專利名稱：膜檢查裝置和膜檢查方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及檢查在膜中構(gòu)成的微小的不良、例如魚眼(FE)等的 膜檢查裝置和檢查方法。
背景技術(shù)：
在膜的制造時(shí)有時(shí)發(fā)生被稱為魚眼的微小的不良。魚眼是由于在 制造膜時(shí)膜的材料未完全地熔融或在該材料中混入了雜質(zhì)而發(fā)生的 (參照專利文獻(xiàn)l)。
根據(jù)膜的使用用途，有時(shí)魚眼損害膜的功能和外觀。例如，有作 為半導(dǎo)體晶片的切割用的薄片而使用的膜。當(dāng)在該膜中有魚眼的情況 下，在膜上不能平坦地放置半導(dǎo)體晶片。有可能半導(dǎo)體晶片切割失敗。
一般根據(jù)膜的使用用途決定所容許的魚眼的大小或每單位面積的 數(shù)目。因此，開發(fā)并公開了各種各樣的檢查魚眼的裝置(參照專利文 獻(xiàn)2~7)。這些裝置用line-sensor對(duì)膜進(jìn)行4聶影，對(duì)用line-sensor 得到的數(shù)據(jù)進(jìn)行2值化等的圖像處理來檢出魚眼。
在圖33中表示圖像處理的流程的一個(gè)例子。如果從line-sensor 的數(shù)據(jù)檢出異常，則從膜的行進(jìn)方向計(jì)算異常部分的長度。如果該長 度長，則是劃傷等。在這樣的情況下，判定為嚴(yán)重的缺陷點(diǎn)。如果該 長度短，則進(jìn)行是否是魚眼的判定。如果不是魚眼，則判定為噪聲。 如果是魚眼，則求出大小，進(jìn)行分類。
但是，以往的檢查裝置有時(shí)因line-sensor的分辨率的緣故而不能 準(zhǔn)確地計(jì)算魚眼的大小。例如，如果魚眼是微小的，則即使能確認(rèn)魚 眼的存在，有時(shí)也不能準(zhǔn)確地求出魚眼的大小。在這樣的情況下，不 能進(jìn)行是否是所容許的魚眼的判斷。即，存在圖33的大小的n級(jí)分類 被line-sensor的分辨率所制約的危險(xiǎn)。
此外，由于膜的種類，魚眼不形成在膜的表面上。在膜的內(nèi)部形 成魚眼，即使用肉眼也難以確認(rèn)魚眼。在這樣的情況下，難以對(duì)用
line-sensor得到了的數(shù)據(jù)進(jìn)行圖像處理來發(fā)現(xiàn)缺陷點(diǎn)。
如果能得到關(guān)于魚眼的數(shù)據(jù)，則也希望以各種各樣^方式利用該 數(shù)據(jù)。即，如果不單單能發(fā)現(xiàn)缺陷點(diǎn)，而且使用者在膜的使用時(shí)可簡 單地認(rèn)識(shí)缺陷點(diǎn)的位置，則是便利的。
專利文獻(xiàn)l:特開2001 - 150429號(hào)7>報(bào)
專利文獻(xiàn)2:專利第3224623號(hào)公報(bào)
專利文獻(xiàn)3:專利第3224624號(hào)公報(bào)
專利文獻(xiàn)4:特開平8 - 105842號(hào)z〉才艮
專利文獻(xiàn)5:特開平6-82385號(hào)公報(bào)
專利文獻(xiàn)6:專利第2736521號(hào)公報(bào)
專利文獻(xiàn)7:特開2004 - 109069號(hào)7>報(bào)

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明提供一種檢查在制造膜時(shí)發(fā)生的魚眼等缺陷點(diǎn)并可有效地 利用檢查后的數(shù)據(jù)的檢查裝置和檢查方法。
本發(fā)明的檢查裝置是檢出膜的不良的裝置，包含照相機(jī)，具有 發(fā)出透過上述膜的光的光源和多個(gè)受光部排列成的傳感器，用該傳感 器掃描上述膜；將用上述傳感器掃描所得到的電荷信號(hào)變換為電壓信 號(hào)并從該電壓信號(hào)分析膜的不良部分的單元；存儲(chǔ)用于從上述電壓信 號(hào)區(qū)別膜的不良部分的大小的多個(gè)大小閾值的單元；以及將所分析的 上述電壓信號(hào)與上述多個(gè)大小閾值進(jìn)行比較，求出該電壓信號(hào)與哪個(gè) 大小閾值相一致的單元。
本發(fā)明的檢查裝置可包含存儲(chǔ)掃描上述膜得到的上述膜的檢查 數(shù)據(jù)的存儲(chǔ)單元；顯示所掃描的上述膜的畫面；在上述畫面中指定所 顯示的上述膜的任意區(qū)域的區(qū)域指定單元；以及從上述存儲(chǔ)單元中所 存儲(chǔ)的上述檢查數(shù)據(jù)中抽取用上述區(qū)域指定單元所指定的上述區(qū)域的 檢查數(shù)據(jù)的抽取單元。
再者，本發(fā)明的檢查裝置可包含巻繞上述膜的單元；在畫面上 指定上述膜被巻繞的狀態(tài)的種類的巻繞狀態(tài)指定單元；以及讀出在上 述存儲(chǔ)單元中所存儲(chǔ)的上述檢查數(shù)據(jù)，并將在該檢查數(shù)據(jù)中所包含的 上述膜的檢查時(shí)的缺陷點(diǎn)在上述膜上的位置信息變換為與用上述巻繞 狀態(tài)指定單元所指定的種類對(duì)應(yīng)的位置信息的變換單元。
再者，本發(fā)明的檢查裝置可在上述光源與傳感器之間包含分別配 置在上述膜的上方和下方的偏振片。
本發(fā)明的檢查方法是檢出膜的不良的方法，包含使光透過上述 膜的步驟；用多個(gè)受光部排列成的傳感器接受透過上述膜的光的步驟； 根據(jù)所接受到的上述光來生成電壓信號(hào)，并根據(jù)該電壓信號(hào)分析不良 部分的步驟；以及求出所分析的上述電壓信號(hào)與多個(gè)大小閾值中的哪 一個(gè)相一致的步驟。
本發(fā)明的檢查方法可包含存儲(chǔ)以對(duì)上述膜進(jìn)行攝像得到的圖像 數(shù)據(jù)為基礎(chǔ)的上述薄片的檢查數(shù)據(jù)的存儲(chǔ)步驟；利用操作者的輸入在 畫面上指定上述膜上的任意區(qū)域的區(qū)域指定步驟；以及從上述存儲(chǔ)步 驟中所存儲(chǔ)的上述檢查數(shù)據(jù)中抽取用上述區(qū)域指定步驟所指定的上述 區(qū)域的檢查數(shù)據(jù)的抽取步驟。
再者，本發(fā)明的檢查方法可包含巻繞上述膜的步驟；存儲(chǔ)以對(duì)
上述膜進(jìn)行攝像得到的數(shù)據(jù)為基礎(chǔ)的上述膜的檢查數(shù)據(jù)的存儲(chǔ)步驟；
利用操作者的輸入在畫面上指定上述薄片被巻繞的狀態(tài)的種類的巻繞
狀態(tài)指定步驟；以及讀出在上述存儲(chǔ)步驟中所存儲(chǔ)的上述檢查數(shù)據(jù)， 并將在其中所包含的上述薄片檢查時(shí)的缺陷點(diǎn)在上述薄片上的位置信
息變換為與用上迷巻繞狀態(tài)指定步驟所指定了的種類對(duì)應(yīng)的位置信息 的變換步驟。
再者，本發(fā)明的檢查方法可包含在上述光源與傳感器之間在上述 膜的上方和下方分別配置偏振片，并使光透過該偏振片的步驟。
按照本發(fā)明，將膜的魚眼當(dāng)作透鏡那樣地利用，用正常部分與不 良部分的數(shù)據(jù)的差檢測(cè)有無魚眼。利用該差的值可知魚眼的大小。此 外，利用掃描了透過魚眼的部分的光的次數(shù)也可判別魚眼是否變?yōu)闄E圓形。
此外，利用操作者的輸入在畫面上指定薄片上的任意區(qū)域，從檢 查數(shù)據(jù)中抽取了該所指定的區(qū)域的檢查數(shù)據(jù)。因而，可將檢查數(shù)據(jù)加 工為便利性更高的數(shù)據(jù)。
進(jìn)而，利用操作者的輸入在畫面上指定薄片被巻繞的狀態(tài)的種類 并將片的檢查時(shí)的缺陷點(diǎn)在片上的位置信息變換為與上述所指定的種 類對(duì)應(yīng)的位置信息。由此，可將檢查數(shù)據(jù)加工為便利性更高的數(shù)據(jù)。


圖1是表示關(guān)于與本實(shí)施方式有關(guān)的塑料膜檢查和檢查數(shù)據(jù)的加 工的概略圖。
圖2是表示本發(fā)明的檢查裝置結(jié)構(gòu)的框圖。
圖3是在膜中存在不良部分的情況下在信號(hào)電壓中發(fā)生了異常部 分的圖。
圖4是對(duì)信號(hào)電壓進(jìn)行了微分的圖。
圖5是對(duì)透過了不良部分的光是明亮的、不良部分的寬度窄的情 況的信號(hào)電壓進(jìn)行了微分的圖。
圖6是對(duì)透過了不良部分的光是暗的、不良部分的寬度窄的情況 的信號(hào)電壓進(jìn)行了微分的圖。
圖7是對(duì)透過了不良部分的光是明亮的、不良部分的寬度寬的情 況的信號(hào)電壓進(jìn)行了微分的圖。
圖8是對(duì)透過了不良部分的光是暗的、不良部分的寬度寬的情況 的信號(hào)電壓進(jìn)行了微分的圖。
圖9是對(duì)發(fā)生了噪聲的情況的信號(hào)電壓進(jìn)行了微分的圖。
圖IO是表示膜的不良部分的圖，U)是魚眼的圖，(b)是在膜 中沾上了顏色的不良的圖，(c)是在膜中帶有的條紋形的傷痕的圖， (d)是在膜中形成的大的缺陷點(diǎn)的圖。
圖11是判定魚眼的大小的圖，(a)是大小閾值1的情況的圖， (b)是大小閾值2的情況的圖。
圖12是表示信號(hào)電壓根據(jù)魚眼的大小而不同的圖，(a)是3個(gè) 受光部接受透過了魚眼的光的情況，(b )是5個(gè)受光部接受透過了魚 眼的光的情況。
圖13是表示即使魚眼的大小不同而信號(hào)電壓也相同的情況的圖， (a)是圓形的魚眼，(b)是橢圓形的魚眼。
圖14是表示用于判定魚眼的大小的流程的圖。
圖15是傾斜地掃描了魚眼的情況的圖，(a)是5個(gè)受光部接受 透過了魚眼的光的情況，(b )是7個(gè)受光部接受透過了魚眼的光的情 況。
圖16是表示形成在膜的內(nèi)部的魚眼的圖，(a)是剖面圖，(b) 是正面圖。
圖17是在膜的上方和下方配置了偏振片的圖。
圖18是表示可配置偏振片的結(jié)構(gòu)的圖，(a)是表示配置了偏振
片的板的圖，(b)是表示該板與照相機(jī)的位置關(guān)系的剖面圖。
圖19是與本實(shí)施方式有關(guān)的檢查數(shù)據(jù)加工的流程圖。
圖20是表示在與本實(shí)施方式有關(guān)的檢查數(shù)據(jù)加工裝置的顯示器
上顯示的畫面的一個(gè)例子的圖。
圖21是與本實(shí)施方式有關(guān)的檢查數(shù)據(jù)加工(1)的流程圖。
圖22是表示執(zhí)行檢查數(shù)據(jù)加工(1)中的畫面的圖。
圖23是表示執(zhí)行了檢查數(shù)據(jù)加工(1)后的畫面的圖。
圖24是表示在缺陷點(diǎn)圖上被指定了的任意區(qū)域的一個(gè)例子的圖。
圖25是表示在缺陷點(diǎn)圖上被指定了的任意區(qū)域的另一個(gè)例子的圖。
圖26是表示用圖1的巻繞機(jī)巻繞的膜的圖。 圖27是表示圖9的膜的缺陷點(diǎn)圖的圖。
圖28是說明膜被巻繞的狀態(tài)的種類中「下巻繞J和r上巻繞J的圖。
圖29是說明膜被巻繞的狀態(tài)的種類中r反轉(zhuǎn)上巻繞」的圖。 圖30是說明膜被巻繞的狀態(tài)的種類中「反轉(zhuǎn)下巻繞」的圖。
圖31是與本實(shí)施方式有關(guān)的檢查數(shù)據(jù)加工(2)的流程圖。
圖32是表示與本實(shí)施方式有關(guān)的檢查數(shù)據(jù)加工裝置的功能塊圖。
圖33是表示以往的魚眼的檢查方法的流程的圖。
符號(hào)的說明 1:壓出才幾
3:塑料膜(薄片的一個(gè)例子)
5:輥
7:巻繞機(jī)
9:光源
10:檢查裝置
11:主機(jī)
12:照相機(jī)
13:照相一幾驅(qū)動(dòng)部
14:分析單元
16:大小閾值的存儲(chǔ)單元
18:比較器
20:基準(zhǔn)數(shù)的存儲(chǔ)單元
22:比較單元
24:校正單元
26:孩i分單元
28:判定用閾值的存儲(chǔ)單元
30:判定單元
32:測(cè)量長度的單元
34:不良部分的種類的判定單元
115:檢查數(shù)據(jù)加工裝置
117:畫面
119:缺陷點(diǎn)圖
121:缺陷點(diǎn)直方圖
123:標(biāo)記
125:按鈕
127:復(fù)選框
129:圖標(biāo)
131、133、 135:任意的區(qū)域
137:芯
139:缺陷點(diǎn)
141:芯
151:存儲(chǔ)部
153:通信部
155:輸入部
157:處理部
159:輸出部
161:區(qū)域指定部
163:抽取部
165:巻繞狀態(tài)指定部
167:變換部
169:圖4象顯示部
171:紙輸出部
具體實(shí)施例方式
使用

與本發(fā)明有關(guān)的膜檢查裝置和檢查方法的實(shí)施方 式。在本發(fā)明中被檢查的膜(或稱為薄片)是以半導(dǎo)體晶片的切割片 為代表的各種各樣的膜(或薄片)。除了用樹脂等形成的膜以外，只 要是使光透過的膜即可，可檢查布或金屬片等任意的膜。膜可以是巻
繞成巻筒狀的，也可以是單張狀的。本發(fā)明特別用于檢查魚眼(FE), 但也可檢查其它的缺陷點(diǎn)(或稱為不良)。再有，圖中有時(shí)用所存儲(chǔ) 的內(nèi)容表示了各種各樣的存儲(chǔ)單元。此外，圖3以后的各波形是一個(gè) 例子，有時(shí)與實(shí)際不同。
如圖1中所示，用輥5引導(dǎo)由壓出機(jī)l連續(xù)成形的膜(包含塑料 膜等)3。然后，用巻繞機(jī)7巻繞膜3，作成巻筒。若將膜3巻繞了規(guī) 定的長度后，在寬度方向上切斷膜3,完成一個(gè)巻筒。接著，開始新 的巻筒的制作。在該生產(chǎn)線的規(guī)定部位上配置了膜檢查裝置10的照相 機(jī)12和光源9。因而，就在巻繞膜的過程中檢查膜。如果是單張的膜， 則在膜運(yùn)送中來檢查。
再有，在圖1中表示壓出機(jī)，但即使用其它的機(jī)械制作膜，也能 應(yīng)用本發(fā)明。例如，用加熱延伸、無延伸等制作膜的情況。
圖2中表示的本發(fā)明的膜檢查裝置10包含具有發(fā)出透過膜的光 的光源和多個(gè)受光部排在一起的傳感器，并用傳感器掃描膜的照相機(jī) 12;將用傳感器掃描所得到的電荷信號(hào)變換為電壓信號(hào)并從電壓信號(hào) 分析膜的不良部分的分析單元14;存儲(chǔ)用于根據(jù)電壓信號(hào)區(qū)別膜的不 良部分的大小的多個(gè)大小闊值的存儲(chǔ)單元16;以及比較所分析的電壓 信號(hào)與多個(gè)大小閾值以求出電壓信號(hào)與哪個(gè)大小閾值一致的比較器
(比較單元)18。再有，在上述的記載中，記載為照相機(jī)12具有光源 和傳感器，但也可將光源作為與照相機(jī)分開的獨(dú)立的部分來處理。
由主機(jī)ll控制膜檢查裝置IO整體來工作。即，主機(jī)ll對(duì)各種各 樣的單元發(fā)出指令?？蓪⒂弥鳈C(jī)得到了的檢查數(shù)據(jù)，如在后面說明的 那樣，加工為^l利性高的數(shù)據(jù)。
照相機(jī)12是line-sensor照相機(jī)，由照相機(jī)驅(qū)動(dòng)部13進(jìn)行控制。 例如，可使用排列為1列的多個(gè)光電二極管作為受光部(傳感器)。 為了依次取出在這些光電二極管中蓄積了的電荷，使用CCD (電荷耦 合器件)。上述的掃描是用受光部接受透過了膜的光。
照相機(jī)12的數(shù)目是多個(gè)，例如是4臺(tái)，將這些照相機(jī)在膜3的上 方且在膜3的寬度方向上配置成直線形狀。在照相機(jī)12是1臺(tái)的情況 下，不能覆蓋膜3的寬度方向上的全部。因此，設(shè)置4臺(tái)照相機(jī)12， 使各照相機(jī)12分擔(dān)膜3的寬度方向的一部分，從而覆蓋了膜3的寬度 方向上的全部。
光源9與照相機(jī)12相對(duì)置，被配置在膜3的下方。光源9具有透過照明的功能。 一邊將來自光源9的光照射到膜3上， 一邊用照相機(jī) 12的傳感器接受透過了的光。將接受光所得的數(shù)據(jù)發(fā)送給膜檢查裝置 10。膜檢查裝置10根據(jù)該數(shù)據(jù)生成膜3的檢查數(shù)據(jù)。再有，該數(shù)據(jù)包 含在圖3等中表示的數(shù)據(jù)。
分析單元14是求出在電壓信號(hào)中是否有異常信號(hào)的單元。該單元 由電路、軟件或其兩者構(gòu)成。透過不良部分的光成為如圖3中所示那 樣突出了的電壓(異常信號(hào))。這是由于例如魚眼起到作為透鏡的作 用，聚光在光電二極管上的緣故。通過檢測(cè)異常信號(hào)，可求出不良部 分的存在。
存儲(chǔ)大小閾值的存儲(chǔ)單元16是在計(jì)算機(jī)等中使用的硬盤或存儲(chǔ) 器等的存儲(chǔ)數(shù)據(jù)的單元。
對(duì)于各閾值來設(shè)置比較器18。求出所分析的電壓信號(hào)與哪個(gè)大小 閾值一致。由此，可求出膜的不良部分的大小。再有，比較器18也可 使電壓信號(hào)2值化來處理該電壓信號(hào)。
如果用1次掃描形狀判斷就可判斷為缺陷點(diǎn)，則在長度測(cè)量中打 開門電路，用比較器18保持比較的結(jié)果，發(fā)送給校正單元24。圖中 的門電路19a、保存電路19b、大小19c的塊表示了上述的數(shù)據(jù)的流動(dòng)。
與以往不同，可利用電壓信號(hào)求出大小。也可對(duì)由照相機(jī)12的分 辨率所限制的不良部分大小進(jìn)行分類。
本發(fā)明的膜檢查裝置10包含存儲(chǔ)為了區(qū)別膜的不良部分的大小 而設(shè)定的基準(zhǔn)數(shù)的存儲(chǔ)單元20;比較掃描了不良部分的受光部的數(shù)目 與基準(zhǔn)數(shù)的單元22;以及通過比較求出受光部的數(shù)目是否比基準(zhǔn)數(shù)多 的校正單元24。
基準(zhǔn)數(shù)是掃描了透過不良部分的光的次數(shù)。有時(shí)魚眼是圓形或是 橢圓形都成為相同的電壓信號(hào)。可認(rèn)為這是由于電壓信號(hào)與掃描魚眼 的方向的寬度成比例。在該情況下，即使不良部分的大小不同，也判 定為大小相同。因此，設(shè)定基準(zhǔn)數(shù)，例如，如果掃描了不良部分的次 數(shù)比基準(zhǔn)數(shù)多，則增大不良部分的大小。
存儲(chǔ)基準(zhǔn)數(shù)的存儲(chǔ)單元20是在計(jì)算機(jī)等中使用的硬盤或存儲(chǔ)器
等的存儲(chǔ)數(shù)據(jù)的單元。
校正單元24由電路、軟件或其兩者構(gòu)成。校正單元，如上所述， 例如如果掃描了不良部分的次數(shù)大于等于基準(zhǔn)數(shù)，則增大不良部分的 大小。作為增大不良部分的大小的方法的一個(gè)例子，變更為比用比較 器18求出了的大小大1個(gè)的大小、即大1個(gè)大小閾值的大小。
即使在膜的制造時(shí)魚眼在膜的拉出方向上流動(dòng)(即使橢圓形的長 軸朝向拉出的方向)，也能將魚眼分類為適當(dāng)?shù)拇笮　?br> 對(duì)于每個(gè)大小閾值使基準(zhǔn)數(shù)不同。這是因?yàn)榻邮芡高^了該魚眼的 光的受光部的數(shù)目因魚眼的大小而不同。
本發(fā)明包含在使光透過膜時(shí)，使膜在制造時(shí)的膜的拉出方向上移 動(dòng)的膜運(yùn)送裝置。橢圓形的魚眼的長軸為相對(duì)于膜的移動(dòng)方向?yàn)橄嗤?的方向。這是由于在膜的制造時(shí)魚眼在膜的拉出方向上流動(dòng)。因而， 如果掃描了不良部分的次數(shù)大于等于基準(zhǔn)數(shù)，則校正單元24進(jìn)行將不 良部分的大小分類提高1個(gè)等級(jí)等使大小的分類增大。
分析單元14包含對(duì)電壓信號(hào)進(jìn)行微分的微分單元26;存儲(chǔ)用 于判定是否是膜的不良部分的判斷用閾值的存儲(chǔ)單元28;以及比較所 微分的電壓信號(hào)與判斷用閾值以判定是否是膜不良的判定單元30。
微分單元26由電路、軟件或其兩者構(gòu)成。通過對(duì)電壓信號(hào)進(jìn)行微 分，可使正常部分與不良部分的差從絕對(duì)的差變?yōu)橄鄬?duì)的差。通過變 為相對(duì)的差，可不考慮因膜引起的光透過的差別。
存儲(chǔ)判斷用閾值的存儲(chǔ)單元28與其它的存儲(chǔ)單元同樣，是在計(jì)算 機(jī)等中使用的硬盤或存儲(chǔ)器等的存儲(chǔ)數(shù)據(jù)的單元。
判定單元30是若所微分的電壓信號(hào)中的異常信號(hào)比判斷用閾值 大或小就判定為不良的單元。與其它的單元同樣，判定單元由電路、 軟件或其兩者構(gòu)成。
膜檢查裝置10包含根據(jù)掃描了膜的不良部分的次數(shù)、掃描的時(shí) 間間隔和膜的移動(dòng)速度求出不良部分的長度的單元32;以及根據(jù)不良
i的單元34;此外，包含根:;微分的信號(hào)的;形;斷1次掃描的波
形形狀的單元31。
膜檢查裝置10的膜的掃描的時(shí)間間隔是恒定的，可根據(jù)掃描了的 次數(shù)和膜的移動(dòng)速度求出不良部分的長度。再有，每單位長度的受光 部的數(shù)目成為膜的寬度方向的分辨率。此外，利用掃描的時(shí)間間隔和 膜的移動(dòng)速度可求出膜的移動(dòng)方向的分辨率。本發(fā)明不會(huì)因該分辨率 而影響不良部分的大小的判定。
不良部分不僅包含魚眼，而且也包含顏色不同的缺陷點(diǎn)或傷痕。 可根據(jù)所微分的信號(hào)的波形，如圖5 8中所示，將從l次掃描的信號(hào) 得知的不良分類為4種。根據(jù)該分類和不良部分的長度可判斷不良部 分的種類。再有，在膜檢查裝置IO的任意的存儲(chǔ)單元中預(yù)先存儲(chǔ)了各 種各樣的波形。
此外，如果最終將不良部分的形狀在計(jì)算機(jī)的顯示器等上顯示， 則設(shè)置缺陷點(diǎn)圖像生成單元35。設(shè)置編碼器，將膜的X方向和Y方 向的同步信號(hào)輸入到缺陷點(diǎn)圖像生成單元35中，與該信號(hào)同步地生成 缺陷點(diǎn)圖像。膜的X方向和Y方向是膜的寬度方向和行進(jìn)方向。
也可存儲(chǔ)膜上的缺陷點(diǎn)的位置。利用膜的移動(dòng)速度、檢測(cè)了缺陷 點(diǎn)的時(shí)間、用哪個(gè)傳感器檢測(cè)了缺陷點(diǎn)可求出缺陷點(diǎn)的位置。在后面 說明該數(shù)據(jù)的利用。
再者，也可在膜檢查裝置10中設(shè)置對(duì)利用上述的各單元而檢測(cè)出 了的魚眼的數(shù)目進(jìn)行計(jì)數(shù)的單元。判別在膜中形成了的魚眼的數(shù)目是 否是容許范圍的魚眼數(shù)目。也可在檢查裝置10中設(shè)置自動(dòng)地進(jìn)行該判 別的單元(電路和/或程序)。此外，也可在檢查裝置10中設(shè)置按每 單位面積對(duì)魚眼的數(shù)目進(jìn)行計(jì)數(shù)的單元(電路和/或程序)。進(jìn)而，也 可對(duì)每種魚眼的大小進(jìn)行上述的魚眼的數(shù)目的計(jì)數(shù)，也可在檢查裝置 10中設(shè)置用于該目的的單元(電路和/或程序)。
其次，說明使用了上述的膜檢查裝置10的膜檢查方法。
檢查方法包含以下的(1) ~ (4)步驟。(l)使光透過膜。(2) 用多個(gè)受光部排列成的傳感器接受透過了膜的光。(3 )根據(jù)所接受的 光生成電壓信號(hào)，由電壓信號(hào)分析不良部分。(4)求出所分析的信號(hào)
與多個(gè)大小闊值中的哪一個(gè)相一致。
在(1)的步驟中， 一邊使膜移動(dòng)， 一邊進(jìn)行該步驟。這是因?yàn)閭?br> 感器的種類是line-sensor。只要是傳感器依次掃描膜即可，可移動(dòng)傳 感器來代替移動(dòng)膜。
在(2)的步驟中接受了光時(shí)，如果在膜中有不良部分，則在(3) 的步驟中如圖3中所示那樣在電壓信號(hào)中發(fā)生了突出的部分。根據(jù)該 突出的部分可知在膜中有不良部分。
(3 )的分析包含對(duì)電壓信號(hào)進(jìn)行微分的步驟和比較所微分的電壓
信號(hào)與判斷用閾值以判定是否是膜不良的步驟。
如圖3中所示，通過對(duì)電壓信號(hào)進(jìn)行微分，將不良部分與正常部 分的電壓的差從絕對(duì)值變更為相對(duì)值。除去了因膜的差別引起的光的 透射率等差別的影響。
判斷用閾值，如圖4中所示，設(shè)定上限值和下限值。如果在所微 分的電壓信號(hào)中有超過判斷用閾值的上限值或打破下限值的部位，則 判定為有不良部分。
由于膜的不良部分不僅是魚眼，故也有必要對(duì)不良的種類進(jìn)行分 類。因此，檢查方法包含根據(jù)接受了透過膜的不良部分的光的次數(shù)(掃 描次數(shù))、接受光的時(shí)間間隔和膜的移動(dòng)速度求出不良部分的長度的
分的種類進(jìn)行分類的步驟。
由于傳感器每隔一定時(shí)間接受光，故可根據(jù)接受了不良部分的光 的次數(shù)和膜的移動(dòng)速度求出不良部分的長度。
所微分的電壓信號(hào)的波形根據(jù)不良部分的種類而不同。例如，在 圖5~8中表示因不良部分的種類引起的波形的差別。圖5表示透過了 不良部分的光是明亮的、寬度窄的情況，如果不良部分的長度短，則 是魚眼(參照?qǐng)D10 (a))。圖10 (a)表示了在膜50中有魚眼52a。 如果是魚眼，則進(jìn)行上述(4)的步驟。
圖6表示透過了不良部分的光是暗的、寬度窄的情況。該不良部 分是由因在膜的精制時(shí)混入了的雜質(zhì)而在膜中發(fā)生了的著色引起的不
良(參照?qǐng)D10 (b))。圖10 (b)表示了在膜50中有被著色的不良 52b。即使是這樣的不良，也可轉(zhuǎn)移到上述(4)的步驟，進(jìn)行大小的 分類。
如果透過了不良部分的光的亮度是明亮的或暗的、不良部分的寬 度是窄、不良部分的長度長，則判定為圖10 (c)那樣的條紋狀的不 良52c。不轉(zhuǎn)移到上述(4)的步驟，或即使轉(zhuǎn)移了，大小的值也定為 無效。這是由于如果是條紋狀的不良，則在大部分情況下在幾mm中 連續(xù)地發(fā)生，故有時(shí)不能計(jì)算出面積。
圖7表示透過了不良部分的光是明亮的、寬度寬的情況。圖8表 示透過了不良部分的光是暗的、寬度寬的情況。如果透過了不良部分 的光的亮度是明亮的或暗的、不良部分的寬度寬、不良部分的長度長， 則判定為不良部分非常大(參照?qǐng)D10 (d))。圖10 (d)表示在膜 50中有大的缺陷點(diǎn)52d。不轉(zhuǎn)移到上述(4)的步驟，或即使轉(zhuǎn)移了， 大小的值也定為無效。
如圖11 (a) 、 (b)中所示，通過求出在上迷(4)的步驟中所 分析的信號(hào)與哪個(gè)大小閾值一致，可求出不良部分的大小。再有，在 所微分的信號(hào)電壓的值的最大值為大小閾值11以上但小于11 + l的情況 下，定為與大小閾值n—致(n是大于等于1的整數(shù))。即，求出不 良部分的大小時(shí)的大小閾值成為具有一定的寬度的值。如果是圖11 (a)，則由于在大小閾值1與2之間具有所微分的信號(hào)電壓，故是與 大小閾值1 一致。上述的大小閾值的寬度和大小閾值的數(shù)目是任意的。 根據(jù)在魚眼的檢查中所求出的精度等來決定大小闊值的寬度和大小閾 值的數(shù)目。
再有，不會(huì)發(fā)生光的亮度明亮或暗、不良部分的寬度寬、不良部 分的長度短的情況。此外，如果是圖9那樣的波形，就判定為噪聲， 忽略該信號(hào)來進(jìn)行以后的處理。噪聲只用1次掃描就可判定，但也可 根據(jù)幾次掃描的信號(hào)來判定，可提高判定為噪聲的精度。
關(guān)于上述(4)的步驟，在存儲(chǔ)單元16中預(yù)先存儲(chǔ)多個(gè)大小閾值。 該大小閾值如上所述，具有一定的寬度。如圖11 (a) 、 (b)中所示，通過求出所微分的電壓信號(hào)進(jìn)入哪個(gè)大小閾值的范圍，可簡單地求出 不良部分的大小。
如上所述，使用所微分的電壓信號(hào)來判定不良部分的大小，而不 受傳感器的分辨率的影響?？膳卸ㄔ谝酝騻鞲衅鞯姆直媛实木壒什?能判定的不良部分的大小。
在用加熱延伸制造了膜時(shí)，有時(shí)魚眼成為橢圓形。在該情況下，
只用上述的步驟有可能錯(cuò)誤地進(jìn)行大小的判定。如圖12 (a) 、 (b) 中所示，電壓信號(hào)根據(jù)傳感器掃描的魚眼52a的寬度而變化。如圖13 (a) 、 (b)中所示，如果是在傳感器掃描的方向上相同的寬度的魚 眼52a，則是圓形也好、是橢圓形也好，最大的信號(hào)電壓都是相同的。 可認(rèn)為這是由于信號(hào)電壓的大小受到魚眼52a的掃描的寬度方向的影 響。因而，將橢圓形的魚眼52a判定為比實(shí)際的大小小。因此，本發(fā) 明的檢查方法在上述(4 )的步驟后包含比較接受了透過不良部分的光 的受光部的數(shù)目與基準(zhǔn)數(shù)的步驟。如果上述的數(shù)目比基準(zhǔn)數(shù)多，則成 為大1個(gè)的大小閾值的大小。如果簡單地表示大小的分類的流程，則 如圖14中所示。圖14是重新表示了在現(xiàn)有技術(shù)中表示了的圖33的大 小的ii級(jí)分類。再有，在圖12、 13中，用圓包圍了的數(shù)字表示掃描次 數(shù)，縱軸是電壓，橫軸為時(shí)間，排列地表示了各受光部以怎樣的方式 變化。掃描的方向是圖中的箭頭的方向，膜的行進(jìn)方向是相對(duì)箭頭垂 直的方向。
此外，在使光透過膜時(shí)，使膜在膜制造時(shí)的拉出方向上移動(dòng)。通 過使長軸與膜的移動(dòng)方向一致，如果是橢圓形，則與圓形的魚眼相比， 掃描透過了魚眼的光的次數(shù)變多。因而，利用上述的比較的步驟，可 將魚眼的大小判定為大1個(gè)的大小。
對(duì)于每個(gè)大小閾值使基準(zhǔn)數(shù)不同。這是因?yàn)轸~眼的大小不同。
如上所述，本發(fā)明可不受傳感器的分辨率的影響地判定魚眼的大 小。即使魚眼是橢圓形，也能對(duì)大小進(jìn)行分類。
最后根據(jù)需要生成不良部分的圖像，并在計(jì)算機(jī)的顯示器等上顯 示。將對(duì)信號(hào)電壓進(jìn)行了微分的信號(hào)作為缺陷點(diǎn)信號(hào)而輸入到圖像生
成單元35中，與X方向和Y方向的同步信號(hào)同步地生成圖像。該圖 像，如后面說明的那樣，也可作為檢測(cè)出的數(shù)據(jù)來利用。
此外，本發(fā)明的檢查方法也可包含對(duì)用上述的步驟檢測(cè)出的魚眼 的數(shù)目進(jìn)行計(jì)數(shù)的步驟。這是因?yàn)轸~眼的容許數(shù)目根據(jù)膜的使用目的 等而不同。也可包含按每單位面積對(duì)魚眼的數(shù)目進(jìn)行計(jì)數(shù)的步驟。進(jìn) 而，也可對(duì)每種魚眼的大小進(jìn)行上述的魚眼的計(jì)數(shù)。
以上說明了本發(fā)明的實(shí)施方式，但本發(fā)明不限定于上述的實(shí)施方 式。例如，在膜是單張的、在使光透過膜時(shí)，也可相對(duì)加熱延伸時(shí)的 拉出方向沿傾斜方向上使膜移動(dòng)。通過在傾斜方向上使膜移動(dòng)，使圓 形和橢圓形的魚眼的電壓信號(hào)不同。因而，可不進(jìn)行對(duì)接受了透過不 良部分的光的受光部的數(shù)目與基準(zhǔn)數(shù)進(jìn)行比較的步驟。在該情況下， 如圖15(a)、 (b)中所示，由于在圓形的魚眼和橢圓形的魚眼中信 號(hào)電壓的大小不同，故可直接將大小輸入到主機(jī)中而不包含比較的單 元或校正單元。
此外，即使是將膜巻繞成巻筒的情況，通過使照相機(jī)的受光部的 排列對(duì)于膜的移動(dòng)方向相對(duì)地傾斜，從而成為與圖15相同。
根據(jù)膜的種類或制造方法，有時(shí)在膜的內(nèi)部埋入了魚眼。即，如 圖16(a) 、 (b)中所示，膜3的材料變得不均勻，如圖中的符號(hào)52e 的部分那樣，僅僅在一部分中固定了的情況。在這樣的情況下，在目 視膜3中不能識(shí)別魚眼52e，而且存在只是使光透過膜3而不能很好 地檢測(cè)的危險(xiǎn)。因此，設(shè)置了檢測(cè)這樣的魚眼52e的單元。
其次，說明用于該檢測(cè)的單元。如圖17中所示，作為該單元，在 光源9與傳感器12s之間且在膜3的上方和下方分別配置偏振片60。 使偏振片60的平面與膜3的平面平行。偏振片60使用進(jìn)行直線偏振 光、圓偏振光、橢圓偏振光的某一種偏振片。2片偏振片60的種類使 用相同的。
以直線偏振光的偏振片60為例，說明可檢查的原理。圖17的偏 振片60和膜3的箭頭是光的振動(dòng)方向。利用笫1片偏振片60使光源 9的光只成為與偏振軸相同方向的振動(dòng)分量的光。只使振動(dòng)方向一致的光照射到膜3上。對(duì)于用高分子構(gòu)成的膜3來說，如果高分子的長 軸一致，則入射到膜3上的光一邊在相同的方向上雙折射一邊行進(jìn)。 但是，如果存在魚眼時(shí)，則只在該部分中雙折射的方向不同。因而， 另1片偏振片60可只使透過了魚眼的部分的光(或與其相反)透過。 由于用傳感器12s接受該光，故可判別魚眼。
在至少一方的偏振片60中設(shè)置使偏振片60旋轉(zhuǎn)的機(jī)構(gòu)。這是因 為通過膜3而雙折射的方向不同，有必要變更偏振片60的偏振軸的方 向。
也可設(shè)置使偏振片60移動(dòng)的單元。這是因?yàn)楦鶕?jù)膜3的種類而是 否需要偏振片60這一情況將發(fā)生變化。例如，如圖18 (a)那樣使偏 振片60和玻璃62在板64上交替地排列。玻璃62使全部的波長的光 透過。此外，也可在該部分中不設(shè)置任何構(gòu)件來代替玻璃62。如圖18 (b)所示那樣，照相機(jī)12的數(shù)目是4臺(tái)。在進(jìn)入照相機(jī)12的透鏡的 像角的位置和不進(jìn)入的位置上設(shè)置使偏振片60滑動(dòng)的機(jī)構(gòu)。此外，對(duì) 膜3的下側(cè)的偏振片60也設(shè)置進(jìn)行滑動(dòng)的機(jī)構(gòu)，根據(jù)需要在膜3的下 方配置偏振片60。
光若透過偏振片60則其光量減少。因而，為了彌補(bǔ)因偏振片60 引起的光減少量，設(shè)置用于提高光量的單元。例如，設(shè)置使光源上下 移動(dòng)的機(jī)構(gòu)。在使用偏振片60時(shí)光源9接近膜3。在不使用偏振片60 時(shí)光源9遠(yuǎn)離膜3。此外，也可設(shè)置新的光源9，在使用偏振片60時(shí)， 將該光源9滑動(dòng)到膜3下的附近配置。
也可利用l個(gè)按鈕控制使偏振片60移動(dòng)的單元和提高光源9的光 量的單元。在利用偏振片60時(shí)，在偏振片60移動(dòng)的同時(shí)使光源9接 近膜3。在不利用偏振片60時(shí)，在偏振片60移動(dòng)的同時(shí)使光源9遠(yuǎn) 離膜3。
通過利用偏振片60,連不能檢查的膜也可檢查。此外，通過可選 擇有無偏振片60,而成為通用性高的檢查裝置。
進(jìn)而，如果能以各種各樣的方式利用在上述的過程中檢測(cè)出的數(shù) 據(jù)，則是便利的。以下說明該數(shù)據(jù)的利用。
在圖1中表示了的膜檢查裝置IO上連接了檢查數(shù)據(jù)加工裝置115。 將檢查數(shù)據(jù)發(fā)送給檢查數(shù)據(jù)加工裝置115，在該處加工成便利性更高 的數(shù)據(jù)。
但是，根據(jù)膜的利用者的要求，有時(shí)對(duì)用巻繞機(jī)7巻繞了的膜作 進(jìn)一步的處理。例如，如果用截?cái)嗵幚韥碚f明，則一邊巻繞作成巻筒 的膜， 一邊沿膜的長度方向切斷、分割膜，分別巻繞所分割的膜，作 成巻筒。由此對(duì)顧客提供所希望的寬度的膜。
之所以在圖1中表示的從壓出機(jī)1到巻繞機(jī)7的流水線上不進(jìn)行 截?cái)嗵幚?，主要是根?jù)以下的(l) ~ (3)的原因。(l)這是為了對(duì) 顧客提供以恒定的張力使巻筒端一致地巻繞成的巻筒。為此，需要多 個(gè)棍或停止了巻繞的狀態(tài)，但從壓出機(jī)開始膜被連續(xù)地成形，不能停 止膜的巻繞。(2)這是為了防止膜松弛。如果將緊接從壓出機(jī)出來之 后的膜以恒定的張力使巻筒端一致地進(jìn)行巻繞，則因膜的巻繞勒緊等 原因，膜發(fā)生松弛。為了防止該現(xiàn)象，對(duì)于從壓出機(jī)出來的膜，忽略 巻繞偏移，粗略地巻繞，作成巻筒，在對(duì)其進(jìn)行了老化處理后，在截 斷處理時(shí)以恒定的張力使巻筒端一致地進(jìn)行巻繞。(3)由于膜的寬度 根據(jù)顧客而不同，故制作大的寬度的膜，根據(jù)顧客的要求對(duì)膜進(jìn)行截 斷處理的作法是高效的。
以上說明了截?cái)嗵幚碜鳛槟さ奶幚恚艘酝猓缬性谀ど?形成新的層以形成多層膜的處理。
檢查數(shù)據(jù)是涉及處理前的膜的數(shù)據(jù)，如果將其按原樣應(yīng)用于處理 后的膜，則對(duì)于處理后的膜來說，不能容易地掌握膜上的缺陷點(diǎn)的位 置或分布。因此，在本實(shí)施方式中，使用檢查數(shù)據(jù)加工裝置115將檢 查數(shù)據(jù)加工成便利性更高的數(shù)據(jù)，即使對(duì)于處理后的膜，也能容易地 掌握膜上的缺陷點(diǎn)的位置或分布。
以將膜巻繞成巻筒狀的情況為例，詳細(xì)地說明檢查數(shù)據(jù)的加工。 圖19是其流程圖。首先，讀入檢查數(shù)據(jù)(步驟S1)。檢查數(shù)據(jù)包含 產(chǎn)品編號(hào)、批次號(hào)、檢查開始.結(jié)束時(shí)刻、膜寬度、膜長度、原始缺陷 點(diǎn)信息等，對(duì)于各巻筒來作成上述信息。
所謂原始缺陷點(diǎn)信息，是關(guān)于處理前的膜、即用圖1的巻繞機(jī)7 巻繞所得到的膜的缺陷點(diǎn)的信息。具體地說，對(duì)于所發(fā)現(xiàn)的各缺陷點(diǎn)， 由發(fā)現(xiàn)時(shí)刻(例如2005年2月4日15時(shí)4分)、大小(例如，分類 為大、中、小、極小中的某一類)、膜上的位置(例如，膜長度方向 的位置125.8m、膜寬度方向的位置41.3mm)等構(gòu)成。
其次，在排列A中存儲(chǔ)檢查數(shù)據(jù)中的原始缺陷點(diǎn)信息(步驟S3)。 然后，在排列B中存儲(chǔ)顯示用缺陷點(diǎn)信息(步驟S5)。所謂顯示用缺 陷點(diǎn)信息是為了在畫面上顯示后述的缺陷點(diǎn)圖或缺陷點(diǎn)直方圖而使用 的信息。在緊接讀入了檢查數(shù)據(jù)之后的初始狀態(tài)下，在排列B中按原 樣存儲(chǔ)原始缺陷點(diǎn)信息作為顯示用缺陷點(diǎn)信息。
然后，在圖1的檢查數(shù)據(jù)加工裝置115的監(jiān)視器上顯示包含作為 編輯了檢查數(shù)據(jù)的數(shù)據(jù)的缺陷點(diǎn)圖或缺陷點(diǎn)直方圖的畫面(步驟S7)。 圖20是表示該畫面117的一個(gè)例子的圖。缺陷點(diǎn)圖119表示了缺陷點(diǎn) 的膜上的位置?？v軸是膜長度方向(m)、橫軸是膜寬度方向(mm)。 將缺陷點(diǎn)的大小分類為大、中、小、極小。缺陷點(diǎn)直方圖121表示了 膜上的缺陷點(diǎn)的分布，由膜寬度方向和膜長度方向的分布構(gòu)成。
這里的缺陷點(diǎn)是被稱為魚眼的缺陷點(diǎn)，但也可顯示除此以外的缺 陷點(diǎn)(例如，蟲、針孔)。既可對(duì)于每種缺陷點(diǎn)來顯示，也可同時(shí)顯 示全部的缺陷點(diǎn)。魚眼是由于在膜的制造時(shí)膜的材料未完全地熔融或 在該材料中混入了雜質(zhì)而發(fā)生的(參照專利文獻(xiàn)l)。
將畫面上的標(biāo)記123、按鈕125和復(fù)選框127在檢查數(shù)據(jù)加工(1) 中利用(步驟S9),在檢查數(shù)據(jù)加工(2)中利用圖標(biāo)129(步驟Sll)。 其次，說明檢查數(shù)據(jù)加工(1) 、 (2)。
檢查數(shù)據(jù)加工(1)是所謂的修整(trimming)。對(duì)于膜上的任意 的區(qū)域的缺陷點(diǎn)，生成缺陷點(diǎn)圖或缺陷點(diǎn)直方圖。使用圖20 ~圖23 說明這一點(diǎn)。圖21是檢查數(shù)據(jù)加工(1)的流程圖。圖22是表示檢查 數(shù)據(jù)加工(1)的執(zhí)行中的畫面117的圖。圖23是表示執(zhí)行了檢查數(shù) 據(jù)加工(1)后的畫面17的圖。
初始狀態(tài)是圖20中表示的畫面117。處理前的膜，例如寬度 1200mm、長度150m。在用截?cái)嗵幚韺?duì)該膜進(jìn)行了二等分的情況下， 為了得到關(guān)于其中一個(gè)膜上的缺陷點(diǎn)的編輯數(shù)據(jù)(缺陷點(diǎn)圖、缺陷點(diǎn) 直方圖等)，進(jìn)行以下的操作。
首先，操作者點(diǎn)擊按鈕125，在畫面117上顯示修整設(shè)定窗口 (未 圖示)。在該窗口中設(shè)定修整范圍、即任意的區(qū)域。這里的任意的區(qū) 域是與上述一個(gè)膜對(duì)應(yīng)的區(qū)域。例如，在區(qū)域是從膜寬度方向600mm 至1200mm、膜長度方向5m至150m的情況下，輸入并確定這些數(shù)字。 由此，如圖22中所示，在畫面117上指定任意的區(qū)域131(步驟Tl)。
也可用鼠標(biāo)在缺陷點(diǎn)圖119上拖動(dòng)從而指定任意的區(qū)域131來代 替輸入數(shù)字。之所以刪除了小于等于膜長度方向5m的部分，是因?yàn)?由于是膜的開始巻繞的部分，故缺陷點(diǎn)多，不能使用。在此用5m來 說明，但不一定限于此。
判斷是否在缺陷點(diǎn)圖119中對(duì)任意的區(qū)域131、即修整范圍進(jìn)行 全畫面顯示(步驟T3)。如果沒有在修整范圍全畫面顯示復(fù)選框127 中輸入選中，則檢查數(shù)據(jù)加工(1)結(jié)束。如果輸入了選中，則從在圖 19的步驟Sl中讀入了的檢查數(shù)據(jù)中抽取任意的區(qū)域131的檢查數(shù)據(jù) (步驟T5)。具體地說，從在圖19中說明了的排列A中所存儲(chǔ)的原 始缺陷點(diǎn)信息中選擇任意的區(qū)域131的原始缺陷點(diǎn)信息。
關(guān)于所選擇的原始缺陷點(diǎn)信息，就膜寬度方向，對(duì)各缺陷點(diǎn)的缺 陷點(diǎn)圖119上的位置進(jìn)行再計(jì)算，將其結(jié)果存儲(chǔ)在圖19中說明了的排 列B中(步驟T7)，然后關(guān)于膜長度方向，對(duì)各缺陷點(diǎn)的缺陷點(diǎn)圖上 的位置進(jìn)行再計(jì)算，將其結(jié)果存儲(chǔ)在排列B中(步驟T9)。
所謂步驟T7的再計(jì)算，是在排列A中所存儲(chǔ)的缺陷點(diǎn)的膜寬度 方向的位置-寬度的下限值。另一方面，所謂步驟T9的再計(jì)算，是在 排列A中所存儲(chǔ)的缺陷點(diǎn)的膜長度方向的位置-長度的下限值。例如， 區(qū)域131設(shè)為膜寬度方向600mm至1200mm、膜長度方向5m至150m 的范圍，某個(gè)缺陷點(diǎn)的膜寬度方向的位置設(shè)為980.5mm、膜長度方向 的位置i殳為19.5m。
再計(jì)算出的缺陷點(diǎn)的膜寬度方向的位置是980.5mm - 600mm = 380.5mm，膜長度方向的位置成為19.5m - 5m = 14.5m。再有，關(guān)于確 定寬度或長度的下限值，由于區(qū)域可任意地被取得，故例如在圖24中 表示的那樣的區(qū)域133中，用符號(hào)A表示的部分成為寬度的下限值， 用符號(hào)B表示的部分成為長度的下限值。
在步驟T9后，如圖23中所示，在畫面117上顯示作為對(duì)用檢查 數(shù)據(jù)加工(l)加工出的檢查數(shù)據(jù)進(jìn)行編輯得到的數(shù)據(jù)的缺陷點(diǎn)圖119、 缺陷點(diǎn)直方圖121 (步驟Tll)。在圖23的畫面117中，在缺陷點(diǎn)圖 119中對(duì)區(qū)域131進(jìn)行全畫面顯示，顯示了關(guān)于區(qū)域131上的缺陷點(diǎn) 的缺陷點(diǎn)直方圖121。再有，也可用紙輸出在畫面117上顯示的內(nèi)容 來代替在畫面117上顯示。
如上所述，根據(jù)檢查數(shù)據(jù)加工(1)，通過將檢查數(shù)據(jù)加工為便利 性更高的數(shù)據(jù)，即使對(duì)于截?cái)嗵幚砗蟮哪ぃ部扇菀椎卣莆漳ど系娜?陷點(diǎn)的位置或分布。此外，關(guān)于不作為膜利用的部分(在此是膜長度 0-5m的部分)的缺陷點(diǎn)，使用加工被刪除。因而，可得到更準(zhǔn)確的 編輯數(shù)據(jù)。
在缺陷點(diǎn)圖119上對(duì)任意的區(qū)域131進(jìn)行了全畫面顯示，但不一 定限定于此。例如，在圖22中，也可指定任意的區(qū)域131，缺陷點(diǎn)圖 119在按照原樣狀態(tài)下，對(duì)存在于任意的區(qū)域131上的缺陷點(diǎn)作成缺 陷點(diǎn)直方圖121。
再有，也可在畫面上設(shè)定多個(gè)任意的區(qū)域。例如，在設(shè)定了四個(gè) 任意區(qū)域的情況下，如果點(diǎn)擊與各區(qū)域?qū)?yīng)的標(biāo)記123，則轉(zhuǎn)換為關(guān) 于i亥區(qū)域的畫面。
可自由地設(shè)定任意區(qū)域的形狀。例如，如圖25中所示，區(qū)域135 可以是圓形的。
其次，說明檢查數(shù)據(jù)加工(2)。在檢查數(shù)據(jù)加工(2)中，根據(jù) 膜被巻繞的狀態(tài)的種類校正缺陷點(diǎn)的膜上的位置信息，生成缺陷點(diǎn)圖 或缺陷點(diǎn)直方圖。在膜被巻繞的狀態(tài)的種類中，有下巻繞、上巻繞、 反轉(zhuǎn)上巻繞、反轉(zhuǎn)下巻繞，首先說明這些種類。
圖26是表示用圖1的巻繞機(jī)7巻繞了的膜3的圖，圖27是表示
該膜3的缺陷點(diǎn)圖119的圖。在巻繞機(jī)7中，將芯137置于膜3之上 地巻繞例如寬度1200mm、長度150m的膜3，用缺陷點(diǎn)圖119的坐標(biāo)
(1000mm、 149m)表示的缺陷點(diǎn)139假定存在于膜3上。這是膜3 的檢查時(shí)的缺陷點(diǎn)在膜上的位置信息，包含在檢查數(shù)據(jù)中。將圖26中 表示的膜3稱為「下巻繞J 。
如果將圖28 (a)的「下巻繞J的膜3巻繞出來，則膜3如圖28
(b)所示那樣4皮展開。由于膜3上的缺陷點(diǎn)139的位置(1000mm、 149m)與圖27的缺陷點(diǎn)圖119上所表示的缺陷點(diǎn)的位置相對(duì)應(yīng)，故 可按原樣使用圖27中表示的缺陷點(diǎn)圖119。
以使膜3的表面背面相反的方式將r下巻繞」的膜3重復(fù)拉出的 狀態(tài)是圖28 ( c )中表示的r上巻繞J的膜3。如果將「上巻繞」的膜 3巻繞出來，則膜3如圖28 (d)所示那樣被展開。缺陷點(diǎn)139位于
(200mm， 149m )。與圖28(b)相比，缺陷點(diǎn)139的位置改變了 。 于是，圖28 (d)的膜3上的缺陷點(diǎn)139的位置不與圖27的缺陷點(diǎn)圖 119上表示了的缺陷點(diǎn)的位置相對(duì)應(yīng)。有必要加工圖27中表示的缺陷 點(diǎn)圖119。
如圖29(a)中所示，如果將芯141設(shè)在下方，巻繞r下巻繞J 的膜3，則成為r反轉(zhuǎn)上巻繞」的膜3。如果將該膜3從圖29 ( b )的 狀態(tài)如圖29 (c)所示那樣展開，則由于缺陷點(diǎn)139的位置(1000mm， lm)與迄今為止的位置不同，故有必要加工圖27中表示的缺陷點(diǎn)圖 119。
如圖30 (a)中所示，將芯141設(shè)在上方，巻繞r下巻繞J的膜3 的情況是r反轉(zhuǎn)下巻繞」的膜3。如果將該膜3從圖30 ( b )的狀態(tài)如 圖30 (c)所示那樣展開，則缺陷點(diǎn)139的位置(200mm， lm )與迄 今為止的位置不同。即使對(duì)于這種情況，也有必要加工圖27中表示的 缺陷點(diǎn)圖119。
再有，之所以除了 r下巻繞」外還存在r上巻繞」、r反轉(zhuǎn)上巻 繞J 、 r反轉(zhuǎn)下巻繞J ，是基于以下的原因。例如，使用者的裝置有 時(shí)不與r下巻繞」相對(duì)應(yīng)，而是與「上巻繞」相對(duì)應(yīng)。此外，在膜上
新形成層的情況下，根據(jù)層的特性，而選擇「反轉(zhuǎn)上巻繞」或r反轉(zhuǎn) 下巻繞J 。
圖31是檢查數(shù)據(jù)加工(2)的流程圖。在檢查數(shù)據(jù)加工(2)中， 以r下巻繞」的膜為基準(zhǔn)。在膜是r上巻繞」、「反轉(zhuǎn)上巻繞」、r反
轉(zhuǎn)下巻繞J的情況下，與上述類型相對(duì)應(yīng)地變換缺陷點(diǎn)的膜上的位置 信息。
首先，使用者在圖20中表示的畫面117中從『下巻繞J 、 r上巻 繞J 、 r反轉(zhuǎn)上巻繞J 、『反轉(zhuǎn)下巻繞J的圖標(biāo)129中點(diǎn)擊與膜被巻 繞的狀態(tài)的種類對(duì)應(yīng)的圖標(biāo)129,在畫面17上指定膜被巻繞的狀態(tài)的 種類(步驟U1、 U3、 U5)。
在r上巻繞」的情況下，如下述那樣來處理。如果將圖28 (d) 中表示的r上巻繞」的展開圖與圖28 (b)中表示的r下巻繞」的展 開圖比較，則缺陷點(diǎn)139的膜長度L方向的位置是相同的，但膜寬度 W方向的位置不同。因而，關(guān)于膜寬度W方向，對(duì)各缺陷點(diǎn)的缺陷 點(diǎn)圖上的位置進(jìn)行再計(jì)算(位置信息的變換)，將其結(jié)果存儲(chǔ)在圖19 中說明了的排列B中(步驟U7)。所謂步驟U7的再計(jì)算，是膜寬度 的值-在排列A中所存儲(chǔ)的缺陷點(diǎn)的膜寬度方向的位置。在步驟U7后， 在畫面上顯示缺陷點(diǎn)圖、缺陷點(diǎn)直方圖(步驟U9)。
在r反轉(zhuǎn)上巻繞J的情況下，如下述那樣來處理。如果將圖29(c) 中表示的『上巻繞J的展開圖與圖28 (b)中表示的「^巻繞」的展 開圖比較，則缺陷點(diǎn)139的膜寬度W方向的位置未變化:但膜長度L 方向的位置變化了。因而，關(guān)于膜長度L方向，對(duì)各缺陷點(diǎn)的缺陷點(diǎn) 圖上的位置進(jìn)行再計(jì)算(位置信息的變換)，將其結(jié)果存儲(chǔ)在圖18中 說明了的排列B中(步驟Ull)。所謂步驟Ull的再計(jì)算，是膜長度 的值-在排列A中所存儲(chǔ)的缺陷點(diǎn)的膜長度方向的位置。在步驟Ull 后，在畫面上顯示缺陷點(diǎn)圖、缺陷點(diǎn)直方圖(步驟U9)。
在「反轉(zhuǎn)下巻繞」的情況下，如圖30 (c)的展開圖中所示，圖 28 (b)中表示的r下巻繞」的情況，與缺陷點(diǎn)39的膜寬度W方向、 膜長度L方向中的哪一個(gè)都不同。因而，在步驟U13中進(jìn)行了與步驟
U7相同的處理，在步驟U15中進(jìn)行了與步驟U11相同的處理之后， 在畫面上顯示缺陷點(diǎn)圖、缺陷點(diǎn)直方圖(步驟U9)。
如以上說明了的那樣，按照檢查數(shù)據(jù)加工(2)，通過將檢查數(shù)據(jù) 加工為便利性更高的數(shù)據(jù)，即使將「下巻繞J的膜作成「上巻繞J 、 r反轉(zhuǎn)上巻繞」、r反轉(zhuǎn)下巻繞J的膜，也可調(diào)整缺陷點(diǎn)圖或缺陷點(diǎn) 直方圖，可容易地掌握膜上的缺陷點(diǎn)的位置或分布。
以被檢查數(shù)據(jù)加工(1) 、 (2)加工的檢查數(shù)據(jù)為基礎(chǔ)的膜的圖 像數(shù)據(jù)是在用壓出機(jī)對(duì)膜進(jìn)行連續(xù)成形、巻繞的工序中進(jìn)行攝像得到 了的數(shù)據(jù)。在該工序中一般來說進(jìn)行攝像。其原因是，由于在上述工 序后進(jìn)行截?cái)嗵幚?、膜形成處理、改變巻繞長度的處理(例如，根據(jù) 需要將全長100m的膜重新巻繞成20m)等與膜的用途對(duì)應(yīng)的處理， 故將得到圖像數(shù)據(jù)的部位統(tǒng)一為源頭的作法，對(duì)于圖像數(shù)據(jù)的使用方 便來說是較好的。
再有，圖像數(shù)據(jù)也可以是在上述工序后進(jìn)行攝像得到的數(shù)據(jù)。例 如，是在膜上形成膜以作成多層膜的工序中攝像的數(shù)據(jù)。即使對(duì)多層 膜進(jìn)行截?cái)嗵幚?，通過應(yīng)用檢查數(shù)據(jù)加工(1) 、 (2)，從而對(duì)于截 斷處理后的膜，也可容易地掌握膜上的缺陷點(diǎn)的位置或分布。
其次，說明與本實(shí)施方式有關(guān)的檢查數(shù)據(jù)加工裝置115的結(jié)構(gòu)的 一個(gè)例子。圖32的檢查數(shù)據(jù)加工裝置115由存儲(chǔ)部151、通信部153、 輸入部155、處理部157和輸出部159構(gòu)成。
在存儲(chǔ)部151中，存儲(chǔ)經(jīng)通信部153從圖1的膜檢查裝置10發(fā)送來的基于對(duì)膜進(jìn)行攝像得到了的圖像數(shù)據(jù)的膜的檢查數(shù)據(jù)。此外，在 存儲(chǔ)部151中存儲(chǔ)對(duì)于檢查數(shù)據(jù)的加工或編輯為必要的程序。在存儲(chǔ) 部151中包含在圖18、圖21和圖31中說明了的排列A、排列B。利 用硬盤、存儲(chǔ)器等來實(shí)現(xiàn)存儲(chǔ)部151。利用通信用硬件或程序來實(shí)現(xiàn) 通信部153。
利用鼠標(biāo)、鍵盤等來實(shí)現(xiàn)輸入部155。在輸入部155中，進(jìn)行用 于在畫面上指定膜上的任意區(qū)域或在畫面上指定膜被巻繞的狀態(tài)的種 類的輸入。
處理部157例如用CPU來實(shí)現(xiàn)，執(zhí)行用于檢查數(shù)據(jù)加工的處理。 用處理部157的區(qū)域指定部161和抽取部163執(zhí)行檢查數(shù)據(jù)加工(1) 的處理。區(qū)域指定部161利用操作者的輸入在畫面上指定膜上的任意 的區(qū)域。抽取部163從在存儲(chǔ)部151中所存儲(chǔ)的檢查數(shù)據(jù)中抽取用區(qū) 域指定部161指定了的區(qū)域的檢查數(shù)據(jù)。
用處理部157的巻繞狀態(tài)指定部165和變換部167執(zhí)行檢查數(shù)據(jù) 加工(2)的處理。巻繞狀態(tài)指定部165利用操作者的輸入在畫面上指 定膜被巻繞的狀態(tài)的種類。變換部167讀出在存儲(chǔ)部151中存儲(chǔ)了的 檢查數(shù)據(jù)。將檢查該數(shù)據(jù)中包含的膜時(shí)的缺陷點(diǎn)在膜上的位置信息變 換為與用巻繞狀態(tài)指定部165所指定的種類對(duì)應(yīng)的位置信息。
輸出部159用圖像顯示部169和紙輸出部171構(gòu)成。圖像顯示部 169是顯示圖20、圖22或圖23中表示的畫面117的監(jiān)視器。在圖像 顯示部169中顯示對(duì)用檢查數(shù)據(jù)加工(1) 、 (2)所加工了的檢查數(shù) 據(jù)進(jìn)行編輯所得的編輯數(shù)據(jù)(缺陷點(diǎn)圖、缺陷點(diǎn)直方圖等)。紙輸出 部171將在圖像顯示部169中顯示的內(nèi)容打印出來。圖像顯示部169 由LCD、 CRT等來實(shí)現(xiàn)。紙輸出部171由打印機(jī)來實(shí)現(xiàn)。
再有，與本實(shí)施方式有關(guān)的檢查數(shù)據(jù)加工程序使計(jì)算機(jī)執(zhí)行圖19、
圖21和圖31中表示的各步驟。而且，通過使計(jì)算機(jī)起到圖32中表示 的各塊的功能，可得到和與上述的本實(shí)施方式有關(guān)的檢查數(shù)據(jù)加工裝 置或檢查數(shù)據(jù)加工方法同樣的效果?？蓪⑸鲜龀绦虼鎯?chǔ)并分發(fā)給光盤 等可進(jìn)行計(jì)算機(jī)讀取的存儲(chǔ)介質(zhì)中，也可用互聯(lián)網(wǎng)等來分配。
如果在該程序中包含檢查數(shù)據(jù)，則檢查數(shù)據(jù)加工裝置即使不與膜 檢查裝置進(jìn)行網(wǎng)絡(luò)連接，也能進(jìn)行檢查數(shù)據(jù)的加工。
除此以外，在不脫離本發(fā)明的主旨的范圍內(nèi)，可根據(jù)從業(yè)者的知 識(shí)以附加了各種各樣的改良、修正、變更的形態(tài)來實(shí)施本發(fā)明。
權(quán)利要求
1.一種檢查膜的不良的膜檢查裝置，其特征在于，包含照相機(jī)，具有發(fā)出透過上述膜的光的光源和多個(gè)受光部排列成的傳感器，用該傳感器掃描上述膜；將用上述傳感器掃描所得到的電荷信號(hào)變換為電壓信號(hào)并從該電壓信號(hào)分析膜的不良部分的單元；存儲(chǔ)用于從上述電壓信號(hào)區(qū)別膜的不良部分的大小的多個(gè)大小閾值的單元；以及將所分析的上述電壓信號(hào)與上述多個(gè)大小閾值進(jìn)行比較，求出該電壓信號(hào)與哪個(gè)大小閾值相一致的單元。
2. 如權(quán)利要求l中所述的膜檢查裝置，其特征在于，包含 存儲(chǔ)用于區(qū)別上述膜的不良部分的大小的基準(zhǔn)數(shù)的單元；以及 將掃描上述不良部分的次數(shù)與基準(zhǔn)數(shù)進(jìn)行比較，求出該次數(shù)是否是基準(zhǔn)數(shù)以上的單元。
3. 如權(quán)利要求2中所述的膜檢查裝置，其特征在于 上述進(jìn)行分析的單元包含 對(duì)上述電壓信號(hào)進(jìn)行微分的單元；存儲(chǔ)用于判定是否是上述膜的不良部分的判斷用閾值的單元；以及將所微分的上述電壓信號(hào)與判斷用閾值進(jìn)行比較，判定是否是膜 不良的單元。
4. 如權(quán)利要求3中所述的膜檢查裝置，其特征在于，包含 根據(jù)掃描上述膜的不良部分的次數(shù)、掃描間隔和膜的移動(dòng)速度求出不良部分的長度的單元；以及根據(jù)上述不良部分的長度和上述所微分的電壓信號(hào)的波形對(duì)不良 部分的種類進(jìn)行分類的單元。
5. 如權(quán)利要求4中所述的膜檢查裝置，其特征在于，包含 存儲(chǔ)掃描上述膜得到的上述膜的檢查數(shù)據(jù)的存儲(chǔ)單元；顯示所掃描的上迷膜的畫面；在上述畫面中指定所顯示的上述膜的任意區(qū)域的區(qū)域指定單元；以及從上述存儲(chǔ)單元中所存儲(chǔ)的上述檢查數(shù)據(jù)中抽取用上述區(qū)域指定 單元所指定的上述區(qū)域的檢查數(shù)據(jù)的抽取單元。
6. 如權(quán)利要求5中所述的膜檢查裝置，其特征在于，包含 巻繞上述膜的單元；在畫面上指定上述膜被巻繞的狀態(tài)的種類的巻繞狀態(tài)指定單元；以及讀出在上述存儲(chǔ)單元中所存儲(chǔ)的上述檢查數(shù)據(jù)，并將在該檢查數(shù) 據(jù)中所包含的上述膜的檢查時(shí)的缺陷點(diǎn)在上述膜上的位置信息變換為 與用上述巻繞狀態(tài)指定單元所指定的種類對(duì)應(yīng)的位置信息的變換單 元。
7. 如權(quán)利要求6中所述的膜檢查裝置，其特征在于 在上述光源與傳感器之間包含分別配置在上述膜的上方和下方的偏振片。
8. —種檢查膜的不良的膜檢查方法，其特征在于，包含 使光透過上述膜的步驟；用多個(gè)受光部排列成的傳感器接受透過上述膜的光的步驟； 根據(jù)所接受到的上述光來生成電壓信號(hào)，并根據(jù)該電壓信號(hào)分析不良部分的步驟；以及求出所分析的上述電壓信號(hào)與多個(gè)大小閾值中的哪一個(gè)相一致的步驟。
9. 如權(quán)利要求8中所述的膜檢查方法，其特征在于，包含 設(shè)置針對(duì)上述每個(gè)大小閾值而不同的基準(zhǔn)數(shù)，并將接受了透過上述不良部分的光的受光部的數(shù)目與基準(zhǔn)數(shù)進(jìn)行比較的步驟。
10. 如權(quán)利要求9中所述的膜檢查方法，其特征在于 上述膜利用加熱延伸來制造，包含在使光透過膜時(shí)使膜在加熱延伸時(shí)的拉出方向或其傾斜方向上移動(dòng)的步驟。
11. 如權(quán)利要求IO中所述的膜檢查方法，其特征在于 上述進(jìn)行分析的步驟包含 對(duì)上述電壓信號(hào)進(jìn)行微分的步驟；以及將所微分的上述電壓信號(hào)與判斷用閣值進(jìn)行比較，判定是否是膜 不良的步驟。
12. 如權(quán)利要求ll中所述的膜檢查方法，其特征在于，包含 根據(jù)接受了透過上述膜的不良部分的光的次數(shù)、受光間隔和膜的移動(dòng)速度求出不良部分的長度的步驟；以及根據(jù)上述不良部分的長度和上述所微分的電壓信號(hào)的波形對(duì)不良 部分的種類進(jìn)行分類的步驟。
13. 如權(quán)利要求12中所述的膜檢查方法，其特征在于，包含 存儲(chǔ)以對(duì)上述膜進(jìn)行攝像得到的圖像數(shù)捧為基礎(chǔ)的上述薄片的檢查數(shù)據(jù)的存儲(chǔ)步驟；利用操作者的輸入在畫面上指定上述膜上的任意區(qū)域的區(qū)域指定 步驟；以及從上述存儲(chǔ)步驟中所存儲(chǔ)的上述檢查數(shù)據(jù)中抽取用上述區(qū)域指定 步驟所指定的上述區(qū)域的檢查數(shù)據(jù)的抽取步驟。
14. 如權(quán)利要求13中所述的膜檢查方法，其特征在于，包含 巻繞上述膜的步驟；存儲(chǔ)以對(duì)上述膜進(jìn)行攝像得到的數(shù)據(jù)為基礎(chǔ)的上述膜的檢查數(shù)據(jù) 的存儲(chǔ)步驟；利用操作者的輸入在畫面上指定上述薄片被巻繞的狀態(tài)的種類的 巻繞狀態(tài)指定步驟；以及讀出在上述存儲(chǔ)步驟中所存儲(chǔ)的上述檢查數(shù)據(jù)，并將在其中所包 含的上述薄片檢查時(shí)的缺陷點(diǎn)在上述薄片上的位置信息變換為與用上 述巻繞狀態(tài)指定步驟所指定了的種類對(duì)應(yīng)的位置信息的變換步驟。
15. 如權(quán)利要求14中所述的膜檢查方法，其特征在于，包含 在上述光源與傳感器之間在上述膜的上方和下方分別配置偏振片，并使光透過該偏振片的步驟。
全文摘要
解決問題本發(fā)明提供檢查在膜的制造時(shí)發(fā)生的缺陷點(diǎn)，并可有效地利用檢查后的數(shù)據(jù)的檢查裝置和檢查方法。解決方法膜檢查裝置(10)具備具有光源和多個(gè)受光部排列成的傳感器，且用來掃描膜的照相機(jī)(12)；將掃描所得到的電荷信號(hào)變換為電壓信號(hào)并根據(jù)電壓信號(hào)分析膜的不良部分的分析單元(14)；存儲(chǔ)用于區(qū)別膜的不良部分的大小的多個(gè)大小閾值的存儲(chǔ)單元(16)；以及將所分析的電壓信號(hào)與多個(gè)大小閾值進(jìn)行比較，求出電壓信號(hào)與哪個(gè)大小閾值相一致的比較器(18)。
文檔編號(hào)G01N21/892GK101198859SQ20068002193
公開日2008年6月11日 申請(qǐng)日期2006年6月20日 優(yōu)先權(quán)日2005年6月21日
發(fā)明者上原修, 堀克弘, 船崎浩司 申請(qǐng)人:郡是株式會(huì)社