專利名稱：處理機中半導體器件傳送裝置的制作方法
本申請要求申請日為2001年12月17日、申請?zhí)枮镻2001-80160的韓國申請的優(yōu)先權，其內(nèi)容結合于此供參考。
處理機是一種用來測試半導體器件的裝置。該處理機使用半導體器件傳送裝置自動把裝在一盤上的半導體器件傳送到另一地點、把半導體器件裝載到一測試地點的測試插座上進行所需測試，然后把已測試半導體器件分類成各種級別卸載該盤上的半導體器件。


圖1示出一普通半導體器件測試處理機的布置圖。
如圖1所示，一處理機本體1的前部有一裝載裝置2和一卸載裝置3，裝載裝置2上裝載有其上有待測試半導體器件的盤，卸載裝置3包括多個盤用來接受按照測試結果分成正品和重新檢查產(chǎn)品的已測試半導體器件。此外，裝載裝置2的后方裝有一均熱板7。該均熱板7內(nèi)部有一加熱裝置(圖中未示出)和一冷卻裝置(圖中未示出)把待測試半導體器件加熱或冷卻到預定溫度以進行溫度測試。
此外，卸載裝置3后方裝有一拒斥多堆垛器(rejectmulti-stacker)5，其上裝有多個接受按測試結果被歸為次品的半導體器件的盤。
在一位于處理機本體1最后部的測試地點10中，裝有一與一外部測試裝置電連接的測試插座11測試各半導體器件的性能。測試插座11上方有分度頭12a和12b作水平運動，把傳送到測試插座11兩邊待機位置上的半導體器件拾取、裝載到測試插座11上以及把測試插座11上的已測試半導體器件拾取、重新傳送到兩邊待機位置上。
在測試地點10的前方裝有來回運動的第一和第二裝載傳送裝置8a和8b。第一和第二裝載傳送裝置8a和8b把裝載裝置2或均熱板7上的半導體器件傳送到測試地點10的測試插座11兩邊待機位置上。第一和第二裝載傳送裝置8a和8b的一側上分別有來回運動的第一和第二卸載傳送裝置9a和9b。第一和第二卸載傳送裝置9a和9b把已測試半導體器件從測試地點10傳送到測試地點10外部。
處理機本體1的前端和測試地點10的最前邊分別裝有橫跨處理機本體1的固定架13。一對活動架14a和14b可沿固定架13左右運動地裝在固定架13上。此外，活動架14a和14b上分別裝有裝載和卸載拾取裝置15和16可沿活動架14a和14b來回運動、拾取半導體器件。裝載和卸載拾取裝置15和16各包括多個拾取器(圖中未示出)同時傳送多個半導體器件。
此外，一處理機對半導體器件如QFP、BGA、SOP等進行測試。在一種半導體器件測試完后，測試另一種半導體器件。此時，按照所測試半導體器件的種類更換包括該盤、均熱板7、裝載傳送裝置8a和8b、卸載傳送裝置9a和9b、測試插座11等的成套部件。
此時，由于按照待測試半導體器件的種類更換的成套部件的供半導體器件著陸的著陸裝置的間距和大小不同，因此裝載和卸載拾取裝置15和16的拾取器的間距應隨著陸裝置的不同而變。
但是，現(xiàn)有裝載和卸載拾取裝置15和16使用包括機械連接裝置、皮帶、球狀絲杠和伺服電動機等的驅(qū)動裝置改變其間距。因此，把轉(zhuǎn)動改變成直線運動的該驅(qū)動裝置太復雜，整個體積增加，從而功耗增加。
此外，使用皮帶和皮帶輪時，須定期調(diào)節(jié)皮帶張力。此外，皮帶和皮帶輪工作時揚起的灰塵會污染半導體器件。
本發(fā)明的一個目的是提供一種半導體測試處理機中的半導體器件傳送裝置，它能簡化用來改變拾取半導體器件的拾取器的結構以及快速、精確改變拾取器。
本發(fā)明的其他優(yōu)點、目的和特征一部分見以下說明，一部分對于本領域普通技術人員來說通過以下說明或在本發(fā)明的實施過程中可顯然看出。從書面說明特別指出的結構及其權利要求以及附圖中可清楚看出本發(fā)明的目的和其他優(yōu)點。
為實現(xiàn)上述目的和其他優(yōu)點并按照本申請書實施和寬廣說明的本發(fā)明的目的，本發(fā)明處理機中的半導體器件傳送裝置包括可活動地裝在處理機本體上的長方形架；分別裝在兩長方形架相鄰內(nèi)表面上的兩線性電動機的定子；兩線性電動機的可沿定子運動的動子；一固定在兩架之間、兩線性電動機匯合處內(nèi)轉(zhuǎn)角上、拾取半導體器件的基準拾取件；分別與兩線性電動機的動子連接、沿長方形架運動的第一和第二拾取件；固定在第一拾取件上、與其上裝有第二拾取件的長方形架平行的第一引導件；固定在第二拾取件上、與第一引導件垂直的第二引導件；以及與第一和第二引導件連接、隨第一和第二拾取件的運動沿第二和第一引導件運動的第三拾取件。
應該指出，對本發(fā)明的以上簡述和以下詳細說明是例示性的，本發(fā)明的進一步解釋見權利要求書。
具體實施例方式
下面詳細說明附圖所示本發(fā)明優(yōu)選實施例。各附圖中相同部件盡量用同一標號表示。
在以下說明中，應用本發(fā)明半導體器件傳送裝置的處理機的結構與現(xiàn)有處理機的結構相同，其詳情從略。
圖2為本發(fā)明半導體器件傳送裝置第一實施例的立體圖，圖3為圖2所示傳送裝置的拾取器驅(qū)動裝置的立體圖，圖4A和4B為說明本發(fā)明半導體器件傳送裝置的工作情況的平面圖。
兩長方形架101固定在活動架14a和14b(參見圖1)上。兩線性電動機102和104的定子102a和104a和動子102b和104b分別裝在兩架101的相鄰內(nèi)表面上。此外，動子102b和104b在定子102a和104a下方分別與與該架平行的線性運動引導件103和105的線性運動塊103a和105a連接而沿線性運動引導件103和105運動。
一固定塊110固定在兩架101之間、線性電動機102和104的定子102a和104a匯合處的轉(zhuǎn)角上，一拾取半導體器件的基準拾取器120固定在該固定塊110上。
‘L’型第一和第二活動塊111和112分別固定在線性電動機102和104的動子102b和104b上。此外，拾取另一些半導體器件的第一和第二可變拾取器121和122分別裝在第一和第二活動塊111和112上。
此外，第一引導件108與其上裝有第二可變拾取器122的線性電動機104平行地固定在第一活動塊111的一邊上，第二引導件109與其上裝有第一可變拾取器121的線性電動機102平行地固定在第二活動塊112的一邊上。第一引導件108的安裝高度比第二引導件109低，因此第一和第二引導件互相垂直但不相交。
其上固定有拾取半導體器件的第三可變拾取器123的第三活動塊113同時與第一和第二引導件108和109連接。當?shù)谝换顒訅K111移動時，第三活動塊113沿第二引導件109移動。當?shù)诙顒訅K112移動時，第三活動塊113沿第一引導件108移動。
基準拾取器120和第一到第三可變拾取器121、122和123的形狀相同，分別包括固定在固定塊110和活動塊111、112和113上的氣缸120a-123a和裝在氣缸120a-123a底端上上下移動、用真空吸力吸住半導體器件的吸頭裝置120b-123b。
同時，其上裝有線性電動機102和104的定子102a和104a的架101的底端上裝有多個間隔預定的磁場傳感器的霍爾傳感器106。因此，霍爾傳感器106在線性電動機102和104開動前檢測第一和第二可變拾取器121和122的當前位置。此外，向多個霍爾傳感器106伸展的傳感板107與線性電動機102和104的動子102b和104b的底端連接而受霍爾傳感器106的檢測。
此外，為了在線性電動機102和104開動時通過檢測第一和第二可變拾取器121和122的位移精確控制線性電動機102和104的動子102b和104b的移動，直線標尺131和133固定在線性電動機102和104的動子102b和104b的頂端上，對直線標尺131和133的數(shù)值進行編碼的掃描頭132和134裝在其上裝有線性電動機102和104的架101的頂端上。
此外，架101的頂端上裝有一對限位傳感器133和134通過限制第一和第二可變拾取器121和122的最后移動范圍防止拾取器的超限移動。限位傳感器133和134還用于原位校驗操作。如下進行原位校驗操作在半導體器件傳送裝置裝到處理機上后，把第一和第二可變拾取器121和122以及與之聯(lián)動的第三可變拾取器123從最接近位置移動到最分開位置，然后把拾取器121、122和123的移動范圍傳給控制裝置(圖中未示出)。
下面說明上述結構的半導體器件傳送裝置的工作情況。
在測試完一種半導體器件后如果要測試另一種半導體器件，其上裝有半導體器件的成套部件應按照半導體器件的相應大小和種類予以更換，半導體器件傳送裝置的拾取器120-123的間距應按照所更換成套部件的間距改變。
用戶一旦把所更換成套部件的規(guī)格輸入處理機的控制裝置(圖中未示出)，控制裝置就用裝在架101上的霍爾傳感器106檢測第一和第二可變拾取器121和122的當前位置，然后開動線性電動機102和104把可變拾取器121、122和123從當前位置移動設定量到所需位置。
即，檢測到第一和第二可變拾取器121和122在架101上的當前位置后，控制裝置(圖中未示出)開動線性電動機102和104。第一和第二可變拾取器121和122然后受線性運動引導件103和105的引導，在設定方向上移動。此時，第三可變拾取器123與第一和第二可變拾取器121和122同步地沿第二和第一引導件109和108移動。
當?shù)谝缓偷诙勺兪叭∑麟S著線性電動機102和104的動子102b和104b的移動而移動時，掃描頭132和134對裝在動子102b和104b上的直線標尺131和133的位移進行編碼后傳給控制裝置(圖中未示出)。因此，控制裝置可不斷監(jiān)測第一和第二可變拾取器121和122的位移。因此，當?shù)谝缓偷诙勺兪叭∑?21和122到達所需位置時，控制裝置(圖中未示出)停止線性電動機102和104的運行，從而第一到第三可變拾取器121-123可精確移動到所需位置。
為節(jié)省時間，最好同時開動一對線性電動機102和104。但也可先后開動這兩線性電動機。
圖5為本發(fā)明半導體器件傳送裝置第二實施例的立體圖，在該實施例中，該傳送裝置包括一對可變拾取器。
如圖5所示，一固定塊210固定在一底板201的一端上，該底板固定在一處理機的活動架上。一基準拾取器220裝在該固定塊210上。此外，一定子202和一動子203裝在底板201上固定塊210的一邊上。
在該例中，線性電動機的動子203與一與底板201的頂端和底端平行的線性運動引導件205連接而沿底板201作水平運動。
一活動塊221固定在動子203上，一可變拾取器221固定在活動塊221上。
此外，與本發(fā)明傳送裝置第一實施例相同，一直線標尺231與動子203的頂端連接而控制可變拾取器221的位移，一掃描頭232裝在底板201的頂端上對直線標尺231的數(shù)值進行編碼。
此外，多個霍爾傳感器(圖中未示出)以預定間距分布在底板201的底端上，一向霍爾傳感器伸展的傳感板(圖中未示出)與動子203的底端連接。
上述結構的本發(fā)明傳送裝置第二實施例的工作情況比本發(fā)明第一實施例簡單。此外，上述結構的本發(fā)明傳送裝置第二實施例便于同時傳送兩個半導體器件。
因此，把線性電動機用作多個拾取器的驅(qū)動裝置，用最少數(shù)量的線性電動機就可使得若干拾取器同時聯(lián)動。
因此，本發(fā)明可簡化傳送裝置的結構并減小其體積和重量。
此外，使用線性電動機可在拾取器改變位置時防止生成灰塵、降低噪聲、便于維護、快速精確地把拾取器傳送到所需位置、提高測試效率。
顯然，對于本領域的技術人員來說，在不背離本發(fā)明的精神和范圍的前提下，可以對本發(fā)明作出各種更改和變化。因此，本發(fā)明的各種更改、變化由所附的權利要求書及其等同物的內(nèi)容涵蓋。
權利要求
1. 一種處理機中的半導體器件傳送裝置，其特征在于，該傳送裝置包括可活動地裝在處理機本體上的長方形架；分別裝在所述兩長方形架相鄰內(nèi)表面上的兩線性電動機的定子；兩所述線性電動機的可沿所述定子運動的動子；一固定在所述兩架之間、兩所述線性電動機匯合處內(nèi)轉(zhuǎn)角上、拾取半導體器件的基準拾取件；分別與兩所述線性電動機的動子連接、沿所述長方形架運動的第一和第二拾取件；固定在所述第一拾取件上、與其上裝有所述第二拾取件的所述長方形架平行的第一引導件；固定在所述第二拾取件上、與所述第一引導件垂直的第二引導件；以及與所述第一和第二引導件連接、隨所述第一和第二拾取件的運動沿所述第二和第一引導件運動的第三拾取件。
2. 根據(jù)權利要求1所述的傳送裝置，其特征在于，所述第一和第二拾取件各包括一固定在所述對應線性電動機的動子上的活動塊；以及一固定在所述活動塊上、拾取半導體器件的拾取器。
3. 根據(jù)權利要求1所述的傳送裝置，其特征在于，進一步包括一在所述線性電動機開動前檢測所述第一和第二拾取件的當前位置的位置傳感裝置。
4. 根據(jù)權利要求3所述的傳送裝置，其特征在于，所述位置傳感裝置包括多個以預定間隔裝在其上裝有所述線性電動機的定子的所述各架的頂端或底端上、檢測所述動子位置的傳感器；以及裝在所述定子的頂端或底端上、向所述傳感器伸展、受所述傳感器檢測的傳感板。
5. 根據(jù)權利要求1所述的傳送裝置，其特征在于，進一步包括一在所述線性電動機開動時通過檢測所述第一和第二拾取件的位移控制所述線性電動機的所述動子的移動的控制裝置。
6. 根據(jù)權利要求3所述的傳送裝置，其特征在于，進一步包括一在所述線性電動機開動時通過檢測所述第一和第二拾取件的位移控制所述線性電動機的所述動子的移動的控制裝置。
7. 根據(jù)權利要求5所述的傳送裝置，其特征在于，所述控制裝置包括一固定在所述各線性電動機的所述動子上的直線標尺；以及一固定在其上有所述線性電動機的所述架上、對所述直線標尺的數(shù)值進行編碼的掃描頭。
8. 根據(jù)權利要求6所述的傳送裝置，其特征在于，所述控制裝置包括一固定在各所述線性電動機的所述動子上的直線標尺；以及一固定在其上有所述線性電動機的所述架上、對所述直線標尺的數(shù)值進行編碼的掃描頭。
9. 根據(jù)權利要求1所述的傳送裝置，其特征在于，所述長方形架包括分別限制所述第一和第二拾取件的最后位置的限位傳感器。
10. 一種半導體器件傳送裝置，其特征在于，該傳送裝置包括一可活動地裝在處理機本體上的底板；一固定在所述底板一端上、拾取半導體器件的基準拾取件；沿所述底板安裝的一線性電動機的定子和動子；以及固定在所述線性電動機的所述動子上、沿所述底板作水平運動的第一拾取件。
全文摘要
一種半導體測試處理機中的半導體器件傳送裝置，它能簡化用來改變拾取半導體器件的拾取器的結構以及快速、精確改變拾取器。該半導體器件傳送裝置包括可活動地裝在處理機本體上的長方形架；分別裝在兩長方形架相鄰內(nèi)表面上的兩線性電動機的定子；兩線性電動機的可沿定子運動的動子；一固定在兩架之間、兩線性電動機匯合處內(nèi)轉(zhuǎn)角上、拾取半導體器件的基準拾取件；分別與兩線性電動機的動子連接、沿長方形架運動的第一和第二拾取件；固定在第一拾取件上、與其上裝有第二拾取件的長方形架平行的第一引導件；固定在第二拾取件上、與第一引導件垂直的第二引導件以及與第一和第二引導件連接、隨第一和第二拾取件的運動沿第二和第一引導件運動的第三拾取件。
文檔編號G01R31/26GK1427461SQ02156808
公開日2003年7月2日 申請日期2002年12月13日 優(yōu)先權日2001年2月17日
發(fā)明者黃炫周, 黃智炫 申請人:未來產(chǎn)業(yè)株式會社