專利名稱：真空臺以及一種用于支持物體的方法
真空臺以及一種用于支持物體的方法相關(guān)申請本申請要求于2007年4月15日提交的序號為60/911892的臨時專利申請的 優(yōu)先權(quán)，其內(nèi)^^匕引入作為參考。狄領(lǐng)域本發(fā)明涉及真空臺和一種支持物體的方法。 背景絲在掃描過程中，被高緒率檢查系^i3描的物體應當凈Ait當?shù)豭橫。這些物## 于平^_]1#^#物^^平板之間提供真空來^#。 平板由剛,1^##^成并應當具有非常平坦的"面。 為了制造具有非常平坦的Jl^面的平板，平板必須厚。平板的厚度限制了可以在平^tUi形成的孔的最小尺寸和形狀。這些限制反映了用來形成這些孔的鉆頭的極限強度。換句話說，非常細的鉆頭無法穿透由剛性材料制成的非常厚 的平板。真空可以通it^平板的孑U^吸空^^形成。被物體(一，^Mi^U:^ 上)似的孑b t物^^^U;。未被物體絲的孑L導致真空泄漏。有必要減少通itit些孔的真空泄漏。如果期望檢查系統(tǒng)檢查相同大小M 狀的物體，那么板可以被設計成減少(或者甚至消除)未被物體覆蓋的孔的數(shù) 量。在許多情況下，檢查不同大小和形狀的物體需要單獨的檢查系統(tǒng)。 有必要提供真空臺和一種檢查具有不同大小 狀的物體的方法。發(fā)明內(nèi)容真空臺包括包括平坦的Ji4面和第一組孔的真空板；包括至少一個空腔 的支持元件，空^it過該至少一個空腔被抽吸；iO:在支持元件和真空;tl之間的可替換的適配器；其中，所述可替換的適配器包括第二組孔；其中，所述第 二組孔的孑L^小于第一組孔的相應孔；其中，所述第二組孔的孔與第一組孔 的孔至少部分重疊；而且其中，所4空 ^比所述可替換的適配器厚。一種用于支持物體的方法，所述方法包括才^物^^M—組可^^的 適配器中選出可替換的適配器；將*^定的可替換的適配器; 在真空板和支 持元件之間；其中，所述真空板包括平坦的Ji4面和第一組孔；所述支持元件 包括至少一個空腔，空^it過該至少一個空腔被抽吸；其中，所選定的所述可 替換的適配器包括第二組孔；其中，所i^二組孔的孑U^小于第一組孔的相 應孔；其中，所述第二組孔的孔與第一組孔的孑L至少部分重疊；其中，所4 空 著比所述可^^換的適配器厚；以及將物體 在所逸真空板上，并通過 所述第 第二組孔的孑U^吸空氣。一種將物體附^J'J檢查系鄉(xiāng)AJi的方法，所i^法包括提供適合于將真空 引AJ'J包括多個孔的真空板的真空元件，并提供包括孔穴的適配器，所述孔穴 的形狀和大小適于減少通it^空板的氣流；將物體妙在真空板上；并JJt過 $ I入真空糊體附it^空^Ji'


通it^合附圖的如下詳細描述，將更全面艦解和領(lǐng)會本發(fā)明，其中 圖1是4娥本發(fā)明一個實施例的支持系統(tǒng)的部件分解圖； 圖2a和圖2b是才娘本發(fā)明一個實施例的真空板的"-^分與可替換的適配 器的剖面圖；圖3a-3c顯示了才瞎本發(fā)明不同實施例的孔；圖4顯示了一種才峰本發(fā)明一個實施例#^體附^^檢查系統(tǒng)上的方法； 圖5顯示了一種4娥本發(fā)明一個實施例的方法。糾實施方式要注意的是，各圖并非按比例斜'J。 jH^卜，為了簡化說明， 一些圖并未包 括所顯示元件的所有特征。板(也被稱為真空板)具有非常平坦的Jl4面并能夠支持物體(比如電路)。 該電路可以是印刷電膝仗、多個印刷電路板的組合等等。真空板之前是可以具有小孔的可替換的適配器(真空板^^在可以具有小孔的可替換的適配^上)，該小孔的大小和形狀才娥所要^1:在真空板上的 物體的大小和形狀而定。較小的物體可能需要包括分布在可替換的適配器的較 小區(qū)^u的孔的可替換的適配器。當支持系統(tǒng)支持具有較平滑下表面的物體時， 可4^較小的孔。要注意的是，孔的大小指的是截面孔的一個或多個尺寸。其 可以指該孔的面積、圓形孔的直徑、伸M長形孔的長^i等?？商鎿Q的適配器的孑L可以形成為伸長狹槽或多個(部分重疊的)伸長狹槽的組合。由于當這些孔未,M^時在其附近形成空氣湍流，孔的這些形狀減少 了真空泄漏。因此，這些形狀減少了通過未^^x在真空板上的物體所覆蓋的 孑l的空氣泄漏。真空板與可替換的適配器被可分離地連接(例如用螺釘)到支持元件(也 稱為主體)上，因此允許拆除它們以及'fei替換可替換的適配器?？梢蕴醝組可替換的適配器。可替換的適配器可以由于其孔的位置而彼此不同，另外或者可^P^，可替換的itS己器可以由于擬L的大小而to匕不同。方使也，孔的形狀可以使可替換的iiS己器to匕不同。每個可替換的適配器可以遠薄于真空板，因為它不接觸物體并且不需要與真空板的Ji4面一M坦。非常薄的可替換的適配器可以包括小au&至非常小 的孑L可替換的適配器可以通過將其;M在真空^支持元件之間或通過將真 空板緊固(或扣緊)到支持元件上而被伸直。利用具有4娥物體的形狀和大小而確定位置和大小的孔的可替換的適配器 可以減少真空泄漏并得到節(jié)能的結(jié)果。另外或者可#^^, ^ J小孑L甚至是非 常小的孑L可以減少真空泄漏并得到節(jié)能的結(jié)果。通過使可替換的適配器的孔與物體的形狀和大小匹配，可以減小由真空臺 生成的噪聲水平。可替換的適配器可以由耐用材料(比如不辦岡或其^Jr屬)制成。它很薄, 因此允許在可替換的適配器上形成小孔。方<線，第二組孔的孔的形#大小使得當物#孔的上面時能形^1:流,并且如果物體未位于這些孑L^Ji,則在它們附i^t成鴻流(以便P艮制通過孔的 真空泄漏)。圖1是才娘本發(fā)明一個實施例的檢查系統(tǒng)的部分8的部件分解圖。檢查系統(tǒng)可以包括光學器件、圖像處理器、才械臺等。才械臺可以連接到真空臺上，尤其是連接到支持元件30上。檢查系統(tǒng)可以掃描;M在部分8上的 物體。物體可以通過包括真空在內(nèi)的不同方法被附iSJ'J真空板10上。真空板IO (^^皮稱為主真空板)具有平坦的Ji4面與第一組孔。真空板io 也可以包括緊固孑L，多個螺釘12可以通過該緊固孑Ut入。這些螺釘幫助將真空 板10與可替換的適配器20可分離^i^接到支持元件30 (楊為主體)上。圖 l還顯示了對齊元件14,該對齊元件適合于使物體與真空板10對齊?？商鎿Q的適配器20 (^t^皮稱為金屬薄板)包括可以形成第二組孔的多個孔。 其還可以包括緊固孔。真空板10比可替換的適配器20厚并且具有平坦的下表面。支持元件30遠 薄于可替換的it^器20并且可以具有平坦部分(比如位于凹部32的底部的平 坦結(jié)構(gòu)33),該平坦部分支持可替換的適配器20的*。當適配器20 *^在 平坦部分^JiiL^真空板10之下時，并且當真空板10被緊固到支持元件30上 時，則可替換的適配器20可以被伸直，甚至！^^上不影響平坦Ji4面的平坦程 度。支持元件30包括多個真空入口 (比如入口42)，該多個真空入口形^連 接到支持元件30底部的矩形板40中。該支持元件具有空^t過其而被抽吸的 一個或多個空腔31 ?？商鎿Q的適配器20被》 在平坦結(jié)構(gòu)33上并覆蓋所述一 個或多個空腔31。可替換的適配器20以及真空板IO的至少一^^Mc^位在凹 部32內(nèi)。為了減少真空泄露，支持元件30可以包括多個空腔，^個空腔接收各自 的真空。這些空齒目應于物體的期望大小 狀而接》14空。M些空lt^行的空氣的^^f說it^空板10的第一組孔以;sjf過可替換 的iU己器20的第二組《L^吸空氣?？商鎿Q的適配器20的孔小于甚至遠小于真 空板10的孑L并且限制了通itit些孔的總氣流。第二組孔的孑U^小于第一組孔的相應孔。第二組孔的孑L與第一組孔的孔 至少部分重疊。圖2a顯示了當物體未^M在真空板10上時，在第^ L28附近形成的湍 流。這些^流減少了通it^二4L28的氣流。圖2b顯示了物體8 Ji4面與真空板10之間的層狀氣流(通過兩個虛線水平箭頭顯示)。該流幫助⑩體8保持到真空板10上。圖3a顯示了位于可替換的iU己器20的水平第^IL28之上的第""^的圓形 第一孔18。第一孔18遠大于第^L28，使得通it^一孔18的氣流受到較小的 第；L28的限制。第；L28位于第一孔18的中心，但是這并不是必需的。圖3b顯示了位于可替換的適配器20的豎直第^L28'之上的第《的圓形 第一孔18。第一孔18遠大于第；L28'，使得通鄉(xiāng)一孔18的氣流受到較小的 第J^L28'的限制。第qL28'位于第一孔18的中心，但是這并不是必需的。圖3c顯示了位于可替換的適配器20的一對豎直第^ L28"與一對水平第二 孔28"^Ji的第一5tl的圓形第一孔18。這些孑UfcH^目互接近但并不重疊。它們 iU成交叉狀的結(jié)構(gòu)。第一孔18遠大于這些第；L28"的^-個，使得通it^ 一孔18的氣流受到較小的第^L28"的限制。第二組孔的所有孑L可以具有相同的形狀和大小，被并不是必需的，從而 第二組孔可以包括不同形狀的孑L，另外或者可^^^，可以包括不同大小的孔。第二組孔的多個孔可以具有圓形形狀，可以具有伸長狹槽形^MU^bf目關(guān) 定向的多^f申"l^Mt的組合。這些多^(申 ^槽可以部分重疊從而形成十字形、 花形等等。第一組孔(形^真空板10上)的孔的大小與真空板10的厚M比例， 并且第二組孔(形M可替換的適配器20上)的孔的大小與可替換的適配器20 的厚M比例。由于可替換的適配器20^#多，其可以包括更小得多的孔。可替換的適配器20可以才^t物^^iL^一組可替換的適配器中選出。該特 征可以是物體的大小、物體的形狀、物體的平i對呈度或它們的組合。這種特征 將影響與真空板10上的物體的布置相關(guān)聯(lián)的真空要求。例如，較小的物體可能 要求可替換的適配器具有較少的孑L，具有分布在較小區(qū)^U的孑LiSL較小孔，以 便限制真空泄露。另"H^，J子，具有較平坦的下表面的物體可育溪》沐小的孑L， 因為較小的氣流可以在該較平坦的下表面上"^供H的真空。圖4顯示了才娘x^發(fā)明一個實施例的方法100。方法100開始于步驟110，該步驟100提供適合于將真空引WJ包括多個孔 的真空板的真空元件以及提供適配器，該適配器限定形狀與大小適于減小通過 真空板的氣流的孔穴(孔)。方便地，該適配器為可替換的適配器，孔^著小 于真空板的相應孔；孔穴與孑L至少部分重疊；真空M^比itS己器厚。方4^，多個孔穴具有圓形形狀。 方<狄，多個孔穴具有伸"lfe^槽形狀。方<^，多個孔穴具有;fc^目關(guān)定向的多^H申"l^L槽。步驟110 ^是4W體^t44^空;feSUi的步驟120。步驟120 ^是通過引入真空來糊體附i5J'J真空;^Ji的步驟130。圖5顯示了##本發(fā)明一個實施例的方法200。方法200開始于步驟210，該步驟210為才娥物^#;^^一組可替換的適配 器中選出可替換的itS己器。方{^，不同的可替換的適配器允許不同7JC平的氣^it過它們的孔。響應于通過可替換的適配器的在物^ifcM在真空^Ui后預期不^f皮物體覆蓋的孔的所希望空氣泄漏7JC平而批行步驟210。方<^，不同可^換的itS己器的3U^有不同的大小。步驟210響應于孔的 大小而批f亍。方俛地，不同可替換的適配器的孑L具有不同的大小。選定的可替換的適配 器的孔大小與物體大小以及物體下表面的平坦禾UL^良比。方^^L，不同可替換的適配器的孑Ufr有不同的大小。步驟210響應于與該 方法 _的物糾目關(guān)聯(lián)的真空要求而^^亍。方4t^，第二組孔的多個孔具有圓形形狀。方<狄，第二組孔的多個^^有伸^Mt形狀。方<^，第二組孔的多個^^有船bN關(guān)定向的多^f申"l^Mt。方m^，第一組孔的孔的大小與真空板的厚M比例，而且其中，第二組 孔的孔的大小與可替換的適配器的厚度成比例。步驟210 ^Jgr是步驟220，該步驟220將所選定的可替換的適配器放置到真 空板與支持元件之間。真空板包括平坦的Ji4面和第一組孔。支持元件包括至 少一個空腔，空^it過該至少一個空腔被抽吸。所i^的可替換的適配器包括 第二組孔。第二組孔的孑L^小于第一組孔的相應孑L第二組孔的孔與第一組 孔的孑L至少部分重疊。真空^^比可替換的適配器厚。方便地，真空板被可分離地連接到支持元件J^而使得可替換的適配器能 夠被另 一個可替換的適配教絲替換。方^狄，步驟220包括當真空板被緊固到支持元件時，通幼空板伸直被^的可替換的適配器而^S^上不影響平坦Ji4面的平坦^1。步驟220 ^是步驟230，該步驟230為柳體紅在真空^i絲it^一 與第二組孔的《U^吸空氣。4^頁域的"fit^MCA員^^想到在jH^述的方案的變型、修改以及^WL 行方式而不脫離如所要求保護的本發(fā)明的樹申和范圍。因此，本發(fā)明并不通過 以上示斜性描iiijt限定，而是由下列權(quán)矛J^求的實質(zhì)和范圍所限定。
權(quán)利要求
1、真空臺，包括真空板，所述真空板包括平坦的上表面和第一組孔；支持元件，所述支持元件包括至少一個空腔，空氣通過所述至少一個空腔被抽吸；以及可替換的適配器，所述可替換的適配器沒置在支持元件和真空板之間；其中，所述可替換的適配器包括第二組孔；其中，所述第二組孔的孔顯著小于所述第一組孔的相應孔；其中，所述第二組孔的孔與所述第一組孔的孔至少部分重疊，而且其中，所述真空板顯著比所述可替換的適配器厚。
2、 4娥;^U'J要求1所述的真空臺，其中，所絲二組孔的多個^UR"有圓形 形狀。
3、 #^權(quán)利要求1所述的真空臺，其中，所述第二組孔的多個3Ufr有伸長 狹槽形狀。
4、 才娥權(quán)利要求1所述的真空臺，其中，所絲二組孔的多個孔包括to匕 相關(guān)定向的多^f申WMt。
5、 才娥權(quán)利要求1所述的真空臺，其中，所述真空板可拆卸^i^接至支持 元件，從而能使可替換的適配器肯^^一個可替換的適配器'fel替換。
6、 才娥;^U，虔求1所述的真空臺，其中，當所錄空板被緊固在支持元件 上時，真空板使可替換的適配H4申直而l^上不影響所述平坦的Ji^面的平坦 被。
7、 才娘權(quán)利要求l所述的真空臺，其中，所述支持元件包括多個空腔，其 中每個空^i^接至不同的真空通道。
8、 4娥;M，漆求1所述的真空臺，其中，所錄一組孔的孔的大小與真空 板的厚M比例，而且其中，所述第二組孔的孔的大小與可替換的適配器的厚 M比例。
9、 才娘^f'J要求l所述的真空臺，其中，4娥與所要;M^所錄空臺上 的物^目關(guān)聯(lián)的真空要^i^擇所述第二組孔的孔的大小。
10、 才財居^U'J要求1所述的真空臺，其中，所述第二組孔的多個孔所形成 的形^it于減少通it^MiDM:在真空^Ji的物體所覆蓋的孔的空氣泄漏。
11、 才N^U'虔求1所述的真空臺，其中，所狄空;feli^^W糾，所 述,ll^用于在物體的光學檢查過程中^^^^M"空;fcUi的物體。
12、 一種用于iJt物體的方法，所述方法包括 才娥物碰^iL^一組可替換的適配器中選出可替換的適配器；將凈Ait定的可替換的適配器方t^在真空^支持元件之間；其中，所i44 空板包括平坦的Ji^面和第一組孔；所迷支持元件包括至少一個空腔，空^it it^斤述至少一個空腔被抽吸；其中，所選定的所述可替換的適配器包括第二組 孔；其中，所述第二組孔的孑US^小于所述第一組孔的相應孔；其中，所述第 二組孔的孑L與所述第一組孔的孑L至少部分重疊；其中，所述真空;^著比所述 可替換的適配器厚；以及將所述物體方 在所述真空^, ^tii/斤述第一和第二組孔的孑U^吸空氣。
13、 ^i^5U，J要求12所述的方法，其中，不同的可替換的適配器允許不同 水平氣^it過它們的孔；其中，響應于通過可替換的適配器的在物^fiC^在 真空^L^預期不^f皮物體覆蓋的孔的所希望空氣泄漏水平而進行所iii^擇。
14、 ^^權(quán)利要求12所述的方法，其中，不同可替換的iU己器的孔的大小 不同；其中所述選擇響應于孔的大小而進行。
15、 ^^MiJ要求12所述的方法，其中，不同可^^換的itS己器的孔的大小 不同；其中，被選定的可替換的適配器的孔大小與物體大小和物體下表面的平
16、 才M^U，J要求12所述的方法，其中，不同可替換的itS己器的孔的大小 不同；其中，響應于與所述方法所要放置的物々M目關(guān)聯(lián)的真空要求而進行所述選擇。
17、 才娥^U，J要求12所述的方法，其中，所述第二組孔中的多個^UR"有圓 形形狀。
18、 才娥;K^要求12所述的方法，其中，所述第二組孔中的多個3U^有伸 錄槽形狀。
19、 才N^U'j要求12所述的方法，其中，所述第二組孔中的多個孔包括彼 j^目關(guān)定向的多^f申"j^Mt。
20、 才娥權(quán)利要求12所述的方法，其中，所^空板可拆卸iik^接至支持元件，從而能使可替換的適配器肯y^—個可替換的適配教fei替換。
21、 才^^U，j要求12所述的方法，包括當所錄空板被緊固在所述支持元件上時，通it^空板使^^的可替換的適配^f申直而S^上不影響平坦上 表面的平iS^J^。
22、 才娘4X^要求12所述的方法，其中，所述第一組孔的孔的大小與所述 真空板的厚度成比例，而且其中，所述第二組孔的孔的大小與所述可替換的適 配器的厚M比例。
23、 一種，體附i5Jij檢查系統(tǒng)上的方法，所述方法包^: 提供適合于將真空？ IWJ包括多個孔的真空板的真空元件并iL^供包括孔穴的適配器，所述孔穴的形狀和大小適于減少通過真空板的氣流； ，體;^i在所^空^Ui;以及 通過 17v真空糊體附^^真空;tlJi。
24、 才鵬權(quán)利要求23所述的方法，其中，所iiit配器為可替換的適配器， 所述孔^著小于真空板的相應孔；所述孔穴與所述孔至少部分重疊；所述真 空;tl^比適配器厚。
25、 才^^^，J要求23所述的方法，其中，多個孔穴具有圓形形狀。
26、 才娥^U'漆求23所述的方法，其中，多個孑U^有伸^Mt形狀。
27、 才NI權(quán)利要求1所述的設備，其中，所鄉(xiāng)二組孔的多個孔的形# 大小適于當物體未^itj:在這些孑L^Ji時，在它們鄰近引起湍流。
28、 才^^UiJ要求1所述的設備，其中，所述第二組孔的多個孔的形# 大小適于絲空;W^ti"空^Ji的物^間產(chǎn)生空U流。
29、 才M^5U'J^求12所述的方法，其中，所絲二組孔的多個孔的形# 大小適于當物體未^iti;扭些孑L^Ji時，在它們鄰近引起湍流。
30、 才娥^U'j要求12所述的方法，其中，所述第二組孔的多個孔的形# 大小適于在真空W^t^在真空板上的物體t間產(chǎn)生空氣層流。
31、 #^權(quán)利要求23所述的方法，其中，所錄二組孔的多個孔的形# 大小適于當物體未^^^在這些孑Ui時，在它們鄰近引起潙流。
32、 才娥W，J要求23所述的方法，其中，所述第二組孔的多個孔的形妙 大小適于在真空;^^^在真空板上的物體之間產(chǎn)生空氣層流。
全文摘要
本發(fā)明公開了一種用于支持物體的方法以及真空臺。所述真空臺包括包括平坦的上表面和第一組孔的真空板；包括至少一個空腔的支持元件，空氣通過該至少一個空腔被抽吸；設置在支持元件和真空板之間的可替換的適配器；其中，該可替換的適配器包括第二組孔；其中，該第二組孔的孔顯著小于第一組孔的相應孔；其中，該第二組孔的孔與第一組孔的孔至少部分重疊；而且其中，該真空板顯著比該可替換的適配器厚。
文檔編號G01D11/00GK101319922SQ20081014464
公開日2008年12月10日 申請日期2008年4月14日 優(yōu)先權(quán)日2007年4月15日
發(fā)明者A·本-納坦 申請人:卡姆特有限公司