專利名稱：利用連續(xù)波激光以及光電倍增管的光譜分析裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種利用連續(xù)波激光以及光電倍增管的光譜分析裝置。更詳細(xì)而言，本發(fā)明涉及一種包括如下部件的光譜分析裝置，即包括連續(xù)波激光照射部，其向所導(dǎo)入的粒子照射連續(xù)波激光；散射光測(cè)定部，其對(duì)上述粒子被上述連續(xù)波激光照射而從上述粒子生成的散射光進(jìn)行測(cè)定；觸發(fā)信號(hào)生成部，其在由上述散射光測(cè)定部測(cè)定出的測(cè)定值為預(yù)先設(shè)定的值以上的情況下生成觸發(fā)信號(hào)；脈沖激光照射部，其接收上述觸發(fā)信號(hào)來向上述粒子照射脈沖激光；以及光譜分析部，其對(duì)上述粒子被上述脈沖激光照射而從上述粒子生成的原子光譜線進(jìn)行測(cè)定來分析上述粒子的元素成分。
背景技術(shù)：
以往的利用了由 “G. A. Lithgow，，等人(Ambient measurements of metal-containing PM2. 5 in an urban environment using laser-induced breakdownspectroscopy, Atmos. Environ. 38，3319-3328，2004)和“Carranza” 等人(On-lineanalysis of ambient air aerosols using laser-induced breakdown spectroscopy,Spectrochim. Part B. 56，851-864，2001)所提出的LIBS (激光感應(yīng)等離子體光譜分析)系統(tǒng)的對(duì)大氣中微細(xì)灰塵單一粒子的實(shí)時(shí)測(cè)定一直通過以下方式，即針對(duì)在空氣中浮游的微細(xì)灰塵，通過聚焦噴嘴等而將微細(xì)灰塵的路徑聚焦于中央后對(duì)該中央照射高赫茲(通常IOHz)的激光的免燒(free-firing)方式對(duì)粒子進(jìn)行了測(cè)定。然而，在這種方法中，由于激光能準(zhǔn)確接觸(hitting)到微細(xì)灰塵的命中效率(hitting efficiency)極低(約0. 1% ),因而在數(shù)千個(gè)激光投射(shot)中只能在部分幾個(gè)投射(shot)中獲得關(guān)于單一粒子的LIBS光譜，因此存在造成粒子測(cè)定效率下降，并且有不必要的模糊(blank)光譜占用大量數(shù)據(jù)容量的缺陷。此外，據(jù)報(bào)告，在發(fā)生特定狀況(例如，沙塵天氣或局部污染)時(shí)，已知的免燒方式的粒子測(cè)定在粒子的快速探測(cè)及識(shí)別上，存在相對(duì)遲鈍的問題。

發(fā)明內(nèi)容
基于解決上述問題的觀點(diǎn)，本發(fā)明所要解決的技術(shù)問題在于，提供一種在測(cè)定微細(xì)粒子時(shí)對(duì)脈沖激光的照射進(jìn)行控制，而只對(duì)預(yù)先決定的粒子大小以上的微細(xì)粒子照射脈沖激光的技術(shù)。此外，本發(fā)明所要解決的技術(shù)問題在于，提供一種對(duì)微細(xì)粒子照射脈沖激光并測(cè)定從其釋放出的微細(xì)粒子的原子光譜線來探測(cè)微細(xì)粒子的元素成分的技術(shù)。然而，本發(fā)明的技術(shù)問題并不局限于在上面提及的事項(xiàng)，本領(lǐng)域技術(shù)人員應(yīng)該能通過以下說明明確了解未提及的其它效果。為了實(shí)現(xiàn)上述的技術(shù)問題，本發(fā)明所涉及的光譜分析裝置，包括連續(xù)波激光照射部，其向所導(dǎo)入的粒子照射連續(xù)波激光；散射光測(cè)定部，其對(duì)上述粒子被上述連續(xù)波激光照射而從上述粒子生成的散射光進(jìn)行測(cè)定；觸發(fā)信號(hào)生成部，其在由上述散射光測(cè)定部測(cè)定出的測(cè)定值為預(yù)先設(shè)定的值以上的情況下生成觸發(fā)信號(hào)；脈沖激光照射部，其接收上述觸發(fā)信號(hào)來向上述粒子照射脈沖激光；以及光譜分析部，其對(duì)上述粒子被上述脈沖激光照射而從上述粒子生成的原子光譜線進(jìn)行測(cè)定來分析上述粒子的元素成分。其中，優(yōu)選為，上述散射光測(cè)定部包括光電倍增管，其接收上述散射光而轉(zhuǎn)換為電信號(hào)并對(duì)該電信號(hào)進(jìn)行放大；以及示波器，其接收上述放大后的電信號(hào)而將該電信號(hào)以電壓(voltage)值測(cè)定。另外，上述觸發(fā)信號(hào)生成部最好在由上述示波器測(cè)定出的電壓值為預(yù)先設(shè)定的值以上的情況下，向上述脈沖激光照射部施加上述觸發(fā)信號(hào)。此外，優(yōu)選為，上述觸發(fā)信號(hào)生成部根據(jù)測(cè)定出的上述電壓值超過預(yù)先設(shè)定的值的程度，來改變向上述脈沖激光照射部施加上述觸發(fā)信號(hào)的時(shí)機(jī)。此外，優(yōu)選為，上述連續(xù)波激光照射部從與上述粒子的行進(jìn)方向垂直的方向照射連續(xù)波激光。
此外，從上述脈沖激光照射部照射出的上述脈沖激光與上述粒子的接觸點(diǎn)，最好自上述連續(xù)波激光與上述粒子的接觸點(diǎn)隔離預(yù)先決定的距離。優(yōu)選為，上述脈沖激光照射部從與上述粒子的行進(jìn)方向相向的方向照射脈沖激光。此外，優(yōu)選為，上述脈沖激光照射部在上述脈沖激光的行進(jìn)路徑包括聚焦透鏡，以聚焦上述脈沖激光而照向上述粒子。另外，在本發(fā)明的一特征在于，上述連續(xù)波激光照射部照射640nm波長(zhǎng)的連續(xù)波激光，上述脈沖激光照射部照射1064nm波長(zhǎng)的脈沖激光。從本說明書的記載內(nèi)容可知，根據(jù)本發(fā)明，只有在微細(xì)粒子為預(yù)先決定的粒子大小以上的情況下才照射脈沖激光，因此能夠提高激光接觸(hitting)微細(xì)粒子的命中效率(hitting efficiency),增大粒子測(cè)定的效率。此外，根據(jù)本發(fā)明，能夠?qū)γ}沖激光的照射進(jìn)行控制，因此具有減少不必要的微細(xì)粒子的分光光譜數(shù)據(jù)的產(chǎn)生的優(yōu)點(diǎn)。此外，根據(jù)本發(fā)明，具有在發(fā)生特定狀況(沙塵天氣或局部污染)時(shí)，能快速探測(cè)及識(shí)別微細(xì)粒子的優(yōu)點(diǎn)。


圖I為用于說明以往的光譜分析裝置的圖；圖2為用于說明本發(fā)明的一實(shí)施例所涉及的光譜分析裝置的框圖；圖3為用于說明本發(fā)明的一實(shí)施例所涉及的光譜分析裝置的實(shí)現(xiàn)例的圖。附圖標(biāo)記的說明100:連續(xù)波激光照射部 200:散射光測(cè)定部300 :觸發(fā)信號(hào)生成部 400 :脈沖激光照射部500 :光譜分析部
具體實(shí)施例方式以下，將參照附圖對(duì)本發(fā)明的優(yōu)選實(shí)施例進(jìn)行詳細(xì)說明。在以下說明中，當(dāng)記述為某一結(jié)構(gòu)要素連接于另一結(jié)構(gòu)要素時(shí)，表示既可以直接連接于另一結(jié)構(gòu)要素，也可以在其間夾裝第三結(jié)構(gòu)要素。首先，應(yīng)留意，在對(duì)各附圖的結(jié)構(gòu)要素標(biāo)記參照符號(hào)時(shí)，對(duì)于相同的結(jié)構(gòu)要素，即便出現(xiàn)在不同的附圖中，也盡量賦予了相同的附圖標(biāo)記。此時(shí)，由附圖所示出且據(jù)此進(jìn)行說明的本發(fā)明的結(jié)構(gòu)和作用，至少通過一個(gè)實(shí)施例予以說明，本發(fā)明的技術(shù)思想和其核心結(jié)構(gòu)以及作用并不局限于此。在對(duì)本發(fā)明進(jìn)行詳細(xì)說明之前，先對(duì)以往的光譜分析裝置以及利用該光譜分析裝置進(jìn)行微細(xì)粒子的光譜分析的方法進(jìn)行說明。這雖然不包含在本發(fā)明的發(fā)明范疇內(nèi)，但能夠通過對(duì)比對(duì)本發(fā)明作出更明確的理解。參照?qǐng)D1，對(duì)以往的光譜分析裝置進(jìn)行說明。圖I為用于說明以往的光譜分析裝置的圖。如圖I所示，以往的光譜分析裝置由脈沖激光照射部400、光譜儀510以及計(jì)算機(jī)520構(gòu)成。微細(xì)粒子P從由內(nèi)部噴嘴和外部噴嘴構(gòu)成的粒子導(dǎo)入器導(dǎo)入。這里的粒子導(dǎo)入 器在供微細(xì)粒子P流動(dòng)的通道的內(nèi)部噴嘴外側(cè)形成外部噴嘴，并且在該外部噴嘴流動(dòng)干凈的空氣(Sheath air),從而使貫通內(nèi)部噴嘴的微細(xì)粒子集中于中央并流動(dòng)。脈沖激光照射部400對(duì)經(jīng)由內(nèi)部噴嘴而向外部流動(dòng)的微細(xì)粒子P照射脈沖激光。在具體實(shí)現(xiàn)例中，該脈沖激光照射部(Q-switch laser) 400照射1064nm波長(zhǎng)的脈沖激光。聚焦透鏡L4位于脈沖激光照射部400的前方，以便于聚焦脈沖激光來照射微細(xì)粒子P。當(dāng)脈沖激光照射到微細(xì)粒子P時(shí)，形成高溫的等離子體，并且微細(xì)粒子P在所生成的等離子體內(nèi)被原子化、離子化而成為激發(fā)態(tài)(excited state)，之后回落到基態(tài)(ground state)。光譜儀510測(cè)定微細(xì)粒子P從激發(fā)態(tài)回落到基態(tài)時(shí)所釋放出的原子光譜線(emission light)來分析微細(xì)粒子的元素成分。在這樣的現(xiàn)有的光譜分析裝置中，對(duì)微細(xì)粒子照射脈沖激光時(shí)，以免燒方式照射約IOHz的脈沖激光。因此存在如下問題脈沖激光接觸(hitting)到微細(xì)粒子的概率極低，因而在數(shù)千個(gè)激光投射(shot)中只能在部分投射中獲得對(duì)微細(xì)粒子的分光光譜，這最終阻礙微細(xì)粒子的測(cè)定效率，并且引發(fā)不必要的模糊(blank)光譜數(shù)據(jù)。以下，對(duì)用于改善上述問題而提出的本發(fā)明進(jìn)行說明。參照?qǐng)D2及圖3，對(duì)本發(fā)明的一實(shí)施例所涉及的光譜分析裝置進(jìn)行說明。圖2為用于說明本發(fā)明的一實(shí)施例所涉及的光譜分析裝置的框圖。如圖2所示，一實(shí)施例所涉及的光譜分析裝置10包括連續(xù)波激光照射部100、散射光測(cè)定部200、觸發(fā)信號(hào)生成部300、脈沖激光照射部400以及光譜分析部500。連續(xù)波激光照射部100向所導(dǎo)入的粒子照射連續(xù)波激光。在此，粒子指稱微細(xì)粒子，如現(xiàn)有技術(shù)所揭示那樣，微細(xì)粒子從由內(nèi)部噴嘴和外部噴嘴構(gòu)成的粒子導(dǎo)入器導(dǎo)入光譜分析裝置10。連續(xù)波激光照射部100向所導(dǎo)入的微細(xì)粒子照射連續(xù)波激光來促使從微細(xì)粒子釋放散射光。散射光測(cè)定部200用于對(duì)上述粒子被上述連續(xù)波激光照射而從上述粒子生成的散射光進(jìn)行測(cè)定。這里的散射光測(cè)定部200包括光電倍增管(參照?qǐng)D3的210)和示波器(參照?qǐng)D3的220)，光電倍增管接收散射光而轉(zhuǎn)換為電信號(hào)并對(duì)該電信號(hào)進(jìn)行放大，示波器接收放大后的電信號(hào)并將該電信號(hào)以電壓(voltage)值算出。觸發(fā)信號(hào)生成部300在由上述散射光測(cè)定部200測(cè)定出的測(cè)定值為預(yù)先設(shè)定的值以上的情況下生成觸發(fā)信號(hào)。更具體而言，觸發(fā)信號(hào)生成部300用于在由散射光測(cè)定部200的示波器算出的電壓值為預(yù)先設(shè)定的值以上的情況下生成觸發(fā)(triggering)信號(hào)。即，由示波器算出的電壓值受微細(xì)粒子的粒子大小的影響，電壓值高表明微細(xì)粒子的大小大。因此，設(shè)定標(biāo)的物微細(xì)粒子的粒子大小的下限，并且設(shè)定與之相當(dāng)?shù)碾妷褐?，從而只有在捕捉到?guī)定粒子大小以上的微細(xì)粒子時(shí)才生成觸發(fā)信號(hào)。脈沖激光照射部400接收上述觸發(fā)信號(hào)來向微細(xì)粒子照射脈沖激光。換而言之，脈沖激光照射部400只有在由散射光測(cè)定部200的示波器算出的電壓值為預(yù)先設(shè)定的值以上的情況下才向微細(xì)粒子照射脈沖激光。光譜分析部500用于對(duì)從與上述脈沖激光照射部400的脈沖激光碰撞的微細(xì)粒子生成的原子光譜線進(jìn)行測(cè)定來分析上述微細(xì)粒子的元素成分。光譜分析部500的結(jié)構(gòu)與以往的光譜分析裝置相同，因此在此省略對(duì)其的詳細(xì)說明。以下，揭示對(duì)本發(fā)明的一實(shí)施例所涉及的光譜分析裝置的實(shí)現(xiàn)例及其動(dòng)作過程的說明。圖3為用于說明本發(fā)明的一實(shí)施例所涉及的光譜分析裝置的實(shí)現(xiàn)例的圖。
參照?qǐng)D3所示，微細(xì)粒子P從粒子導(dǎo)入器導(dǎo)入，這里的粒子導(dǎo)入器已在上面進(jìn)行了說明，所以在此省略對(duì)其的說明。由連續(xù)波激光照射部100對(duì)從粒子導(dǎo)入器導(dǎo)入的微細(xì)粒子P照射連續(xù)波激光(continuous wave laser)。連續(xù)波激光照射部100在具體的實(shí)現(xiàn)例中優(yōu)選為由生成640nm波長(zhǎng)的連續(xù)波的激光二極管來實(shí)現(xiàn)。此外，連續(xù)波激光照射部100優(yōu)選為從與微細(xì)粒子P的行進(jìn)方向垂直的位置，即圖中的側(cè)面向微細(xì)粒子P所流動(dòng)的行進(jìn)方向側(cè)照射連續(xù)波激光。此外，優(yōu)選為，在連續(xù)波激光照射部100的前方設(shè)置聚焦透鏡L5，以使聚焦后的連續(xù)波激光能夠照射到微細(xì)粒子P。微細(xì)粒子P若被連續(xù)波激光照射,則生成散射光(scattering light)。該散射光由散射光測(cè)定部200來測(cè)定，具體而言，散射光在散射光測(cè)定部200的光電倍增管(PMT ；PhotoMultiplier Tube) 210中進(jìn)行光電轉(zhuǎn)換而轉(zhuǎn)換為電信號(hào)并被放大。所圖示的電源供給部(power supply)211用于對(duì)光電倍增管供電，雖然以分體結(jié)構(gòu)進(jìn)行了圖示，但還可包含于光電倍增管210的內(nèi)部而與之構(gòu)成一體，這是顯而易見的。此外，為了收集散射光，還優(yōu)選為在光電倍增管210的前端設(shè)置聚焦透鏡L6。放大后的電信號(hào)傳遞至示波器220。在示波器220中將電信號(hào)以電壓值(voltage)算出。觸發(fā)信號(hào)生成部(delay generator) 300接收由示波器220算出的電壓值,而在上述電壓值為預(yù)先設(shè)定的值以上的情況下，將觸發(fā)信號(hào)施加于后述的脈沖激光照射部400。其中，預(yù)先設(shè)定的值是指為了決定作為測(cè)定對(duì)象的微細(xì)粒子而設(shè)定的值，是利用由示波器算出的電壓值因微細(xì)粒子的粒子大小而異的原理設(shè)定的值，這在上面說明過。另一方面，由觸發(fā)信號(hào)生成部300生成的觸發(fā)信號(hào)最好根據(jù)測(cè)定出的電壓值超過預(yù)先設(shè)定的值的程度，來改變向脈沖激光照射部400施加上述觸發(fā)信號(hào)的時(shí)機(jī)。S卩，微細(xì)粒子P的大小越大，由示波器220算出的電壓值越大，因此優(yōu)選為，對(duì)微細(xì)粒子P所算出的電壓值的大小超過預(yù)先設(shè)定的值而在這些超過預(yù)先設(shè)定的值的微細(xì)粒子中，使具有相對(duì)高的電壓值的微細(xì)粒子相比具有相對(duì)低的電壓值的微細(xì)粒子，加快生成觸發(fā)信號(hào)的時(shí)機(jī)。這是因?yàn)?，微?xì)粒子的大小越大下落速度越快，所以在已設(shè)定好脈沖激光照射部400的位置的情況下，準(zhǔn)確對(duì)準(zhǔn)照向微細(xì)粒子P的激光的焦距。脈沖激光照射部400只有在被施加上述的觸發(fā)信號(hào)的情況下才向微細(xì)粒子P照射脈沖激光。即，由于觸發(fā)信號(hào)從具有特定的粒子大小以上的微細(xì)粒子P所生成的散射光導(dǎo)出，因而脈沖激光只照向具有上述特定的粒子大小以上的微細(xì)粒子P。脈沖激光照射部400在具體的實(shí)現(xiàn)例中生成1064nm波長(zhǎng)的脈沖。此外，為了將脈沖激光聚焦后照向微細(xì)粒子P，優(yōu)選為在脈沖激光照射部的前端包括聚焦透鏡400。此時(shí)，參照?qǐng)D3的放大圖(圓形虛線部分)可以看出，從脈沖激光照射部400照射出的脈沖激光與微細(xì)粒子P接觸的接觸點(diǎn)C2與從連續(xù)波激光照射部100照射出的連續(xù)波激光與微細(xì)粒子P接觸的接觸點(diǎn)Cl相隔規(guī)定距離。優(yōu)選為，脈沖激光照射部400從連續(xù)波激光照射部100所處的位置沿著微細(xì)粒子P的行進(jìn)方向而位于下側(cè)。另一方面，連續(xù)波激光照射部100由于需要對(duì)所有微細(xì)粒子照射連續(xù)波，所以優(yōu)選為設(shè)置成從與微細(xì)粒子P的行進(jìn)方向垂直的側(cè)面進(jìn)行照射，并且脈沖激光照射部400由于對(duì)特定的一個(gè)微細(xì)粒子照射脈沖，所以優(yōu)選為設(shè)置成從正面面對(duì)微細(xì)粒子P的行進(jìn)方向，或者與連續(xù)波激光照射部100 —樣地設(shè)置于與微細(xì)粒子P的行進(jìn)方向垂直的位置也無妨。當(dāng)脈沖激光照射微細(xì)粒子P時(shí)，形成高溫的等離子體，微細(xì)粒子P在所生成的等離 子體內(nèi)被原子化、離子化而成為激發(fā)態(tài)(excied state),之后回落到基態(tài)(ground state)。光譜儀510測(cè)定微細(xì)粒子P從激發(fā)態(tài)回到基態(tài)時(shí)所釋放出的原子光譜線(emission light)來對(duì)微細(xì)粒子的元素成分進(jìn)行定性及定量分析。由光譜儀對(duì)元素進(jìn)行的的化學(xué)分析，參照公知技術(shù)便得以理解，由于這不包含在本發(fā)明的范疇內(nèi)，所以對(duì)此予以省略。如上所述，通過限定的實(shí)施例及附圖對(duì)本發(fā)明進(jìn)行了說明，但本發(fā)明并不局限于上述的實(shí)施例，本發(fā)明所屬領(lǐng)域的普通技術(shù)人員可根據(jù)上述記載進(jìn)行各種修改及變形。因此，本發(fā)明思想應(yīng)由權(quán)利要求書限定，與其均等或等價(jià)的變形均包含于本發(fā)明的思想范疇內(nèi)。
權(quán)利要求
1.一種光譜分析裝置，其特征在于，包括 連續(xù)波激光照射部，其向所導(dǎo)入的粒子照射連續(xù)波激光； 散射光測(cè)定部，其對(duì)上述粒子被上述連續(xù)波激光照射而從上述粒子生成的散射光進(jìn)行測(cè)定； 觸發(fā)信號(hào)生成部，其在由上述散射光測(cè)定部測(cè)定出的測(cè)定值為預(yù)先設(shè)定的值以上的情況下生成觸發(fā)信號(hào)； 脈沖激光照射部，其接收上述觸發(fā)信號(hào)來向上述粒子照射脈沖激光；以及 光譜分析部，其對(duì)上述粒子被上述脈沖激光照射而從上述粒子生成的原子光譜線進(jìn)行測(cè)定來分析上述粒子的元素成分。
2.根據(jù)權(quán)利要求I所述的光譜分析裝置，其特征在于， 上述散射光測(cè)定部包括 光電倍增管，其接收上述散射光而轉(zhuǎn)換為電信號(hào)并對(duì)該電信號(hào)進(jìn)行放大；以及 示波器，其接收放大后的上述電信號(hào)而將該電信號(hào)以電壓值算出。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的光譜分析裝置，其特征在于，上述觸發(fā)信號(hào)生成部在由上述示波器算出的電壓值為預(yù)先設(shè)定的值以上的情況下，向上述脈沖激光照射部施加上述觸發(fā)信號(hào)。
4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的光譜分析裝置，其特征在于，上述觸發(fā)信號(hào)生成部根據(jù)測(cè)定出的上述電壓值超過預(yù)先設(shè)定的值的程度，來改變向上述脈沖激光照射部施加上述觸發(fā)信號(hào)的時(shí)機(jī)。
5.根據(jù)權(quán)利要求I所述的光譜分析裝置，其特征在于，上述連續(xù)波激光照射部從與上述粒子的行進(jìn)方向垂直的方向照射連續(xù)波激光。
6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的光譜分析裝置，其特征在于，從上述脈沖激光照射部照射出的上述脈沖激光與上述粒子的接觸點(diǎn)，自上述連續(xù)波激光與上述粒子的接觸點(diǎn)隔離預(yù)先決定的距離。
7.根據(jù)權(quán)利要求5所述的光譜分析裝置，其特征在于，上述脈沖激光照射部從與上述粒子的行進(jìn)方向相向的方向照射脈沖激光。
8.根據(jù)權(quán)利要求6所述的光譜分析裝置，其特征在于，上述脈沖激光照射部在上述脈沖激光的行進(jìn)路徑具有聚焦透鏡，以聚焦上述脈沖激光而照向上述粒子。
9.根據(jù)權(quán)利要求I所述的光譜分析裝置，其特征在于，上述連續(xù)波激光照射部照射640nm波長(zhǎng)的連續(xù)波激光，上述脈沖激光照射部照射1064nm波長(zhǎng)的脈沖激光。
全文摘要
本發(fā)明揭示一種利用連續(xù)波激光及光電倍增管的光譜分析裝置。更詳細(xì)而言，本發(fā)明所涉及的光譜分析裝置包括連續(xù)波激光照射部，其向所導(dǎo)入的粒子照射連續(xù)波激光；散射光測(cè)定部，其對(duì)粒子被連續(xù)波激光照射而從粒子生成的散射光進(jìn)行測(cè)定；觸發(fā)信號(hào)生成部，其在由散射光測(cè)定部測(cè)定出的測(cè)定值為預(yù)先設(shè)定的值以上的情況下生成觸發(fā)信號(hào)；脈沖激光照射部，其接收觸發(fā)信號(hào)來向粒子照射脈沖激光；以及光譜分析部，其對(duì)粒子被脈沖激光照射而從粒子生成的原子光譜線進(jìn)行測(cè)定來分析粒子的元素成分。
文檔編號(hào)G01N21/63GK102841076SQ20111042144
公開日2012年12月26日 申請(qǐng)日期2011年12月15日 優(yōu)先權(quán)日2011年6月21日
發(fā)明者樸起弘, 郭智賢 申請(qǐng)人:光州科學(xué)技術(shù)院