、所述第一非線性懸吊構(gòu)件、所述第二非線性懸吊構(gòu)件和所述質(zhì)量塊的所述整體式材料不同的固定整體式材料。實例10包括實例1-9中任一實例的主題，其中所述固定部分包括與所述錨、所述第一非線性懸吊構(gòu)件、所述第二非線性懸吊構(gòu)件和所述質(zhì)量塊的所述整體式材料相同的固定整體式材料。實例11包括實例1-10中任一實例的主題，其中所述芯片為薄片形，所述第一非線性懸吊構(gòu)件和所述第二非線性懸吊構(gòu)件各自具有大體上矩形的橫截面，所述橫截面的高度小于寬度。實例12包括一種方法，包括：刻蝕材料以限定錨；刻蝕所述材料以限定在所述錨的一側(cè)連接到錨的第一非線性懸吊構(gòu)件；刻蝕所述材料以限定在所述錨的所述一側(cè)連接到所述錨的第二非線性懸吊構(gòu)件，所述第二非線性懸吊構(gòu)件具有與所述第一非線性懸吊構(gòu)件關(guān)于錨二等分面成鏡像關(guān)系的形狀和位置；以及刻蝕所述材料以限定平面形的質(zhì)量塊，所述質(zhì)量塊至少部分地由所述第一非線性懸吊構(gòu)件和所述第二非線性懸吊構(gòu)件懸吊，從而所述質(zhì)量塊能夠圍繞所述錨旋轉(zhuǎn)并能夠在平行于基片的平面中滑動。實例13包括實例12的主題，其中刻蝕包括深反應(yīng)離子刻蝕。實例14包括實例12-13中任一實例的主題，其中所述第一非線性懸吊構(gòu)件和所述第二非線性懸吊構(gòu)件為第一組部件，包括刻蝕所述材料以限定與所述第一組相反的第二組非線性懸吊構(gòu)件。實例15包括實例14的主題，包括刻蝕用于將所述錨連接到所述質(zhì)量塊的第三組非線性懸吊構(gòu)件，以及刻蝕用于將所述錨連接到所述質(zhì)量塊的第四組非線性懸吊構(gòu)件，其中所述第三組和所述第四組具有與所述第一組和所述第二組相似的要素且由垂直于第一錨二等分面的第二錨二等分面二等分。上文的詳細描述包括對附圖的參考，附圖形成了詳細描述的一部分。附圖通過示例的方式示出了其中可以實踐本申請的具體實施例。這些實施例也可以被稱為“示例”。本文所涉及的所有出版物、專利及專利文件全部作為本文的參考內(nèi)容，盡管它們是分別加以參考的。如果本文與參考文件之間存在用途差異，則將參考文件的用途視作本文的用途的補充；若兩者之間存在不可調(diào)和的差異，則以本文的用途為準(zhǔn)。在本文中，與專利文件通常使用的一樣，術(shù)語“一”或“某一”表示包括一個或多個，但其他情況或在使用“至少一個”或“一個或多個”時應(yīng)除外。在本文中，除非另外指明，否則使用術(shù)語“或”指無排他性的或者，使得“A或B”包括：“A但不是B”、“B但不是A”以及“A和B”。在所附權(quán)利要求中，術(shù)語“包含”和“在其中”等同于各個術(shù)語“包括”和“其中”的通俗英語。同樣，在本文中，術(shù)語“包含”和“包括”是開放性的，即，系統(tǒng)、設(shè)備、物品或步驟包括除了權(quán)利要求中這種術(shù)語之后所列出的那些部件以外的部件的，依然視為落在該條權(quán)利要求的范圍之內(nèi)。而且，在下面的權(quán)利要求中，術(shù)語“第一”、“第二”和“第三”等僅僅用作標(biāo)簽，并非對對象有數(shù)量要求。上述說明的作用在于解說而非限制。例如，上述示例(或示例的一個或多個方面)可結(jié)合使用。可以在理解上述說明書的基礎(chǔ)上，利用現(xiàn)有技術(shù)的某種常規(guī)技術(shù)來執(zhí)行其他實施例。遵照37C.F.R.§1.72(b)的規(guī)定提供摘要，允許讀者快速確定本技術(shù)公開的性質(zhì)。提交本摘要時要理解的是該摘要不用于解釋或限制權(quán)利要求的范圍或意義。同樣，在上面的具體實施方式中，各種特征可歸類成將本公開合理化。這不應(yīng)理解成未要求的公開特征對任何權(quán)利要求必不可少。相反，本發(fā)明的主題可在于的特征少于特定公開的實施例的所有特征。因此，下面的權(quán)利要求據(jù)此并入具體實施方式中，每個權(quán)利要求均作為一個單獨的實施例。應(yīng)參看所附的權(quán)利要求，以及這些權(quán)利要求所享有的等同物的所有范圍，來確定本申請的范圍。