本技術(shù)涉及閥門，尤其涉及一種真空蝶閥以及半導(dǎo)體工藝腔體。

背景技術(shù)：

1、蝶閥是指關(guān)閉件為圓盤，且關(guān)閉件圍繞閥軸旋轉(zhuǎn)來達(dá)到開啟與關(guān)閉的一種閥，常用于半導(dǎo)體工藝腔體中，作為氣體介質(zhì)調(diào)節(jié)流量或切斷裝置。蝶閥的關(guān)閉件一般稱為蝶板。

2、當(dāng)應(yīng)用在半導(dǎo)體真空腔體中時(shí)，蝶閥可以用于控制工藝氣體的流動和維持所需的真空環(huán)境。這就需要精確控制蝶閥的開度，即蝶板的轉(zhuǎn)動角度需要在0-90度之間精確調(diào)節(jié)，當(dāng)前的蝶板通過伺服電機(jī)直接驅(qū)動其轉(zhuǎn)動，具體地，伺服電機(jī)的電機(jī)軸同軸連接于蝶閥的閥桿上，當(dāng)伺服電機(jī)的電機(jī)軸轉(zhuǎn)動時(shí)，蝶板則跟隨伺服電機(jī)的電機(jī)軸轉(zhuǎn)動相同的角度。但當(dāng)前高精度的伺服電機(jī)不僅價(jià)格高，且高精度伺服電機(jī)的精度還受到編碼器的精度、伺服電機(jī)的機(jī)械結(jié)構(gòu)精度以及供電電壓的穩(wěn)定性等多要素影響，穩(wěn)定性不佳。

3、因此，上述問題亟待解決。

技術(shù)實(shí)現(xiàn)思路

1、本實(shí)用新型的目的在于提供一種真空蝶閥以及半導(dǎo)體工藝腔體，在控制生產(chǎn)成本的情況下實(shí)現(xiàn)蝶板轉(zhuǎn)動角度的精確控制。

2、為達(dá)此目的，本實(shí)用新型采用以下技術(shù)方案：

3、真空蝶閥，包括閥體、閥桿、蝶板以及驅(qū)動機(jī)構(gòu)，所述閥體呈圓筒形，所述蝶板內(nèi)置于所述閥體，所述閥桿轉(zhuǎn)動穿設(shè)于閥體，所述閥桿與所述蝶板連接，所述驅(qū)動機(jī)構(gòu)連接于所述閥桿，所述驅(qū)動機(jī)構(gòu)包括：

4、驅(qū)動箱，所述驅(qū)動箱連接于所述閥體；

5、驅(qū)動電機(jī)，所述驅(qū)動電機(jī)連接于所述驅(qū)動箱；

6、第一傳動組件，所述第一傳動組件的輸入端連接于所述驅(qū)動電機(jī)的電機(jī)軸，所述第一傳動組件被配置為將所述電機(jī)軸的圓周運(yùn)動轉(zhuǎn)換為直線運(yùn)動輸出；以及

7、第二傳動組件，所述第二傳動組件的輸入端連接于所述第一傳動組件的輸出端，所述第二傳動組件的輸出端連接于所述閥桿，所述第二傳動組件被配置為將所述第一傳動組件輸出的直線運(yùn)動轉(zhuǎn)換為圓周運(yùn)動，并輸出至所述閥桿，所述第二傳動組件能夠減速，使所述閥桿的轉(zhuǎn)速小于所述電機(jī)軸的轉(zhuǎn)速。

8、作為優(yōu)選，所述第一傳動組件包括：

9、曲柄，所述曲柄的一端連接于所述電機(jī)軸，所述電機(jī)軸的軸向?yàn)榈谝环较?；以?/p>

10、驅(qū)動板，所述驅(qū)動板滑動連接于所述驅(qū)動箱內(nèi)部，所述驅(qū)動板沿垂直于所述第一方向的第二方向滑動，所述曲柄的另一端滑動連接于所述驅(qū)動板，所述曲柄的另一端可相對于所述驅(qū)動板沿第三方向滑動，所述第三方向垂直于所述第一方向和所述第二方向。

11、作為優(yōu)選，所述驅(qū)動板上沿所述第三方向設(shè)置有限位槽，所述曲柄的另一端設(shè)置有限位頭，所述限位頭能夠在所述限位槽內(nèi)部運(yùn)動。

12、作為優(yōu)選，所述限位頭的外部套設(shè)有軸承，所述軸承能夠在所述限位槽內(nèi)部運(yùn)動。

13、作為優(yōu)選，所述驅(qū)動箱內(nèi)部設(shè)置有限位桿，所述限位桿沿所述第二方向設(shè)置，所述限位桿滑動穿設(shè)所述驅(qū)動板。

14、作為優(yōu)選，所述驅(qū)動板上設(shè)置有延長管，所述延長管套設(shè)于所述限位桿外部。

15、作為優(yōu)選，所述第二傳動組件包括：

16、齒條，所述齒條連接于所述驅(qū)動板，所述齒條沿平行于所述第二方向的方向設(shè)置；以及

17、齒輪，所述齒輪的軸線平行于所述第一方向，所述齒輪嚙合于所述齒條，所述齒輪同軸連接于所述閥桿。

18、作為優(yōu)選，所述驅(qū)動箱遠(yuǎn)離所述閥體的一側(cè)敞開設(shè)置，并蓋設(shè)有電機(jī)底座，所述驅(qū)動電機(jī)連接于所述電機(jī)底座。

19、半導(dǎo)體工藝腔體，包括腔體本體，所述腔體本體通過管道連通于真空泵，所述半導(dǎo)體工藝腔體還包括真空蝶閥，所述真空蝶閥設(shè)置于所述管道。

20、作為優(yōu)選，所述半導(dǎo)體工藝腔體還包括控制模塊，所述控制模塊包括能夠檢測所述腔體本體的內(nèi)部壓力的檢測部，以及分別與所述檢測部和所述驅(qū)動電機(jī)電性連接的控制部。

21、本實(shí)用新型的有益效果：

22、本實(shí)用新型的真空蝶閥，通過第一傳動組件和第二傳動組件將驅(qū)動電機(jī)輸出的動力傳遞至閥桿，通過改變兩次運(yùn)動方式，最終不僅輸出驅(qū)動閥桿轉(zhuǎn)動的圓周運(yùn)動，且具有一定的減速效果，使閥桿轉(zhuǎn)速小于電機(jī)軸的轉(zhuǎn)速，以使開閉真空蝶閥時(shí)，需要電機(jī)軸的轉(zhuǎn)動角度大于閥桿的轉(zhuǎn)動角度，從而可采用精度更低的驅(qū)動電機(jī)驅(qū)動閥桿轉(zhuǎn)動，在實(shí)現(xiàn)相同控制精度的同時(shí)，成本更加低廉，且驅(qū)動電機(jī)的精度有所降低，可使驅(qū)動電機(jī)工作更加穩(wěn)定，不易受到其他因素的影響。

23、本實(shí)用新型的半導(dǎo)體工藝腔體，通過在腔體本體連通真空泵的管道設(shè)置真空蝶閥，從而方便根據(jù)腔體本體的內(nèi)部壓力實(shí)時(shí)精確調(diào)節(jié)真空蝶閥的開度，使腔體本體內(nèi)部盡快達(dá)到設(shè)定壓力。

技術(shù)特征：

1.真空蝶閥，包括閥體(1)、閥桿(2)、蝶板(3)以及驅(qū)動機(jī)構(gòu)，所述閥體(1)呈圓筒形，所述蝶板(3)內(nèi)置于所述閥體(1)，所述閥桿(2)轉(zhuǎn)動穿設(shè)于閥體(1)，所述閥桿(2)與所述蝶板(3)連接，所述驅(qū)動機(jī)構(gòu)連接于所述閥桿(2)，其特征在于，所述驅(qū)動機(jī)構(gòu)包括：

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的真空蝶閥，其特征在于，所述第一傳動組件(6)包括：

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的真空蝶閥，其特征在于，所述驅(qū)動板(62)上沿所述第三方向設(shè)置有限位槽(621)，所述曲柄(61)的另一端設(shè)置有限位頭(611)，所述限位頭(611)能夠在所述限位槽(621)內(nèi)部運(yùn)動。

4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的真空蝶閥，其特征在于，所述限位頭(611)的外部套設(shè)有軸承(612)，所述軸承(612)能夠在所述限位槽(621)內(nèi)部運(yùn)動。

5.根據(jù)權(quán)利要求3所述的真空蝶閥，其特征在于，所述驅(qū)動箱(4)內(nèi)部設(shè)置有限位桿(41)，所述限位桿(41)沿所述第二方向設(shè)置，所述限位桿(41)滑動穿設(shè)所述驅(qū)動板(62)。

6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的真空蝶閥，其特征在于，所述驅(qū)動板(62)上設(shè)置有延長管(622)，所述延長管(622)套設(shè)于所述限位桿(41)外部。

7.根據(jù)權(quán)利要求2所述的真空蝶閥，其特征在于，所述第二傳動組件(7)包括：

8.根據(jù)權(quán)利要求1-7任一項(xiàng)所述的真空蝶閥，其特征在于，所述驅(qū)動箱(4)遠(yuǎn)離所述閥體(1)的一側(cè)敞開設(shè)置，并蓋設(shè)有電機(jī)底座(42)，所述驅(qū)動電機(jī)(5)連接于所述電機(jī)底座(42)。

9.半導(dǎo)體工藝腔體，包括腔體本體，所述腔體本體通過管道連通于真空泵，其特征在于，所述半導(dǎo)體工藝腔體還包括如權(quán)利要求1-8任一項(xiàng)所述的真空蝶閥，所述真空蝶閥設(shè)置于所述管道。

10.根據(jù)權(quán)利要求9所述的半導(dǎo)體工藝腔體，其特征在于，所述半導(dǎo)體工藝腔體還包括控制模塊，所述控制模塊包括能夠檢測所述腔體本體的內(nèi)部壓力的檢測部，以及分別與所述檢測部和所述驅(qū)動電機(jī)電性連接的控制部。

技術(shù)總結(jié)
本技術(shù)屬于閥門技術(shù)領(lǐng)域，公開了一種真空蝶閥以及半導(dǎo)體工藝腔體，真空蝶閥包括閥體、閥桿、蝶板以及驅(qū)動機(jī)構(gòu)，蝶板內(nèi)置于閥體，閥桿轉(zhuǎn)動穿設(shè)于閥體并與蝶板連接，驅(qū)動機(jī)構(gòu)包括驅(qū)動箱、驅(qū)動電機(jī)、第一傳動組件以及第二傳動組件，驅(qū)動箱連接于閥體，驅(qū)動電機(jī)連接于驅(qū)動箱；第一傳動組件的輸入端連接于驅(qū)動電機(jī)的電機(jī)軸；第二傳動組件的輸入端連接于第一傳動組件的輸出端，第二傳動組件的輸出端連接于閥桿，第二傳動組件能夠使閥桿的轉(zhuǎn)速小于電機(jī)軸的轉(zhuǎn)速。本技術(shù)的真空蝶閥，可采用精度更低的驅(qū)動電機(jī)驅(qū)動閥桿轉(zhuǎn)動，控制精度相同的同時(shí)，成本更加低廉，且驅(qū)動電機(jī)的精度有所降低，可使驅(qū)動電機(jī)工作更加穩(wěn)定，不易受到其他因素的影響。

技術(shù)研發(fā)人員：郭衛(wèi)強(qiáng),張景紅,楊亞冬,唐龍兵
受保護(hù)的技術(shù)使用者：昆山新萊潔凈應(yīng)用材料股份有限公司
技術(shù)研發(fā)日：20240511
技術(shù)公布日：2024/12/19