專利名稱：部件測試裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及用于進行電子部件的測試的部件測試裝置。
背景技術(shù)：
通常，在半導(dǎo)體芯片等這樣的電子部件的制造工序中，對上述
電子部件進行各種各樣的測試。在上述測試中，通常4吏用^t稱作IC 處理才幾(IC handler )的部件測試裝置。在這樣的部件測試裝置中i殳 置有多個輸送裝置，其中，這些輸送裝置用于將被測試的電子部件 輸送到部件測試裝置內(nèi)部中的規(guī)定的各個位置(例如供給位置、測 試位置和排出位置)。這些輸送裝置或者將測試前的電子部件提供 給部件測試裝置，或者^1尋測試前的電子部件配置在部件測試裝置內(nèi) 的測試座(test socket)上，或者將測試完畢的電子部件從測試座上 取下，或者將測試后的電子部件從部件測試裝置排出。如果詳細敘 述，則是進行如下的動作例如，通過作為輸送裝置的供給自動裝 置(robot)將測試前的電子部件載置在4炎(shuttle)上，該才炎將測 試前的電子部件l命送直至測試座的附近。在測試座附近的位置上， 作為輸送裝置的測定自動裝置(輸送臂)把持載置在梭上的試驗前 的電子元部件，同時輸送至測試座并配置在測試座上。此外，測定 自動裝置在4巴持結(jié)束了測試的電子部件的同時，將該電子部件,人測 i 試座裝載在梭上。該梭將結(jié)束了測試的電子部件輸送直至作為輸送 裝置的回收自動裝置附近。然后，回收自動裝置把持結(jié)束了測試的 電子部件，并將該電子部件分配給與測試結(jié)果相對應(yīng)的回收4乇盤。但是，在上述的部件測試裝置中， 一直以來就存在著在較短的 時間內(nèi)進行較多的電子部件的測試的要求。于是，作為縮短部件測
試裝置中的測試所需時間的方法，例如在日本特開2002-148307號 公沖艮中公開了縮短對測試座更換電子部件的時間的方法。在上述^> 報的方法中，部件測試裝置、即IC處理機包括排列在一條直線上 的多個測試座、以及配置成分別跨越該測試座的多對輸送臂。各輸 送^"包4舌用于p及附電子部^f牛的吸附才幾構(gòu)、以及用于爿奪電子部ff壓入 測試座的壓入機構(gòu)。各對輸送臂、即第一輸送臂以及第二輸送臂獨 立地驅(qū)動。通過盡量使第二輸送臂接近第一輸送臂并進行待機，從 而能夠縮短向測試座更^:電子部件所需的l俞送距離，其中，該第一 輸送臂將電子部件壓入測試座，該第二輸送臂4巴持下一個^皮壓入該 測試座的電子部件。因此，能夠縮短部件測試裝置中的測試所需的 總時間。
使用了測試座的、電子部件的測試所需的時間才艮據(jù)測試內(nèi)容而 不同，且也存在以下情況電子部件的輸送時間、例如將測試完畢 的電子部件排出紿"陵所需的時間或通過4發(fā)把持測試前的電子部件 并輸送直至測試座的附近所需要的時間比電子部件的測試時間長。
即使采用了上述公報的方法，也并不是一定會縮短測試所需的總時 間。也就是說，在第二輸送臂輸送電子部件的輸送中，如果存在通 過第一輸送臂配置在測試座上的電子部件的測試終止這樣的情況， 則無法使上述第二輸送臂接近上述第一輸送臂且待機。此外，由于 這些輸送臂在每次電子部件的測試時進行排出和供給，所以與該每 次的排出和供給相關(guān)的動作也成為了縮短整體的輸送時間的限制。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明的目的在于提供部件測試裝置，其能夠通過縮短向測試 座更換電子部件所需的時間，從而實現(xiàn)提高縮短電子部件的測試所
涉及的處理量(through-put )。
為了實現(xiàn)上述目的，提供了用于進行電子部件測試的部件測試 裝置，該部件測試裝置包括部件供給裝置，將上述電子部件提供 到供給位置；輸送臂，用于把持上述電子部件，以便將上述電子部 件從上述供給位置輸送到設(shè)置在測試位置上的測試座，并將測試完 畢的電子部件從上述測試座輸送到排出位置；以及部件排出裝置， 用于將上述電子部件從上述排出位置輸出，其中，上述輸送臂包括 多個定位單元，其中，上述定位單元分別4巴持上述電子部件且相互 獨立地驅(qū)動，上述多個定位單元沿/人上述供給位置向上述測試位置 的上述電子部件的輸送方向鄰接排列。


圖1是本發(fā)明的一個實施方式所涉及的部件測試裝置的立體
圖2是圖l的部件測試裝置的部件測試部的立體圖3是圖l的部件測試裝置的輸送臂的立體圖4A是表示基于圖l的部件測試裝置的電子部件的輸送狀態(tài) 的^府一見圖4B是圖4A的正^L圖；圖5A是表示基于圖1的部件測試裝置的電子部件的輸送狀態(tài) 的^府一見圖5B是圖5A的正一見圖6A是表示基于圖1的部件測試裝置的電子部件的輸送狀態(tài) 的Y府一見圖6B是圖6A的正3見圖7A是表示基于圖1的部件測試裝置的電子部件的輸送狀態(tài) 的Y府;f見圖7B是圖7A的正—見圖8A是表示基于圖1的部件測試裝置的電子部件的輸送狀態(tài) 的^府一見圖8B是圖8A的正—見圖9A是表示基于圖1的部件測試裝置的電子部件的輸送狀態(tài) 的^f府一見圖9B是圖9A的正—見圖IOA是表示基于圖1的部件測試裝置的電子部件的輸送狀態(tài) 的^府^L圖IOB是圖IOA的正一見圖IIA是表示基于圖1的部件測試裝置的電子部件的輸送狀態(tài) 的俯纟見圖；圖11B是圖11A的正—見圖。
具體實施例方式
下面，參照圖1~圖11B來說明將本發(fā)明具體化后的一個實施 方式。圖1是本發(fā)明的一個實施方式所涉及的部件測試裝置的立體圖。
如圖l所示，本實施方式所涉及的部件測試裝置包括大致長方 形的基臺1。在基臺1的上表面上，在該基臺1的長度方向中央且 與該長度方向正交的方向(寬度方向)的靠內(nèi)側(cè)配置有大致長方形 的部件測試部10。在基臺1的上表面上，在部件測試部10的長度 方向的一側(cè)(圖1中的左側(cè))i殳置有作為部件供給單元的部件供纟合 裝置20,在另一側(cè)(圖1中的右側(cè))設(shè)置有作為部件排出單元的部 件排出裝置30。
如圖2所示，部件測試部10包4舌大致長方形的上層支7 、體11、 和層疊在該上層支承體11下側(cè)的大致長方形的下層支承體(圖示 省略)。下層支承體比上層支承體11略小。在上層支承體11上形成 有兩個貫通孔12，兩個貫通孔12的中心沿上層支岸義體11的寬度方 向分離間隔Ls。測試座Sc祐:i殳置成嵌入到與各貫通孔12相對應(yīng)的 下層支承體的部位上。兩個測試座Sc的中心間的間隔也表示為Ls。
測試座Sc用于〗吏安裝在同 一測試座Sc上的電子部件T (參照 圖3)與未圖示的測試裝置電連4妄。具體來"i并，在測試座Sc上i殳置 有分別與電子部件T所包括的未圖示的多個連接銷相對應(yīng)的未圖示 的多個4妄觸銷。4妄觸銷分別電連4矣在與進4于電子部件T的電測試的 測試裝置相對應(yīng)的端子上。如果將電子部件T安裝在測試座Sc上， 則該電子部4牛T的連4妄銷與7于應(yīng)的4妄觸銷電連4婁，并4吏可^Vf于基于 測試裝置的電子部件T的電測試。圖1所示的部件供給裝置20用于將裝載在供給托盤(圖示省 略)上的測試前的電子部件T從基臺1的寬度方向的前面?zhèn)?、即?離開部件測試部10的托盤交換位置Pl供給到基臺1的寬度方向的 內(nèi)側(cè)、即部件測試部10附近的供給位置P2。具體來講，部件供給 裝置20包括從托盤交換位置Pl到供給位置P2沿基臺1的寬度方 向延伸的一對軌道21。在該一對軌道21上配置有包括在該軌道21 上移動的軌道支承件(圖示省略)的托盤支承體(圖示省略)。在 該托盤支承體的上面上裝載有供給托盤，其中，該供給托盤包括用 于<呆*持電子部<牛T的多個凹處Pc。另外，在一只于庫九道21之間，以 與軌道21平4亍地延伸的方式設(shè)置有滾J朱螺桿25。固定在基臺1上 的架(holder ) 24可轉(zhuǎn)動地支承滾^^螺桿25的兩端部。在滾珠螺桿 25上連接有供給電機M2,滾珠螺桿25通過該供給電機M2進行正 反旋轉(zhuǎn)。另外，滾珠螺桿25與設(shè)置在托盤支承體上的滾珠螺桿支 壽義件(圖示省略)相螺合，通過滾J朱螺桿25進^f亍正反^走轉(zhuǎn)，4乇盤 支承體在托盤交換位置Pl和供給位置P2之間往復(fù)移動。也就是說， 裝載有測試前的電子部件T的供給托盤被裝載在托盤支承體上，且 可以在4乇盤交換位置Pl和供給位置P2之間往復(fù)移動。
圖1所示的部件排出裝置30將裝載在排出托盤ET上的測試完 畢的電子部件T從基臺1的寬度方向的內(nèi)側(cè)、即從部件測試部10 的附近的排出位置P3供給到基臺1的寬度方向的前面?zhèn)取⒓磁c部 件測試部10分離的托盤交換位置P4。具體來講，部件排出裝置30 包括從托盤交換位置P4直至排出位置P3沿基臺1的寬度方向延伸 的一對軌道31。在該一對軌道31上配置有包括在該軌道31上移動 的軌道支承件32的托盤支承體33。此外，在該托盤支承體33的上 面上裝載有排出托盤ET，其中，該排出托盤ET包括用于保持電子 部件T的多個凹處Pc。在一對專九道31之間，以與軌道31平4亍的延 伸的方式設(shè)置有滾珠螺桿35。固定在基臺1上的架34可轉(zhuǎn)動地支 岸義滾J朱螺桿35的兩端部。在滾J朱螺桿35上連接有排出電機M3,滾珠螺桿35通過該排出電機M3進行正反旋轉(zhuǎn)。另外，在滾珠螺桿 35上螺合有設(shè)置在托盤支承體33上的滾珠螺桿支承件(圖示省略)， 通過滾^朱螺桿35的正反旋轉(zhuǎn)，4乇盤支7"R體33在4乇盤交換位置P4 和排出位置P3之間往復(fù)移動。也就是i兌，裝載有測試完畢的電子 部件T的排出托盤ET被裝載在托盤支承體33上，且可以在托盤交 換位置P4和排出位置P3之間往復(fù)移動。
沿基臺1的長度方向?qū)D2所示的包括測試座Sc的部件測試 部10、部件供給裝置20的供給位置P2、以及部件排出裝置30的 排出位置P3排列在一條直線上，并將該排列稱為部件輸送排列。
在部件測試部10的基臺1的寬度方向的兩側(cè)、即部件輸送排 列的基臺1的寬度方向的兩側(cè)，第一輸送裝置40A與第二輸送裝置 40B以彼此相對的方式被設(shè)置在基臺l上。第一輸送裝置40A相對 于部件輸送排列而被配置在基臺l的寬度方向的前側(cè)，且第二輸送 裝置40B相對于部件輸送排列而被配置在基臺1的寬度方向的內(nèi) 側(cè)。第一輸送裝置40A以及第二輸送裝置40B中的每一個輸送裝置 都包括垂直于基臺1的上表面且與部件輸送排列平行地延伸的板狀 輸送臂支承體41。各輸送臂支承體41包括朝向部件測試部10的內(nèi) 側(cè)面41a和^立于該內(nèi)側(cè)面41a的相反側(cè)的外側(cè)面41b。也就是i兌， 第一輸送裝置40A以及第二輸送裝置40B以它們的輸送臂支承體 41的內(nèi)側(cè)面41a;f皮此相對的方式^L配置在基臺1上。另外，各輸送 臂支承體41被配置成跨越部件供給裝置20以及部件排出裝置30。 在配置在基臺1的寬度方向的前側(cè)的輸送臂支承體41的外側(cè)面41b 上配置有一對4九道42，其中，該一對4九道42與部件l俞送排列平4亍 且具有相當(dāng)于部件供給裝置20和部件排出裝置30之間的距離的長 度。在一對軌道42上，隔著在該軌道42上移動的未圖示的軌道支 7 "牛i史置有水平移動體43。也就是i兌，水平移動體43沿隔4九道支 承件而被引導(dǎo)的一對軌道42進行往復(fù)移動。在一對軌道42之間設(shè)置有與該軌道42平行延伸的滾珠螺桿45。通過被固定于輸送臂支 承體41的外側(cè)面41b的兩個架44可轉(zhuǎn)動地支7 義滾3朱螺4干45的兩 端部。滾珠螺桿45的一端與水平電機M4連接，滾珠螺桿45通過 該水平電機M4進行正反旋轉(zhuǎn)。另外，在滾J朱螺桿45上螺合有i殳置 在水平移動體43上的軸承部43g,通過滾^朱螺桿45的正反旋轉(zhuǎn)， 水平移動體43在部件供給裝置20的上面和部件排出裝置30的上 面之間沿水平方向往復(fù)移動。
水平移動體43隔著沿上下方向4非列的一對水平連4妾體46來支 7 義位于輸送臂支7"R體41的內(nèi)側(cè)面41a側(cè)的輸送臂50。具體來"i井， 下側(cè)的水平連接體46從水平移動體43的下部通過在跨越部件供給 裝置20以及部件排出裝置30的輸送臂支承體41的部分、和基臺1 的上面之間形成的空間，并伸出到輸送臂支承體41的內(nèi)側(cè)面41a 側(cè)。上側(cè)的水平連接體46從水平移動體43的上部、以與軌道42 平4亍地延伸的方式，通過貫通輸送臂支7 義體41的導(dǎo)孔41d而伸出 到輸送臂支承體41的內(nèi)側(cè)面41a側(cè)。而且，在該一對水平連4妄體 46的前端上連接有一個輸送臂50。據(jù)此，輸送臂50可以隨著水平 移動體43的水平移動，在部件供給裝置20的上面和部件排出裝置 30的上面之間沿7JC平方向4主復(fù)移動。
如圖3所示，輸送臂50包括垂直支承體51，該垂直支承體51 形成為縱向長的大致長方形4反狀，在該垂直支7 義體51的下部連4妄 有兩個水平連結(jié)體46的前端。垂直支岸義體51包4舌朝向部件測試部 10側(cè)的內(nèi)側(cè)面51a和朝向輸送臂支承體41側(cè)的外側(cè)面51b。在垂 直支7 義體51的內(nèi)側(cè)面51a上以相等間隔配置有沿相對于基臺1垂 直的方向延伸的三4艮軌道52A、 52B、 52C。相鄰的軌道52A、 52B、 52C分開間隔Lp。在各軌道52A、 52B、 52C上包4舌通過一對軌道 支壽"牛53可沿上下方向移動的垂直移動體54A、 54B、 54C。而且， 在各軌道52A、 52B、 52C上i殳置有平行的滾珠螺桿55A、 55B、 55C。在各滾玉朱螺桿55A、 55B、 55C的上端連^妄有獨立驅(qū)動的垂直電初^ M5A、 M5B、 M5C。通過各垂直電才幾M5A、 M5B、 M5C,對應(yīng)的 滾珠螺桿55A、 55B、 55C沿正反方向旋轉(zhuǎn)。另夕卜，在各滾珠螺桿 55A、 55B、 55C上螺合有設(shè)置在對應(yīng)的垂直移動體54A、 54B、 54C 上的滾珠螺桿支承件(省略圖示)。也就是說，各垂直移動體54A、 54B、 54C隨著對應(yīng)的滾J朱螺桿55A、 55B、 55C的正反i走轉(zhuǎn)而沿對 應(yīng)的軌道52A、 52B、 52C進4亍上下移動。
另外，各垂直移動體54A、 54B、 54C包括定位單元(index unit) 60A、 60B、 60C。各定位單元60A、 60B、 60C包4舌相對于上述垂 直支承體51的內(nèi)側(cè)面51a垂直延伸的水平部62。各水平部62被固 定在對應(yīng)的垂直移動體54A、 54B、 54C上。具體來講，各定位單 元60A、 60B、 60C的7Jc平部62具有相對于基臺1的部件測試部10 水平的下表面，且具有可以與隔開中心間隔Ls設(shè)置的兩個測試座 Sc兩者都相對的長度。據(jù)此，各定位單元60A、 60B、 60C的水平 部62在與測試座Sc相對的位置上即測試位置上，通過對應(yīng)的垂直 移動體54A、 54B 、 54C進4亍上下移動來4妄近或離開測試座Sc。
定位單元60A在其 K平部62的下表面包括作為4巴持機構(gòu)的兩 個部件4巴持部70。該兩個部件4巴持部70的中心間隔為Ls。各部件 把持部70在供給位置P2 (參照圖1 )上把持裝載在供給托盤的凹 處Pc (參照圖1)中的電子部件T的同時，在測試位置將把持的電 子部件T按壓到測試座Sc上(參照圖2)。另外，在排出位置P3 (參照圖1 )，各部件4巴持部70將電子部件T裝載到排出托盤ET (參照圖1 )的凹處Pc中。各部件對巴持部70包4舌壓入才幾構(gòu)71和通 過壓入才幾構(gòu)71而在上下方向上移動的吸附才幾構(gòu)72。壓入才幾構(gòu)71可 以通過其內(nèi)部的氣壓活塞而4吏吸附才幾構(gòu)72向下面突出。由于p及附 機構(gòu)72的突出，配置在測試座Sc上的電子部件T^皮強壓在該測試 座Sc上，據(jù)此，電子部件T的連接銷與測試座Sc的接觸銷電連接。另外，吸附機構(gòu)72與未圖示的負(fù)壓發(fā)生裝置連接，在吸附機構(gòu)72 的底面上i殳置有通過上述負(fù)壓發(fā)生裝置產(chǎn)生的負(fù)壓所作用的吸附 孔(圖示省略)。在部件把持部70從供給用托盤把持電子部件T的 情況下，使吸附機構(gòu)72的底面的吸附孔產(chǎn)生負(fù)壓從而將電子部件T 吸附到部件把持部70的底面上。另 一方面，在將吸附機構(gòu)72所把 持的電子部件T放置到排出托盤ET(參照圖l)上的情況下，通過 解除吸附機構(gòu)72的底面的吸附孔與負(fù)壓發(fā)生裝置之間的連接并使 該吸附孔中成為大氣壓，乂人而方文開電子部^牛T。
由于定位單元60B、 60C的構(gòu)成與上述的定位單元60A的構(gòu)成 相同，所以省略了對其的說明。各定位單元60A、 60B、 60C的？K 平部62的寬度只要是至少可以i殳置部件4巴持部70的大小即可，連 接有各定位單元60A、 60B、 60C的垂直移動體54A、 54B、 54C的
相互間的間隔Lp也是基于水平部62的寬度而確定的。在本實施方 式中，下面，也將間隔Lp稱為l間距。
在這樣構(gòu)成的情況下，作為供給托盤和排出托盤ET的凹處Pc, 特別優(yōu)選沿基臺1的長度方向隔開間隔Lp地設(shè)置三個凹處Pc，沿 基臺1的寬度方向隔開間隔Ls地設(shè)置兩個凹處Pc,也就是設(shè)置合 計六個凹處Pc。在〗吏用如上所述地J殳置有凹處Pc的供纟合4乇盤的情 況下，第一輸送裝置40A以及第二輸送裝置40B中的每一個輸送裝 置在供《會位置P2，可使輸送臂50的所有定位單元60A、 60B、 60C 同時升降，并使六個的部件把持部70從供給托盤把持六個電子部 件T。另外，在使用如上所述地設(shè)置有凹處Pc的排出托盤ET的情 況下，第一輸送裝置40A以及第二輸送裝置40B中的各個輸送裝置 在排出位置P3,可使輸送臂50的所有定位單元60A、 60B、 60C 同時移動，并將所有的部件把持部70把持的合計六個的電子部件T 排出至排出托盤ET。接著，參照圖4A~圖IIB，對由上述部件輸送裝置執(zhí)行的對于 測試座Sc的電子部件T的更換動作進4亍i兌明。在下面的i兌明中， 將第一輸送裝置40A所包括的輸送臂50稱為第一輸送臂50A,將 配第二輸送裝置40B所包括的輸送臂50稱為第二輸送臂50B。第 一輸送臂50A的定位單元60A、 60B、 60C從部件供給裝置20的供 給位置P2向部件排出裝置30的排出位置P3,按照"60A" 、 "60B"、 "60C"的順序排列。另外，第二輸送臂50B的定位單元60A、 60B、 60C從部件供給裝置20的供給位置P2向部件排出裝置30的排出 位置P3，按照"60C"、 "60B"、 "60A"的順序排列。
首先，圖6A以及圖6B示出了配置在測試位置上的第二輸送 臂50B的定位單元60A所對巴持的兩個電子部件T ^皮配置在兩個測 試座Sc上并接受電測試的狀態(tài)。在該狀態(tài)下，第二輸送臂50B被 配置為比第一輸送臂50A更接近排出位置P3。對于電子部件T的 電測試需要身見定的測試時間。另一方面，第一豐命送臂50A^皮配置在 供給位置P2,第一輸送臂50A的部件4巴持部70 4巴持處于測試等待 狀態(tài)的電子部件T。而且，此時，第一輸送臂50A的定位單元60A、 60B、60C的部件4巴持部70上升到可使第一輸送臂50A向測試位置 的方向移動的第一高度hl。第二輸送臂50B的定位單元60B、 60C 的部件把持部70位于從測試座Sc僅分離規(guī)定距離的第二高度h2。
接著，如圖7A以及圖7B所示，在第二輸送臂50B的定位單 元60A ^皮配置在測試位置的狀態(tài)下，第一輸送臂50A —邊將部件 4巴持部70的高度維持在上述第一高度hl， 一邊向測試位置的方向 移動。通過該移動，第一專t送臂50A的定位單元60C相對于第二 輸送臂50B的定位單元60C 4矣近直至間隔為Lp。
然后，如果經(jīng)過^L定的測試時間，且第二輸送臂50B的定位單 元60A所對巴持的兩個電子部件T的測試結(jié)束，則在〗吏這兩個電子部 件T從測試座Sc脫離的同時，第二輸送臂50B的定位單元60A的部件4巴持部70上升直至第二高度h2。此外，如圖8A以及圖8B所 示，第二輸送臂50B向排出位置P3的方向、即排出方向^f義移動1 間距，第二輸送臂50B的定4立單元60B纟皮配置在測試位置，該定位 單元60B所把持的兩個電子部件T分別^L配置在測試座Sc上以供 電測試。這時，第一輸送臂50A也與第二輸送臂50B同步地向排出 方向^又移動1間3巨。
接著，如果經(jīng)過規(guī)定的測試時間，第二輸送臂50B的定位單元 60B所4巴持的兩個電子部件T的測試結(jié)束，則在使該定位單元60B 所把持的兩個電子部件T從測試座Sc脫離的同時，第二輸送臂50B 的定位單元60B的部件4巴持部70上升直至第二高度h2。然后，如 圖9A以及圖9B所示，第二輸送臂50B向排出方向僅移動1間距， 第二輸送臂50B的定位單元60C 3皮配置在測試位置。該定位單元 60C所4巴持的兩個電子部件T分別被配置在測試座Sc上以供電測 試。這時，第一輸送臂50A也與第二輸送臂50B同步地向排出方向 僅移動1間距，并且，第一輸送臂50A的定位單元60A ~ 60C的部 件把持部70下降直至第二高度h2。
然后，如果經(jīng)過失見定的測試時間，且第二輸送臂50B的定位單 元60C所4巴持的兩個電子部件T的測試結(jié)束，則使該定位單元60C 的兩個電子部件T從各自的測試座Sc脫離，并使第二輸送臂50B 向排出方向移動。如圖4A以及圖4B所示，第一輸送臂50A向排 出方向僅移動1間距，第一輸送臂50A的定位單元60C ^皮配置在 測試位置，該定位單元60C所4巴持的兩個電子部件T分別纟皮配置在 測試座Sc上以供電測試。另一方面，第二輸送臂50B向上述排出 方向移動直至排出位置P3，在該排出位置P3，測試結(jié)束的所有電 子部件T被排出到排出托盤ET。然后，如圖5A以及圖5B所示， 第二輸送臂50B從排出位置P3上升到不會與位于第二高度h2的第 一輸送臂50A接觸的第三高度(返回高度)h3，并返回到供給位置
15P2。如圖IOA以及圖IOB所示，第二輸送臂50B以不與第一輸送 臂50A接觸的方式從排出位置P3返回到供給位置P2。也就是說， 第一輸送臂50A和第二輸送臂50B的位置被更換，以使第一輸送臂 50A比第二輸送臂50B更接近排出位置P3。換言之，第一輸送臂 50A和第二輸送臂50B旋轉(zhuǎn)(rotary)移動。
另夕卜，如圖11A以及圖11B所示，移動到供給位置P2的第二 輸送臂50B在同時把持供給到供給位置P2的六個電子部件T之后， 第二輸送臂50B的定位單元60A ~ 60C的部件把持部70的高度下 降到第 一 高度hl 。然后，第二輸送臂50B向第 一輸送臂50A的方 向移動。這時，如果上述第二輸送臂50B的電子部件T的排出以及 供給所需要的時間比第 一輸送臂50A的所有電子部件T的電測試所 需要的測試時間短，則與圖7所示的狀態(tài)相同，第二llT送臂50B的 定位單元60A可移動到與配置在測試位置的第一輸送臂50A鄰接 的位置。
在本實施方式中，第一輸送臂50A的定位單元60A ~ 60C和第 二輸送臂50B的定位單元60A ~ 60C依次且反復(fù)地^皮配置在測試位 置。因此，第一輸送臂50A以及第二輸送臂50B的各自的定位單元 60A ~ 60C的兩個部件4巴持部70所4巴持的兩個電子部件T被連續(xù)地 配置在測試zf立置。另外，即4吏在測試座Sc上更才灸電子部件T時， 也是只要使輸送臂50A、 50B在水平方向上僅移動1間距，并將對 應(yīng)的定〗立單元60A~60C在上下方向上4又移動第二高度h2即可。 據(jù)此，可以大幅縮短測試座Sc上更4灸電子部件T的時間，并可可 靠地提高電子部件T的測試所涉及的處理量(through-put )。
本實施方式具有以下的優(yōu)點。
(1 )輸送臂50 ( 50A、 50B )包括多個定位單元60A、 60B、 60C。據(jù)此，在將一個定位單元60A (或60B )所把持的電子部件T配置在測試座Sc上并結(jié)束上述電子部件T的測試之后，無需立即 將定位單元60A (或60B)向排出位置P3移動。也就是說，在多 個定位單元60A、 60B、 60C所把持的全部電子部件T的測試結(jié)束 之后，將各輸送臂50作為一個單位，將這些電子部件T向排出位 置P3移動即可。因此，可以可靠地縮短向測試座Sc更換電子部件 T所需的時間，此外，對于部件測試裝置，可以可靠地-提高包括其 專IT送時間在內(nèi)的電子部件T的測試所涉及的處理量。
(2 )各輸送臂50將多個定位單元60A、 60B、 60C所把持的 電子部件T作為一個單位進行輸送，兩個輸送臂50 ( 50A、50B )
反復(fù)輸送電子部件T。因此，在測試座Sc上總是連續(xù)地配置有電子 部件T。并且，利用將輸送臂50作為一個單位的測試時間，其它的 基于輸送臂50的電子部件T的供給和排出也成為可能。因此，作 為部件測試裝置的電子部件T的測試所涉及的處理量4又依賴于通過 測試座Sc的測試時間，隨著該測試時間的縮短，也可可靠地4是高 電子部件T的測試所涉及的處理量。
(3) 并且，由于提供了兩個輸送臂50A、 50B，因而足以使輸 送臂50在作為 一個單位的另 一輸送臂50所利用的測試時間內(nèi)供給 和排出電子部件T。而且，在多個定位單元60A、 60B、 60CM皮此 相向并沿上下方向交錯的狀態(tài)下，兩個輸送臂50A、 50B彼此旋轉(zhuǎn) 移動。因此，也可大大地節(jié)約作為部件測試裝置的平面設(shè)置空間。
(4) 上述定位單元60A、 60B、 60C中的每個定位單元包括至 少具有用于吸附電子部件的p及附才幾構(gòu)72、以及用于將電子部件壓入 測試座中的壓入才幾構(gòu)71的部件4巴持部70。據(jù)此，通過各部件4巴持 部70,將在部件的供給位置P2或排出位置P3與測試座Sc之間的、 對于電子部件T必要且充分的把持功能賦予給了各定位單元60A、 60B、 60C。(5)輸送臂50包括具有與測試座Sc的排列相對應(yīng)的排列的 部件把持部70,因此，與這樣排列的測試座Sc的數(shù)量相對應(yīng)，可 以^是高作為部件測試裝置的處理量。
上述的實施方式也可以作如下的變更。
測試座Sc的形狀只要是可以可靠;也實現(xiàn)與IC等的電子部件的 各電4及之間的電連4妄的構(gòu)造即可，并不l又限于上述實施方式。
測試座Sc的凄丈量也可以是一個或三個以上，并且，與此相應(yīng) 設(shè)置在各定位單元60A-60C上的部件把持部70的數(shù)量也可以是 一個或三個以上。
多個測試座Sc可以沿基臺1的長度方向排列，也可以排列成 矩陣狀。并且，在這種情況下，與測試座Sc的排列相對應(yīng)，可以 相對于各輸送臂以可獨立驅(qū)動的方式設(shè)置有多個在輸送臂的移動 方向上的寬度可變更等的定位單元。
上述實施方式的部件輸送排列可以按照供給位置P2、測試位 置、排出位置P3的順序排列。但并不僅限于此，也可以將部件輸 送排列進行任意的變更，例如排出位置、供給位置、測試位置的順 序或供給位置、排出位置、測試位置的順序。而且，供鄉(xiāng)合位置以及 排出位置沒有必要一定是不同的位置，可以為相同的位置，在這種 情況下，也可共用部件供給裝置和部件排出裝置。
在上述的實施方式中，各輸送臂50A、 50B設(shè)置成沿部件輸送 排列往復(fù)移動。但并不僅限于此，沿供給位置、測試位置、排出位 置移動的輸送臂也可以從其它的路徑返回到供給位置。作為這種情 況下的輸送臂的路徑，例如可以考慮曲線路徑、繞平面轉(zhuǎn)動的旋轉(zhuǎn)路徑、傳送帶的帶這樣的旋轉(zhuǎn)路徑。而且，這些輸送臂也無需旋轉(zhuǎn)移動。
豐敘送臂50可以是一個。llT送臂50只要包括鄰4妻配置的多個定
位單元，就可以縮短向測試座更4奐電子部件所需要的時間。另外，
相反地，也可以包括三個以上的輸送臂50。
輸送臂50所包括的定位單元的數(shù)量只要是多個即可，其可以
為任意數(shù)量。
在上述的實施方式中，各輸送臂50A、 50B包括的定位單元 60A、 60B、 60C順次獨立驅(qū)動。^f旦并不^f義限于此，也可以才艮據(jù)測試 座的數(shù)量或測試座的排列形式，使多個定位單元同步驅(qū)動而將電子 部件配置在測試座上。據(jù)此，無需進行基于測試座的數(shù)量的部件測 試裝置的切換工作，且可以實現(xiàn)生產(chǎn)性能的提高。
權(quán)利要求
1. 一種部件測試裝置，用于進行電子部件測試，所述部件測試裝置的特征在于，包括部件供給裝置，將所述電子部件提供到供給位置；輸送臂，用于把持所述電子部件，以便將所述電子部件從所述供給位置輸送到設(shè)置在測試位置上的測試座，并將測試完畢的電子部件從所述測試座輸送到排出位置；以及部件排出裝置，用于將所述電子部件從所述排出位置輸出，其中，所述輸送臂包括多個定位單元，其中，所述定位單元分別把持所述電子部件且相互獨立地驅(qū)動，所述多個定位單元沿從所述供給位置向所述測試位置的所述電子部件的輸送方向鄰接排列。
2. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的部件測試裝置，其中，設(shè)置有多個所述輸送臂，多個輸送臂相互旋轉(zhuǎn)移動。
3. 根據(jù)權(quán)利要求2所述的部件測試裝置，其中，所述輸送臂的數(shù)量是兩個，所述兩個輸送臂在相互的多 個定位單元^皮此相對且上下交4晉的狀態(tài)下^走轉(zhuǎn)移動。
4. 根據(jù)權(quán)利要求1至3中任一項所述的部件測試裝置，其中，所述定位單元中的各個定位單元包括用于4巴持電子部件 的部件把持部，所述部件把持部包括用于吸附所述電子部件的 吸附一幾構(gòu)、以及用于將電子部件壓入所述測試座的壓入才幾構(gòu)。
5.才艮據(jù)^又利要求4所述的部件測試裝置，其中，設(shè)置有多個所述測試座，所述多個測試座沿與所述輸送 臂的移動方向平行或者與所述輸送臂的移動方向正交的方向 排列、或者排列為矩陣狀，所述定4立單元中的各個定4立單元包4舌與所述測試座的凝: 量相對應(yīng)的凄史量的所述部件4巴持部，這些部件4巴持部排列為與 所述測試座的排列相對應(yīng)。
全文摘要
本發(fā)明提供了進行電子部件的測試的部件測試裝置。該部件測試裝置包括部件供給裝置、輸送臂和部件排出裝置。上述輸送臂包括可分別把持上述電子部件且可相互獨立驅(qū)動的多個定位單元。上述多個定位單元沿上述電子部件的輸送方向鄰接排列，其中，該上述電子部件的輸送方向從由部件供給裝置供給的供給位置朝向設(shè)置有測試座的測試位置。
文檔編號G01R31/28GK101509953SQ200910009510
公開日2009年8月19日 申請日期2009年2月13日 優(yōu)先權(quán)日2008年2月13日
發(fā)明者鹽澤雅邦, 藤森廣明 申請人:精工愛普生株式會社