專利名稱：基板檢查用觸頭、基板檢查用夾具及基板檢查裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及測定電路基板的電特性用的基板檢查用觸頭、將多個基板檢查用觸頭支承在導(dǎo)板上而構(gòu)成的基板檢查用夾具、及使用基板檢查用夾具的基板檢查裝置。
背景技術(shù)：
近年來，由于搭載在電路基板上的半導(dǎo)體元件或電阻器等電子零件集成度的提高，以致形成布線圖形的細間距化。在這樣的電路基板中，在電子零件搭載在電路基板之前的裸板的狀態(tài)下測定布線圖形的電阻可檢查電路基板電特性的良好與否。例如，將基板檢查用觸頭(探針)抵接在構(gòu)成檢查對象的電路基板的布線圖形的檢查點、即兩處的連接盤(ランド)間，既定程度的電流流動于布線圖形中，將該連接盤間產(chǎn)生的電壓和臨界值對比，以檢查電路基板電特性的良好與否。并且，本發(fā)明所謂的電路基板除了印刷布線基板之外，當然也包含撓性布線基板、多層布線基板、液晶顯示器或等離子顯示器用等的電極板，或者半導(dǎo)體封裝用的封裝基板或膜載體等。
作為在進行這樣的電路基板的檢查的基板檢查裝置中使用的基板檢查用夾具，提出一種例如圖8所示，由一端抵接在電路基板B的連接盤L的多個基板檢查用觸頭200與支承該多個基板檢查用觸頭200的導(dǎo)板202所構(gòu)成的夾具(例如，專利文獻1)。
在此，基板檢查用觸頭200由第1銷體204；第2銷體206；及配置在第1銷體204和第2銷體206之間的壓縮螺旋彈簧208所構(gòu)成。導(dǎo)板202由支承第1銷體204的兩個引導(dǎo)基部210、212；保持兩個引導(dǎo)基部210、212的間隔的隔件214；支承第2銷體206的兩個引導(dǎo)基部216、218；保持兩個引導(dǎo)基部216、218的間隔的隔件220；及支承壓縮螺旋彈簧208的兩個引導(dǎo)基部222、224所構(gòu)成。
以上所構(gòu)成的基板檢查用夾具，在基板檢查用觸頭200的第1銷體204一端抵接在電路基板B的連接盤L的狀態(tài)下，電路基板B相對于導(dǎo)板202被推壓，使壓縮螺旋彈簧208壓縮，由此第1銷體204一端彈性抵接在電路基板B的連接盤L上。
專利文獻1特開2001-41977號公報發(fā)明內(nèi)容但是，上述以往的基板檢查用夾具，由于需要支承第1銷體204的兩個引導(dǎo)基部210、212；支承第2銷體206的兩個引導(dǎo)基部216、218；及支承壓縮螺旋彈簧208的引導(dǎo)基部222、224這三種引導(dǎo)基部而導(dǎo)致導(dǎo)板202構(gòu)成的復(fù)雜化，其結(jié)果，造成組裝繁雜的問題。并且，基板檢查用夾具的組裝繁雜的結(jié)果，也會導(dǎo)致有基板檢查裝置的組裝繁雜的問題。另外，基板檢查用夾具的組裝繁雜的結(jié)果，也會使得基板檢查用夾具的磨損了的基板檢查用觸頭200更換上的繁雜。
本發(fā)明是鑒于以上的情況而作成的，目的在于提供容易進行基板檢查用夾具的組裝的基板檢查用觸頭、組裝容易的基板檢查用夾具、及組裝容易的基板檢查裝置。
為了實現(xiàn)上述目的，技術(shù)方案1的發(fā)明用于測定電路基板的電特性，是支承在導(dǎo)板上、由導(dǎo)電性材料形成的基板檢查用觸頭，所述導(dǎo)板具有隔開既定間隔對置配置的第1引導(dǎo)基部及第2引導(dǎo)基部，其特征在于，具備第1銷體，成為抵接在上述電路基板上的測定端的一端在露出于外部的狀態(tài)下可滑動地插通于形成在上述第1引導(dǎo)基部上的貫穿孔中，并且，另一端可滑動地插通于形成在上述第2引導(dǎo)基部上的貫穿孔中；第2銷體，以一端朝向該第1銷體的另一端的方式同軸狀地配置，在成為外部連接端的另一端露出于外部的狀態(tài)下插通于形成在上述第2引導(dǎo)基部上的上述貫穿孔中而被保持；及壓縮螺旋彈簧，配置在上述第1銷體的另一端和上述第2銷體一端之間，全長松動嵌入形成在上述第2引導(dǎo)基部上的上述貫穿孔中。
技術(shù)方案2的發(fā)明，在技術(shù)方案1涉及的發(fā)明中，其特征在于，上述第1銷體，具備上述另一端側(cè)直徑形成得和上述壓縮螺旋彈簧的外徑相同或比外徑大的大直徑部，及上述一端側(cè)直徑形成得比上述大直徑部小的小直徑部，并且在上述另一端具備直徑比上述大直徑部小的彈簧安裝部，該彈簧安裝部壓入上述壓縮螺旋彈簧中，上述第1引導(dǎo)基部的貫穿孔，具有使上述大直徑部插通的大直徑的第1貫穿孔，及使上述小直徑部插通的小直徑的第2貫穿孔。
技術(shù)方案3的發(fā)明，在技術(shù)方案2涉及的發(fā)明中，其特征在于，上述第2銷體，直徑形成得比上述第1銷體的大直徑部小，并且形成得比上述第1銷體短小，一端被固定在上述壓縮螺旋彈簧上，上述第2引導(dǎo)基部的貫穿孔，具有使上述第1銷體的另一端及上述壓縮螺旋彈簧全長插通的第1貫穿孔，及使上述第2銷體插通的小直徑的第2貫穿孔。
技術(shù)方案4的發(fā)明是將測定電路基板的電特性用的多個基板檢查用觸頭支承在導(dǎo)板上而成的基板檢查用夾具，其特征在于，上述基板檢查用觸頭由導(dǎo)電性材料構(gòu)成，具備一端成為抵接在上述電路基板的測定端的第1銷體；同軸狀配置使一端朝向該第1銷體的另一端，另一端成為外部連接端的第2銷體；及配置在上述第1銷體另一端與上述第2銷體一端間的壓縮螺旋彈簧；上述導(dǎo)板由絕緣性材料形成，具備形成有貫穿孔的第1引導(dǎo)基部，在成為測定端的一端露出于外部的狀態(tài)下上述第1銷體可滑動地插通于該貫穿孔；及形成有貫穿孔的第2引導(dǎo)基部，相對于該第1引導(dǎo)基部以既定間隔配置，該貫穿孔使上述壓縮螺旋彈簧全長松動嵌入，且使上述第1銷體的另一端可滑動地插通，并且在成為外部連接端的另一端露出于外部的狀態(tài)下使上述第2銷體插通而予以保持。
技術(shù)方案5的發(fā)明，在技術(shù)方案4涉及的發(fā)明中，其特征在于，上述第1銷體，外徑形成得與上述壓縮螺旋彈簧的外徑相同或比外徑大，并且，在上述另一端具備直徑與上述壓縮螺旋彈簧的內(nèi)徑相同或比內(nèi)徑小的彈簧安裝部，該彈簧安裝部壓入上述壓縮螺旋彈簧中。
技術(shù)方案6的發(fā)明，在技術(shù)方案4涉及的發(fā)明中，其特征在于，上述第1銷體，具備上述另一端側(cè)直徑形成得與上述壓縮螺旋彈簧的外徑相同或比外徑大的大直徑部，及上述一端側(cè)直徑形成得比上述大直徑部小的小直徑部，上述第1引導(dǎo)基部的上述貫穿孔具有使上述大直徑部插通的大直徑的第1貫穿孔，及使上述小直徑部插通的小直徑的第2貫穿孔。
技術(shù)方案7的發(fā)明，在技術(shù)方案4涉及的發(fā)明中，其特征在于，上述第1銷體，具備上述另一端側(cè)直徑形成得與上述壓縮螺旋彈簧的外徑相同或比外徑大的大直徑部，及上述一端側(cè)直徑形成得比上述大直徑部小的小直徑部，并且在上述另一端具備直徑比上述大直徑部小的彈簧安裝部，該彈簧安裝部壓入上述壓縮螺旋彈簧中，上述第1引導(dǎo)基部的貫穿孔具有使上述大直徑部插通的大直徑的第1貫穿孔，及使上述小直徑部插通的小直徑的第2貫穿孔。
技術(shù)方案8的發(fā)明，在技術(shù)方案6或7涉及的發(fā)明中，其特征在于，上述第2銷體直徑比上述第1銷體的大直徑部小，且形成得比上述第1銷體短小，一端被固定在上述壓縮螺旋彈簧上，上述第2引導(dǎo)基部的貫穿孔具有使上述第1銷體的另一端及上述壓縮螺旋彈簧全長插通的大直徑的第1貫穿孔，及使上述第2銷體插通的小直徑的第2貫穿孔。
技術(shù)方案9的發(fā)明是通過測定電路基板的電特性、來檢查電路基板良好與否的基板檢查裝置，其特征在于，具備權(quán)利要求4至8中任一項所述的基板檢查用夾具；及纜線，一端連接在構(gòu)成上述基板檢查用夾具的基板檢查用觸頭的第2銷體的外部連接端，另一端連接在執(zhí)行上述電路基板檢查的基板檢查部。
根據(jù)技術(shù)方案1的發(fā)明，能使壓縮螺旋彈簧松動嵌入第2引導(dǎo)基部的貫穿孔，并使第1銷體的端部可滑動地插通，第2引導(dǎo)基部除了能保持壓縮螺旋彈簧外還能保持第1銷體的端部，其結(jié)果，不需要保持第1銷體端部的其它引導(dǎo)基部可簡化導(dǎo)板的構(gòu)成，獲得基板檢查用夾具的組裝變得容易的基板檢查用觸頭。
根據(jù)技術(shù)方案2的發(fā)明，將第1銷體的大直徑部插通于第1引導(dǎo)基部的大直徑的第1貫穿孔，將第1銷體的小直徑部插通于第1引導(dǎo)基部的小直徑的第2貫穿孔，由此以第1引導(dǎo)基部的第1貫穿孔和第2貫穿孔的邊界部卡止第1銷體的大直徑部，其結(jié)果，可獲得阻止第1銷體從第1引導(dǎo)基部脫落的基板檢查用觸頭，將第1銷體的彈簧安裝部壓入到壓縮螺旋彈簧內(nèi)，可獲得第1銷體和壓縮螺旋彈簧的電連接優(yōu)異的基板檢查用觸頭。
根據(jù)技術(shù)方案3的發(fā)明，將第2銷體固定在壓縮螺旋彈簧上，可獲得第2銷體和壓縮螺旋彈簧的電連接優(yōu)異的基板檢查用觸頭，第2銷體直徑形成得比第1銷體的大直徑部小，在相鄰的第2銷體的成為外部連接端的另一端間可取得確保電絕緣性所需的距離，其結(jié)果，可獲得提高基板檢查用夾具的電絕緣性的基板檢查用觸頭。
根據(jù)技術(shù)方案4的發(fā)明，第2引導(dǎo)基部的貫穿孔使壓縮螺旋彈簧松動嵌入的同時，使第1銷體的端部可滑動地插通，第2引導(dǎo)基部除了能保持壓縮螺旋彈簧外還能保持第1銷體的端部，其結(jié)果，不需要保持第1銷體端部的其它引導(dǎo)基部可簡化導(dǎo)板的構(gòu)成，獲得組裝容易的基板檢查用夾具。
根據(jù)技術(shù)方案5的發(fā)明，將第1銷體端部具備的彈簧安裝部壓入至壓縮螺旋彈簧中，第1銷體和壓縮螺旋彈簧形成優(yōu)異的電連接，其結(jié)果，可獲得動作可靠度優(yōu)異的基板檢查用夾具，第1銷體和壓縮螺旋彈簧可在軸向維持著準確的位置關(guān)系，由此形成第1銷體可可靠地推壓壓縮螺旋彈簧，其結(jié)果，可獲得動作可靠度優(yōu)異的基板檢查用夾具。
根據(jù)技術(shù)方案6的發(fā)明，第1銷體的大直徑部插通于第1引導(dǎo)基部大直徑的第1貫穿孔，第1銷體的小直徑部插通于第1引導(dǎo)基部小直徑的第2貫穿孔，由此以第1引導(dǎo)基部的第1貫穿孔和第2貫穿孔的邊界部卡止第1銷體的大直徑部，其結(jié)果，可獲得阻止第1銷體從第1引導(dǎo)基部脫落的基板檢查用夾具。
根據(jù)技術(shù)方案7的發(fā)明，第1銷體的大直徑部插通于第1引導(dǎo)基部大直徑的第1貫穿孔，第1銷體的小直徑部插通于第1引導(dǎo)基部小直徑的第2貫穿孔，由此以第1引導(dǎo)基部的第1貫穿孔和第2貫穿孔的邊界部卡止第1銷體的大直徑部，其結(jié)果，可獲得阻止第1銷體從第1引導(dǎo)基部脫落的基板檢查用夾具，第1銷體的端部所具備的彈簧安裝部壓入至壓縮螺旋彈簧，第1銷體和壓縮螺旋彈簧形成優(yōu)異的電連接，其結(jié)果，可獲得動作可靠度優(yōu)異的基板檢查用夾具。
根據(jù)技術(shù)方案8的發(fā)明，第2銷體固定在壓縮螺旋彈簧上，可獲得第2銷體和壓縮螺旋彈簧形成優(yōu)異的電連接的基板檢查用夾具，第2銷體直徑形成得比第1銷體大直徑部小，在相鄰的第2銷體的成為外部連接端的另一端間可取得確保電絕緣性所需的距離，其結(jié)果，可獲得電絕緣性優(yōu)異的基板檢查用夾具。
根據(jù)技術(shù)方案9的發(fā)明，第2引導(dǎo)基部的貫穿孔使壓縮螺旋彈簧松動嵌入的同時，使第1銷體的端部可滑動地插通，第2引導(dǎo)基部除了能保持壓縮螺旋彈簧外還能保持第1銷體端部，其結(jié)果，可實現(xiàn)組裝容易的基板檢查裝置，除此之外，具備纜線，該纜線一端連接在構(gòu)成基板檢查用夾具的基板檢查用觸頭的第2銷體的外部連接端，另一端連接在執(zhí)行電路基板檢查的基板檢查部，可將移動的基板檢查用夾具可靠地連接在基板檢查部上，其結(jié)果，可實現(xiàn)動作可靠性優(yōu)異的基板檢查裝置。


圖1是使用本發(fā)明一實施方式涉及的基板檢查用夾具的基板檢查裝置的內(nèi)部構(gòu)成圖。
圖2是圖1所示基板檢查裝置的俯視圖。
圖3是表示圖1所示基板檢查裝置的電結(jié)構(gòu)的框圖。
圖4是表示圖3所示掃描部的電結(jié)構(gòu)的框圖。
圖5是概略表示使用在圖1所示基板檢查裝置中的基板檢查用夾具的構(gòu)成的圖。
圖6是詳細表示圖5所示基板檢查用夾具的構(gòu)成的要部剖視圖。
圖7是構(gòu)成圖6所示基板檢查用夾具的基板檢查用觸頭的分解主視圖。
圖8是表示以往基板檢查用夾具的構(gòu)成的要部剖視圖。
具體實施例方式
圖1為使用了基板檢查用夾具的基板檢查裝置的內(nèi)部構(gòu)成圖，所述基板檢查用夾具采用本發(fā)明一實施方式涉及的基板檢查用觸頭，圖2為基板檢查裝置的俯視圖。并且，圖中一并標記明確方向用的坐標軸。即，使用本發(fā)明所涉及基板檢查用夾具的基板檢查裝置10，具備檢查部14，進行電路基板B的良好與否的檢查，所述電路基板B配置在呈大致長方體形的框體12內(nèi)部的前面?zhèn)?-Y方向)和后面?zhèn)?+Y方向)的大致中間位置；及搬運機構(gòu)部16，配置在框體12的前面?zhèn)群秃竺鎮(zhèn)戎g，將前面?zhèn)劝仓玫臋z查開始前的電路基板B搬運到檢查部14，另一方面將檢查結(jié)束后的電路基板B從檢查部14搬運到前面?zhèn)取?br> 檢查部14具備檢查單元20，所述檢查單元20分別配置在電路基板B的上方側(cè)(+Z方向)和下方側(cè)(-Z方向)，檢查設(shè)置在電路基板B的表背上的布線圖形良好與否。該檢查單元20，具備基板檢查用夾具24，具有抵接在電路基板B的布線圖形連接盤的多支(例如，200支)基板檢查用觸頭(探針)22；及夾具驅(qū)動機構(gòu)26，使基板檢查用夾具24在基板檢查裝置10的橫向(X方向)、基板檢查裝置10的前后方向(Y方向)及基板檢查裝置10的上下方向(Z方向)移動，并且使基板檢查用夾具24繞在上下方向延伸的軸轉(zhuǎn)動。
搬運機構(gòu)部16，具備載放電路基板B的搬運臺30；通過被螺母部32擰合而使搬運臺30在前后方向(Y方向)移動的滾珠螺桿34；與滾珠螺桿34平行配置，引導(dǎo)搬運臺30使其根據(jù)滾珠螺桿34的轉(zhuǎn)動而移動的一對導(dǎo)軌36；及驅(qū)動滾珠螺桿34轉(zhuǎn)動，為后述動作控制部40所驅(qū)動控制的電動機38。此外，搬運臺30的適當處形成有基板檢查用夾具24的基板檢查用觸頭22接觸在電路基板B背面的布線圖形連接盤用的省略圖標的貫穿開口。
圖3是表示基板檢查裝置10的電結(jié)構(gòu)的框圖。即，基板檢查裝置10具備由CPU、ROM、RAM等所構(gòu)成的微機，而且，具備動作控制部40，根據(jù)預(yù)先存儲在ROM中的程序，控制裝置整體的動作；掃描部42，掃描抵接在電路基板B的布線圖形連接盤L上的多個基板檢查用觸頭22，依序選擇與位于應(yīng)檢查的布線圖形兩端的兩個連接盤L抵接的兩個基板檢查用觸頭22，另一方面，對于選擇后的兩個基板檢查用觸頭22輸出檢查信號；檢測控制器44，接受來自動作控制部40的檢查開始指令，對于掃描部42輸出掃描指令；及操作面板46，具有輸入來自操作員的指令的輸入部或顯示布線圖形的檢查結(jié)果的顯示器等。并且，掃描部42和檢測控制器44構(gòu)成可執(zhí)行電路基板B電特性的檢查的基板檢查部48。
圖4為表示掃描部42的電結(jié)構(gòu)的框圖。即，掃描部42，具備電流產(chǎn)生部50，由恒流源構(gòu)成，所述恒流源向連接在配置于電路基板B上的布線圖形C兩端的兩個連接盤L間，輸出既定程度的測定用電流；電壓測定部52，輸出既定程度的測定用電流，測定電流流動于布線圖形C時連接盤L間所產(chǎn)生的電壓；轉(zhuǎn)換開關(guān)54，由開關(guān)陣列等構(gòu)成，所述開關(guān)陣列用于在從基板檢查用夾具24所具備的多個基板檢查用觸頭22中選擇的一對基板檢查用觸頭22間，連接電流產(chǎn)生部50及電壓測定部52；及檢查處理部56，對該轉(zhuǎn)換開關(guān)54輸出轉(zhuǎn)換控制信號。該檢查處理部56也具有將電壓測定部52所測定的電壓與既定的基準電壓比較、來判斷成為檢查對象的電路基板B的良好與否(布線圖形C導(dǎo)通狀態(tài)的良好與否)，將其判斷結(jié)果發(fā)送至檢測控制器44的功能。
圖5為概略表示基板檢查用夾具24的構(gòu)成的要部剖視圖。并且，配置在上方側(cè)與下方側(cè)的檢查單元20除了基板檢查用觸頭22的配置構(gòu)成外，形成為同樣的構(gòu)成，在此針對配置在下方側(cè)的檢查單元20的基板檢查用夾具24的構(gòu)成進行說明。即，基板檢查用夾具24在與成為檢查對象的電路基板B的布線圖形對應(yīng)的既定排列狀態(tài)下彼此并列配置，用于檢查電路基板B的電特性的、由導(dǎo)電性材料所形成的多個針狀的基板檢查用觸頭22，被支承在合成樹脂等絕緣材料形成的導(dǎo)板60上。該導(dǎo)板60的彼此隔開既定間隔對置配置的第1引導(dǎo)基部62及第2引導(dǎo)基部64，借著在適當處配置的多個連結(jié)支柱66所支承。
在此，各基板檢查用觸頭22的一端構(gòu)成測定端22a，從第1引導(dǎo)基部62露出到外部而分別彈性(或者壓接)地抵接在電路基板B的連接盤L上。此外，各基板檢查用觸頭22的另一端構(gòu)成外部連接端22b，壓接(或彈性)地抵接在配置于電極板68的各電極70上，所述電極板68與第2引導(dǎo)基部64對置配置而成。并且，各電極70連接有對應(yīng)各基板檢查用觸頭22而配置的纜線72，可經(jīng)由基板檢查用觸頭22將測定用電流供給到既定的一對連接盤L間，并且測定該一對連接盤L間的電壓。
對于以上所構(gòu)成的基板檢查裝置10的動作，參照圖3至圖5并進行說明。首先，控制搬運機構(gòu)部16及夾具驅(qū)動機構(gòu)26的動作，將各基板檢查用觸頭22的測定端分別抵接(接觸)于載放在搬運臺30的電路基板B的各布線圖形的連接盤L上。然后，掃描部42根據(jù)來自檢測控制器44的掃描指令進行掃描，選擇與位于電路基板B的應(yīng)檢查的布線圖形兩端的一對連接盤L抵接的一對基板檢查用觸頭22。
即，選擇抵接一對連接盤L中一方連接盤L的基板檢查用觸頭22經(jīng)同軸纜線72所連接的轉(zhuǎn)換開關(guān)54的端口(ポ-ト)P1，及抵接另一方連接盤L的基板檢查用觸頭22經(jīng)同軸纜線72所連接的轉(zhuǎn)換開關(guān)54的端口P2，在這些端口P1與端口P2間連接電流產(chǎn)生部50與電壓測定部52。
接著，從電流產(chǎn)生部50經(jīng)端口P1與端口P2，使測定用電流I流動于電路基板B的一對連接盤L間的布線圖形中，借著電壓測定部52測定該一對連接盤L間的電壓V。該電壓V在以R作為布線圖形的電阻時，以V＝R×I表示。以檢查處理部56將該電壓測定部52所測定的電壓V和既定的基準電壓Vf比較，電壓V超過基準電壓Vf時(V＞Vf)，判斷為布線圖形的導(dǎo)通狀態(tài)不良(中途缺少導(dǎo)體的一部分)，電壓V在基準電壓Vf以下時(V≤Vf)，判斷為布線圖形的導(dǎo)通狀態(tài)良好。將此判斷結(jié)果發(fā)送至檢測控制器44。
判斷結(jié)果良好時，進行接著的布線圖形的檢查，因此根據(jù)來自檢測控制器44的掃描指令，掃描部42進行掃描，選擇與位于電路基板B的接著應(yīng)檢查的布線圖形兩端的一對連接盤L抵接的一對基板檢查用觸頭22，與上述同樣進行接著的布線圖形的檢查。另一方面，判斷結(jié)果為不良時，從檢測控制器44對動作控制部40輸出顯示檢查對象的電路基板B不良的信號，在操作面板46的顯示器上進行電路基板B不良的內(nèi)容的顯示。該電路基板B在此時刻結(jié)束檢查。
圖6及圖7為更詳細說明圖5表示的基板檢查用夾具24的構(gòu)成用的圖。即，圖6為放大圖5的A部顯示的要部剖視圖，圖7是分解基板檢查用觸頭22顯示的圖。這些圖6及圖7中，基板檢查用觸頭22，具備第1銷體80，一端成為抵接在電路基板B的測定端；第2銷體82，以一端朝向第1銷體80的另一端的方式相對于第1銷體80同軸狀配置，另一端成為外部連接端；及壓縮螺旋彈簧84，配置在第1銷體80的另一端與第2銷體82的一端間。另外，第1銷體80及第2銷體82是由例如鎢或鈹銅等具有撓性的金屬材料構(gòu)成，壓縮螺旋彈簧84是由例如鋼琴線等具有彈性的金屬材料構(gòu)成。
在此，第1銷體80，具備作為壓縮螺旋彈簧84一側(cè)的另一端側(cè)直徑形成得比壓縮螺旋彈簧84外徑大的大直徑部86；及作為測定端側(cè)的一端側(cè)直徑形成得比大直徑部86小，前端呈尖銳形的小直徑部88；同時具備與另一端連續(xù)而形成，直徑比大直徑部86小且和壓縮螺旋彈簧84的內(nèi)徑相同的彈簧安裝部90，該彈簧安裝部90被壓入到壓縮螺旋彈簧84的內(nèi)徑部。
第2銷體82形成為，直徑比第1銷體80的大直徑部小，并且較第1銷體80短小，一端焊接于壓縮螺旋彈簧84等一體固定在壓縮螺旋彈簧84上。
如上所述，第1銷體80，作為測定端的一端側(cè)直徑形成得比大直徑部86小，可以在彼此相鄰的第1銷體80的成為測定端的一端間確保既定的距離，阻止塵埃等污染物的附著，所以即使多個基板檢查用觸頭22彼此接近配置而提高基板檢查用觸頭22的配置密度時，仍可獲得動作可靠度優(yōu)異的基板檢查用夾具24。
將第1銷體80另一端具備的彈簧安裝部壓入壓縮螺旋彈簧84，可維持著第1銷體80與壓縮螺旋彈簧84在軸上的準確的位置關(guān)系，由此，不僅可使第1銷體80可靠地推壓壓縮螺旋彈簧84，而且第1銷體80與壓縮螺旋彈簧84電連接良好，所以可獲得動作可靠度優(yōu)異的基板檢查用夾具24。
第2銷體82直徑形成得比第1銷體80的大直徑部86小，在相鄰的第2銷體82的成為外部連接端的另一端間可獲得確保電絕緣所需的距離，提高基板檢查用夾具24的電絕緣性。第2銷體82形成較第1銷體80短小，可以有效縮小基板檢查用觸頭22的長度尺寸，所以促進基板檢查用夾具24的小型化。
構(gòu)成導(dǎo)板60的第1引導(dǎo)基部62是層疊和電路基板B對置的外部側(cè)的第1板94、中間部的第2板96及和第2引導(dǎo)基部64對置的內(nèi)側(cè)部的第3板98這3張板所構(gòu)成的，在厚度方向形成有貫穿孔100，第1銷體80在形成測定端的一端露出于外部的狀態(tài)下，可滑動地插通于該貫穿孔100。
該貫穿孔100同軸狀形成有使第1銷體80的大直徑部86一部分可滑動地插通的大直徑的第1貫穿孔102，及使第1銷體80的小直徑部88一部分可滑動地插通的小直徑的第2貫穿孔104。大直徑的第1貫穿孔102形成在中間部的第2板96及內(nèi)部側(cè)的第3板98，小直徑的第2貫穿孔104形成在外部側(cè)的第1板94。以上構(gòu)成的第1引導(dǎo)基部62在各板94、96、98上預(yù)先形成貫穿孔，隨后擰合等加以層疊。
由此，可容易獲得形成有具備兩個不同直徑的貫穿孔100的第1引導(dǎo)基部62。貫穿孔100由使第1銷體80的大直徑部86的一部分可滑動地插通的大直徑的第1貫穿孔102，及使第1銷體80的小直徑部88的一部分可滑動地插通的小直徑的第2貫穿孔104所構(gòu)成，第1銷體80的大直徑部86被大直徑的第1貫穿孔102與小直徑的第2貫穿孔104的邊界部所卡止，可以阻止第1銷體80向電路基板B側(cè)的脫落。所謂可滑動是設(shè)定貫穿孔100的直徑稍大于第1銷體80，使得第1銷體80不致在貫穿孔100內(nèi)晃動獲得順利移動的狀態(tài)。
構(gòu)成導(dǎo)板60的第2引導(dǎo)基部64是將和第1引導(dǎo)基部62對置的內(nèi)部側(cè)的第1板108、中間部的第2板110及和電極板68對置的外部側(cè)的第3板112這3張板層疊所構(gòu)成，在厚度方向形成貫穿孔114，該貫穿孔114在使壓縮螺旋彈簧84松動嵌入的同時，使第1銷體80的另一端可滑動地插通，并且以另一端露出到外部的狀態(tài)使第2銷體82插通而加以保持。
該貫穿孔114同軸狀地形成有松動嵌入有壓縮螺旋彈簧84全長的同時，使第1銷體80的大直徑部86的端部可滑動地插通的大直徑的第1貫穿孔116；及可使第2銷體82插通而加以保持的小直徑的第2貫穿孔118。大直徑的第1貫穿孔116形成在內(nèi)部側(cè)的第1板108、中間部的第2板110及外側(cè)部的第3板112的內(nèi)側(cè)一部分上，小直徑的第2貫穿孔118形成在外部側(cè)的第3板112的外側(cè)一部分上。形成以上構(gòu)成的第2引導(dǎo)基部64在各板108、110、112預(yù)先形成貫穿孔，隨后擰合等加以層疊。第2銷體82在第2貫穿孔118中的保持借著第2銷體82向第2貫穿孔118的緩慢壓入予以實現(xiàn)。
所以，可容易獲得形成有具備兩個不同直徑的貫穿孔114的第2引導(dǎo)基部64。所謂松動嵌入是設(shè)定使貫穿孔114的直徑大于壓縮螺旋彈簧84，壓縮螺旋彈簧84在貫穿孔114內(nèi)可自由伸縮的狀態(tài)。所謂可滑動是設(shè)定使得貫穿孔114的直徑稍大于第1銷體80，可以使第1銷體80不致晃動可順利地在貫穿孔14內(nèi)移動的狀態(tài)。
以上，第2引導(dǎo)基部64具有下述直徑，即，第1貫穿孔116使壓縮螺旋彈簧84松動嵌入的同時，第1銷體80的端部可滑動地插通，所以在第2引導(dǎo)基部64中不僅能保持壓縮螺旋彈簧84，也能保持第1銷體80的端部，其結(jié)果，由于不需在以往技術(shù)中采用的用于保持第1銷體80端部的其它引導(dǎo)基部，所以可簡化基板檢查用夾具24的構(gòu)成。
以上構(gòu)成的基板檢查用夾具24，通過控制夾具驅(qū)動機構(gòu)26的動作，而朝著載放在搬運臺30的電路基板B移動，各第1銷體80的形成測定端的一端在抵接在電路基板B的各連接盤L的狀態(tài)下被推壓，第1銷體80朝著第2引導(dǎo)基部64側(cè)移動，端部克服壓縮螺旋彈簧84的彈性而推壓壓縮螺旋彈簧84，其結(jié)果，成為第1銷體80的形成測定端的一端彈性抵接在電路基板B的連接盤L的狀態(tài)，該基板檢查用夾具24的接觸阻力小，動作可靠度高。
導(dǎo)板60由第1引導(dǎo)基部62與第2引導(dǎo)基部64這兩個部件所構(gòu)成，構(gòu)造簡化的結(jié)果，可獲得組裝容易的基板檢查用夾具24，由此可獲得組裝容易的基板檢查裝置10。導(dǎo)板60由第1引導(dǎo)基部62與第2引導(dǎo)基部64這兩個部件所構(gòu)成，構(gòu)造簡化的結(jié)果，更換基板檢查用觸頭22時，僅分離第1引導(dǎo)基部62與第2引導(dǎo)基部64，便可取出基板檢查用觸頭22，可容易進行更換作業(yè)。
以具有撓性的金屬材料構(gòu)成第1銷體80，第1銷體80抵接在電路基板B的連接盤L的狀態(tài)下朝電路基板B側(cè)推壓時，在壓縮螺旋彈簧84被壓縮后第1銷體80在第1引導(dǎo)基部62與第2引導(dǎo)基部64間的空間部撓曲，借助由此產(chǎn)生的彈性，使第1銷體80相對于電路基板B的連接盤L彈力提高，其結(jié)果，可以實現(xiàn)更小接觸阻力的動作可靠性優(yōu)異的基板檢查用夾具24。
本發(fā)明不僅限定于上述實施方式，必要時也可以采用以下所述的種種變形形式。
(1)上述實施方式中，第1引導(dǎo)基部62與第2引導(dǎo)基部64雖都是層疊3張板而構(gòu)成的，但是不僅限于此。例如，也可以層疊兩張板而構(gòu)成，或?qū)盈B4張以上的板而構(gòu)成。若在可確保貫穿孔100、114的直徑精度的范圍內(nèi)，也可不層疊多張板，僅由壁厚較厚的1張板構(gòu)成。
(2)上述實施方式中，第1銷體80雖具備大直徑部86與小直徑部88，但是不僅限于此。例如，第1銷體80整體也可以形成相同直徑。另外，第1銷體80具備大直徑部86與小直徑部88，大直徑部86被卡止在大直徑的貫穿孔102和小直徑的貫穿孔104的邊界部，而阻止第1銷體80從第1引導(dǎo)基部62朝著電路基板B側(cè)脫落，但是即使第1銷體80整體形成相同直徑的場合，預(yù)先使第1銷體80的直徑近似于貫穿孔100的直徑，也可以借著第1銷體80周面產(chǎn)生的摩擦力有效阻止朝著電路基板B側(cè)的脫落。
(3)上述實施方式中，第1銷體80雖是將大直徑部86(整體相同直徑的場合為第1銷體80)的直徑形成得比壓縮螺旋彈簧84的外徑大，但是不僅限于此。例如，也可以將第1銷體80的大直徑部86(整體相同直徑的場合為第1銷體80)的直徑形成得與壓縮螺旋彈簧84的外徑相同。即使在以上的場合，第1銷體80的端部同樣可滑動地插通于第2引導(dǎo)基部64的大直徑貫穿孔116內(nèi)，不需要保持第1銷體80端部用的以往技術(shù)使用的其它引導(dǎo)基部，可以簡化基板檢查夾具24的構(gòu)成。
(4)上述實施方式中，在第1銷體80的端部形成與壓縮螺旋彈簧84的內(nèi)徑相同直徑的彈簧安裝部90，將此彈簧安裝部90壓入至壓縮螺旋彈簧84的內(nèi)徑部，但是不僅限于此。例如，彈簧安裝部90的直徑也可以形成得比壓縮螺旋彈簧84內(nèi)徑小。此時彈簧安裝部90成為松動嵌入壓縮螺旋彈簧84的狀態(tài)，第1銷體80與壓縮螺旋彈簧84以彼此的端面確保電連接?？傊?銷體80的彈簧安裝部90內(nèi)嵌于壓縮螺旋彈簧84的內(nèi)徑部即可，即使在任一場合下在實際使用方面都不致造成大的問題。并且也可以除去彈簧安裝部90。此時，壓縮螺旋彈簧84在大直徑貫穿孔116內(nèi)雖是被以自由的狀態(tài)松動嵌入，但此時同樣在實際使用方面不會產(chǎn)生大的問題。
(5)上述實施方式中，第2銷體82的直徑形成得比第1銷體80的大直徑部86小，但是不僅限于此。例如，也可以將第2銷體82的直徑形成得與第1銷體80的大直徑部86(整體相同直徑的場合為第1銷體80)相同。此時，實際使用方面也不會產(chǎn)生大的問題。也可以將第2銷體82的直徑形成得比壓縮螺旋彈簧84小。此時，壓縮螺旋彈簧84被卡止在大直徑的第1貫穿孔116與小直徑的第2貫穿孔118的邊界部，其結(jié)果，可以阻止第2銷體82從第2引導(dǎo)基部64朝著電極板68側(cè)的脫落。
(6)上述實施方式中，第2銷體82雖是被焊接在壓縮螺旋彈簧84上等固定，但是不僅限于此。例如，也可以使第2銷體82相對于壓縮螺旋彈簧84呈自由的狀態(tài)。此時，第2銷體82與壓縮螺旋彈簧84是以端面彼此間確保電連接，因此實際使用方面不會產(chǎn)生大的問題。
(7)上述實施方式中，作為電路基板B的電特性測定法的具體例子，檢查處理部56是將電壓測定部52所測定的電壓V與基準電壓Vf比較來檢查布線圖形的良好與否，但是不僅限于此。例如，也可構(gòu)成為，從電壓測定部52所測定的電壓V，借著R＝V/I運算處理的執(zhí)行算出布線圖形的電阻R，電阻R與基準電阻Rf比較以檢查布線圖形良好與否。
(8)上述實施方式中，在一對基板檢查用觸頭22的外部連接端連接電流產(chǎn)生部50使既定程度的電流流動于布線圖形中，借著用連接在基板檢查用觸頭22外部連接端的電壓測定部52測定布線圖形兩端的電壓的模擬四端子法，實施電路基板B電特性的檢查，但是不僅限于此。例如，也可以借著二端子法實施電路基板B電特性的檢查。此時，例如經(jīng)由一對基板檢查用觸頭22對布線圖形施加既定程度的電壓，測定流動于該布線圖形中的電流即可。
(9)上述實施方式中，構(gòu)成基板檢查用觸頭22的第1銷體80、第2銷體82及壓縮螺旋彈簧84雖是以金屬材料構(gòu)成，但是不僅限于此。例如，也可以使用在氟樹脂或硅酮樹脂等強韌合成樹脂的表面以非電解鍍層或噴濺等包覆金屬材料而成的導(dǎo)電材料所構(gòu)成。
(10)上述實施方式中，雖是在一對基板檢查用觸頭22的外部連接端借著同軸纜線72連接電流產(chǎn)生部50及電壓測定部52，但是不僅限于此。例如，也可以經(jīng)由單芯線或絞線等所成的纜線連接電流產(chǎn)生部50及電壓測定部52。
(11)上述實施方式中，基板檢查裝置10雖是在電路基板B的上方側(cè)與下方側(cè)具備檢查單元20，各檢查單元20具備基板檢查用夾具24，但是不僅限于此。例如，也可以僅在電路基板B的上方側(cè)與下方側(cè)的某一側(cè)具備檢查單元20。此時，表背兩面存在有布線圖形的連接盤L的電路基板B只要針對每個單面進行檢查即可。
權(quán)利要求
1.一種基板檢查用觸頭，用于測定電路基板的電特性，是支承在導(dǎo)板(60)上、由導(dǎo)電性材料形成的基板檢查用觸頭(22)，所述導(dǎo)板(60)具有隔開既定間隔對置配置的第1引導(dǎo)基部(62)及第2引導(dǎo)基部(64)，其特征在于，具備第1銷體(80)，成為抵接在上述電路基板(B)上的測定端的一端可滑動地插通于形成在上述第1引導(dǎo)基部(62)上的貫穿孔(100)中，并且，另一端可滑動地插通于形成在上述第2引導(dǎo)基部(64)上的貫穿孔(114)中；第2銷體(82)，以一端朝向上述第1銷體(80)的另一端的方式同軸狀地配置，另一端成為外部連接端，并且，插通形成在上述第2引導(dǎo)基部(64)上的上述貫穿孔中而被保持；及壓縮螺旋彈簧(84)，一端電連接在上述第1銷體(80)的另一端，另一端電連接在上述第2銷體(82)一端，并且，全長松動嵌入形成在上述第2引導(dǎo)基部(64)上的上述貫穿孔(114)中。
2.如權(quán)利要求1所述的基板檢查用觸頭，其特征在于，上述第1銷體(80)，具備直徑形成得與上述壓縮螺旋彈簧(84)的外徑相同或比外徑大的大直徑部(86)；與上述大直徑部(86)一端連通連接，并且直徑形成得比該大直徑部(86)小的小直徑部(88)；及與上述大直徑部(86)另一端連通連接，直徑形成得比上述大直徑部小，并且壓入上述壓縮螺旋彈簧中的彈簧安裝部(90)；上述第1引導(dǎo)基部(62)的上述第1貫穿孔(100)，具有使上述大直徑部(86)插通的第1貫穿孔(102)，及直徑形成得比上述第1貫穿孔(102)小的第2貫穿孔(104)。
3.如權(quán)利要求2所述的基板檢查用觸頭，其特征在于，上述第2銷體(82)，直徑形成得比上述第1銷體(80)的大直徑部(86)的直徑小，并且長度形成得比上述第1銷體(80)的長度短小，該第2銷體(82)的一端被固定在上述壓縮螺旋彈簧(84)的前端，上述第2引導(dǎo)基部(64)的上述貫穿孔(114)具有使上述第1銷體的另一端及上述壓縮螺旋彈簧全長插通的大直徑的第1貫穿孔，及使上述第2銷體插通的小直徑的第2貫穿孔。
4.一種基板檢查用夾具，是將測定電路基板的電特性用的多個基板檢查用觸頭支承在導(dǎo)板上而成的基板檢查用夾具，其特征在于，上述基板檢查用觸頭由導(dǎo)電性材料構(gòu)成，具備一端成為抵接在上述電路基板的測定端的第1銷體；同軸狀配置使一端朝向該第1銷體的另一端，另一端成為外部連接端的第2銷體；及配置在上述第1銷體另一端與上述第2銷體一端間的壓縮螺旋彈簧；上述導(dǎo)板由絕緣性材料形成，具備形成有貫穿孔的第1引導(dǎo)基部，在成為測定端的一端露出于外部的狀態(tài)下上述第1銷體可滑動地插通于該貫穿孔；及形成有貫穿孔的第2引導(dǎo)基部，相對于該第1引導(dǎo)基部以既定間隔配置，該貫穿孔使上述壓縮螺旋彈簧全長松動嵌入，且使上述第1銷體的另一端可滑動地插通，并且在成為外部連接端的另一端露出于外部的狀態(tài)下使上述第2銷體插通而予以保持。
5.如權(quán)利要求4所述的基板檢查用夾具，其特征在于，上述第1銷體，外徑形成得與上述壓縮螺旋彈簧的外徑相同或比外徑大，并且，在上述另一端具備直徑與上述壓縮螺旋彈簧的內(nèi)徑相同或比內(nèi)徑小的彈簧安裝部，該彈簧安裝部壓入上述壓縮螺旋彈簧中。
6.如權(quán)利要求4所述的基板檢查用夾具，其特征在于，上述第1銷體，具備上述另一端側(cè)直徑形成得與上述壓縮螺旋彈簧的外徑相同或比外徑大的大直徑部，及上述一端側(cè)直徑形成得比上述大直徑部小的小直徑部，上述第1引導(dǎo)基部的上述貫穿孔具有使上述大直徑部插通的大直徑的第1貫穿孔，及使上述小直徑部插通的小直徑的第2貫穿孔。
7.如權(quán)利要求4所述的基板檢查用夾具，其特征在于，上述第1銷體，具備上述另一端側(cè)直徑形成得與上述壓縮螺旋彈簧的外徑相同或比外徑大的大直徑部，及上述一端側(cè)直徑形成得比上述大直徑部小的小直徑部，并且在上述另一端具備直徑比上述大直徑部小的彈簧安裝部，該彈簧安裝部壓入上述壓縮螺旋彈簧中，上述第1引導(dǎo)基部的貫穿孔具有使上述大直徑部插通的大直徑的第1貫穿孔，及使上述小直徑部插通的小直徑的第2貫穿孔。
8.如權(quán)利要求6或7所述的基板檢查用夾具，其特征在于，上述第2銷體直徑比上述第1銷體的大直徑部小，且形成得比上述第1銷體短小，一端被固定在上述壓縮螺旋彈簧上，上述第2引導(dǎo)基部的貫穿孔具有使上述第1銷體的另一端及上述壓縮螺旋彈簧全長插通的大直徑的第1貫穿孔，及使上述第2銷體插通的小直徑的第2貫穿孔。
9.一種基板檢查裝置，通過測定電路基板的電特性，來檢查電路基板良好與否，其特征在于，具備權(quán)利要求4至8中任一項所述的基板檢查用夾具；及纜線，一端連接在構(gòu)成上述基板檢查用夾具的基板檢查用觸頭的第2銷體的外部連接端，另一端連接在執(zhí)行上述電路基板檢查的基板檢查部。
全文摘要
本發(fā)明的課題在于使基板檢查用夾具的組裝變得容易。將構(gòu)成基板檢查用觸頭(22)的第1銷體(80)在形成測定端的一端露出于外部的狀態(tài)下可滑動地插通于第1引導(dǎo)基部(62)的貫穿孔(100)，將構(gòu)成基板檢查用觸頭(22)的壓縮螺旋彈簧(84)松動嵌入相對于第1引導(dǎo)基部(62)隔開既定間隔而對置的第2引導(dǎo)基部(64)的貫穿孔(114)，另一方面，將第1銷體(80)的另一端可滑動地插通于該貫穿孔(114)的同時，在形成外部連接端的另一端露出于外部的狀態(tài)下插通構(gòu)成基板檢查用觸頭(22)的第2銷體(82)并固定。
文檔編號G01R1/06GK101071140SQ20071010291
公開日2007年11月14日 申請日期2007年5月11日 優(yōu)先權(quán)日2006年5月12日
發(fā)明者廣部幸祐, 藤野真, 加藤穰 申請人:日本電產(chǎn)麗德株式會社