專利名稱：一種用于檢測(cè)電試樣的電檢測(cè)裝置及電檢測(cè)方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種用于檢測(cè)電試樣的電檢測(cè)裝置，包括一個(gè)線路基板，該線路基 板通過觸點(diǎn)間距轉(zhuǎn)換器電連接到一個(gè)檢測(cè)頭，其中，該線路基板機(jī)械連接至一個(gè)第 一加強(qiáng)裝置并因此被加強(qiáng)。
背景技術(shù)：
前述類型的電檢測(cè)裝置是已知的，被用于電接觸一個(gè)電試樣，例如晶片。這包 括物理接觸，通過物理接觸，連接到檢測(cè)試樣電性能的檢測(cè)裝置的電路被接通。通 過這種方式，可以將可靠性好的試樣與可靠性差的試樣區(qū)分開來。已知的電檢測(cè)裝 置包括一個(gè)線路基板，該線路基板通過一個(gè)觸點(diǎn)間距轉(zhuǎn)換器與 一個(gè)檢測(cè)頭電連接。 檢測(cè)頭的觸針與所述觸點(diǎn)間距轉(zhuǎn)換器電連接，用于所述試樣的觸點(diǎn)接通。所述線路 基板連接至前述檢測(cè)裝置。因此，由于不斷增加的集成密度，試樣的觸點(diǎn)間距非常 小，為了增加可被檢測(cè)的布線密度，在接觸頭和線路基板間布置了觸點(diǎn)間距轉(zhuǎn)換器， 該轉(zhuǎn)換器將檢測(cè)頭的觸針的小觸點(diǎn)間距轉(zhuǎn)變?yōu)檩^大的觸點(diǎn)間距，其中，較大的觸點(diǎn) 間距與線路基板上相同大小的觸點(diǎn)間距相互關(guān)聯(lián)，且線路基板優(yōu)選地實(shí)現(xiàn)觸點(diǎn)間距 的進(jìn)一步放大，最后，觸點(diǎn)間距較大的線路基板觸頭通過適合的導(dǎo)線或類似電纜與 檢測(cè)裝置連接。由于所述線路基板和接觸頭之間設(shè)有至少一個(gè)電連接所需的組件， 因此，相關(guān)部件并不總是能夠相互對(duì)準(zhǔn)以實(shí)現(xiàn)觸點(diǎn)接通，從而使這種電檢測(cè)裝置的 可靠性受到質(zhì)疑。因此，值得注意的是，接觸頭與觸點(diǎn)間距轉(zhuǎn)換器僅僅是物理電接 觸，而觸點(diǎn)間距轉(zhuǎn)換器與線路基板也僅僅是物理電接觸。

發(fā)明內(nèi)容
因此，本發(fā)明的目的在于，提供一種用于檢測(cè)電試樣的電檢測(cè)裝置，該檢測(cè)裝 置具有高度的接觸可靠性和功能可靠性，從而能夠準(zhǔn)確地檢測(cè)電試樣。本發(fā)明的目的通過如下方式實(shí)現(xiàn)至少一個(gè)穿過所述線路基板的間隔裝置與所 述觸點(diǎn)間距轉(zhuǎn)換器機(jī)械連接，并通過傾斜調(diào)節(jié)裝置固定于所述第一加強(qiáng)裝置上。當(dāng) 給予一個(gè)高的檢測(cè)接觸密度時(shí)，作用于所述線路基板上的總的物理接觸力可以非常 大。為避免由于上述接觸力導(dǎo)致線路基板的機(jī)械變形，第一加強(qiáng)裝置被裝在所述線 路基板上。為了實(shí)現(xiàn)接觸頭和線路基板之間的無故障物理電連接——兩者之間布置 觸點(diǎn)間距轉(zhuǎn)換器以及其它可能的電連接裝置(連接器)——本發(fā)明規(guī)定，觸點(diǎn)間距 轉(zhuǎn)換器(空間轉(zhuǎn)換器)相對(duì)于線路基板的傾斜度可調(diào)。為此，設(shè)置了傾斜調(diào)節(jié)裝置， 該調(diào)節(jié)裝置通過至少一個(gè)穿過所述線路基板并與所述觸點(diǎn)間距轉(zhuǎn)換器機(jī)械連接的 間隔裝置調(diào)節(jié)傾斜度。特別是設(shè)置了一個(gè)傾斜元件，該傾斜元件通過所述至少一個(gè) 穿過線路基板的間隔裝置與所述觸點(diǎn)間距轉(zhuǎn)換器機(jī)械連接，并通過所述傾斜調(diào)節(jié)裝 置固定于所述第一加強(qiáng)裝置上，并且傾斜度為可調(diào)的。因此，所述加強(qiáng)裝置和傾斜 元件組成了一個(gè)由所述間隔裝置操縱的剛性結(jié)構(gòu)，所述線路基板設(shè)置于這兩個(gè)部分 之間。然而，由于所述線路基板被所述至少一個(gè)間隔裝置穿過，傾斜板的傾斜轉(zhuǎn)動(dòng) 通過所述間隔裝置，使觸點(diǎn)間距轉(zhuǎn)換器產(chǎn)生相應(yīng)的運(yùn)動(dòng)，但線路基板的位置不會(huì)因 此而改變。所述至少一個(gè)間隔裝置優(yōu)選無物理接觸地穿過所述電路板上的至少一個(gè) 孔。為能使傾斜元件能夠相對(duì)于所述線路基板傾斜，傾斜元件通過傾斜調(diào)節(jié)裝置被 固定于第一加強(qiáng)裝置上，而所述第一加強(qiáng)裝置與所述線路基板連接且不可移動(dòng)。如 果傾斜元件相對(duì)于所述第一加強(qiáng)裝置傾斜，這將引起觸點(diǎn)間距轉(zhuǎn)換器(也稱為空間 轉(zhuǎn)換器)相對(duì)于所述線路基板出現(xiàn)相應(yīng)的傾斜運(yùn)動(dòng)。無論本發(fā)明的具體實(shí)施例中是 否具有傾斜元件，觸點(diǎn)間距轉(zhuǎn)換器的基準(zhǔn)面均相對(duì)于線路基板的基準(zhǔn)面調(diào)整傾斜 度。通過這種方式，觸點(diǎn)間距轉(zhuǎn)換器與線路基板可以以正確的方式相互對(duì)準(zhǔn)，從而 在檢測(cè)頭的觸針和電試樣(晶片)之間實(shí)現(xiàn)良好的接觸，同時(shí)，保證了與線路基板 ——必要時(shí)中間布置電連接裝置(連接器)——的良好接觸。
根據(jù)本發(fā)明的一個(gè)實(shí)施形式，所述間隔裝置穿過所述第一加強(qiáng)裝置。這樣，間 隔裝置就延伸到第一加強(qiáng)裝置上遠(yuǎn)離線路基板的一側(cè)，從而使那里能夠設(shè)置傾斜調(diào) 節(jié)裝置。
根據(jù)本發(fā)明的另一個(gè)實(shí)施形式，線路基板具有第一觸點(diǎn)表面，該觸點(diǎn)表面通過 接觸裝置連接于觸點(diǎn)間距轉(zhuǎn)換器的對(duì)向觸點(diǎn)表面。這里所述的接觸裝置即前述的電
6連接裝置，也稱連接器。該接觸裝置與線路基板的第一觸點(diǎn)表面物理接觸，同時(shí)與 觸點(diǎn)間距轉(zhuǎn)換器的對(duì)向觸點(diǎn)表面物理接觸。
如果接觸裝置能夠補(bǔ)償線路基板與觸點(diǎn)間距轉(zhuǎn)換器之間由于傾斜調(diào)節(jié)而造成 的角度偏差，這將是有利的。為此，接觸裝置具有靈活的結(jié)構(gòu)，這樣，當(dāng)在線路基 板的基準(zhǔn)面與觸點(diǎn)間距轉(zhuǎn)換器的基準(zhǔn)面之間進(jìn)行傾斜調(diào)節(jié)時(shí)，接觸裝置保持著與所 述線路基板的第一觸點(diǎn)表面之間以及觸點(diǎn)間距轉(zhuǎn)換器的對(duì)向觸點(diǎn)表面之間的物理 接觸。
根據(jù)本發(fā)明的另一個(gè)實(shí)施形式，所述觸點(diǎn)間距轉(zhuǎn)換器具有第二觸點(diǎn)表面，該觸 點(diǎn)表面與檢測(cè)頭的導(dǎo)電桿/觸針、尤其是撓曲觸針電接觸。所述檢測(cè)頭優(yōu)選地具有 多個(gè)相互間隔的導(dǎo)向板，它具有多個(gè)優(yōu)選地由撓曲觸針形成的導(dǎo)電桿穿過的導(dǎo)向開 口。所述撓曲觸針的一端與觸點(diǎn)間距轉(zhuǎn)換器的第二觸點(diǎn)表面物理接觸，而撓曲觸針 的另一端則與試樣的電接觸端進(jìn)行物理接觸。這樣，在試樣的電檢測(cè)過程中，檢測(cè) 裝置和試樣相互靠近，以和試樣形成物理接觸。檢測(cè)裝置和試樣要么一起運(yùn)動(dòng)，要 么其中的一個(gè)進(jìn)行運(yùn)動(dòng)。上述運(yùn)動(dòng)沿接觸頭的導(dǎo)電桿的縱向進(jìn)行。由于撓曲觸針被
優(yōu)選地用作導(dǎo)電桿，它們可以通過在縱向范圍內(nèi)的撓曲來進(jìn)行長(zhǎng)度調(diào)節(jié)。
根據(jù)本發(fā)明的另一個(gè)實(shí)施形式，接觸元件固定地布置在觸點(diǎn)間距轉(zhuǎn)換器上，以 用于與試樣的物理電接觸。在前面所述的實(shí)施形式中，觸點(diǎn)間距轉(zhuǎn)換器具有第二觸
點(diǎn)表面，該觸點(diǎn)表面與導(dǎo)電桿進(jìn)行物理接觸并進(jìn)而導(dǎo)致與試樣形成物理電接觸，與 之相反，用于與試樣接觸的接觸元件固定地布置在觸點(diǎn)間距轉(zhuǎn)換器上。這里就沒有 優(yōu)選地可拆下的檢測(cè)頭。
在一個(gè)備選的實(shí)施形式中，所述接觸裝置直接固定在觸點(diǎn)間距轉(zhuǎn)換器上也是很 有利的。接觸裝置直接與觸點(diǎn)間距轉(zhuǎn)換器對(duì)應(yīng)并固定于其上。可替代地，接觸裝置 也可以是一個(gè)布置在線路基板和觸點(diǎn)間距轉(zhuǎn)換器之間的單獨(dú)組件中的元件。
本發(fā)明的另一個(gè)實(shí)施形式中設(shè)有一個(gè)第二加強(qiáng)裝置，其中，第一加強(qiáng)裝置布置 在線路基板的一側(cè)，而第二加強(qiáng)裝置布置在線路基板的另一側(cè)。這樣，由于兩個(gè)加 強(qiáng)裝置均與所述線路基板機(jī)械連接，線路基板在兩側(cè)均得到加強(qiáng)。優(yōu)選的是，通過 相應(yīng)的壓緊裝置，使兩個(gè)加強(qiáng)裝置朝著對(duì)方壓緊，從而使線路基板以夾緊和支撐的 方式固定在兩者之間。
7根據(jù)本發(fā)明的一個(gè)優(yōu)選實(shí)施形式，觸點(diǎn)間距轉(zhuǎn)換器與第二加強(qiáng)裝置相對(duì)應(yīng)。所述第二加強(qiáng)裝置優(yōu)選地具有一個(gè)容納通孔，所述觸點(diǎn)間距轉(zhuǎn)換器以不接觸的方式至少局部地容納于其中。這種布置使得所述第二加強(qiáng)裝置與所述線路基板直接結(jié)合，同時(shí)，通過容納通孔使所述觸點(diǎn)間距轉(zhuǎn)換器與線路基板靠近。為了操縱由傾斜元件引起的觸點(diǎn)間距轉(zhuǎn)換器的傾斜運(yùn)動(dòng)，所述觸點(diǎn)間距轉(zhuǎn)換器不能靠在所述第二加強(qiáng)裝置上。由于所述觸點(diǎn)間距轉(zhuǎn)換器以不接觸的方式處于所述第二加強(qiáng)裝置的容納通孔中，因此傾斜運(yùn)動(dòng)不會(huì)受到阻礙。
對(duì)于前述的傾斜調(diào)節(jié)，優(yōu)選地采用形式為螺紋螺栓的傾斜調(diào)節(jié)裝置。所述螺紋螺栓可以為調(diào)節(jié)螺栓和/或定位螺栓。所述調(diào)節(jié)螺栓用于在所述傾斜元件和所述第一加強(qiáng)裝置之間產(chǎn)生一個(gè)合適的角度位置，而所述定位螺栓則用于固定該角度位置。這樣，所述調(diào)節(jié)螺栓可調(diào)節(jié)地旋入到所述傾斜元件中，而調(diào)節(jié)螺栓的一個(gè)端部則支撐在所述第一加強(qiáng)裝置上。所述定位螺栓旋入到所述第一加強(qiáng)裝置中，其頭部以壓緊方式緊貼在所述傾斜部件上。傾斜調(diào)節(jié)也可以以其它方式進(jìn)行。為此，可優(yōu)選地采用下方墊有塞尺片(特殊的箔，具有非常精細(xì)的厚度等級(jí))的螺栓。該特殊箔優(yōu)選地由鋼或鋅白銅制成。
所述傾斜元件優(yōu)選為傾斜板。所述線路基板優(yōu)選為電路板。所述第一和/或第二加強(qiáng)裝置優(yōu)選為板狀。
根據(jù)本發(fā)明的另一個(gè)實(shí)施形式，所述間隔裝置具有一個(gè)間隔套。該間隔套的一端與觸點(diǎn)間距轉(zhuǎn)換器緊密接觸，另一端則與傾斜元件緊密接觸。
發(fā)明優(yōu)選地采用從側(cè)面使所述線路基板與觸點(diǎn)間距轉(zhuǎn)換器對(duì)齊的對(duì)準(zhǔn)裝置，以便通過這種方式使線路基板的第一觸點(diǎn)表面相對(duì)于觸點(diǎn)間距轉(zhuǎn)換器的對(duì)向觸點(diǎn)表面定位，從而使處于中間的接觸裝置(連接器)能使相互對(duì)應(yīng)的第一觸點(diǎn)表面和對(duì)向觸點(diǎn)表面之間相互電連接。
根據(jù)本發(fā)明的另一個(gè)實(shí)施形式，所述傾斜調(diào)節(jié)裝置設(shè)置于所述間隔裝置上。所述傾斜調(diào)節(jié)裝置和所述第一加強(qiáng)裝置共同作用。
此外，發(fā)明還優(yōu)選采用多個(gè)相互間隔開的間隔裝置。
本發(fā)明還涉及一種電試樣的電檢測(cè)方法，特別是使用上述檢測(cè)裝置，該檢測(cè)裝置具有一個(gè)線路基板，該線路基板通過觸點(diǎn)間距轉(zhuǎn)換器和檢測(cè)頭電連接，其中，所述線路基板與一個(gè)第一加強(qiáng)裝置機(jī)械連接并由此加強(qiáng)，同時(shí)，至少一個(gè)穿過所述線路基板的間隔裝置與所述觸點(diǎn)間距轉(zhuǎn)換器機(jī)械連接，并通過傾斜調(diào)節(jié)裝置固定在所述第一加強(qiáng)裝置上。
這種方法的其它優(yōu)選實(shí)施形式由權(quán)利要求提供。


根據(jù)一個(gè)典型的實(shí)施例，附圖顯示了本發(fā)明。
圖1顯示了用于檢測(cè)電試樣的電檢測(cè)裝置的縱向剖面示意圖，其中檢測(cè)裝置沒有完全地顯示全部的部件。
圖2顯示了圖1的檢測(cè)裝置的縱向剖面的透視圖，其中沒有顯示連接頭。圖3顯示了檢測(cè)裝置的觸點(diǎn)間距轉(zhuǎn)換器和傾斜元件的透視圖。
圖4顯示了圖3的排列的另一個(gè)角度的透視圖。
圖5顯示了穿過電檢測(cè)裝置的區(qū)域的縱向剖面示意圖，其中沒有顯示連接頭。
圖6顯示了另一實(shí)施例的穿過電檢測(cè)裝置的區(qū)域的縱向剖面的透視圖。
圖7為圖6的檢測(cè)裝置的詳細(xì)視圖。
圖8為圖6的檢測(cè)裝置的更詳細(xì)的視圖。
具體實(shí)施例方式
圖1顯示了檢測(cè)裝置1，但沒有顯示所有的部件。檢測(cè)裝置1具有接觸頭2(也稱為檢測(cè)頭2)，接觸頭2上具有導(dǎo)電桿4，導(dǎo)電桿4被可位移地處于導(dǎo)向孔3內(nèi)，該導(dǎo)電桿4優(yōu)選為撓曲觸針。導(dǎo)電桿4具有自由端5，它可與電試樣(圖未示)的觸點(diǎn)物理接觸。為此，將檢測(cè)裝置l下降到試樣上，或者試樣被抬高到檢測(cè)裝置l，或者兩者相互靠近。導(dǎo)電桿4的另一端6與一個(gè)觸點(diǎn)間距轉(zhuǎn)換器7物理接觸，該觸點(diǎn)間距轉(zhuǎn)換器7具有支架8和電觸點(diǎn)間距轉(zhuǎn)換電路9。支架8優(yōu)選為金屬支架。所述觸點(diǎn)間距轉(zhuǎn)換電路9與所述陶瓷支架8固定連接。支架8具有一個(gè)凹槽10，所述觸點(diǎn)間距轉(zhuǎn)換電路9以下陷的方式容納于其中。該觸點(diǎn)間距轉(zhuǎn)換器7在靠近所述接觸頭2的一側(cè)具有一個(gè)基準(zhǔn)面11。 一個(gè)線路基板12，優(yōu)選為導(dǎo)體板13，非常靠近所述觸點(diǎn)間距轉(zhuǎn)換器7。該導(dǎo)體板13具有多個(gè)第一觸點(diǎn)表面14，所述第一接觸表
9面與多個(gè)大表面觸點(diǎn)15電連接，其中，所述第一觸點(diǎn)表面14設(shè)置在線路基板12的一個(gè)面16上，而大表面觸點(diǎn)15設(shè)置在另一個(gè)面17上。在觸點(diǎn)間距轉(zhuǎn)換器7和線路基板12之間設(shè)置有電接觸裝置18，該電接觸裝置18在一個(gè)絕緣支架19上具有多個(gè)電觸點(diǎn)20。在朝向線路基板12的面21上，觸點(diǎn)間距轉(zhuǎn)換器7具有多個(gè)設(shè)置在電觸點(diǎn)間距轉(zhuǎn)換電路9區(qū)域的對(duì)向觸點(diǎn)表面22，所述對(duì)向觸點(diǎn)表面22通過觸點(diǎn)20電連接至所述第一觸點(diǎn)表面14。在觸點(diǎn)間距轉(zhuǎn)換電路9區(qū)域，觸點(diǎn)間距轉(zhuǎn)換器7具有多個(gè)與所述對(duì)向觸點(diǎn)表面22電連接的第r:觸點(diǎn)表面23。所述導(dǎo)電桿4的末端6以物理接觸的方式抵靠在所述第二接觸表面23上。
從試樣(圖未示)的角度，檢測(cè)裝置1具有以下電通路，其中，為了簡(jiǎn)便起見，這里僅描述這些通路中的一個(gè)。其它通路與描述的通路相似。當(dāng)檢測(cè)電試樣時(shí)，試樣的一個(gè)觸點(diǎn)與導(dǎo)電桿4的末端5形成物理接觸，導(dǎo)電桿4的另一端6與所述第二觸點(diǎn)表面23中的一個(gè)形成物理接觸，該第二觸點(diǎn)表面23在所述觸點(diǎn)間距轉(zhuǎn)換電路9內(nèi)通過導(dǎo)線與對(duì)向觸點(diǎn)表面22中的一個(gè)連接， 一個(gè)觸點(diǎn)20的一端以物理接觸的方式靠在所述對(duì)向觸點(diǎn)表面22上，所述觸點(diǎn)20的另一端以物理接觸的方式靠在一個(gè)所述第一觸點(diǎn)表面14上，該第 一觸點(diǎn)表面14在線路基板12內(nèi)通過導(dǎo)線與大表面觸點(diǎn)15中的一個(gè)相連接。大表面觸點(diǎn)15通過電線(圖未示)連接到一個(gè)檢測(cè)裝置。很明顯，電檢測(cè)電流通路可以在檢測(cè)裝置和試樣間形成，以檢測(cè)試樣的無差錯(cuò)電性能。導(dǎo)電桿4的觸點(diǎn)間距對(duì)應(yīng)于試樣的觸點(diǎn)密度。觸點(diǎn)間距轉(zhuǎn)換器7用于將緊密的觸點(diǎn)間距變?yōu)椴痪o密的觸點(diǎn)間距。如圖1所示，對(duì)向觸點(diǎn)表面22相比第二觸點(diǎn)表面23具有更大的相互間隔。由于大表面觸點(diǎn)15的觸點(diǎn)間距大于第一觸點(diǎn)表面14的觸點(diǎn)間距，通過所述線路基板12，第一觸點(diǎn)表面14的觸點(diǎn)間距被再次增大。
為了能夠調(diào)整觸點(diǎn)間距轉(zhuǎn)換器7的基準(zhǔn)面11相對(duì)于線路基板12的基準(zhǔn)面24的傾斜角度，提供了一個(gè)傾斜裝置25 (圖2)。線路基板12的基準(zhǔn)面24對(duì)應(yīng)于該組件的面16。
圖2再次顯示了圖1的設(shè)置，但是沒有畫出接觸頭2和接觸裝置18，同時(shí)圖1中的檢測(cè)裝置1的朝下的區(qū)域在圖2中變?yōu)槌?。從圖2明顯可以看到，第一加強(qiáng)裝置26和第二加強(qiáng)裝置27與線路基板12連接。第一加強(qiáng)裝置26和線路基板12的表面17接觸。第二加強(qiáng)裝置27設(shè)置于線路基板12的表面16上。第一加強(qiáng)裝置相互緊靠，以使線路基板12以夾持的方式容納于兩者之間，并因此而加強(qiáng)了所述線路基板。
第二加強(qiáng)裝置27具有 -個(gè)容納通孔29，所述觸點(diǎn)間距轉(zhuǎn)換器7以不接觸的方式容納于其中。該觸點(diǎn)間距轉(zhuǎn)換器7被多個(gè)間隔裝置30固定在那里，這些間隔裝置30以無物理連接的方式穿過線路基板12的孔31，并延伸至一個(gè)傾斜元件32。該傾斜元件32特別地被設(shè)置為傾斜板33。該傾斜元件32通過傾斜調(diào)節(jié)裝置34可傾斜地連接于所述第一加強(qiáng)裝置26。該間隔裝置30以無物理連接的方式穿過所述第一加強(qiáng)裝置26的孔35。
圖5清晰地顯示了傾斜調(diào)節(jié)裝置34的結(jié)構(gòu)。該傾斜調(diào)節(jié)裝置34具有螺紋螺栓36和37，其中，螺紋螺栓36被設(shè)置為調(diào)節(jié)螺栓38，而螺紋螺栓37被設(shè)置為定位螺栓39。從圖3和圖4可以明顯看到，傾斜元件32具有多個(gè)相互間隔設(shè)置的調(diào)節(jié)螺栓38和定位螺栓39，其中，每一種情形都是一個(gè)調(diào)節(jié)螺栓38鄰接一個(gè)定位螺栓39。在圖3和圖4所示的典型實(shí)施例中，傾斜元件32被設(shè)置為矩形傾斜板33，該傾斜板33包括，在傾斜板33的四個(gè)邊的區(qū)域內(nèi)的，設(shè)有一個(gè)調(diào)節(jié)螺栓38和一個(gè)定位螺栓39的突出部分40。
如圖5所示，這種布置使得每一個(gè)調(diào)節(jié)螺栓38可以通過其螺紋被調(diào)節(jié)旋入傾斜元件32的螺孔41中，并且留出其一端42抵靠在所述第一加強(qiáng)裝置26的一個(gè)外部側(cè)面43上。相關(guān)聯(lián)的定位螺栓39旋入所述第一加強(qiáng)裝置26的螺孔44中，并以拉緊方式將所述定位螺栓39的頭45抵靠在傾斜元件32上。因此，定位螺栓39朝向第-一加強(qiáng)裝置26的方向推動(dòng)所述傾斜元件32，以便所述調(diào)節(jié)螺栓38的末端42被朝向所述第一加強(qiáng)裝置26的外側(cè)43壓緊。容易看出，源自第一加強(qiáng)裝置26的傾斜元件32的間隔位置可以根據(jù)調(diào)節(jié)螺栓38的伸出長(zhǎng)度，即旋入深度，而被調(diào)節(jié)。由于提供了多對(duì)調(diào)節(jié)螺栓38和定位螺栓39，并考慮到其相對(duì)于所述第一加強(qiáng)裝置26的傾斜角度，傾斜元件32的位置可以通過傾斜調(diào)節(jié)裝置34被調(diào)節(jié)到需要的位置。由于傾斜元件32通過間隔裝置30被牢固地連接于觸點(diǎn)間距轉(zhuǎn)換器7，當(dāng)傾斜元件32的傾斜角度被調(diào)節(jié)時(shí)，觸點(diǎn)間距轉(zhuǎn)換器7的位置，特別是傾斜位置，被改變。緊接著，通過傾斜調(diào)節(jié)裝置34，觸點(diǎn)間距轉(zhuǎn)換器7的基準(zhǔn)面11可以相對(duì)于線路基板12的基準(zhǔn)面24被調(diào)節(jié)。此外，從圖2-5中可以看出，對(duì)準(zhǔn)裝置46顯示為定位銷47的形式，用于對(duì)線路基板12相對(duì)于觸點(diǎn)間距轉(zhuǎn)換器7進(jìn)行側(cè)向?qū)?zhǔn)。這種對(duì)準(zhǔn)也稱為對(duì)正，以確保第一觸點(diǎn)表面14以正確的方式在所述導(dǎo)休板13的板的延伸方向上與對(duì)向觸點(diǎn)表面22對(duì)齊。這樣，棒狀對(duì)準(zhǔn)裝置46，優(yōu)選的非圓形，最好是截面為橢圓形，插入對(duì)應(yīng)的線路基板12的導(dǎo)向孔48和觸點(diǎn)間距轉(zhuǎn)換器7的導(dǎo)向孔49。所述對(duì)準(zhǔn)裝置46通過固定螺栓50被固定于傾斜元件32。這些導(dǎo)向孔48和導(dǎo)向孔49構(gòu)成了棒狀對(duì)準(zhǔn)裝置46的通道。對(duì)準(zhǔn)裝置46以不接觸的方式穿過所述第一加強(qiáng)裝置26的孔51 。
隨后，由于間隔裝置30 (優(yōu)選為間隔套)的存在，在觸點(diǎn)間距轉(zhuǎn)換器7和傾斜元件32之間確保了一個(gè)確定的間隔。所述觸點(diǎn)間距轉(zhuǎn)換電路9優(yōu)選不可分離地與支架8連接，優(yōu)選為粘接。具體地，四個(gè)調(diào)節(jié)螺栓38將它們的末端42壓向也被稱為背部加強(qiáng)件的第一加強(qiáng)裝置26，。因此，使用這四根調(diào)節(jié)螺栓38可以調(diào)節(jié)所述傾斜元件32和第一加強(qiáng)裝置26之間的間隔。由于所述第一加強(qiáng)裝置26被牢固地連接于線路基板12，而所述傾斜元件32固定于所述觸點(diǎn)間距轉(zhuǎn)換器7，所述調(diào)節(jié)螺栓38可以用于調(diào)節(jié)/設(shè)定觸點(diǎn)間距轉(zhuǎn)換器7的基準(zhǔn)面11以及線路基板12的基準(zhǔn)面24之間的角度。在設(shè)置了基準(zhǔn)面11和基準(zhǔn)面24之間的角度后，擰緊定位螺栓39。這樣就使相對(duì)于對(duì)方調(diào)節(jié)后的基準(zhǔn)面11和基準(zhǔn)面24固定下來。
圖6-8涉及檢測(cè)裝置的另一個(gè)優(yōu)選實(shí)施例。圖1-5的實(shí)施例的描述在本實(shí)施例中也可以使用，因此，下文將僅描述兩者的區(qū)別。與已描述過的實(shí)施例相比，圖6-8的實(shí)施例不使用傾斜元件。圖6顯示了本實(shí)施例的檢測(cè)裝置1的一部分，其中，圖6的角度相對(duì)于圖2所示的實(shí)施例旋轉(zhuǎn)了 180度，由圖可見，多個(gè)顯示為相互間隔的螺紋螺栓60的形式的間隔裝置30被固定于觸點(diǎn)間距轉(zhuǎn)換器7上。螺紋螺栓60具有頭部61，通過將螺紋螺栓60旋入觸點(diǎn)間距轉(zhuǎn)換器7的螺孔63中，頭部61被緊密地抵靠于觸點(diǎn)間距轉(zhuǎn)換器7的容納孔62中。螺紋螺栓60的軸64綽綽有余的穿過線路基板12的導(dǎo)向孔48，到達(dá)第一加強(qiáng)裝置26的容納孔65。
如圖7所示，每個(gè)容納孔65均具有一個(gè)內(nèi)螺紋的大直徑部分66， 一個(gè)鄰接大直徑部分66的沒有螺紋的較小直徑部分67，以及一個(gè)同樣沒有螺紋的更小直徑的部分68。所述部分68可以相對(duì)于關(guān)聯(lián)的螺紋螺栓60的軸64自由運(yùn)動(dòng)。旋上螺紋螺栓60的是一個(gè)螺帽69，其凸緣70抵靠在臺(tái)階71，上。該臺(tái)階71'位于部分66和部分67之間。位于凸緣70的另一側(cè)的是一個(gè)螺環(huán)71，該螺環(huán)71具有外螺紋，并旋入部分66的內(nèi)螺紋。螺環(huán)71的內(nèi)部覆蓋了螺帽69的連接端口73。在螺住的情況下，螺環(huán)71朝向臺(tái)階71'壓緊螺帽69。
從這里顯然可以看出，將螺帽69旋上各自相應(yīng)的螺紋螺栓60適當(dāng)?shù)木嚯x，觸點(diǎn)間距轉(zhuǎn)換器7可以以相對(duì)于線路基板12適當(dāng)?shù)膬A斜角度被調(diào)整，其中，通過旋緊相關(guān)的螺環(huán)71，相應(yīng)的螺帽可以被固定。
與圖l-5所示的實(shí)施例明顯不同，從圖6-8可以明顯看到，觸點(diǎn)間距轉(zhuǎn)換電路9沒有與容納孔10粘接，而是插入到支架8的容納孔10中，并通過凸出的夾板75的方式固定，所述夾板75由固定螺栓74固定。夾板75伸出所述觸點(diǎn)間距轉(zhuǎn)換電路9。為保持觸點(diǎn)間距轉(zhuǎn)換電路9在長(zhǎng)方形或正方形凹槽10中的可靠定位，凹槽10的兩側(cè)均設(shè)置了夾緊彈簧76，所述夾緊彈簧76迫使觸點(diǎn)間距轉(zhuǎn)換電路9緊貼在凹槽10的相對(duì)的邊緣77上，從而確保高精確度的定位。
觸點(diǎn)間距轉(zhuǎn)換電路9的定位方法當(dāng)然也可以由圖1-5的實(shí)施例來提供。當(dāng)然，圖6-8的實(shí)施例也可以使用粘接的觸點(diǎn)間距轉(zhuǎn)換電路9。
由于減少了傾斜板，圖6-8的實(shí)施例的檢測(cè)裝置1的結(jié)構(gòu)高度更低。由于不使用傾斜板，該實(shí)施例也更經(jīng)濟(jì)。
權(quán)利要求
1、一種用于檢測(cè)電試樣的檢測(cè)裝置，包括一個(gè)線路基板，該線路基板通過一個(gè)觸點(diǎn)間距轉(zhuǎn)換器電連接至一個(gè)檢測(cè)頭，所述線路基板機(jī)械連接至一個(gè)第一加強(qiáng)裝置并因此得到加強(qiáng)，其特征在于至少一個(gè)穿過所述線路基板(12)的間隔裝置(30)機(jī)械連接至所述觸點(diǎn)間距轉(zhuǎn)換器(7)，并通過傾斜調(diào)節(jié)裝置(34)固定于所述第一加強(qiáng)裝置(26)。
2、 如權(quán)利要求1所述的檢測(cè)裝置，其特征在于 一個(gè)傾斜元件(32)通過穿 過所述線路基板(12)的所述至少一個(gè)間隔裝置(30)機(jī)械連接至所述觸點(diǎn)間距轉(zhuǎn) 換器(7)，且所述傾斜元件(32)通過所述傾斜調(diào)節(jié)裝置(34)可調(diào)節(jié)傾斜度地固 定于所述第一加強(qiáng)裝置(26)。
3、 如前述權(quán)利要求中任一項(xiàng)所述的檢測(cè)裝置，其特征在于所述間隔裝置(30) 穿過所述第一加強(qiáng)裝置(26)。
4、 如前述權(quán)利要求中任一項(xiàng)所述的檢測(cè)裝置，其特征在于所述線路基板(12) 包括一個(gè)第一觸點(diǎn)表面(14)，所述第一觸點(diǎn)表面(14)通過接觸裝置(18)連接 至所述觸點(diǎn)間距轉(zhuǎn)換器(7)的對(duì)向觸點(diǎn)表面(22)。
5、 如前述權(quán)利要求中任一項(xiàng)所述的檢測(cè)裝置，其特征在于所述接觸裝置(18) 補(bǔ)償由傾斜調(diào)節(jié)引起的所述線路基板(12)和所述觸點(diǎn)間距轉(zhuǎn)換器(7)之間的角 度偏差。
6、 如前述權(quán)利要求中任一項(xiàng)所述的檢測(cè)裝置，其特征在于所述觸點(diǎn)間距轉(zhuǎn) 換器(7)包括一個(gè)第二觸點(diǎn)表面(23)，所述第二觸點(diǎn)表面(23)與檢測(cè)頭(2) 的導(dǎo)電桿(4) /接觸針、優(yōu)選為撓曲觸針電接觸。
7、 如前述權(quán)利要求中任一項(xiàng)所述的檢測(cè)裝置，其特征在于用于與所述電試 樣物理電接觸的接觸元件固定地布置在所述觸點(diǎn)間距轉(zhuǎn)換器(7)上。
8、 如前述權(quán)利要求中任一項(xiàng)所述的檢測(cè)裝置，其特征在于所述接觸裝置U8) 直接固定布置在所述觸點(diǎn)間距轉(zhuǎn)換器(7)上。
9、 如前述權(quán)利要求中任一項(xiàng)所述的檢測(cè)裝置，其特征在于還具有一個(gè)第二 加強(qiáng)裝置(27)，其中，所述第一支持裝置(26)設(shè)置于所述線路基板(12)的一 個(gè)面上，而所述第二加強(qiáng)裝置(27)設(shè)置于所述線路基板(12)的另一個(gè)面上。
10、 如前述權(quán)利要求中任一項(xiàng)所述的檢測(cè)裝置，其特征在于所述第二加強(qiáng)裝 置(27)與所述觸點(diǎn)間距轉(zhuǎn)換器(7)相結(jié)合。
11、 如前述權(quán)利要求中任一項(xiàng)所述的檢測(cè)裝置，其特征在于所述第二加強(qiáng)裝置(27)具有一個(gè)容納孔(29)，所述觸點(diǎn)間距轉(zhuǎn)換器(7)以不接觸的方式至少局 部容納于其中。
12、 如前述權(quán)利要求中任一項(xiàng)所述的檢測(cè)裝置，其特征在于所述傾斜調(diào)節(jié)裝置(34)包括螺紋螺栓(36)。
13、 如前述權(quán)利要求中任一項(xiàng)所述的檢測(cè)裝置，其特征在于所述螺紋螺栓的下方設(shè)有塞尺片，以用于傾斜調(diào)節(jié)。
14、 如前述權(quán)利要求中任一項(xiàng)所述的檢測(cè)裝置，其特征在于所述螺紋螺栓(36) 配置成調(diào)節(jié)螺栓(38)和/或定位螺栓(39)。
15、 如前述權(quán)利要求中任一項(xiàng)所述的檢測(cè)裝置，其特征在于所述調(diào)節(jié)螺栓(38) 可調(diào)節(jié)地旋入所述傾斜元件(32)，其一端抵靠在所述第一加強(qiáng)裝置(26)上。
16、 如前述權(quán)利要求中任一項(xiàng)所述的檢測(cè)裝置，其特征在于所述定位螺栓(39) 旋入所述第一加強(qiáng)裝置(26)，其頭部(45)以壓緊方式抵靠在所述傾斜部件(32) 上。
17、 如前述權(quán)利要求中任一項(xiàng)所述的檢測(cè)裝置，其特征在于所述傾斜元件G2) 配置成一個(gè)傾斜板(33)。
18、 如前述權(quán)利要求中任一項(xiàng)所述的檢測(cè)裝置，其特征在于所述線路基板(12) 配置成一個(gè)導(dǎo)體板(13)。
19、 如前述權(quán)利要求中任一項(xiàng)所述的檢測(cè)裝置，其特征在于所述第一加強(qiáng)裝 置(26)和/或所述第二加強(qiáng)裝置(27)配置成板形。
20、 如前述權(quán)利要求中任一項(xiàng)所述的檢測(cè)裝置，其特征在于所述間隔裝置GO) 包括一個(gè)間隔套。
21、 如前述權(quán)利要求中任一項(xiàng)所述的檢測(cè)裝置，其特征在于還設(shè)有一個(gè)對(duì)準(zhǔn) 裝置(46)，從側(cè)面使所述線路基板(12)與所述觸點(diǎn)間距轉(zhuǎn)換器(7)對(duì)齊。
22、 如前述權(quán)利要求中任一項(xiàng)所述的檢測(cè)裝置，其特征在于所述傾斜調(diào)節(jié)裝 置(34)設(shè)置于所述間隔裝置(30)上。
23、 如前述權(quán)利要求中任一項(xiàng)所述的檢測(cè)裝置，其特征在于設(shè)有多個(gè)相互間 隔的間隔裝置(30)。
24、 一種電試樣的電檢測(cè)方法，特別是使用前述一項(xiàng)或多項(xiàng)權(quán)利要求所述的檢 測(cè)裝置，所述檢測(cè)裝置包括一個(gè)線路基板(12)，所述線路基板(12)通過一個(gè)觸 點(diǎn)間距轉(zhuǎn)換器(7)電連接至一個(gè)檢測(cè)頭，其中，所述線路基板(12)機(jī)械連接至 一個(gè)第一加強(qiáng)裝置(26)并由此得到加強(qiáng)，其特征在于至少一個(gè)穿過所述線路基 板(12)的間隔裝置(30)機(jī)械連接至所述觸點(diǎn)間距轉(zhuǎn)換器(7)，并通過傾斜調(diào)節(jié) 裝置(34)固定于所述第一加強(qiáng)裝置(26)。
25、 如權(quán)利要求24所述的檢測(cè)方法，其特征在于所述間隔裝置(30)穿過 所述第一加強(qiáng)裝置(26)。
全文摘要
本發(fā)明涉及一種用于檢測(cè)電試樣的電檢測(cè)裝置，包括一個(gè)線路基板，該線路基板通過一個(gè)觸點(diǎn)間距轉(zhuǎn)換器與一個(gè)檢測(cè)頭電連接，其中，所述線路基板與一個(gè)第一加強(qiáng)裝置機(jī)械連接并因此得到加強(qiáng)。至少一個(gè)穿過所述線路基板(12)的間隔裝置(30)機(jī)械連接至所述觸點(diǎn)間距轉(zhuǎn)換器(7)，并通過傾斜調(diào)節(jié)裝置(34)固定在所述第一加強(qiáng)裝置(26)上。
文檔編號(hào)G01R31/00GK101634682SQ20091015118
公開日2010年1月27日 申請(qǐng)日期2009年7月23日 優(yōu)先權(quán)日2008年7月26日
發(fā)明者米夏埃爾·霍洛謝爾, 西爾維婭·埃爾勒, 貝里斯拉夫·科皮拉斯, 貢特爾·伯姆 申請(qǐng)人:精煉金屬股份有限公司