技術(shù)編號：5840727
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。相關(guān)申請本申請要求于2007年4月15日提交的序號為60/911892的臨時專利申請的 優(yōu)先權(quán)，其內(nèi)^^匕引入作為參考。狄領(lǐng)域本發(fā)明涉及真空臺和一種支持物體的方法。 背景絲在掃描過程中，被高緒率檢查系^i3描的物體應(yīng)當(dāng)凈Ait當(dāng)?shù)豭橫。這些物## 于平^_]1#^#物^^平板之間提供真空來^#。 平板由剛,1^##^成并應(yīng)當(dāng)具有非常平坦的"面。 為了制造具有非常平坦的Jl^面的平板，平板必須厚。平板的厚度限制了可以在平^tUi形成的孔的最小尺寸和形狀。這些...
注意：該技術(shù)已申請專利，請尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出，在未取得專利權(quán)人授權(quán)前，僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識儲備，不適合論文引用。