技術(shù)編號(hào)：6122152
提示：您尚未登錄，請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒(méi)有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ，登陸完成后，請(qǐng)刷新本頁(yè)查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及檢查在膜中構(gòu)成的微小的不良、例如魚(yú)眼(FE)等的 膜檢查裝置和檢查方法。背景技術(shù)在膜的制造時(shí)有時(shí)發(fā)生被稱(chēng)為魚(yú)眼的微小的不良。魚(yú)眼是由于在 制造膜時(shí)膜的材料未完全地熔融或在該材料中混入了雜質(zhì)而發(fā)生的 (參照專(zhuān)利文獻(xiàn)l)。根據(jù)膜的使用用途，有時(shí)魚(yú)眼損害膜的功能和外觀。例如，有作 為半導(dǎo)體晶片的切割用的薄片而使用的膜。當(dāng)在該膜中有魚(yú)眼的情況 下，在膜上不能平坦地放置半導(dǎo)體晶片。有可能半導(dǎo)體晶片切割失敗。一般根據(jù)膜的使用用途決定所容許的魚(yú)眼的大小或每單位...
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