專利名稱：Led晶圓顯微定位測(cè)試裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實(shí)用新型涉及LED晶圓檢測(cè)用裝置。特別一種與定位測(cè)試結(jié)構(gòu)有關(guān)，采用一體 化緊湊結(jié)構(gòu)，是一種完成微晶片測(cè)試定位、探針調(diào)整、光電檢測(cè)等工作的LED晶圓顯微定位 測(cè)試裝置。
背景技術(shù)：
中國專利文獻(xiàn)在1996年5月31日公開了一種名稱為"顯微攝影即時(shí)定位測(cè)試結(jié) 構(gòu)"的實(shí)用新型專利，專利號(hào)為200420088008. x，該專利技術(shù)是一種顯微攝影即時(shí)定位測(cè)試 結(jié)構(gòu)，它包含一光特性分析模組，其下方設(shè)一分析模組固定座，及相鄰處設(shè)CCD (影像感知 原件)攝影機(jī)，其系含有一顯微鏡頭、鏡頭固定座、CCD焦距微調(diào)座、CCD角度固定件，而其 下方則設(shè)有CCD x-y微調(diào)座，及一 CCD固定基座，而另一相對(duì)應(yīng)處，設(shè)一 CCD攝影機(jī)光源，并 含有一光遠(yuǎn)固定座第一件、第二件及第三件，藉此，組裝成整組系統(tǒng)結(jié)構(gòu)，并設(shè)于檢測(cè)機(jī)本 體上，可供測(cè)試LED、 LCD及其他晶圓之使用。所述的裝置顯微攝影即時(shí)定位測(cè)試機(jī)構(gòu)該方 法造成運(yùn)動(dòng)機(jī)構(gòu)行程大，結(jié)構(gòu)不緊湊，定位及探針位置準(zhǔn)確調(diào)整困難，操作無法達(dá)到快速要 求，有將其進(jìn)一步改進(jìn)的必要。

實(shí)用新型內(nèi)容本實(shí)用新型的主要目的，根據(jù)上述現(xiàn)有技術(shù)的不足之處，提出一種顯微定位測(cè)試 裝置，達(dá)到操作快捷，人機(jī)交互好，提高工作效率的目的。 本實(shí)用新型目的實(shí)現(xiàn)由以下技術(shù)方案完成 本實(shí)用新型包括基座l，上方放置一平動(dòng)組件，平動(dòng)組件包括動(dòng)力源20、固定座 21、第一滑座22、第二滑座23、滾子滑軌構(gòu)成24，其中動(dòng)力源為氣缸，執(zhí)行直線運(yùn)動(dòng)，平動(dòng)組 件藉由第一滑座22與基座1相連，動(dòng)力源20通過固定座21固定，并放置于第一滑座22的 頂面，第二滑座23置于第一滑座22頂面，且第一滑座22、第二滑座23之間設(shè)置滾子滑軌 24，第二滑座23端部設(shè)置通孔231，在通孔處有缺口 232，通孔231內(nèi)放置CCD攝像機(jī)、CCD 攝像機(jī)由CCD，鏡頭31、光源32。 本實(shí)用新型的優(yōu)點(diǎn)在于結(jié)構(gòu)緊湊，操作方便，人機(jī)交互好，一CCD攝像頭即完成定 位監(jiān)視功能。本實(shí)用新型是放置于檢測(cè)機(jī)上，供測(cè)試LED晶圓檢測(cè)用

圖1系本實(shí)用新型之立體分解示意圖； 圖2系本實(shí)用新型之組合立體示意圖； 圖3系本實(shí)用新型之第二滑座示意圖。
具體實(shí)施方式如附圖1、2、3示，圖中標(biāo)號(hào)分別表示如下[0011] 1-基座、20—?jiǎng)恿υ础?1—固定座、22—第一滑座、23—第二滑座、231—通孔、 232—缺口 、24—滾子滑軌、30—CCD、31—鏡頭、32—光源。 參閱圖1、圖2，本實(shí)用新型一種顯微定位測(cè)試結(jié)構(gòu)，系包含一基座l，其上方相連 第一滑座22，動(dòng)力源20通過固定座21固定，并一同放置于第一滑座22頂面，第二滑座23置 于第一滑座22頂面，且第一滑座22、第二滑座23間放置滾子滑軌24，第二滑座端部通孔， 且通孔231處開缺口 232，通孔231內(nèi)容置由CCD30，鏡頭31，光源32組成的組件，藉此，組 裝成整套系統(tǒng)。本實(shí)用新型一種顯微定位測(cè)試結(jié)構(gòu)，主要設(shè)于檢測(cè)機(jī)上，用于檢測(cè)機(jī)對(duì)晶粒 的識(shí)別定位及點(diǎn)測(cè)時(shí)監(jiān)視，提高工作效率，簡化系統(tǒng)結(jié)構(gòu)。 雖然以上已經(jīng)參照附圖對(duì)按照本實(shí)用新型目的的構(gòu)思和實(shí)施例作了詳盡說明，但 本領(lǐng)域普通技術(shù)人員可以認(rèn)識(shí)到，在沒有脫離權(quán)利要求限定范圍的前提條件下，仍然可以 對(duì)本實(shí)用新型作出各種改進(jìn)和變換，而這種改進(jìn)和變換仍然應(yīng)當(dāng)屬于本實(shí)用新型的保護(hù)范 圍。
權(quán)利要求LED晶圓顯微定位測(cè)試裝置，其特征在于它包括一基座(1)，上方放置一平動(dòng)組件，平動(dòng)組件包括動(dòng)力源(20)、固定座(21)、第一滑座(22)、第二滑座(23)、滾子滑軌構(gòu)成(24)，平動(dòng)組件藉由第一滑座(22)與基座(1)相連，動(dòng)力源(20)通過固定座(21)固定，并放置于第一滑座(22)的頂面，第二滑座(23)置于第一滑座(22)頂面，且第一滑座(22)、第二滑座(23)之間設(shè)置滾子滑軌(24)，第二滑座(23)端部設(shè)置通孔(231)，在通孔處有缺口(232)，通孔(231)內(nèi)放置CCD攝像機(jī)、CCD攝像機(jī)由CCD，鏡頭(31)、光源(32)。
專利摘要本實(shí)用新型涉及LED晶圓檢測(cè)用裝置。特別是與定位測(cè)試結(jié)構(gòu)有關(guān)，采用一體化緊湊結(jié)構(gòu)，是一種完成微晶片測(cè)試定位、探針調(diào)整、光電檢測(cè)等工作的LED晶圓顯微定位測(cè)試裝置。本實(shí)用新型包括基座1，上方放置一平動(dòng)組件，平動(dòng)組件包括動(dòng)力源20、固定座21、第一滑座22、第二滑座23、滾子滑軌構(gòu)成24，平動(dòng)組件藉由第一滑座22與基座1相連，動(dòng)力源20通過固定座21固定，并放置于第一滑座22的頂面，第二滑座23置于第一滑座22頂面，且第一滑座22、第二滑座23之間設(shè)置滾子滑軌24，第二滑座23端部設(shè)置通孔231，在通孔處有缺口232，通孔231內(nèi)放置CCD攝像機(jī)、CCD攝像機(jī)由CCD，鏡頭31、光源32。本實(shí)用新型的優(yōu)點(diǎn)在于結(jié)構(gòu)緊湊，操作方便，人機(jī)交互好，一CCD攝像頭即完成定位監(jiān)視功能。本實(shí)用新型是放置于檢測(cè)機(jī)上，供測(cè)試LED晶圓檢測(cè)用。
文檔編號(hào)G01N21/01GK201508323SQ200920311268
公開日2010年6月16日 申請(qǐng)日期2009年9月24日 優(yōu)先權(quán)日2009年9月24日
發(fā)明者伊文君, 劉鴻飛, 孫梁, 孫紅三, 徐杰, 田建明, 肖堯, 董占民, 賈偵華, 郭金源 申請(qǐng)人:清華大學(xué);北京中拓機(jī)械有限責(zé)任公司