專利名稱：測試半導(dǎo)體器件的設(shè)備及使用其測試半導(dǎo)體器件的方法
技術(shù)領(lǐng)域：
示例實(shí)施例涉及一種測試半導(dǎo)體器件的設(shè)備以及一種使用該設(shè)備測試半導(dǎo)體器件的方法。其它示例實(shí)施例涉及一種測試半導(dǎo)體器件的設(shè)備以及一種使用該設(shè)備測試半導(dǎo)體器件的方法，該設(shè)備和方法能夠?qū)雽?dǎo)體器件暴露到具有設(shè)定的測試溫度的加熱環(huán)境和冷卻環(huán)境下來選擇性地執(zhí)行測試。
背景技術(shù)：
通常，在制造之后，半導(dǎo)體模塊被安裝在計(jì)算機(jī)的主板上，然后使半導(dǎo)體模塊穿過半導(dǎo)體模塊安裝測試區(qū)來檢查缺陷。半導(dǎo)體模塊安裝測試是用于確定半導(dǎo)體模塊在低溫(大約10°C )、常溫(大約25°C )和高溫(大約55°C )的環(huán)境下是否正常工作的測試。
半導(dǎo)體模塊安裝測試在這樣的狀態(tài)下執(zhí)行，其中，上面安裝有半導(dǎo)體模塊的基底被裝載在室(chamber)中。 傳統(tǒng)的半導(dǎo)體模塊安裝測試設(shè)備包括執(zhí)行測試步驟的室、用于加熱室的加熱部件、用于冷卻室的冷卻部件和用于控制各個組件的操作的控制器。 傳統(tǒng)的加熱部件和冷卻部件彼此分開，以提供用于加熱和冷卻半導(dǎo)體模塊的獨(dú)立的環(huán)境。 因此，當(dāng)利用傳統(tǒng)的半導(dǎo)體模塊安裝測試來對半導(dǎo)體器件執(zhí)行溫度環(huán)境測試時(shí)，根據(jù)高溫和低溫測試步驟，工藝流程會復(fù)雜。 另外，傳統(tǒng)的加熱部件包括加熱器和風(fēng)扇來將熱空氣供應(yīng)到室中。包括壓縮機(jī)、冷凝器和蒸發(fā)器的冷卻部分利用傳統(tǒng)的冷卻劑來將冷空氣供應(yīng)到室中。 然而，當(dāng)執(zhí)行傳統(tǒng)的高溫測試時(shí)，未去除濕氣的外部空氣通過風(fēng)扇進(jìn)入以被加熱
器加熱，然后被供應(yīng)到室中。因此，由于使用加熱器和風(fēng)扇，導(dǎo)致功耗會增加。 另外，當(dāng)執(zhí)行低溫測試時(shí)，未去除濕氣的外部空氣通過冷卻器進(jìn)入以降低溫度，然
后被供應(yīng)到室中。 因此，由于引入潮濕的空氣，所以在室中產(chǎn)生冷凝，導(dǎo)致半導(dǎo)體器件在測試過程中變?yōu)榇纹贰?此外，由于環(huán)境法規(guī)限制了對被廣泛地用作冷卻器(即，冷卻部分)的傳統(tǒng)冷卻劑的氟利昂氣體的使用，所以由于使用了符合環(huán)境法規(guī)的新型冷卻劑而增加了成本。此外，在冷卻部件的操作過程中，從壓縮機(jī)過多地產(chǎn)生噪聲，導(dǎo)致有關(guān)噪聲的問題。

發(fā)明內(nèi)容
示例實(shí)施例提供一種測試半導(dǎo)體器件的設(shè)備以及一種利用該設(shè)備測試半導(dǎo)體器件的方法，所述設(shè)備和方法能夠在單個室中選擇性地執(zhí)行對半導(dǎo)體器件的加熱環(huán)境測試和冷卻環(huán)境測試。 示例實(shí)施例還提供一種測試半導(dǎo)體器件的設(shè)備以及一種利用該設(shè)備測試半導(dǎo)體器件的方法，所述設(shè)備和方法能夠識別設(shè)定的測試溫度，以在室中形成加熱測試環(huán)境或冷卻測試環(huán)境并測試半導(dǎo)體器件。 在下面的描述中將部分地闡述本發(fā)明總體構(gòu)思的其它方面和效用，并且部分地將通過描述而變得明顯，或者可以通過實(shí)現(xiàn)本發(fā)明總體構(gòu)思而習(xí)知。 通過一種測試半導(dǎo)體器件的設(shè)備可以實(shí)現(xiàn)本發(fā)明總體構(gòu)思的特征和/或效用，所述設(shè)備包括室，具有特定的空間，在所述空間中容納多個半導(dǎo)體器件；溫度控制設(shè)備，連接到室，并被構(gòu)造為加熱或冷卻室，以將室內(nèi)的溫度升高或降低至特定水平；控制模塊，將電信號傳輸至溫度控制設(shè)備，以選擇性地加熱或冷卻室的內(nèi)部空間。 室可位于主體或安裝設(shè)備的上表面上。室的下部可暴露于主體的上表面。板可安裝在主體的上表面上，以將電信號從室的內(nèi)部傳輸?shù)酵獠?，插槽可以固定地安裝在板上，以將半導(dǎo)體器件電連接到板。 室的一側(cè)可通過旋轉(zhuǎn)構(gòu)件連接到主體。旋轉(zhuǎn)構(gòu)件可包括第一鉸鏈端，在室的一側(cè)上；第二鉸鏈端，連接到主體；氣缸，連接第一鉸鏈端和第二鉸鏈端，并通過接收來自控制模塊的電信號來縱向擴(kuò)張/壓縮。 可在主體的上端表面和室的下端表面之間形成間隙。 溫度轉(zhuǎn)換模塊可包括熱空氣供應(yīng)器，以將加熱到預(yù)定溫度的熱空氣供應(yīng)到室中；冷空氣供應(yīng)器，以將冷卻到預(yù)定溫度的冷空氣供應(yīng)到室中。 此外，控制模塊可包括選擇器，選擇器被構(gòu)造為選擇性地操作熱空氣供應(yīng)器和冷空氣供應(yīng)器中的任意一個。 可在控制模塊中預(yù)先設(shè)定參考溫度值，當(dāng)測試溫度值等于或高于參考溫度值時(shí)，控制模塊可操作熱空氣供應(yīng)器，當(dāng)測試溫度值低于參考溫度值時(shí)，控制模塊可操作冷空氣供應(yīng)器。 熱空氣供應(yīng)器可包括第一空氣壓縮機(jī)，壓縮外部空氣；殼體，容納來自第一空氣壓縮機(jī)的壓縮空氣；吸入管，將第一空氣壓縮機(jī)連接到殼體；加熱器，位于殼體中，以接收來自控制模塊的電信號來將壓縮空氣加熱至預(yù)定溫度；排氣管，將殼體連接到室的內(nèi)部，以將加熱過的壓縮空氣從殼體供應(yīng)到室中。冷空氣供應(yīng)器可包括第二空氣壓縮機(jī)，壓縮外部空氣；渦流管，從第二空氣壓縮機(jī)接收壓縮空氣，使壓縮空氣以特定的速度旋轉(zhuǎn)以形成具有不同溫度的流動路徑，并將冷卻到預(yù)定溫度的壓縮空氣供應(yīng)到室中。 渦流管可包括渦流旋轉(zhuǎn)室，設(shè)置在室中并具有旋轉(zhuǎn)空間，并被構(gòu)造為使從第二空氣壓縮機(jī)引入的壓縮空氣以特定的轉(zhuǎn)速旋轉(zhuǎn)；壓縮空氣供應(yīng)管，被構(gòu)造為將壓縮空氣從第二空氣壓縮機(jī)引入到渦流旋轉(zhuǎn)室中；熱空氣排放管，被構(gòu)造為將渦流旋轉(zhuǎn)室的旋轉(zhuǎn)空間暴露到室的外部，并引導(dǎo)由旋轉(zhuǎn)空間中的旋轉(zhuǎn)產(chǎn)生的第一渦流流；調(diào)節(jié)閥，安裝在熱空氣排放管的端部，并被構(gòu)造為從控制模塊接收電信號并選擇性地將第一渦流流排放到室的外部；冷空氣排放管，被構(gòu)造為將渦流旋轉(zhuǎn)室的旋轉(zhuǎn)空間暴露到室的內(nèi)部，并引導(dǎo)由旋轉(zhuǎn)空間中的旋轉(zhuǎn)產(chǎn)生的并沿與第一渦流流的方向不同的方向引導(dǎo)的第二渦流流。 另外，還可在渦流管的端部安裝消音器。消音器可包括具有流孔的消音器本體，消音器本體的直徑從排氣管的端部逐漸減小，消音器本體中埋入有吸聲材料。
此外，還可在排氣管的端部安裝具有多個排放孔的擴(kuò)散器。排氣管可連接到擴(kuò)散 器的中心部分，排放孔可相對于所述中心部分徑向設(shè)置，排放孔的直徑可從所述中心部分 逐漸增大。 另外，排氣管可連接到冷空氣排放管，還可在排氣管和冷空氣排放管的連接位置 安裝開啟閥，以隨著控制模塊選擇熱空氣供應(yīng)器或冷空氣供應(yīng)器來選擇性地將排氣管或冷 空氣排放管的氣流路徑暴露到室的內(nèi)部。 本發(fā)明總體構(gòu)思的特征和/或效用還可通過一種測試半導(dǎo)體器件的方法來實(shí)現(xiàn)， 所述方法包括以下步驟將多個半導(dǎo)體器件放置到室的內(nèi)部空間中；通過從控制模塊接收 電信號，并利用連接到室的溫度轉(zhuǎn)換模塊選擇性地加熱或冷卻室的內(nèi)部空間，來執(zhí)行測試。
放置半導(dǎo)體器件的步驟可包括利用連接到室和主體的旋轉(zhuǎn)構(gòu)件，使安裝在主體 的上表面上的室旋轉(zhuǎn)并打開；將半導(dǎo)體器件放置在安裝在主體的上表面上的板上，以將半 導(dǎo)體器件電連接到板；利用旋轉(zhuǎn)構(gòu)件使室位于其初始位置，使得在室的下部和主體的上表 面之間有特定的間隙，以將室的內(nèi)部空間暴露到室的外部。 另外，執(zhí)行測試的步驟可包括利用電連接到控制模塊的選擇器，選擇溫度轉(zhuǎn)換模 塊中的熱空氣供應(yīng)器和冷空氣供應(yīng)器中的任意一個，其中，熱空氣加熱器被構(gòu)造為將加熱 到預(yù)定溫度的熱空氣供應(yīng)到室中，冷空氣供應(yīng)器被構(gòu)造為將冷卻到預(yù)定溫度的冷空氣供應(yīng) 到室中；利用控制模塊和所選擇的熱空氣供應(yīng)器或冷空氣供應(yīng)器來設(shè)定室的內(nèi)部空間中形 成的測試溫度值。 此外，執(zhí)行測試的步驟可包括利用控制模塊設(shè)定參考溫度值；當(dāng)設(shè)定的測試溫 度值等于或高于參考溫度值時(shí)，利用控制模塊操作溫度轉(zhuǎn)換模塊中的被構(gòu)造為將加熱到特 定溫度的熱空氣供應(yīng)到室中的熱空氣供應(yīng)器，當(dāng)設(shè)定的測試溫度值低于參考溫度值時(shí)，利 用控制模塊操作溫度轉(zhuǎn)換模塊中的被構(gòu)造為將冷卻到特定溫度的冷空氣供應(yīng)到室中的冷 空氣供應(yīng)器。 此外，熱空氣供應(yīng)器可包括第一空氣壓縮機(jī)，被構(gòu)造為壓縮外部空氣；殼體，被 構(gòu)造為容納來自第一空氣壓縮機(jī)的壓縮空氣；吸入管，被構(gòu)造為將第一空氣壓縮機(jī)連接到 殼體；加熱器，設(shè)置在殼體中，并被構(gòu)造為接收來自控制模塊的電信號以將壓縮空氣加熱至 預(yù)定溫度；排氣管，被構(gòu)造為將殼體連接到室的內(nèi)部，以將加熱過的壓縮空氣供應(yīng)到室中。 冷空氣供應(yīng)器可包括第二空氣壓縮機(jī)，被構(gòu)造為壓縮外部空氣；渦流管，被構(gòu)造為從第二 空氣壓縮機(jī)接收壓縮空氣，來自第二空氣壓縮機(jī)的壓縮空氣以特定的速度旋轉(zhuǎn)以形成具有 不同溫度的流動路徑，渦流管將冷卻到特定溫度的壓縮空氣供應(yīng)到室中。渦流管可包括渦 流旋轉(zhuǎn)室，設(shè)置在室中并具有旋轉(zhuǎn)空間，并且渦流旋轉(zhuǎn)室被構(gòu)造為使從第二空氣壓縮機(jī)引 入的壓縮空氣以特定的轉(zhuǎn)速旋轉(zhuǎn)；壓縮空氣供應(yīng)管，被構(gòu)造為將壓縮空氣從第二空氣壓縮 機(jī)引入到渦流旋轉(zhuǎn)室中；熱空氣排放管，被構(gòu)造為將渦流旋轉(zhuǎn)室的旋轉(zhuǎn)空間暴露到室的外 部，并引導(dǎo)由旋轉(zhuǎn)空間中的旋轉(zhuǎn)產(chǎn)生的第一渦流流；調(diào)節(jié)閥，安裝在熱空氣排放管的端部， 并被構(gòu)造為從控制模塊接收電信號并選擇性地將第一渦流流排放到室的外部；冷空氣排放 管，被構(gòu)造為將渦流旋轉(zhuǎn)室的旋轉(zhuǎn)空間暴露到室的內(nèi)部，并引導(dǎo)由旋轉(zhuǎn)空間中的旋轉(zhuǎn)產(chǎn)生 的并沿與第一渦流流的方向不同的方向引導(dǎo)的第二渦流流。冷空氣排放管可連接到排氣 管，開啟閥還可安裝到冷空氣排放管和排氣管的連接位置。隨著選擇熱空氣供應(yīng)器或冷空 氣供應(yīng)器，可利用通過接收控制模塊的電信號來操作的開啟閥將排氣管或冷空氣排放管的氣流路徑選擇性地暴露在室中。 本發(fā)明總體構(gòu)思的特征和/或效用還可通過一種半導(dǎo)體器件的測試設(shè)備來實(shí)現(xiàn)，所述半導(dǎo)體器件的測試設(shè)備包括室，容納至少一個半導(dǎo)體器件；溫度控制設(shè)備，將熱空氣和冷空氣分別供應(yīng)到室中。 室可包括上部，包括側(cè)壁和頂；下部，在安裝設(shè)備的上表面上。上部通過可旋轉(zhuǎn)鉸鏈安裝到安裝設(shè)備，可通過能夠使空氣從室的內(nèi)部向室的外部通過的間隙使下部與安裝設(shè)備的上表面分開。 溫度控制設(shè)備可包括第一空氣壓縮機(jī)、第二空氣壓縮機(jī)、熱空氣供應(yīng)器、冷空氣供應(yīng)器和擴(kuò)散器。熱空氣供應(yīng)器可包括殼體，在殼體中具有加熱器，以加熱來自第一空氣壓縮機(jī)的空氣；排氣管，將加熱后的空氣從殼體輸出到室中。冷空氣供應(yīng)器可包括渦流旋轉(zhuǎn)裝置，包括渦流空氣室，渦流空氣室從第二空氣壓縮機(jī)接收壓縮空氣以在渦流旋轉(zhuǎn)裝置中產(chǎn)生多個空氣流，將熱空氣輸出到室外部，并將冷空氣輸出到室中。擴(kuò)散器可分別接收來自熱空氣供應(yīng)器的熱空氣和來自冷空氣供應(yīng)器中的冷空氣中的至少一種，并將熱空氣和冷空氣輸出到室中。 溫度控制設(shè)備可安裝到室的上部。 渦流旋轉(zhuǎn)裝置可包括冷空氣排放管。溫度控制設(shè)備還可包括連接管，連接冷空氣排放管和排氣管；空氣控制閥，分別將來自熱空氣供應(yīng)器和冷空氣供應(yīng)器中的每個的空氣輸出到室中。 半導(dǎo)體器件測試設(shè)備還可包括傳感器，位于室的內(nèi)部，以確定室內(nèi)的溫度；控制器，基于室內(nèi)的溫度和預(yù)定的測試設(shè)定，控制熱空氣供應(yīng)器和冷空氣供應(yīng)器的操作，并通過控制旋轉(zhuǎn)鉸鏈的旋轉(zhuǎn)來控制室的打開和關(guān)閉。


通過下面結(jié)合附圖對示例性實(shí)施例的描述，本發(fā)明總體構(gòu)思的的上述和/或其它方面將變得明顯且更容易理解，其中 下面參照附圖對示例實(shí)施例進(jìn)一步詳細(xì)描述。應(yīng)該理解的是，為了清楚起見，可以夸大附圖的各方面。 圖1是根據(jù)本發(fā)明總體構(gòu)思的示例實(shí)施例的用于測試半導(dǎo)體器件的設(shè)備的剖視圖； 圖2是示出室被旋轉(zhuǎn)并打開的狀態(tài)的剖視 圖3是圖1的渦流管的剖視圖； 圖4是示出圖1的用于測試半導(dǎo)體器件的設(shè)備的構(gòu)造的框圖； 圖5是示出根據(jù)本發(fā)明總體構(gòu)思的示例實(shí)施例的用于測試半導(dǎo)體器件的設(shè)備的另一示例的剖視圖； 圖6是示出圖5的室被旋轉(zhuǎn)并打開的狀態(tài)的剖視圖； 圖7是示出圖5的用于測試半導(dǎo)體器件的設(shè)備的構(gòu)造的框圖； 圖8是示出根據(jù)本發(fā)明總體構(gòu)思的示例實(shí)施例的擴(kuò)散器的俯視圖； 圖9是示出根據(jù)本發(fā)明總體構(gòu)思的示例實(shí)施例的測試半導(dǎo)體器件的方法的流程
圖10是示出根據(jù)本發(fā)明總體構(gòu)思的示例實(shí)施例的測試半導(dǎo)體器件的另一方法的流程圖。
具體實(shí)施例方式
現(xiàn)在將參照附圖更充分地描述各個示例實(shí)施例，在附圖中示出了一些示例實(shí)施例。在附圖中，為了清楚起見，會夸大層和區(qū)域的厚度。相同的標(biāo)號始終表示相同的元件。下面通過參照附圖來描述實(shí)施例，以解釋本發(fā)明的總體構(gòu)思。 這里公開了詳細(xì)的說明性實(shí)施例。然而，這里公開的具體結(jié)構(gòu)和功能性細(xì)節(jié)僅僅表示描述示例實(shí)施例的目的。然而，本發(fā)明總體構(gòu)思可以以許多替換形式來實(shí)現(xiàn)，而不應(yīng)被理解為僅局限于這里闡述的示例實(shí)施例。 因此，雖然示例實(shí)施例可以是各種修改和替換形式，但是在附圖中以示例的方式示出這些修改和替換形式的實(shí)施例，并將在此詳細(xì)描述。然而，應(yīng)該理解的是，不意圖將示例實(shí)施例限制為所公開的具體形式，而是相反，示例實(shí)施例要覆蓋落入本發(fā)明總體構(gòu)思的范圍內(nèi)的全部修改、等同物和替換。 應(yīng)該理解的是，盡管在這里可使用術(shù)語第一、第二等來描述不同的元件，但是這些元件不應(yīng)該受這些術(shù)語的限制。這些術(shù)語僅是用來將一個元件與另一個元件區(qū)分開來。例如，在不脫離示例實(shí)施例的范圍的情況下，第一元件可被命名為第二元件，相似地，第二元件可被命名為第一元件。如在這里使用的，術(shù)語"和/或"包括一個或多個相關(guān)所列項(xiàng)的任意組合和所有組合。 應(yīng)該理解的是，當(dāng)元件被稱作"連接到"或"結(jié)合到"另一元件時(shí)，該元件可以直接連接或直接結(jié)合到另一元件，或者可以存在中間元件。相反，當(dāng)元件被稱作"直接連接到"或"直接結(jié)合到"另一元件時(shí)，不存在中間元件。用于描述元件之間關(guān)系的其它詞語也應(yīng)該以相同的方式來解釋(例如"在...之間"與"直接在...之間"、"相鄰"與"直接相鄰"、"在...上"與"直接在...上"等)。 這里使用的術(shù)語僅為了描述特定實(shí)施例的目的，而不意圖限制示例實(shí)施例。如這里所使用的，除非上下文另外明確指出，否則單數(shù)形式也意圖包括復(fù)數(shù)形式。還應(yīng)理解的是，當(dāng)在這里使用術(shù)語"包含"和/或"包括"時(shí)，說明存在所述特征、整體、步驟、操作、元件和/或組件，但不排除存在或附加一個或多個其它特征、整體、步驟、操作、元件、組件和/或它們的組。為了方便描述，在這里可使用空間相對術(shù)語，如"在...之下"、"在...下方"、"下面的"、"在...上方"、"上面的"等，用來描述在圖中所示的一個元件或特征與其它元件或特征之間的關(guān)系。應(yīng)該理解的是，空間相對術(shù)語意在包含除了在附圖中描述的方位之外的裝置在使用或操作中的不同方位。例如，如果在附圖中的裝置被翻轉(zhuǎn)，則描述為"在"其它元件或特征"下方"或"之下"的元件隨后將被定位為"在"其它元件或特征"上方"。因而，例如，術(shù)語"在...下方"可包括"在...上方"和"在...下方"兩種方位。所述裝置可被另外定位(旋轉(zhuǎn)90度或者在其它方位觀看以其它方位為基準(zhǔn))，并對在這里使用的空間相對描述符做出相應(yīng)的解釋。 在此參照作為理想實(shí)施例(和中間結(jié)構(gòu))的示意圖的剖視圖來描述示例實(shí)施例。這樣，預(yù)計(jì)會出現(xiàn)例如由制造技術(shù)和/或公差引起的圖示的形狀的變化。因此，示例性實(shí)施例不應(yīng)該被理解為局限于在此示出的區(qū)域的特定形狀，而將包括例如由制造導(dǎo)致的形狀偏差。例如，示出為矩形的注入?yún)^(qū)域在其邊緣可具有圓形或彎曲的特征和/或(例如，注入濃 度的)梯度，而不是從注入?yún)^(qū)域到非注入?yún)^(qū)域的突變。同樣，通過注入形成的埋區(qū)會導(dǎo)致在 埋區(qū)和通過其發(fā)生注入的表面之間的區(qū)域中的一些注入。因此，在圖中示出的區(qū)域?qū)嶋H上 是示意性的，它們的形狀并不意圖示出裝置的區(qū)域的實(shí)際形狀，也不意圖限制示例性實(shí)施 例的范圍。 還應(yīng)注意的是，在一些可選實(shí)現(xiàn)中，所標(biāo)注的功能/動作可以能不按附圖中標(biāo)注 的順序出現(xiàn)。例如，根據(jù)所包含的功能/動作，連續(xù)示出的兩幅附圖實(shí)際上可以基本同時(shí)執(zhí) 行，或者有時(shí)可以以相反的順序執(zhí)行。 為了更具體地描述示例實(shí)施例，將參照附圖詳細(xì)描述各方面。然而，本發(fā)明總體構(gòu) 思不限于所描述的示例實(shí)施例。 示例實(shí)施例涉及一種測試半導(dǎo)體器件的設(shè)備以及一種使用該設(shè)備測試半導(dǎo)體器 件的方法。其它示例實(shí)施例涉及一種測試半導(dǎo)體器件的設(shè)備以及一種使用該設(shè)備測試半導(dǎo) 體器件的方法，該設(shè)備和方法能夠?qū)雽?dǎo)體器件暴露到具有設(shè)定的測試溫度的加熱環(huán)境和 冷卻環(huán)境下來選擇性地執(zhí)行測試。 首先，將參照圖1至圖4描述根據(jù)本發(fā)明總體構(gòu)思的測試半導(dǎo)體器件的設(shè)備的構(gòu)造。 測試半導(dǎo)體器件的設(shè)備包括室100，室100具有限定室100內(nèi)的空間的側(cè)壁100a 和頂100b。室100的下部100c可具有朝安裝設(shè)備500或主體開口的開口部分。側(cè)壁100a、 頂100b和安裝設(shè)備500可包圍室內(nèi)的空間。室100的下部可位于安裝設(shè)備500的上方，使 得當(dāng)室100處于關(guān)閉狀態(tài)時(shí)，間隙G位于室100的下部與安裝設(shè)備500之間。在操作過程 中，可將多個半導(dǎo)體器件50在室100中設(shè)置安裝設(shè)備500上。包括熱空氣供應(yīng)器200和冷 空氣供應(yīng)器300的溫度控制設(shè)備可連接到室100，以將室100的內(nèi)部空間加熱或冷卻至特定 溫度值。控制模塊400可通過將電信號傳輸?shù)綔囟瓤刂菩盘杹砜刂茰囟瓤刂圃O(shè)備，以加熱 和冷卻室100的內(nèi)部空間。 板510可安裝在安裝設(shè)備500的上表面上，以將電信號從半導(dǎo)體器件50傳輸?shù)绞?100外部的電路。插槽520可安裝在板510上，以將半導(dǎo)體器件50電連接到板510。
室100可通過旋轉(zhuǎn)構(gòu)件600安裝到安裝設(shè)備500的上表面。旋轉(zhuǎn)構(gòu)件600可包 括第一鉸鏈端610，連接到室100的外側(cè)表面；第二鉸鏈端620，安裝到安裝設(shè)備500 ;氣缸 630，將第一鉸鏈端610連接到第二鉸鏈端620。通過接收來自控制模塊400的電信號，氣缸 630可以縱向擴(kuò)張/壓縮來打開或關(guān)閉室100。 氣缸630可包括氣缸軸631，并且可連接到氣動壓力供應(yīng)器640。氣動壓力供應(yīng)器 640可接收來自控制模塊400的電信號并將氣動壓力供應(yīng)到氣缸630，來擴(kuò)張/壓縮氣缸軸 631。 溫度控制設(shè)備的熱空氣供應(yīng)器200可將加熱到特定溫度的熱空氣提供到室100 中，冷空氣供應(yīng)器300可將冷卻到特定溫度的冷空氣提供到室100中。溫度控制設(shè)備可安 裝到室100的上部。 此外，控制模塊400可包括選擇器410，以選擇熱空氣供應(yīng)器200和冷空氣供應(yīng)器 300中的一個來操作。選擇器410可以是自動選擇熱空氣供應(yīng)器200或冷空氣供應(yīng)器300 來操作的被編程的電子裝置或物理裝置，或者可以是接收來自用戶的輸入的手動選擇器?？刂颇K400可包括電子組件(包括處理器、邏輯電路、存儲器和接口 )，以從選擇器和溫度控制設(shè)備接收信號和/或輸入，并將信號輸出到溫度控制設(shè)備和半導(dǎo)體測試設(shè)備1000的其它組件。 溫度控制設(shè)備的熱空氣供應(yīng)器200可包括第一空氣壓縮機(jī)210，壓縮外部空氣；殼體220，容納來自第一空氣壓縮機(jī)210的壓縮空氣；吸入管230，將第一空氣壓縮機(jī)210連接到殼體220 ;電源251，電連接到控制模塊400。加熱器250可位于殼體220中，從而電連接到電源251并接收來自控制模塊400的電信號，以將壓縮空氣加熱到特定溫度。排氣管240可將殼體220連接到室100的內(nèi)部，以將加熱的壓縮空氣供應(yīng)到室100內(nèi)。
冷空氣供應(yīng)器300可包括第二空氣壓縮機(jī)310，壓縮外部空氣；渦流管320，從第二空氣壓縮機(jī)接收壓縮空氣，以使壓縮空氣以特定速度旋轉(zhuǎn)而形成具有不同溫度的流動路徑，并將冷卻至特定溫度的壓縮空氣供應(yīng)到室100中。 如圖3所示，渦流管320可包括在室100中的渦流旋轉(zhuǎn)室321，并可具有旋轉(zhuǎn)空間321a，以使從第二空氣壓縮機(jī)310引入的壓縮空氣以特定速度旋轉(zhuǎn)。壓縮空氣供應(yīng)管322可將壓縮空氣從第二空氣壓縮機(jī)310引入到渦流旋轉(zhuǎn)室321中。熱空氣排放管323可使渦流旋轉(zhuǎn)室321的旋轉(zhuǎn)空間暴露到室100的外部，并可引導(dǎo)由旋轉(zhuǎn)空間中旋轉(zhuǎn)產(chǎn)生的第一渦流流①。安裝在熱空氣排放管323的一端的調(diào)節(jié)閥324可以接收來自控制模塊400的電信號，以改變第一渦流流①向室100的外部的排放。冷空氣排放管325可將渦流旋轉(zhuǎn)室321的旋轉(zhuǎn)空間暴露到室100的內(nèi)部，并且可以沿著與第一渦流流①的方向不同的方向引導(dǎo)由旋轉(zhuǎn)空間中的旋轉(zhuǎn)產(chǎn)生的第二渦流流②。 另外，消音器330可安裝在冷空氣排放管325的一端。消音器330可包括具有流孔331a的消音器本體331，其中，消音器本體331的面積在消音器330連接到冷空氣排放管325的位置處與冷空氣排放管325的面積相同，并且消音器本體331的直徑從冷空氣排放管325的端部向流孔331a逐漸減小。消音器本體331可由吸聲材料332制成，或者可包含吸聲材料332。 參照熱空氣供應(yīng)器200，如圖8示出的，擴(kuò)散器260可安裝在排氣管240的一端。擴(kuò)散器260具有多個排放孔261，以將加熱的空氣從排氣管240排出。排氣管240可連接到擴(kuò)散器260的中心部分，排放孔261可從中心部分徑向延伸。排放孔261的直徑可從中心部分向外增大。例如，Dn表示最外側(cè)的排放孔261的直徑，Dl表示最中心的排放孔261的直徑，DK... <Dn。由于與在擴(kuò)散器260的外端部的氣壓相比，來自排氣管240的空氣在氣壓更高的擴(kuò)散器260的中心更難通過較窄的排放孔261，所以排放孔261的從中心向外增大的直徑幫助將空氣從排氣管240均勻地排放。 第一空氣壓縮機(jī)210還可連接到濕氣去除設(shè)備(未示出)，以在將外部空氣送入室100內(nèi)之前將外部空氣的濕氣去除至預(yù)定水平。然后，可利用第一空氣壓縮機(jī)210壓縮去除了濕氣的空氣，并可將壓縮空氣提供至殼體220。因此，供應(yīng)到室100中的熱空氣不會有濕氣或者會具有預(yù)定的閾值以下的濕氣水平。 第二空氣壓縮機(jī)310還可連接到濕氣去除設(shè)備(未示出)，以在將外部空氣送入室100中之前將外部空氣的濕氣去除至預(yù)定水平。然后，可利用第二空氣壓縮機(jī)310壓縮去除了濕氣的空氣，并可將壓縮空氣提供至渦流管320。因此，供應(yīng)到室100中的冷空氣不會有濕氣或者會具有預(yù)定的閾值以下的濕氣水平。
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下面，將描述根據(jù)本發(fā)明總體構(gòu)思的測試半導(dǎo)體器件的設(shè)備的操作以及利用該設(shè)備測試半導(dǎo)體器件的方法。 參照圖1至圖4、圖8和圖9，執(zhí)行半導(dǎo)體器件放置步驟S100，以將多個半導(dǎo)體器件50放置到室100的內(nèi)部空間中。 在半導(dǎo)體器件放置步驟S100中，可利用附于室100的側(cè)壁100b并安裝在安裝設(shè)備500上的旋轉(zhuǎn)構(gòu)件600來使室100旋轉(zhuǎn)并打開。 控制模塊400可操作氣動壓力供應(yīng)器640，氣動壓力供應(yīng)器640可將氣動壓力供應(yīng)到氣缸630，以使氣缸630的氣缸軸631壓縮至特定長度，如圖2所示。氣缸630可以是雙向作用氣缸，其中，兩個氣缸軸從氣缸630的兩端擴(kuò)張和壓縮。 隨著氣缸軸631向氣缸630收縮，連接到氣缸軸631的一端的第一鉸鏈端610旋轉(zhuǎn)，并且氣缸630在安裝到安裝設(shè)備500的第二鉸鏈端620的作用下旋轉(zhuǎn)。結(jié)果，連接到具有第一鉸鏈端610的室100可被打開，如圖2所示。 當(dāng)室100打開時(shí)，可將半導(dǎo)體器件50放置在安裝在安裝設(shè)備500的上表面上的板510上。半導(dǎo)體器件可電連接到板510。 板510可電連接到控制模塊400，可在板510上設(shè)置多個插槽520。插槽520可容納半導(dǎo)體器件50，以將半導(dǎo)體器件50電連接到例如控制模塊400的外部裝置。
在將半導(dǎo)體器件50插入到插槽520中之后，室100通過旋轉(zhuǎn)構(gòu)件600恢復(fù)到其初始位置。通過按照上述操作的相反順序來操作氣缸軸631，將室100恢復(fù)到其初始位置。
具體地說，控制模塊400操作氣動壓力供應(yīng)器640，氣動壓力供應(yīng)器640將氣動壓力供應(yīng)到氣缸630，以使氣缸630的氣缸軸631擴(kuò)張至特定長度。因此，室100向下旋轉(zhuǎn)而恢復(fù)到如圖1所示的初始位置。 由于室100的下部與安裝設(shè)備500的上表面分開間隙G，所以室100的內(nèi)部空間可通過間隙G暴露到室100的外部。 接著，執(zhí)行測試步驟S200，以選擇是利用被構(gòu)造為從控制模塊400接收電信號并連接到室100的溫度控制設(shè)備加熱室100的內(nèi)部空間還是冷卻室100的內(nèi)部空間。
具體地說，電連接到控制模塊400的選擇器410選擇溫度控制設(shè)備的熱空氣供應(yīng)器200，來將加熱到特定溫度的熱空氣供應(yīng)到室100中，或選擇溫度控制設(shè)備的冷空氣加熱器300，來將冷卻到特定溫度的冷空氣供應(yīng)到室100中(S200)。 當(dāng)選擇器410選擇熱空氣供應(yīng)器200時(shí)(S310)，控制模塊400設(shè)定室100的內(nèi)部
空間中的測試溫度值(S311)。 接著，控制模塊400將電信號傳輸至熱空氣供應(yīng)器200，熱空氣供應(yīng)器200將熱空氣供應(yīng)到室100的內(nèi)部空間中(S312)。
將詳細(xì)描述上述步驟。 第一空氣壓縮機(jī)210通過吸入管230將壓縮空氣供應(yīng)到殼體220中。供應(yīng)到殼體220中的壓縮空氣被從電源251接收功率的加熱器250加熱到特定溫度。另外，加熱的壓縮空氣通過排氣管240供應(yīng)到室100中。 壓縮空氣通過在排氣管240的端部的擴(kuò)散器260供應(yīng)到室100的內(nèi)部空間中。擴(kuò)散器260具有多個排放孔261。如上所述，排放孔261的直徑從擴(kuò)散器260的中心部分向擴(kuò)散器260的外周逐漸增大。根據(jù)上述構(gòu)造，壓縮空氣可以通過多個排放孔261以均勻的壓力流入室100的內(nèi)部空間中。 引入室100中的熱空氣可通過形成在室100的下部100c和安裝設(shè)備500的上表 面之間的間隙G向室的外部流動。 另外，安裝在室100中的溫度傳感器420檢測室100的內(nèi)部空間的溫度值，并將檢 測到的溫度值傳輸?shù)娇刂颇K400。控制模塊400確定檢測室100的內(nèi)部空間的溫度值是 否等于預(yù)定的測試溫度值(S313)。 當(dāng)檢測到的室100的內(nèi)部空間的溫度值等于預(yù)定的測試溫度時(shí)，控制模塊400將 熱空氣供應(yīng)器200的操作保持預(yù)定的時(shí)間段，并通過安裝在安裝設(shè)備500上的板510從半 導(dǎo)體器件50接收電信號，從而執(zhí)行半導(dǎo)體器件測試(S400)。所述預(yù)定的時(shí)間段為在控制模 塊400中設(shè)定的半導(dǎo)體器件測試時(shí)間。 此外，控制模塊400可基于從半導(dǎo)體器件50傳輸?shù)碾娦盘柾ㄟ^顯示器430輸出電 測試結(jié)果(S500)。測試結(jié)果可包括半導(dǎo)體器件50是否在具有預(yù)定的測試溫度值的氣氛下 正常操作預(yù)定的時(shí)間段的數(shù)據(jù)。 在完成用熱空氣供應(yīng)器200的半導(dǎo)體器件測試之后，控制模塊400可停止熱空氣 供應(yīng)器200的操作，并利用旋轉(zhuǎn)構(gòu)件600打開室IOO，如圖2所示，以設(shè)定能將測試后的半導(dǎo) 體器件50從插槽520移除的狀態(tài)，從而完成測試步驟。 同時(shí)，當(dāng)根據(jù)本發(fā)明總體構(gòu)思的選擇器410選擇冷空氣供應(yīng)器300時(shí)(S320)，控制 模塊400設(shè)定室100的內(nèi)部空間中的冷測試溫度值(S321)。 然后，控制模塊400將電信號傳輸至冷空氣供應(yīng)器300，冷空氣供應(yīng)器300將冷空 氣供應(yīng)到室100的內(nèi)部空間中(S322)。 具體地說，控制模塊400將電信號傳輸?shù)降诙諝鈮嚎s機(jī)310，第二空氣壓縮機(jī) 310產(chǎn)生壓縮空氣，壓縮空氣通過壓縮空氣供應(yīng)管322供應(yīng)到渦流旋轉(zhuǎn)室321中。
渦流管320的熱空氣排放管323與室100的外部連通，冷空氣排放管325與室100 的內(nèi)部空間連通。根據(jù)半導(dǎo)體器件測試設(shè)備1000的期望特性，熱空氣排放管323和冷空氣 排放管325的方位可以改變。 當(dāng)壓縮空氣通過第二空氣壓縮機(jī)310供應(yīng)到渦流旋轉(zhuǎn)室321時(shí)，壓縮空氣可以以 大約1百萬rpm的速度旋轉(zhuǎn)。這可被稱作一次渦流流①或一次旋轉(zhuǎn)空氣。
—次旋轉(zhuǎn)空氣①通過熱空氣排放管323排放，剩余的空氣被調(diào)節(jié)閥324返回，以形 成二次渦流流②或二次旋轉(zhuǎn)空氣，然后通過冷空氣排放管325排出。 這時(shí)，二次旋轉(zhuǎn)空氣②流經(jīng)壓力比一次旋轉(zhuǎn)空氣①流經(jīng)區(qū)域的壓力低的區(qū)域，從 而失去熱量然后流經(jīng)冷空氣排放管325，然后通過安裝在冷空氣排放管325的端部的消音 器330排放到室100的內(nèi)部空間中。 在一次旋轉(zhuǎn)空氣①和二次旋轉(zhuǎn)空氣②的流動中，由于二次旋轉(zhuǎn)空氣②的旋轉(zhuǎn)時(shí)間 與一次旋轉(zhuǎn)空氣①的旋轉(zhuǎn)時(shí)間相等，所以實(shí)際移動速度比一次旋轉(zhuǎn)空氣①的移動速度低。
移動速度的差異意味著動能減小，并且減小的動能被轉(zhuǎn)化為熱，從而升高一次旋 轉(zhuǎn)空氣①的溫度并降低二次旋轉(zhuǎn)空氣②的溫度。 因此，與壓縮空氣相比，最終通過熱空氣排放管323排出的一次旋轉(zhuǎn)空氣①被作 為加熱過的熱空氣排出，并且與壓縮空氣相比，通過冷空氣排放管325排出的二次旋轉(zhuǎn)空 氣②被作為冷卻過的冷空氣排出。
因此，可通過渦流管320將冷空氣供應(yīng)到室100的內(nèi)部空間中。 引入到室100的內(nèi)部空間中的冷空氣可通過形成在室100的下部100c和安裝設(shè)
備500的上表面之間的間隙G向室100的外部流動。 如上所述，安裝在室100中的溫度傳感器420檢測室100的內(nèi)部空間的溫度值，并 將檢測到的室100的內(nèi)部空間的溫度值傳輸?shù)娇刂颇K400。控制模塊400確定檢測到的 室100的內(nèi)部空間的溫度值是否等于預(yù)定的測試溫度值(S323)。 當(dāng)檢測到的室100的內(nèi)部空間的溫度值等于預(yù)定的測試溫度時(shí)，控制模塊400將 冷空氣供應(yīng)器300的操作保持預(yù)定的時(shí)間段?？刂颇K400通過安裝在安裝設(shè)備500上的 板510從半導(dǎo)體器件50接收電信號(S400)。所述預(yù)定的時(shí)間段為在控制模塊400中設(shè)定 的半導(dǎo)體器件測試時(shí)間。 控制模塊400可基于從半導(dǎo)體器件50傳輸?shù)碾娦盘柾ㄟ^顯示器430輸出電測試 結(jié)果(S500)。測試結(jié)果可包括關(guān)于半導(dǎo)體器件50是否在具有測試溫度值的氣氛下正常操 作預(yù)定的時(shí)間段的數(shù)據(jù)。 在完成用冷空氣供應(yīng)器300的半導(dǎo)體器件測試之后，控制模塊400可停止冷空氣 供應(yīng)器300的操作，并利用旋轉(zhuǎn)構(gòu)件600打開室100，如圖2所示，以從室100中的插槽520 移除半導(dǎo)體器件50，從而完成測試。 上面，已經(jīng)描述了利用電連接到控制模塊400的選擇器410選擇性地操作熱空氣 供應(yīng)器200和冷空氣供應(yīng)器300中的任意一個的方法。 參照圖IO，在放置半導(dǎo)體器件之后(S100)，在根據(jù)本發(fā)明總體構(gòu)思的控制模塊 400中存在參考溫度值。當(dāng)設(shè)定的測試溫度值高于參考溫度值時(shí)，控制模塊400可操作熱空 氣供應(yīng)器200，當(dāng)設(shè)定的測試溫度值低于參考溫度值時(shí)，控制器可操作冷空氣供應(yīng)器300。
測試步驟可包括利用控制模塊400設(shè)定參考溫度值(S600);對控制模塊400設(shè) 定加熱測試溫度值或冷卻測試溫度值(S700);利用控制模塊400確定參考溫度值是否低 于測試溫度值(S710);當(dāng)設(shè)定的測試溫度值等于或高于參考溫度值時(shí)，利用控制模塊400 操作溫度控制設(shè)備中的熱空氣供應(yīng)器200，以將加熱到特定溫度的熱空氣供應(yīng)到室100中 (S810);當(dāng)測試溫度值低于參考溫度值時(shí)，操作溫度控制設(shè)備中的冷空氣供應(yīng)器300，以將 冷卻到特定溫度的冷空氣供應(yīng)到室100中(S820)。 由于熱空氣供應(yīng)器200和冷空氣供應(yīng)器300的操作(S810至S910與S820至S910) 與上面的描述相同，所以將不重復(fù)對它們的詳細(xì)描述。 同時(shí)，參照圖5至圖7，冷空氣供應(yīng)器300的冷空氣排放管325可與熱空氣供應(yīng)器 200的排氣管240連通。 即，安裝在冷空氣排放管325的端部的消音器330可通過連接管700與排氣管240 連通。 隨著控制模塊400選擇熱空氣供應(yīng)器200或冷空氣供應(yīng)器300，將連接管700連接 到排氣管240的開啟閥710可將排氣管240或冷空氣排放管325的空氣流動路徑暴露到室 100的內(nèi)部。 開啟閥710可以是被構(gòu)造為從外部接收電信號來改變流動路徑的方向的三通閥。 例如，可通過控制模塊400來控制開啟閥710。 如上所述，如果選擇器410選擇熱空氣供應(yīng)器200，或者當(dāng)控制模塊400中設(shè)定的測試溫度值高于預(yù)定參考溫度值時(shí)操作熱空氣供應(yīng)器200，則控制模塊400可將電信號傳 輸?shù)介_啟閥710以將熱空氣供應(yīng)到室100中。 具體地說，開啟閥710關(guān)閉冷空氣排放管325的流動路徑并打開排氣管240的流 動路徑，以將流經(jīng)排氣管240的熱空氣通過擴(kuò)散器260供應(yīng)到室100的內(nèi)部空間中。
另外，如果選擇器410選擇冷空氣供應(yīng)器300，或者當(dāng)控制模塊400中設(shè)定的測試 溫度值低于預(yù)定參考溫度值時(shí)操作冷空氣供應(yīng)器300，則控制模塊400可將電信號傳輸?shù)?開啟閥710以將冷空氣供應(yīng)到室100中。 g卩，開啟閥710關(guān)閉排氣管240的流動路徑并打開冷空氣排放管325的流動路徑， 以將流經(jīng)冷空氣排放管325的冷空氣通過擴(kuò)散器260供應(yīng)到室100的內(nèi)部空間中。
因此，參照圖5和圖6，冷空氣和熱空氣都可以通過擴(kuò)散器260的具有不同直徑的 排放孔261均勻地供應(yīng)到室100的內(nèi)部空間中。 結(jié)果，可通過單個擴(kuò)散器260將熱空氣或冷空氣供應(yīng)到室100中。 如上可見，能夠在單個室中選擇性地執(zhí)行半導(dǎo)體器件的加熱環(huán)境測試或冷卻環(huán)境
領(lǐng)lj試。 另外，能夠識別設(shè)定的測試溫度值以在室中形成加熱測試環(huán)境或冷卻測試環(huán)境， 從而測試半導(dǎo)體器件。 上面是對示例實(shí)施例的說明，而不應(yīng)理解為對示例實(shí)施例的限制。雖然描述了一 些示例實(shí)施例，但是本領(lǐng)域技術(shù)人員容易理解，在本質(zhì)上不脫離該新型教導(dǎo)和優(yōu)點(diǎn)的情況 下，能夠?qū)κ纠龑?shí)施例進(jìn)行許多修改。因此，所有這些修改均意圖包括在如權(quán)利要求限定的 本發(fā)明總體構(gòu)思的范圍內(nèi)。在權(quán)利要求書中，功能性限定意圖覆蓋這里描述的執(zhí)行所述功 能的結(jié)構(gòu)，并且不僅僅覆蓋結(jié)構(gòu)等同物，還覆蓋等同結(jié)構(gòu)。因此，應(yīng)該理解的是，上面是對各 種示例實(shí)施例的說明，而不應(yīng)理解為局限于公開的特定實(shí)施例，并且對公開的實(shí)施例的修 改以及其它實(shí)施例均意圖包括在權(quán)利要求書的范圍內(nèi)。 雖然已經(jīng)示出并描述了本發(fā)明總體構(gòu)思的一些實(shí)施例，但是本領(lǐng)域技術(shù)人員應(yīng)該 理解，在不脫離本發(fā)明總體構(gòu)思的精神和范圍的情況下，可以對這些實(shí)施例進(jìn)行改變，本發(fā)
明總體構(gòu)思的范圍在權(quán)利要求及其等同物中限定。
1權(quán)利要求
一種測試半導(dǎo)體器件的設(shè)備，所述測試半導(dǎo)體器件的設(shè)備包括室，在室中容納多個半導(dǎo)體器件；溫度控制設(shè)備，連接到室，以將室加熱和冷卻至預(yù)定的溫度水平；控制模塊，將電信號傳輸至溫度控制設(shè)備，以選擇性地加熱或冷卻室的內(nèi)部空間。
2. 如權(quán)利要求1所述的測試半導(dǎo)體器件的設(shè)備，其中，室安裝在安裝設(shè)備的上表面上， 室的下部開口并與安裝設(shè)備的上表面面對，所述測試半導(dǎo)體器件的設(shè)備還包括板，安裝到安裝設(shè)備的上表面，以接收來自室內(nèi)部的半導(dǎo)體器件的電信號并將電信號 傳輸?shù)绞业耐獠?；插槽，連接到板，以將半導(dǎo)體器件電連接到板。
3. 如權(quán)利要求2所述的測試半導(dǎo)體器件的設(shè)備，其中，所述測試半導(dǎo)體器件的設(shè)備還 包括旋轉(zhuǎn)構(gòu)件，旋轉(zhuǎn)構(gòu)件連接到室的一側(cè)并安裝到安裝設(shè)備，其中，旋轉(zhuǎn)構(gòu)件包括第一鉸鏈端，連接到室的所述側(cè)； 第二鉸鏈端，安裝到安裝設(shè)備；氣缸，連接第一鉸鏈端和第二鉸鏈端，并通過接收來自控制模塊的電信號來縱向擴(kuò)張/ 壓縮。
4. 如權(quán)利要求3所述的測試半導(dǎo)體器件的設(shè)備，其中，室的下部通過間隙與安裝設(shè)備 的上表面分開。
5. 如權(quán)利要求1所述的測試半導(dǎo)體器件的設(shè)備，其中，溫度控制設(shè)備包括 熱空氣供應(yīng)器，將加熱到特定溫度的熱空氣供應(yīng)到室中； 冷空氣供應(yīng)器，將冷卻到特定溫度的冷空氣供應(yīng)到室中。
6. 如權(quán)利要求5所述的測試半導(dǎo)體器件的設(shè)備，其中，控制模塊包括選擇器，以選擇性 地操作熱空氣供應(yīng)器和冷控制供應(yīng)器中的每一個。
7. 如權(quán)利要求5所述的測試半導(dǎo)體器件的設(shè)備，其中，在控制模塊中預(yù)先設(shè)定參考溫 度值，當(dāng)測試溫度值等于或高于參考溫度值時(shí)，控制模塊操作熱空氣供應(yīng)器，當(dāng)測試溫度值 低于參考溫度值時(shí)，控制模塊操作冷空氣供應(yīng)器。
8. 如權(quán)利要求5所述的測試半導(dǎo)體器件的設(shè)備，其中，熱空氣供應(yīng)器包括第一空氣壓縮機(jī)，壓縮外部空氣；殼體，容納來自第一空氣壓縮機(jī) 的壓縮空氣；吸入管，將第一空氣壓縮機(jī)連接到殼體；加熱器，位于殼體中，并被構(gòu)造為接 收來自控制模塊的電信號以將壓縮空氣加熱至預(yù)定溫度；排氣管，將殼體連接到室的內(nèi)部， 以將加熱過的壓縮空氣從殼體供應(yīng)到室中，冷空氣供應(yīng)器包括第二空氣壓縮機(jī)，壓縮外部空氣；渦流管，從第二空氣壓縮機(jī)接收 壓縮空氣，以使壓縮空氣以特定的速度旋轉(zhuǎn)而形成具有不同溫度的流動路徑，并將冷卻到 預(yù)定溫度的壓縮空氣供應(yīng)到室中。
9. 如權(quán)利要求8所述的測試半導(dǎo)體器件的設(shè)備，其中， 渦流管包括渦流旋轉(zhuǎn)室，在渦流旋轉(zhuǎn)室中具有旋轉(zhuǎn)空間，以使從第二空氣壓縮機(jī)引入的壓縮空氣 以特定的轉(zhuǎn)速旋轉(zhuǎn)；壓縮空氣供應(yīng)管，將壓縮空氣從第二空氣壓縮機(jī)引入到渦流旋轉(zhuǎn)室中；熱空氣排放管，將渦流旋轉(zhuǎn)室的旋轉(zhuǎn)空間暴露到室的外部，并引導(dǎo)由旋轉(zhuǎn)空間中的旋 轉(zhuǎn)產(chǎn)生的第一渦流流；調(diào)節(jié)閥，位于熱空氣排放管的一端，并被構(gòu)造為從控制模塊接收電信號來改變第一渦 流流向室的外部的排放；冷空氣排放管，將渦流旋轉(zhuǎn)室的旋轉(zhuǎn)空間暴露到室的內(nèi)部，并引導(dǎo)由旋轉(zhuǎn)空間中的旋 轉(zhuǎn)產(chǎn)生的并沿與第一渦流流的方向不同的方向引導(dǎo)的第二渦流流。
10. 如權(quán)利要求9所述的測試半導(dǎo)體器件的設(shè)備，其中， 渦流管還包括消音器，位于排氣管的端部，其中，消音器包括具有流孔的消音器本體，消音器本體的直徑從排氣管的端部向流孔 逐漸減小，消音器包含吸聲材料。
11. 如權(quán)利要求8所述的測試半導(dǎo)體器件的設(shè)備，所述測試半導(dǎo)體器件的設(shè)備還包括 擴(kuò)散器，具有多個排放孔，安裝在排氣管的在室內(nèi)部的一端，其中，排氣管連接到擴(kuò)散器的中心部分， 排放孔從所述中心部分徑向延伸，排放孔的直徑從擴(kuò)散器的中心部分向外邊緣逐漸增大。
12. 如權(quán)利要求8所述的測試半導(dǎo)體器件的設(shè)備，所述測試半導(dǎo)體器件的設(shè)備還包括 連接管，連接到排氣管和冷空氣排放管；開啟閥，連接在連接管和排氣管之間，以將來自排氣管的熱空氣和來自冷空氣排放管 的冷空氣中的一種排到室中。
13. —種測試半導(dǎo)體器件的方法，所述方法包括以下步驟 將多個半導(dǎo)體器件放置到室內(nèi)；通過從控制模塊接收電信號，利用連接到室的溫度控制設(shè)備分別加熱和冷卻室的內(nèi)部 空間，來執(zhí)行測試。
14. 如權(quán)利要求13所述的方法，其中，放置多個半導(dǎo)體器件的步驟包括 利用連接到室和安裝設(shè)備的上表面上的旋轉(zhuǎn)構(gòu)件，使安裝在安裝設(shè)備的上表面上的室旋轉(zhuǎn)并打開；將半導(dǎo)體器件放置在安裝在安裝設(shè)備的上表面上的板上，以將半導(dǎo)體器件電連接到板；利用旋轉(zhuǎn)構(gòu)件旋轉(zhuǎn)并關(guān)閉室，使得在室的下部和安裝設(shè)備的上表面之間存在特定的間 隙，以將室內(nèi)部的空氣暴露到室外部的空氣。
15. 如權(quán)利要求13所述的方法，其中，執(zhí)行測試的步驟包括利用電連接到控制模塊的選擇器，選擇溫度控制設(shè)備中的熱空氣供應(yīng)器和冷空氣供應(yīng) 器中的一個，其中，熱空氣供應(yīng)器用來將加熱到預(yù)定溫度的熱空氣供應(yīng)到室中，冷空氣供應(yīng) 器用來將冷卻到預(yù)定溫度的冷空氣供應(yīng)到室中；利用控制模塊和所選擇的熱空氣供應(yīng)器或冷空氣供應(yīng)器來設(shè)定室的內(nèi)部空間的測試 溫度值。
16. 如權(quán)利要求13所述的方法，其中，執(zhí)行測試的步驟包括 利用控制模塊設(shè)定參考溫度值；當(dāng)設(shè)定的測試溫度值等于或高于參考溫度值時(shí)，利用控制模塊操作溫度控制設(shè)備中的 熱空氣供應(yīng)器以將加熱到特定溫度的熱空氣供應(yīng)到室中，當(dāng)設(shè)定的測試溫度值低于參考溫 度值時(shí)，利用控制模塊操作溫度控制設(shè)備中的冷空氣供應(yīng)器以將冷卻到特定溫度的冷空氣 供應(yīng)到室中。
17. 如權(quán)利要求15所述的方法，其中，熱空氣供應(yīng)器包括第一空氣壓縮機(jī)，壓縮外部空氣；殼體，容納來自第一空氣壓縮機(jī) 的壓縮空氣；吸入管，將第一空氣壓縮機(jī)連接到殼體；加熱器，位于殼體中，并被構(gòu)造為接 收來自控制模塊的電信號以將壓縮空氣加熱至預(yù)定溫度；排氣管，將殼體連接到室的內(nèi)部， 以將加熱過的壓縮空氣供應(yīng)到室中，冷空氣供應(yīng)器包括第二空氣壓縮機(jī)，壓縮外部空氣；渦流管，從第二空氣壓縮機(jī)接收 壓縮空氣，來自第二空氣壓縮機(jī)的壓縮空氣以特定的速度旋轉(zhuǎn)以形成具有不同溫度的流動 路徑，渦流管將冷卻到預(yù)定溫度的壓縮空氣供應(yīng)到室中，渦流管包括渦流旋轉(zhuǎn)室，渦流旋轉(zhuǎn)室在室中并具有旋轉(zhuǎn)空間，并被構(gòu)造成使從第二空 氣壓縮機(jī)引入的壓縮空氣以特定的轉(zhuǎn)速旋轉(zhuǎn)；壓縮空氣供應(yīng)管，將壓縮空氣從第二空氣壓 縮機(jī)引入到渦流旋轉(zhuǎn)室中；熱空氣排放管，將渦流旋轉(zhuǎn)室的旋轉(zhuǎn)空間暴露到室的外部，并引 導(dǎo)由旋轉(zhuǎn)空間中的旋轉(zhuǎn)產(chǎn)生的第一渦流流；調(diào)節(jié)閥，位于熱空氣排放管的端部，并被構(gòu)造為 從控制模塊接收電信號來改變第一渦流流向室的外部的排放；冷空氣排放管，將渦流旋轉(zhuǎn) 室的旋轉(zhuǎn)空間暴露到室的內(nèi)部，并引導(dǎo)由旋轉(zhuǎn)空間中的旋轉(zhuǎn)產(chǎn)生的并沿與第一渦流流的不 同方向引導(dǎo)的第二渦流流，其中，冷空氣排放管連接到排氣管，開啟閥位于冷空氣排放管連接到排氣管的位置，開啟閥基于來自控制模塊的電信號將來自排氣管的熱空氣和來自冷空氣排放管的冷 空氣中的一種輸出到室中。
18. —種半導(dǎo)體器件測試設(shè)備，所述半導(dǎo)體器件測試設(shè)備包括 室，容納至少一個半導(dǎo)體器件；溫度控制設(shè)備，包括將熱空氣供應(yīng)到室中的熱空氣供應(yīng)器和將冷空氣供應(yīng)到室中的冷 空氣供應(yīng)器，其中，熱空氣供應(yīng)器僅將熱空氣散發(fā)到室中， 冷空氣供應(yīng)器將冷空氣散發(fā)到室中并將熱空氣遠(yuǎn)離室散發(fā)。
19. 如權(quán)利要求18所述的半導(dǎo)體器件測試設(shè)備，其中，室包括 上部，包括側(cè)壁和頂； 下部，位于安裝設(shè)備的上表面上，其中，上部通過可旋轉(zhuǎn)鉸鏈安裝到安裝設(shè)備上，下部與安裝設(shè)備的上表面分開有能夠使空氣從室的內(nèi)部向室的外部通過的間隙。
20. 如權(quán)利要求19所述的半導(dǎo)體器件測試設(shè)備，其中，溫度控制設(shè)備包括第一空氣壓縮機(jī)和第二空氣壓縮機(jī)；擴(kuò)散器，分別接收來自熱空氣供應(yīng)器的熱空氣和來自冷空氣供應(yīng) 器的冷空氣中的至少一種，以將熱空氣和冷空氣輸出到室中，其中，熱空氣供應(yīng)器包括殼體，在殼體中具有加熱器，以加熱來自第一空氣壓縮機(jī)的 空氣；排氣管，將加熱后的空氣從殼體輸出到室中，冷空氣供應(yīng)器包括渦流旋轉(zhuǎn)裝置，包括渦流空氣室，用來從第二空氣壓縮機(jī)接收壓 縮空氣，在渦流旋轉(zhuǎn)裝置中產(chǎn)生多個空氣流，以將熱空氣輸出到室外部，將冷空氣輸出到室 中。
21. 如權(quán)利要求20所述的半導(dǎo)體器件測試設(shè)備，其中，溫度控制設(shè)備安裝到室的上部。
22. 如權(quán)利要求20所述的半導(dǎo)體器件測試設(shè)備，其中，渦流旋轉(zhuǎn)裝置包括冷空氣排放管，溫度控制設(shè)備還包括 連接管，連接冷空氣排放管和排氣管；空氣控制閥，分別將來自熱空氣供應(yīng)器和冷空氣供應(yīng)器中的每個的空氣輸出到室中。
23. 如權(quán)利要求20所述的半導(dǎo)體器件測試設(shè)備，其中，半導(dǎo)體器件測試設(shè)備還包括 傳感器，位于室的內(nèi)部，用來確定室中的溫度；控制器，基于室內(nèi)的溫度和預(yù)定的測試設(shè)定來控制熱空氣供應(yīng)器和冷空氣供應(yīng)器的操 作，并通過控制可旋轉(zhuǎn)鉸鏈的旋轉(zhuǎn)來控制室的打開和關(guān)閉。
全文摘要
本發(fā)明公開了一種測試半導(dǎo)體器件的設(shè)備及使用其測試半導(dǎo)體器件的方法。所述測試半導(dǎo)體器件的設(shè)備包括室，限定容納多個半導(dǎo)體器件的內(nèi)部空間；溫度控制設(shè)備，連接到室并被構(gòu)造為將室加熱或冷卻至預(yù)定的水平；控制模塊，將電信號傳輸?shù)綔囟瓤刂圃O(shè)備來加熱或冷卻室的內(nèi)部空間。結(jié)果，能夠使半導(dǎo)體器件暴露到具有設(shè)定的測試溫度值的加熱環(huán)境和冷卻環(huán)境下，以選擇性地執(zhí)行測試。
文檔編號G01R1/00GK101738574SQ20091022272
公開日2010年6月16日 申請日期2009年11月17日 優(yōu)先權(quán)日2008年11月17日
發(fā)明者尹祥漢, 李培基, 金民雨, 閔丙昽, 黃德鐘 申請人:三星電子株式會社;賽米萊恩株式會社