技術(shù)編號(hào):40404196
提示:您尚未登錄,請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載,如果您還沒(méi)有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ,登陸完成后,請(qǐng)刷新本頁(yè)查看技術(shù)詳細(xì)信息。本技術(shù)涉及閥門,尤其涉及一種真空蝶閥以及半導(dǎo)體工藝腔體。背景技術(shù)、蝶閥是指關(guān)閉件為圓盤,且關(guān)閉件圍繞閥軸旋轉(zhuǎn)來(lái)達(dá)到開(kāi)啟與關(guān)閉的一種閥,常用于半導(dǎo)體工藝腔體中,作為氣體介質(zhì)調(diào)節(jié)流量或切斷裝置。蝶閥的關(guān)閉件一般稱為蝶板。、當(dāng)應(yīng)用在半導(dǎo)體真空腔體中時(shí),蝶閥可以用于控制工藝氣體的流動(dòng)和維持所需的真空環(huán)境。這就需要精確控制蝶閥的開(kāi)度,即蝶板的轉(zhuǎn)動(dòng)角度需要在-度之間精確調(diào)節(jié),當(dāng)前的蝶板通過(guò)伺服電機(jī)直接驅(qū)動(dòng)其轉(zhuǎn)動(dòng),具體地,伺服電機(jī)的電機(jī)軸同軸連接于蝶閥的閥桿上,當(dāng)伺服電機(jī)的電機(jī)軸轉(zhuǎn)動(dòng)時(shí),蝶板則跟隨伺...
注意:該技術(shù)已申請(qǐng)專利,請(qǐng)尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出,在未取得專利權(quán)人授權(quán)前,僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
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