專利名稱：光傳感器的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種光傳感器，該光傳感器用來檢測從準(zhǔn)分子燈等的紫外 線光源放射出的紫外光。
背景技術(shù)：
現(xiàn)在，例如在通過照射紫外線清洗液晶顯示面板的玻璃基板的工序等
中，使用紫外線照射裝置，該紫外線照射裝置具備可放射波長200nm以下 的真空紫外光的準(zhǔn)分子燈。
使用第4圖來說明這種紫外線照射裝置。
紫外線照射裝置10具備光取出窗11、本體外殼12、及金屬塊體13， 在本體外殼12的內(nèi)部配置準(zhǔn)分子燈1。
光取出窗11是一種光透過構(gòu)件，可讓準(zhǔn)分子燈1所放射的紫外光透過， 該光取出窗例如是由合成石英玻璃所構(gòu)成。本體外殼12是由不銹鋼制成， 在一方的側(cè)壁形成氣體導(dǎo)入口 12a，在另一方的側(cè)壁形成氣體排出口 12b。
從該氣體導(dǎo)入12a導(dǎo)入氮?dú)獾鹊亩栊詺怏w，從該氣體排出口 12b將惰 性氣體和殘存的氧氣一起排出。
附圖標(biāo)注16表示用來冷卻金屬塊體13的水冷管。
金屬塊體13形成有溝槽部，準(zhǔn)分子燈1的一半是嵌合在各溝槽部。此 外，在金屬塊體13上，形成有面對各個準(zhǔn)分子燈1的貫穿孔，在金屬塊體 13上方的面對貫穿孔的位置組裝有光傳感器15，利用該光傳感器15來檢 測來自準(zhǔn)分子燈1的放射光(參照專利文獻(xiàn)1)。
例如，在使用這種紫外線照射裝置的液晶顯示面板的玻璃基板的干式 洗凈工序中，通常，利用帶式輸送機(jī)等的適當(dāng)?shù)陌徇\(yùn)單元來搬運(yùn)被處理物 即液晶用玻璃基板而將其導(dǎo)入紫外線照射裝置的光照射區(qū)域，并利用連續(xù) 照射紫外光來進(jìn)行洗凈。
在這種紫外線照射裝置中，為了進(jìn)行高可靠性的紫外光照射處理，必須確認(rèn)準(zhǔn)分子燈的點(diǎn)燈狀態(tài)是否處于正確的狀態(tài)，例如有必要確認(rèn)是否是 以充分強(qiáng)度來照射紫外光的狀態(tài)。由于主要放射的光線是紫外光，所以無 法利用目視來確認(rèn)該準(zhǔn)分子燈的點(diǎn)燈狀態(tài)。
因此，公開有如下的方法，為了確認(rèn)準(zhǔn)分子燈的點(diǎn)燈狀態(tài)，利用用來 檢測準(zhǔn)分子燈所放射出的紫外光的光傳感器，來測定準(zhǔn)分子燈的點(diǎn)燈狀態(tài) 的方法(參照專利文獻(xiàn)2)。
圖5是光傳感器的說明圖。
光傳感器15，是在配置著紫外光檢測器151的金屬基板152上，該紫 外光檢測器151由用來檢測紫外光的半導(dǎo)體傳感器所構(gòu)成，該光傳感器15 披覆有金屬帽蓋153，在該金屬帽蓋153形成讓紫外光通過的貫穿孔，在該 貫穿孔粘著有讓紫外光透過的玻璃制的窗構(gòu)件154。并且，金屬帽蓋153和 金屬基板152是利用熔接或焊材等方法來接合。
另外，若在金屬帽蓋153內(nèi)的密閉空間內(nèi)有氧氣存在，氧氣會完全吸 收紫外光而使紫外光無法到達(dá)紫外光檢測器151，因此必須在金屬帽蓋153 內(nèi)封入氮?dú)獾鹊亩栊詺怏w。
另外，透過窗構(gòu)件154的紫外光會照射金屬帽蓋153內(nèi)，并到達(dá)紫外 光檢測器151，該紫外光被檢測出。
如圖4所示，這種光傳感器15，是利用金屬塊體13的貫穿孔來讓準(zhǔn)分 子燈所放射出的紫外光到達(dá)光傳感器15前方的窗構(gòu)件154，窗構(gòu)件154和 金屬塊體13的貫穿孔之間的空間就成為與本體外殼12內(nèi)部連通的空間， 而且是形成不能吸收紫外光的惰性氣體。透過窗構(gòu)件154的紫外光在紫外 光檢測器152被檢測出，就能夠測定準(zhǔn)分子燈的點(diǎn)燈狀態(tài)。
(專利文獻(xiàn)l)日本特開2004~"2214卯號公報
(專利文獻(xiàn)2)日本特開2004—037174號公報
圖5所示的光傳感器15構(gòu)成為，在密閉的金屬帽蓋153內(nèi)封入惰性氣 體，通常，為了制造出該光傳感器15，是將配置有紫外光檢測器151的金 屬基板152和粘著有窗構(gòu)件154的金屬帽蓋153兩者配置于惰性氣體中的 組裝空間，在此狀態(tài)下，將金屬帽蓋153的、與金屬基板152接觸的部分 進(jìn)行加熱熔融而形成密閉構(gòu)造。
然而，依據(jù)這種制造方法所組裝成的光傳感器15，在組裝工序中，若在惰性氣體中混入微量的氧氣，該氧氣就會被封入密閉的金屬帽蓋153。
結(jié)果，由于在密閉的金屬帽蓋153內(nèi)存在氧氣，透過窗構(gòu)件154的紫 外光的一部分會被氧氣所吸收，而無法到達(dá)紫外光檢測器151，如此會發(fā)生 無法正確測定紫外光的問題。
再者，由于紫外光的一部分被氧氣所吸收，會在金屬帽蓋153內(nèi)產(chǎn)生 臭氧，該臭氧會導(dǎo)致紫外光檢測器23劣化，而變得無法正確地測定紫外光。
再者，金屬帽蓋153是位于紫外光照射的方向上，因此容易接受紫外 線照射裝置內(nèi)的準(zhǔn)分子燈的熱量，金屬帽蓋153被加熱而膨脹，在準(zhǔn)分子 燈熄燈后金屬帽蓋153的溫度會下降而收縮，隨著膨脹、收縮的反復(fù)進(jìn)行， 金屬帽蓋153和金屬基板152的接合部位會發(fā)生破壞，金屬帽蓋153內(nèi)的 惰性氣體會流出而流到大氣中。
結(jié)果，氧氣會流入金屬帽蓋153，透過窗構(gòu)件154的紫外光的一部分會 被氧氣吸收，而無法到達(dá)紫外光檢測器151，或者，在金屬帽蓋153內(nèi)產(chǎn)生 臭氧，該臭氧會導(dǎo)致紫外光檢測器23劣化，而變得無法正確測定紫外光。
再者，如圖4所示，光傳感器15和用來處理被處理物的本體外殼12 的內(nèi)部空間，是通過金屬塊體13的貫穿孔來連結(jié)，在進(jìn)行被處理物的處理 時產(chǎn)生的污染物質(zhì)飛散出時，可能會污染光傳感器15的窗構(gòu)件154。
即使窗構(gòu)件154受到污染，由于窗構(gòu)件154是粘著在金屬帽蓋153上， 故無法單獨(dú)更換窗構(gòu)件154，使用受污染的窗構(gòu)件154會減少紫外光的透過 率，而變得無法正確地測定紫外光。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明是為了解決上述問題而開發(fā)完成的，其目的是提供一種光傳感 器，可將配置有紫外光檢測器的外殼內(nèi)的氧氣確實(shí)地除去，以防止臭氧的 產(chǎn)生，并能夠利用紫外光檢測器來正確地測定紫外光，而能正確地測定準(zhǔn) 分子燈等的紫外線光源的點(diǎn)燈狀態(tài)。
另外是提供一種光傳感器，在讓紫外光透過的窗構(gòu)件受到污染的情況 下，能夠簡單地單獨(dú)更換窗構(gòu)件，而始終能正確地進(jìn)行紫外光的測定。
技術(shù)方案1記載的光傳感器，利用配置于殼體內(nèi)的紫外光檢測器來檢 測紫外光，其特征在于前述殼體包含第1殼體，該第1殼體在內(nèi)部配
6置用來檢測紫外光的紫外光檢測器且具有讓紫外光通過的貫穿孔；及第2 殼體，該第2殼體具有讓紫外光通過的貫穿孔，前述第1殼體和第2殼體 是設(shè)置成各殼體的貫穿孔互相重疊，在前述第1殼體和前述第2殼體之間 且在與各殼體的貫穿孔相對向的位置配置有讓紫外光透過的窗構(gòu)件，在前 述窗構(gòu)件和前述第1殼體之間配置有密封構(gòu)件，在前述第1殼體內(nèi)配置有 脫氧劑。
技術(shù)方案2記載的光傳感器，是在技術(shù)方案1記載的光傳感器中，特 別是在前述窗構(gòu)件和前述第2殼體之間配置有密封構(gòu)件。
技術(shù)方案3記載的光傳感器，是在技術(shù)方案1或技術(shù)方案2記載的光 傳感器中，在前述第1殼體內(nèi)配置水分吸附劑。
技術(shù)方案4記載的光傳感器，利用配置于殼體內(nèi)的紫外光檢測器來檢 測紫外光，其特征在于前述殼體包含第1殼體，該第1殼體在內(nèi)部配 置用來檢測紫外光的紫外光檢測器且具有讓紫外光通過的貫穿孔；及第2 殼體，具有讓紫外光通過的貫穿孔，前述第1殼體和第2殼體是設(shè)置成各 殼體的貫穿孔互相重疊，在前述第1殼體和前述第2殼體之間且在與各殼 體的貫穿孔相對向的位置配置有讓紫外光透過的窗構(gòu)件，在前述第1殼體 和前述第2殼體之間配置有密封構(gòu)件，在前述窗構(gòu)件和前述第2殼體之間 配置有密封構(gòu)件，在前述第1殼體內(nèi)配置有脫氧劑。
技術(shù)方案5記載的光傳感器，是在技術(shù)方案4記載的光傳感器中，特
別是在前述第1殼體具備在前述窗構(gòu)件的方向設(shè)有開口的第1流通孔和 第2流通孔，前述第1流通孔和第2流通孔，與前述第1殼體內(nèi)的連通孔 連通，在前述連通孔內(nèi)配置前述脫氧劑，且前述第1流通孔和第2流通孔 的開口直徑不同。
本發(fā)明的光傳感器，具備第1殼體，該第1殼體在內(nèi)部配置有用來 檢測紫外光的紫外光檢測器且具有讓紫外光通過的貫穿孔；及第2殼體， 該第2殼體具有讓紫外光通過的貫穿孔，第1殼體和第2殼體是設(shè)置成各 殼體的貫穿孔互相重疊，在第1殼體和第2殼體之間、且在與各殼體的貫 穿孔相對向的位置配置有讓紫外光透過的窗構(gòu)件，在窗構(gòu)件和第1殼體之 間配置有密封構(gòu)件，在第1殼體內(nèi)配置有脫氧劑，依據(jù)此構(gòu)造，在配置有 紫外光檢測器的密閉空間內(nèi)氧氣不會存在，透過窗構(gòu)件后的紫外光不會被氧氣吸收，而能以未衰減的狀態(tài)到達(dá)紫外光檢測器，因此能正確地測定紫 外光。再者，在配置有紫外光檢測器的密閉空間內(nèi)不會產(chǎn)生臭氧，因此也 能防止紫外光檢測器發(fā)生劣化。
本發(fā)明的光傳感器，具備第1殼體，該第1殼體在內(nèi)部配置有用來 檢測紫外光的紫外光檢測器且具有讓紫外光通過的貫穿孔；及第2殼體，
該之第2殼體具有讓紫外光通過的貫穿孔，第1殼體和第2殼體是設(shè)置成 各殼體的貫穿孔互相重疊，在第1殼體和第2殼體之間且在與各殼體的貫 穿孔相對向的位置配置有讓紫外光透過的窗構(gòu)件，在第1殼體和第2殼體 之間配置有密封構(gòu)件，在窗構(gòu)件和第2殼體之間配置有密封構(gòu)件，在第1 殼體內(nèi)配置有脫氧劑，依據(jù)此構(gòu)造，在配置有紫外光檢測器的密閉空間內(nèi) 氧氣不會存在，透過窗構(gòu)件后的紫外光不會被氧氣吸收，而能以未衰減的 狀態(tài)到達(dá)紫外光檢測器，因此能正確地測定紫外光。再者，在配置有紫外 光檢測器的密閉空間內(nèi)不會產(chǎn)生臭氧，因此也能防止紫外光檢測器發(fā)生劣 化。
本發(fā)明的光傳感器，是在窗構(gòu)件和第1殼體之間配置有密封構(gòu)件，又 在窗構(gòu)件和第2殼體之間配置有其他的密封構(gòu)件，即使第2殼體反復(fù)進(jìn)行 膨脹收縮，該膨脹收縮的應(yīng)力也會由配置在窗構(gòu)件和第2殼體間的密封構(gòu) 件及配置在窗構(gòu)件和第1殼體間的密封構(gòu)件雙方所吸收，而能將由第1殼 體和窗構(gòu)件劃分出的第1殼體內(nèi)的密閉空間始終保持密閉狀能，而避免外 氣進(jìn)入密閉空間內(nèi)，因此能始終正確地利用紫外光檢測器來檢測紫外光。
在第1殼體中，具備在窗構(gòu)件的方向設(shè)有開口的第1流通孔和第2 流通孔，第1流通孔和第2流通孔是和第1殼體內(nèi)的連通孔連通的，在連 通孔內(nèi)配置有脫氧劑，且第1流通孔和第2流通孔的開口直徑不同。依據(jù) 此構(gòu)造，窗構(gòu)件被加熱時，會產(chǎn)生通過第1流通孔、第2流通孔、及連通 孔的對流，該對流會通過脫氧劑而能確實(shí)地將氧氣除去。
再者，由于在第1殼體內(nèi)配置有水分吸附劑，即使在光傳感器的組裝 工序中有水分侵入密閉空間內(nèi)，仍能確實(shí)地用水分吸附劑來吸附該水分， 而防止由于水分所造成的紫外光檢測器的劣化。


8圖1是本發(fā)明的光傳感器的說明圖。
圖2是本發(fā)明的其他實(shí)施例的光傳感器的說明圖。
圖3是本發(fā)明的其他實(shí)施例的光傳感器的說明圖。
圖4是紫外線照射裝置的說明圖。 圖5是現(xiàn)有的光傳感器的說明圖。
附圖標(biāo)記
A:光傳感器
21:第l殼體
22:第2殼體
3:窗構(gòu)件 41: O形環(huán) 42: O形環(huán) 5:脫氧劑 6:水分吸附劑
具體實(shí)施例方式
以下說明本發(fā)明的光傳感器。
圖1是本發(fā)明的光傳感器的剖面圖。
光傳感器A具備不會因紫外光而產(chǎn)生劣化的金屬制的第1殼體21和
第2殼體22。
第1殼體21具備大直徑圓盤狀的基板部211;及筒部212，豎立設(shè)
置于該基板部211，且在內(nèi)部具有空間，該筒部212的直徑比基板部211直 徑更小，在筒部212的與基板部的相反側(cè)，形成朝基板部211的中心方向 延伸的前方緣部213，在比該前方緣部213更接近基板211的中心方向，形 成有讓紫外光通過的貫穿孔214，在筒部212的內(nèi)部的底部，配置有紫外光 檢測器23，該紫外光檢測器23由檢測紫外光的半導(dǎo)體傳感器所構(gòu)成。
第2殼體22具備在內(nèi)部具有空間的圓筒狀的基體部221，形成于該 基體部221上的底部222;在底部222的中心形成有讓紫外光通過的貫穿孔 223。第1殼體21的豎立設(shè)置的筒部212，插入第2殼體22的基體部221的 內(nèi)部，且是配置成第1殼體21的貫穿孔214和第2殼體22的貫穿孔223 互相重疊。
在第1殼體21和第2殼體22之間，在與各殼體21、 22的貫穿孔214、 223相對向的位置配置有讓紫外光透過的窗構(gòu)件3。 該窗構(gòu)件3是由石英玻璃制的。
在窗構(gòu)件3和第1殼體21的前方緣部213之間，配置有作為密封構(gòu)件 的可彈性變形的O形環(huán)41，利用該O形環(huán)41將窗構(gòu)件3和第1殼體21予 以密封，利用第1殼體21和窗構(gòu)件3使第1殼體21內(nèi)部成為密閉空間， 并在該密閉空間內(nèi)配置有脫氧劑5。
脫氧劑5設(shè)置于第1殼體21的前方緣部213的內(nèi)部空間側(cè)的壁面。
作為該脫氧劑5有利用金屬的氧化作用來吸收氧氣的不可逆反應(yīng)的 構(gòu)造，例如為鈦、鐵、錳等，以及讓氧分子進(jìn)入附著于微細(xì)氣泡的可逆反 應(yīng)的構(gòu)造，例如二氧化硅、活性碳等。
在窗構(gòu)件3和第2殼體22的底部222之間，配置有作為密封構(gòu)件的可 彈性變形的0形環(huán)42，利用該O形環(huán)42將窗構(gòu)件3和第2殼體22予以密 封。
另外，通過適當(dāng)?shù)姆椒?未圖示)，將第1殼體21和第2殼體22擠壓， 使分別配置在各殼體21、 22和窗構(gòu)件3之間的0形環(huán)41， 42變形而形成 密合狀態(tài)。
該光傳感器A，在組裝工序中即使是在利用第1殼體21和窗構(gòu)件3所 劃分出的第1殼體21內(nèi)有氧氣的存在，利用脫氧劑5也能將該氧氣迅速地 除去，因此在完成的光傳感器A的密閉空間中不會存在氧氣。依據(jù)該光傳 感器A，若從準(zhǔn)分子燈放射出紫外光，該紫外光會通過第2殼體22的貫穿 孔223,再透過窗構(gòu)件3，接著該紫外光通過第1殼體21的貫穿孔214,而 照射由第1殼體21和窗構(gòu)件3所劃分而成的第1殼體21內(nèi)的密閉空間， 然后到達(dá)紫外光檢測器23而進(jìn)行紫外光的檢測。
這時，在由第1殼體21和窗構(gòu)件3所劃分出的第1殼體21內(nèi)的密閉 空間中，可利用脫氧劑5來確實(shí)地將氧氣除去，因此透過窗構(gòu)件3后的紫 外光不會被氧氣吸收，而以未衰減的狀態(tài)到達(dá)紫外光檢測器23，所以能正確地測定紫外光。再者，在密閉空間內(nèi)不會產(chǎn)生臭氧，所以能防止紫外光 檢測器23的劣化，而能正確地測定紫外光。
再者，第2殼體22，是位于紫外光照射的方向上，容易接收紫外線照 射裝置內(nèi)的準(zhǔn)分子燈的熱量，第2殼體22被加熱而產(chǎn)生膨脹，而在熄燈后 第2殼體22的溫度下降而產(chǎn)生收縮，且會反復(fù)進(jìn)行膨脹收縮，但該膨脹收 縮的應(yīng)力能由配置于第2殼體22和窗構(gòu)件3間的O形環(huán)42來吸收，又由 于在窗構(gòu)件3和第1殼體21之間配置有O形環(huán)41，即使第2殼體22的膨 脹收縮應(yīng)力透過O形環(huán)42而傳遞到窗構(gòu)件3，所傳遞的應(yīng)力仍會由O形環(huán) 41的吸收，因此能使由第1殼體21和窗構(gòu)件3所劃分出的第1殼體21內(nèi) 的密閉空間始終保持密閉狀態(tài)，而防止外氣進(jìn)入密閉空間內(nèi)，因此可始終 正確地通過紫外光檢測器23進(jìn)行紫外光的檢測。
再者，窗構(gòu)件3是透過O形環(huán)41、 42而被挾持在第1殼體21和第2 殼體22之間，即使窗構(gòu)件3受到進(jìn)行被處理物的處理時產(chǎn)生的污染物質(zhì)的 污染，很簡單地就能單獨(dú)更換窗構(gòu)件3，而能始終正確地測定紫外光。
在圖1中，雖是在窗構(gòu)件3和第2殼體22之間配置有O形環(huán)42，但 也可以是移除該0形環(huán)42，而是直接用第2殼體22的底部222，將窗構(gòu)件 3朝第1殼體21的筒部212的方向推壓。
在此構(gòu)造也是，能使由第1殼體21和窗構(gòu)件3所劃分出的第1殼體21 內(nèi)成為密閉空間，并利用配置于密閉空間內(nèi)的脫氧劑5來確實(shí)地將氧氣除 去，因此透過窗構(gòu)件3后的紫外光不會被氧氣吸收，而以未衰減的狀態(tài)到 達(dá)紫外光檢測器23,所以能正確地測定紫外光。再者，在密閉空間內(nèi)不會 產(chǎn)生臭氧，所以能防止紫外光檢測器23的劣化，而能正確地測定紫外光。
此外，也可以是，利用第1殼體21和窗構(gòu)件3使第1殼體21內(nèi)部成 為密閉空間，而在該密閉空間配置有水分吸附劑6。
水分吸附劑6是設(shè)置于第1殼體21的前方緣部213的內(nèi)部空間側(cè)的壁面。
該水分吸附劑6是包括氯化鈣、生石灰、天然沸石、硅膠A型、硅 膠B型、硅膠藍(lán)等。
這樣，通過在密閉空間內(nèi)配置水分吸附劑6，即使是在光傳感器的組裝 工序中有水分侵入密閉空間內(nèi)，仍可確實(shí)地將該水分利用水分吸附劑6予
ii以吸附，而防止由水分所造成的紫外光檢測器23的劣化。
圖2是光傳感器的其他實(shí)施例。在光傳感器B中，在窗構(gòu)件3和第2 殼體22的底部222之間，配置有作為密封構(gòu)件的金屬墊45，利用該金屬墊 45將窗構(gòu)件3和第2殼體22密封。
在第1殼體21的前方緣部213形成凹部，在該凹部配置有0形環(huán)41， 通過O形環(huán)41將窗構(gòu)件3和第1殼體21密封。
在第1殼體21的基板部211形成凹部，在該凹部配置有O形環(huán)43， 通過該O形環(huán)43將第1殼體21和第2殼體22密封。
通過在第1殼體21的筒部212和第2殼體22的基體部221之間形成 充裕的空間，即使第2殼體22被加熱成高溫，其熱量也很難傳導(dǎo)至第l殼 體21，從而能抑制設(shè)置于第1殼體21的紫外光檢測器23的溫度上升，并 能夠防止紫外光檢測器23的熱劣化。
作為更確實(shí)地防止紫外光檢測器23發(fā)生熱劣化的方法，也可在第1殼 體21的基板部211的上方設(shè)置冷卻單元。
具體而言，為了進(jìn)行空氣冷卻而在基板部211設(shè)置散熱片，或是讓冷 卻塊接觸基板部211，冷卻水循環(huán)于該冷卻塊內(nèi)部，或是將帕耳帖(peltier) 元件安裝于基板部211。
另外，在圖2中，也可以是，將窗構(gòu)件3和第2殼體22之間的作為密 封構(gòu)件的金屬墊45移除，而用第2殼體22的底部222，直接將窗構(gòu)件3朝 第1殼體21的筒部212的方向推壓。
在此構(gòu)造也是，能使由第1殼體21和窗構(gòu)件3所劃分出的第1殼體21 內(nèi)成為密閉空間，并利用配置于密閉空間內(nèi)的脫氧劑5來確實(shí)地將氧氣除 去，因此透過窗構(gòu)件3后的紫外光不會被氧氣吸收，而以未衰減的狀態(tài)到 達(dá)紫外光檢測器23，所以能正確地測定紫外光。再者，在密閉空間內(nèi)不會 產(chǎn)生臭氧，所以能防止紫外光檢測器23的劣化，而能正確地測定紫外光。
圖3是光傳感器的其他實(shí)施例。光傳感器C，是在第2殼體22的基體 部221的前方側(cè)形成段差部224，在該段差部224和第1殼體21的筒部212 的前表面之間，配置有作為密封構(gòu)件的環(huán)狀的金屬墊44，并且，在窗構(gòu)件 3和第2殼體22的底部222之間，也配置有作為密封構(gòu)件的環(huán)狀的金屬墊 45。另外，在第1殼體21的筒部212的上部外周刻設(shè)螺紋牙，在第2殼體 22的基體部221的上部內(nèi)周刻設(shè)螺紋槽，通過將筒部212旋轉(zhuǎn)插入基體部 221的內(nèi)部，由此使筒部212和基體部221螺合，由此使筒部212朝基體部 221的前方前進(jìn)，使配置于各殼體21、 22和窗構(gòu)件3之間的金屬墊44、 45 變形，而使各構(gòu)件成為密合狀態(tài)。
此外，在窗構(gòu)件3和第1殼體21的筒部212的內(nèi)部空間之間所形成的 空間配置有彈簧構(gòu)件7，彈簧構(gòu)件7的一端側(cè)是抵接于窗構(gòu)件3，在其另一 端側(cè)安裝有紫外光檢測器23。
再者，第1殼體21具備朝窗構(gòu)件3方向設(shè)有開口的第1流通孔215 和第2流通孔216，第1流通孔215和第2流通孔216是和第1殼體21內(nèi) 的連通孔217連通，在該連通孔217內(nèi)配置有脫氧劑5。
此外，第1流通孔215和第2流通孔216的開口直徑不同，第1流通 孔215的開口直徑為5mm，第2流通孔216的開口直徑為3mm。
在該光傳感器C中，由于窗構(gòu)件3受到紫外光的照射而成為高溫狀態(tài)， 在第1殼體21內(nèi)的窗構(gòu)件3附近的空間溫度變高。
于是，以與該空間連通的方式形成有第1流通孔215和第2流通孔216， 而在此空間產(chǎn)生對流。并且，使第1流通孔215的開口直徑比第2流通孔 216的開口直徑更大，因此對流是從第1流通孔215內(nèi)流入，經(jīng)過連通孔 217而從第2流通孔216排出。
再者，由于在讓對流流過的連通孔217處配置有脫氧劑5，所以能夠確 實(shí)地除去氧氣。結(jié)果是，在配置有紫外光檢測器23的密閉空間內(nèi)氧氣不會 存在，透過窗構(gòu)件后的紫外光不會被氧氣吸收，而能以未衰減的狀態(tài)到達(dá) 紫外光檢測器，因此能正確地測定紫外光。再者，在配置有紫外光檢測器 的密閉空間內(nèi)不會產(chǎn)生臭氧，因此也能防止紫外光檢測器發(fā)生劣化。
另外，在脫氧劑5無法將氧氣完全除去的情況下，雖然可能會產(chǎn)生極 微量的臭氧，但在由第1流通孔215、流通孔217、及第2流通孔216構(gòu)成 的流通路內(nèi)，只要在對流流過的、比脫氧劑5更上游側(cè)配置活性碳等的臭 氧分解觸媒，就能夠確實(shí)地除去臭氧。
權(quán)利要求
1.一種光傳感器，利用配置于殼體內(nèi)的紫外光檢測器來檢測紫外光，其特征在于，前述殼體包括第1殼體，在該第1殼體內(nèi)部配置用來檢測紫外光的紫外光檢測器，并且具有讓紫外光通過的貫穿孔；及第2殼體，具有紫外光通過的貫穿孔，前述第1殼體和第2殼體設(shè)置成各殼體的貫穿孔互相重疊，在前述第1殼體和前述第2殼體之間、且在與各殼體的貫穿孔相對向的位置配置有透過紫外光的窗構(gòu)件，在前述窗構(gòu)件和前述第1殼體之間配置有密封構(gòu)件，在前述第1殼體內(nèi)配置有脫氧劑。
2. 如權(quán)利要求1所述的光傳感器，其特征在于， 在前述窗構(gòu)件和前述第2殼體之間配置有密封構(gòu)件。
3. 如權(quán)利要求1或2所述的光傳感器，其特征在于， 在前述第1殼體內(nèi)配置有水分吸附劑。
4. 一種光傳感器，利用配置于殼體內(nèi)的紫外光檢測器來檢測紫外光， 其特征在于前述殼體包括第1殼體，在該第1殼體內(nèi)部配置有用來檢測紫外光的紫外光檢測器， 并且具有紫外光通過的貫穿孔；及第2殼體，具有讓紫外光通過的貫穿孔，前述第1殼體和第1殼體設(shè)置成各殼體的貫穿孔互相重疊，在前述第1殼體和前述第2殼體之間、且在與各殼體的貫穿孔相對向 的位置配置有透過紫外光的窗構(gòu)件，在前述第1殼體和前述第2殼體之間配置有密封構(gòu)件，在前述窗構(gòu)件和前述第2殼體之間配置有密封構(gòu)件，在前述第1殼體內(nèi)配置有脫氧劑。
5.如權(quán)利要求4所述的光傳感器，其特征在于，前述第1殼體具備在前述窗構(gòu)件的方向設(shè)有開口的第1流通孔和第2 流通孔，前述第1流通孔和第2流通孔，與前述第1殼體內(nèi)的連通孔連通，在前述連通孔內(nèi)配置有前述脫氧劑，前述第1流通孔和第2流通孔的開口直徑不同。
全文摘要
本發(fā)明的課題是提供一種光傳感器，可將配置有紫外光檢測器的外殼內(nèi)的氧氣確實(shí)地除去，以防止臭氧產(chǎn)生并利用紫外光檢測器來正確地測定紫外光，而能正確地測定準(zhǔn)分子燈等的紫外線光源的點(diǎn)燈狀態(tài)。本發(fā)明的光傳感器，利用配置于殼體內(nèi)的紫外光檢測器來檢測紫外光，其特征在于殼體包括第1殼體，該第1殼體在內(nèi)部配置用來檢測紫外光的紫外光檢測器且具有讓紫外光通過的貫穿孔；及第2殼體，該第2殼體具有讓紫外光通過的貫穿孔，第1殼體和第2殼體是設(shè)置成各殼體的貫穿孔互相重疊，在第1殼體和第2殼體之間、且在與各殼體的貫穿孔相對向的位置配置有讓紫外光透過的窗構(gòu)件，在窗構(gòu)件和第1殼體之間配置有密封構(gòu)件，在第1殼體內(nèi)配置有脫氧劑。
文檔編號G01J1/04GK101551269SQ20091012987
公開日2009年10月7日 申請日期2009年3月30日 優(yōu)先權(quán)日2008年3月31日
發(fā)明者中村雅規(guī) 申請人:優(yōu)志旺電機(jī)株式會社