本發(fā)明涉及真空加工設(shè)備技術(shù)領(lǐng)域，具體而言，涉及一種密封組件、轉(zhuǎn)動(dòng)部及真空加工設(shè)備。

背景技術(shù)：

現(xiàn)有真空設(shè)備中，因密封技術(shù)不達(dá)標(biāo)的問(wèn)題，導(dǎo)致密封工作腔內(nèi)無(wú)法安裝動(dòng)力源。使得很多真空設(shè)備無(wú)法實(shí)現(xiàn)真空加工自動(dòng)化作業(yè)，只能采用傳統(tǒng)的人工搬運(yùn)的形式完成真空加工作業(yè)。由于不能采用自動(dòng)化作業(yè)，對(duì)于需要加工工件較大的重型真空設(shè)備時(shí)，造成員工勞動(dòng)強(qiáng)度過(guò)大、勞動(dòng)附加值較小等問(wèn)題。

技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素：

本發(fā)明的主要目的在于提供一種密封組件、轉(zhuǎn)動(dòng)部及真空加工設(shè)備，以解決現(xiàn)有技術(shù)中真空工作腔內(nèi)無(wú)法安裝動(dòng)力源的問(wèn)題。

為了實(shí)現(xiàn)上述目的，根據(jù)本發(fā)明的一個(gè)方面，提供了一種密封組件，包括：限位部；密封部，限位部設(shè)置于密封部的一側(cè)，密封部的另一側(cè)具有真空工作空間，限位部與密封部形成有用于將轉(zhuǎn)動(dòng)部限位并密封的容納腔，轉(zhuǎn)動(dòng)部穿過(guò)限位部和密封部設(shè)置并延伸至真空工作空間內(nèi)以形成動(dòng)力源。

進(jìn)一步地，限位部包括：限位板，限位板上開(kāi)設(shè)有階梯孔，階梯孔的大徑端與密封部圍設(shè)成容納腔，階梯孔的小徑端形成供轉(zhuǎn)動(dòng)部穿過(guò)的第一軸孔。

進(jìn)一步地，密封組件還包括：密封件，密封件設(shè)置于限位部和/或密封部?jī)?nèi)。

進(jìn)一步地，密封組件還包括密封槽，密封槽開(kāi)設(shè)于限位板和/或密封部上，密封槽內(nèi)設(shè)置有密封件以將限位板與密封部的之間形成的縫隙進(jìn)行密封。

進(jìn)一步地，密封槽為環(huán)形槽，密封槽的內(nèi)徑大于階梯孔的大徑端的外徑。

密封槽為多個(gè)，多個(gè)密封槽間隔地設(shè)置。

進(jìn)一步地，密封部包括：密封板，密封板的外表面與階梯孔的大徑端圍設(shè)成容納腔。

進(jìn)一步地，密封板具有供轉(zhuǎn)動(dòng)部穿過(guò)的第二軸孔，第二軸孔與第一軸孔同軸設(shè)置。

進(jìn)一步地，第一軸孔的內(nèi)徑與第二軸孔的內(nèi)徑相同。

進(jìn)一步地，密封件包括：第一密封件，套設(shè)于轉(zhuǎn)動(dòng)部上并位于容納腔內(nèi)。

進(jìn)一步地，密封件還包括：第二密封件，套設(shè)于轉(zhuǎn)動(dòng)部上并位于容納腔內(nèi)，第一密封件位于第二密封件的一側(cè)。

進(jìn)一步地，第一密封件包括多個(gè)，第二密封件包括至少一個(gè)，多個(gè)第一密封件與第二密封件沿轉(zhuǎn)動(dòng)部的軸向交替設(shè)置。

進(jìn)一步地，第一密封件為第一o型密封圈，和/或，第二密封件為密封銅環(huán)。

進(jìn)一步地，密封件還包括：第三密封件，第三密封件設(shè)置于密封槽內(nèi)。

進(jìn)一步地，第三密封件為第二o型密封圈。

根據(jù)本發(fā)明的另一方面，提供了一種轉(zhuǎn)動(dòng)部，轉(zhuǎn)動(dòng)部與上述的密封組件相適配，轉(zhuǎn)動(dòng)部具有與容納腔相適配的限位凸起。

進(jìn)一步地，轉(zhuǎn)動(dòng)部為階梯軸，限位凸起沿階梯軸的周面設(shè)置并位于容納腔內(nèi)，密封組件具有的第一密封件和第二密封件交替地套設(shè)于限位凸起的外周面。

進(jìn)一步地，轉(zhuǎn)動(dòng)部相對(duì)密封部可轉(zhuǎn)動(dòng)地設(shè)置。

根據(jù)本發(fā)明的另一方面，提供了一種真空加工設(shè)備，包括密封組件，密封組件為上述的密封組件。

應(yīng)用本發(fā)明的技術(shù)方案，將轉(zhuǎn)動(dòng)部穿過(guò)限位部和密封部設(shè)置，并將轉(zhuǎn)動(dòng)部密封并限位于限位部與密封部形成的容納腔內(nèi)，并使轉(zhuǎn)動(dòng)部延伸至位于密封部一側(cè)的真空工作空間內(nèi)以形成該真空工作空間的動(dòng)力源。該技術(shù)方案能夠很好的實(shí)現(xiàn)對(duì)安裝于真空工作空間內(nèi)動(dòng)力源進(jìn)行密封的問(wèn)題，有效地解決了現(xiàn)有技術(shù)中無(wú)法在真空工作腔內(nèi)安裝動(dòng)力源的問(wèn)題。

附圖說(shuō)明

構(gòu)成本申請(qǐng)的一部分的說(shuō)明書附圖用來(lái)提供對(duì)本發(fā)明的進(jìn)一步理解，本發(fā)明的示意性實(shí)施例及其說(shuō)明用于解釋本發(fā)明，并不構(gòu)成對(duì)本發(fā)明的不當(dāng)限定。在附圖中：

圖1示出了根據(jù)本發(fā)明的密封組件的實(shí)施例的結(jié)構(gòu)示意圖。

其中，上述附圖包括以下附圖標(biāo)記：

10、限位部；11、限位板；111、階梯孔；

20、密封部；

21、密封板；211、第二軸孔；

30、密封件；

31、第一密封件；32、第二密封件；33、第三密封件；

40、密封槽；

50、轉(zhuǎn)動(dòng)部；51、限位凸起。

具體實(shí)施方式

需要說(shuō)明的是，在不沖突的情況下，本申請(qǐng)中的實(shí)施例及實(shí)施例中的特征可以相互組合。下面將參考附圖并結(jié)合實(shí)施例來(lái)詳細(xì)說(shuō)明本發(fā)明。

需要注意的是，這里所使用的術(shù)語(yǔ)僅是為了描述具體實(shí)施方式，而非意圖限制根據(jù)本申請(qǐng)的示例性實(shí)施方式。如在這里所使用的，除非上下文另外明確指出，否則單數(shù)形式也意圖包括復(fù)數(shù)形式，此外，還應(yīng)當(dāng)理解的是，當(dāng)在本說(shuō)明書中使用術(shù)語(yǔ)“包含”和/或“包括”時(shí)，其指明存在特征、步驟、操作、器件、組件和/或它們的組合。

需要說(shuō)明的是，本申請(qǐng)的說(shuō)明書和權(quán)利要求書及上述附圖中的術(shù)語(yǔ)“第一”、“第二”等是用于區(qū)別類似的對(duì)象，而不必用于描述特定的順序或先后次序。應(yīng)該理解這樣使用的術(shù)語(yǔ)在適當(dāng)情況下可以互換，以便這里描述的本申請(qǐng)的實(shí)施方式例如能夠以除了在這里圖示或描述的那些以外的順序?qū)嵤?。此外，術(shù)語(yǔ)“包括”和“具有”以及他們的任何變形，意圖在于覆蓋不排他的包含，例如，包含了一系列步驟或單元的過(guò)程、方法、系統(tǒng)、產(chǎn)品或設(shè)備不必限于清楚地列出的那些步驟或單元，而是可包括沒(méi)有清楚地列出的或?qū)τ谶@些過(guò)程、方法、產(chǎn)品或設(shè)備固有的其它步驟或單元。

為了便于描述，在這里可以使用空間相對(duì)術(shù)語(yǔ)，如“在……之上”、“在……上方”、“在……上表面”、“上面的”等，用來(lái)描述如在圖中所示的一個(gè)器件或特征與其他器件或特征的空間位置關(guān)系。應(yīng)當(dāng)理解的是，空間相對(duì)術(shù)語(yǔ)旨在包含除了器件在圖中所描述的方位之外的在使用或操作中的不同方位。例如，如果附圖中的器件被倒置，則描述為“在其他器件或構(gòu)造上方”或“在其他器件或構(gòu)造之上”的器件之后將被定位為“在其他器件或構(gòu)造下方”或“在其他器件或構(gòu)造之下”。因而，示例性術(shù)語(yǔ)“在……上方”可以包括“在……上方”和“在……下方”兩種方位。該器件也可以其他不同方式定位(旋轉(zhuǎn)90度或處于其他方位)，并且對(duì)這里所使用的空間相對(duì)描述作出相應(yīng)解釋。

現(xiàn)在，將參照附圖更詳細(xì)地描述根據(jù)本申請(qǐng)的示例性實(shí)施方式。然而，這些示例性實(shí)施方式可以由多種不同的形式來(lái)實(shí)施，并且不應(yīng)當(dāng)被解釋為只限于這里所闡述的實(shí)施方式。應(yīng)當(dāng)理解的是，提供這些實(shí)施方式是為了使得本申請(qǐng)的公開(kāi)徹底且完整，并且將這些示例性實(shí)施方式的構(gòu)思充分傳達(dá)給本領(lǐng)域普通技術(shù)人員，在附圖中，為了清楚起見(jiàn)，有可能擴(kuò)大了層和區(qū)域的厚度，并且使用相同的附圖標(biāo)記表示相同的器件，因而將省略對(duì)它們的描述。

結(jié)合圖1所示，根據(jù)本發(fā)明的實(shí)施例，提供了一種密封組件。

該密封組件包括限位部10和密封部20。限位部10設(shè)置于密封部20的一側(cè)，密封部20的另一側(cè)具有真空工作空間，限位部10與密封部20形成有用于將轉(zhuǎn)動(dòng)部50限位并密封的容納腔，轉(zhuǎn)動(dòng)部50穿過(guò)限位部10和密封部20設(shè)置并延伸至真空工作空間內(nèi)以形成動(dòng)力源。

在本實(shí)施例中，將轉(zhuǎn)動(dòng)部50穿過(guò)限位部10和密封部20設(shè)置，并將轉(zhuǎn)動(dòng)部50密封并限位于限位部10與密封部20形成的容納腔內(nèi)，并使轉(zhuǎn)動(dòng)部50延伸至位于密封部20一側(cè)的真空工作空間內(nèi)以形成該真空工作空間的動(dòng)力源。該技術(shù)方案能夠很好的實(shí)現(xiàn)對(duì)安裝于真空工作空間內(nèi)動(dòng)力源進(jìn)行密封的問(wèn)題，有效地解決了現(xiàn)有技術(shù)中無(wú)法在密封的真空工作腔內(nèi)安裝動(dòng)力源的問(wèn)題。

進(jìn)一步地，限位部10包括限位板11。限位板11上開(kāi)設(shè)有階梯孔111，階梯孔111的大徑端與密封部20圍設(shè)成容納腔，階梯孔111的小徑端形成供轉(zhuǎn)動(dòng)部50穿過(guò)的第一軸孔。這樣設(shè)置能夠有效地將轉(zhuǎn)動(dòng)部50進(jìn)行定位，防止了轉(zhuǎn)動(dòng)部50在轉(zhuǎn)動(dòng)過(guò)程中竄動(dòng)，提高了限位部10與轉(zhuǎn)動(dòng)部50之間的密封可靠性。限位板11扣住轉(zhuǎn)動(dòng)部，可避免轉(zhuǎn)動(dòng)部的旋轉(zhuǎn)軸在旋轉(zhuǎn)時(shí)，發(fā)生軸向竄動(dòng)，使密封失效。

其中，密封組件還包括密封件30。密封件30設(shè)置于限位部10和密封部20內(nèi)。這樣設(shè)置進(jìn)一步地提高了密封組件與轉(zhuǎn)動(dòng)部50之間的密封可靠性。

密封組件還包括密封槽40。如圖1所示，密封槽40開(kāi)設(shè)于限位板11上，密封槽40內(nèi)設(shè)置有密封件30以將限位板11與密封部20的之間形成的縫隙進(jìn)行密封。這樣設(shè)置進(jìn)一步地提高了限位部10與轉(zhuǎn)動(dòng)部50之間的密封可靠性。當(dāng)然，密封槽40也可以開(kāi)設(shè)于密封部20上，或是同時(shí)在限位板11與密封部20相對(duì)的位置處同時(shí)開(kāi)設(shè)密封槽40，這樣同樣能夠?qū)ο尬话?1與密封部20之間形成的縫隙起到密封的作用。

優(yōu)選地，密封槽40為環(huán)形槽，密封槽40的內(nèi)徑大于階梯孔111的大徑端的外徑。將密封槽40設(shè)置在階梯孔111的外側(cè)，且密封槽40中設(shè)置有密封件30。第三密封件33設(shè)置于密封槽40內(nèi)。能夠?qū)崿F(xiàn)對(duì)限位板11與密封部20之間形成的縫隙進(jìn)行多次密封，有效地提高了密封組件的密封性能。

其中，密封部20包括密封板21。密封板21的外表面與階梯孔111的大徑端圍設(shè)成容納腔。這樣設(shè)置能夠方便轉(zhuǎn)動(dòng)部的組裝，即可以先將轉(zhuǎn)動(dòng)部安裝于限位板11上，然后再將轉(zhuǎn)動(dòng)部和限位板11與密封板21進(jìn)行密封連接。

具體地，密封板21具有供轉(zhuǎn)動(dòng)部50穿過(guò)的第二軸孔211，第二軸孔211與第一軸孔同軸設(shè)置。這樣設(shè)置能夠有效提高轉(zhuǎn)動(dòng)部與密封組件的可靠性。

為了進(jìn)一步地提高密封可靠性，將第一軸孔的內(nèi)徑與第二軸孔的內(nèi)徑相同。

密封件30包括第一密封件31。第一密封件31套設(shè)于轉(zhuǎn)動(dòng)部50上并位于容納腔內(nèi)。這樣設(shè)置能夠有效提高轉(zhuǎn)動(dòng)部50與密封組件之間的密封性能。

密封件30還包括第二密封件32。第二密封件32套設(shè)于轉(zhuǎn)動(dòng)部50上并位于容納腔內(nèi)，第一密封件31位于第二密封件32的一側(cè)。這樣設(shè)置能夠使得在轉(zhuǎn)動(dòng)部50與容納腔之間形成有多道密封系統(tǒng)，進(jìn)一步提高了密封組件的密封性能。

在本實(shí)施例中，第一密封件31包括多個(gè)，第二密封件32包括至少一個(gè)，多個(gè)第一密封件31與第二密封件32沿轉(zhuǎn)動(dòng)部50的軸向交替設(shè)置。圖1中示出了兩個(gè)第一密封件31，一個(gè)第二密封件32，其中，第二密封件32位于兩個(gè)第一密封件31之間。具體地，第一密封件31為第一o型密封圈，第二密封件32為密封銅環(huán)。

密封件30還包括第三密封件33。第三密封件33設(shè)置于密封槽40內(nèi)。第三密封件33為第二o型密封圈。這樣設(shè)置能夠有效對(duì)限位板11與密封部20之間形成的縫隙進(jìn)行密封。

根據(jù)本發(fā)明的另一方面，提供了一種轉(zhuǎn)動(dòng)部。該轉(zhuǎn)動(dòng)部50與上述實(shí)施例中的密封組件相適配，轉(zhuǎn)動(dòng)部50具有與容納腔相適配的限位凸起51。其中，限位凸起51沿階梯軸的周面設(shè)置并位于容納腔內(nèi)，密封組件具有的第一密封件31和第二密封件32交替地套設(shè)于限位凸起51的外周面。轉(zhuǎn)動(dòng)部50相對(duì)密封部20可轉(zhuǎn)動(dòng)地設(shè)置。這樣設(shè)置能夠使得該轉(zhuǎn)動(dòng)部能夠作為由密封組件進(jìn)行密封的真空工作空間中的動(dòng)力源，有效地解決了現(xiàn)有技術(shù)中不能在真空密封中安裝動(dòng)力源的問(wèn)題。

上述實(shí)施例中的密封組件還可以用于真空加工設(shè)備技術(shù)領(lǐng)域，即根據(jù)本發(fā)明的另一方面，提供了一種真空加工設(shè)備。該加工設(shè)備包括密封組件，密封組件為上述實(shí)施例中的密封組件。具體地，密封組件包括限位部10和密封部20。限位部10設(shè)置于密封部20的一側(cè)，密封部20的另一側(cè)具有真空工作空間，限位部10與密封部20形成有用于將轉(zhuǎn)動(dòng)部50限位并密封的容納腔，轉(zhuǎn)動(dòng)部50穿過(guò)限位部10和密封部20設(shè)置并延伸至真空工作空間內(nèi)以形成動(dòng)力源。將轉(zhuǎn)動(dòng)部50穿過(guò)限位部10和密封部20設(shè)置，并將轉(zhuǎn)動(dòng)部50密封并限位于限位部10與密封部20形成的容納腔內(nèi)，并使轉(zhuǎn)動(dòng)部50延伸至位于密封部20一側(cè)的真空工作空間內(nèi)以形成該真空工作空間的動(dòng)力源。該技術(shù)方案能夠很好的實(shí)現(xiàn)對(duì)安裝于真空工作空間內(nèi)動(dòng)力源進(jìn)行密封的問(wèn)題，有效地解決了現(xiàn)有技術(shù)中無(wú)法在密封的真空工作腔內(nèi)安裝動(dòng)力源的問(wèn)題。

具體地，本申請(qǐng)解決了高速運(yùn)動(dòng)的軸類零件在真空腔內(nèi)的密封技術(shù)。真空設(shè)備的真空腔提供穩(wěn)定可靠的動(dòng)力源。結(jié)構(gòu)需簡(jiǎn)單，便于維保。為真空設(shè)備提供了穩(wěn)定可靠的動(dòng)力源。密封機(jī)構(gòu)結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單，拆卸方便，便于維保。使用o型圈進(jìn)行密封，成本低廉。平面與徑向密封的結(jié)合，多道密封，密封可靠度較高。

進(jìn)一步地，轉(zhuǎn)動(dòng)部與密封部之間采用間隙配合，能夠加工成本低廉，拆裝方便，便于維保。

在密封臺(tái)即限位板的密封斷面加工至少一道以上端面密封的密封槽，也就是說(shuō)可以將密封槽設(shè)置成多個(gè)，多個(gè)密封槽間隔地設(shè)置。即至少可安裝一道以上端面密封圈。實(shí)現(xiàn)端面一道以上的密封。根據(jù)真空腔的真空度要求、旋轉(zhuǎn)軸轉(zhuǎn)速、轉(zhuǎn)動(dòng)扭矩及轉(zhuǎn)動(dòng)等多方面參數(shù)綜合考量，徑向至少安裝兩道以上o型密封圈，即實(shí)現(xiàn)徑向兩道及兩道以上的密封。徑向多到密封可增加密封圈與密封件的接觸面積，增加密封效果。

優(yōu)選地，每個(gè)徑向密封圈之間加夾一個(gè)無(wú)塵銅環(huán)即密封銅環(huán)，使每個(gè)密封圈可獨(dú)立工作，形成一個(gè)獨(dú)立的密封體，不受其他密封圈工作狀態(tài)的影響。形成多到密封，增加密封效果。

旋轉(zhuǎn)軸凸臺(tái)即限位凸起的長(zhǎng)度，與密封臺(tái)沉孔即階梯孔的大徑端的深度根據(jù)徑向密封道數(shù)而定，增加密封道數(shù)則相應(yīng)的增加凸臺(tái)長(zhǎng)度與沉孔深度。徑向密封圈即第一密封件與平面密封圈即第三密封件的壓縮率應(yīng)相差不大。理論上整體式密封結(jié)構(gòu)如骨架密封、機(jī)械密封等密封結(jié)構(gòu)密封性能更好，然而安裝難易度與使用環(huán)境要求相對(duì)苛刻，維保困難，現(xiàn)場(chǎng)一般使用o型圈密封，然而工件長(zhǎng)期旋轉(zhuǎn)，o型圈會(huì)有磨損，密封效果可能會(huì)降低，因此，采用多道密封即增加多道密封形成多個(gè)密封系統(tǒng)能夠有效增加密封組件的可靠性。

除上述以外，還需要說(shuō)明的是在本說(shuō)明書中所談到的“一個(gè)實(shí)施例”、“另一個(gè)實(shí)施例”、“實(shí)施例”等，指的是結(jié)合該實(shí)施例描述的具體特征、結(jié)構(gòu)或者特點(diǎn)包括在本申請(qǐng)概括性描述的至少一個(gè)實(shí)施例中。在說(shuō)明書中多個(gè)地方出現(xiàn)同種表述不是一定指的是同一個(gè)實(shí)施例。進(jìn)一步來(lái)說(shuō)，結(jié)合任一實(shí)施例描述一個(gè)具體特征、結(jié)構(gòu)或者特點(diǎn)時(shí)，所要主張的是結(jié)合其他實(shí)施例來(lái)實(shí)現(xiàn)這種特征、結(jié)構(gòu)或者特點(diǎn)也落在本發(fā)明的范圍內(nèi)。

在上述實(shí)施例中，對(duì)各個(gè)實(shí)施例的描述都各有側(cè)重，某個(gè)實(shí)施例中沒(méi)有詳述的部分，可以參見(jiàn)其他實(shí)施例的相關(guān)描述。

以上所述僅為本發(fā)明的優(yōu)選實(shí)施例而已，并不用于限制本發(fā)明，對(duì)于本領(lǐng)域的技術(shù)人員來(lái)說(shuō)，本發(fā)明可以有各種更改和變化。凡在本發(fā)明的精神和原則之內(nèi)，所作的任何修改、等同替換、改進(jìn)等，均應(yīng)包含在本發(fā)明的保護(hù)范圍之內(nèi)。