技術(shù)編號：6153951
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細信息。本發(fā)明涉及一種光傳感器，該光傳感器用來檢測從準分子燈等的紫外 線光源放射出的紫外光。背景技術(shù)現(xiàn)在，例如在通過照射紫外線清洗液晶顯示面板的玻璃基板的工序等中，使用紫外線照射裝置，該紫外線照射裝置具備可放射波長200nm以下 的真空紫外光的準分子燈。使用第4圖來說明這種紫外線照射裝置。紫外線照射裝置10具備光取出窗11、本體外殼12、及金屬塊體13， 在本體外殼12的內(nèi)部配置準分子燈1。光取出窗11是一種光透過構(gòu)件，可讓準分子燈1所放射的紫外光透過， 該光取出...
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