本發(fā)明涉及使用于半導(dǎo)體制造裝置等之流體管路的閥。

背景技術(shù)：

以往，提出一種在閥主體安裝管接頭，介由管接頭將操作流體導(dǎo)入閥主體內(nèi)，從而將閥成為開(kāi)啟狀態(tài)，使氣體通過(guò)的空氣驅(qū)動(dòng)式的閥。

現(xiàn)有技術(shù)文獻(xiàn)

專(zhuān)利文獻(xiàn)

專(zhuān)利文獻(xiàn)1：日本特開(kāi)2014-9765號(hào)公報(bào)

技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素：

(一)要解決的技術(shù)問(wèn)題

但是，在上述的閥中，當(dāng)因錯(cuò)誤而供給操作流體時(shí)，會(huì)導(dǎo)致：成為開(kāi)啟狀態(tài)而將氣體供給至半導(dǎo)體制造裝置等。因此，氣體會(huì)因意外而供給至半導(dǎo)體制造裝置等。

為此，本發(fā)明是以提供一種即使因錯(cuò)誤而供給操作流體也不會(huì)成為開(kāi)啟狀態(tài)，可抑制氣體因意外供給至半導(dǎo)體制造裝置等的閥為目的。

(二)技術(shù)方案

為解決上述目的，本發(fā)明之一樣態(tài)的閥具備：主體，形成有流體通路；閥芯，用于上述流體通路的開(kāi)閉；心柱，為了以上述閥芯使上述流體通路開(kāi)閉，設(shè)置成可相對(duì)于上述閥芯接近及離開(kāi)地移動(dòng)；致動(dòng)器，具有與上述主體連接的殼體、以及設(shè)置于上述殼體內(nèi)并通過(guò)從外部供給的操作流體來(lái)驅(qū)動(dòng)上述心柱的驅(qū)動(dòng)單元，閥機(jī)構(gòu)，設(shè)置在上述殼體，可開(kāi)閉朝上述驅(qū)動(dòng)單元之操作流體的通路。

又，亦可閥機(jī)構(gòu)具有：由使用者推壓的推壓部，及可開(kāi)閉操作流體之上述通路的開(kāi)閉構(gòu)件，每推壓一次上述推壓部時(shí)，上述開(kāi)閉構(gòu)件從操作流體的上述通路成為開(kāi)啟狀態(tài)的開(kāi)啟位置朝操作流體的上述通路成為關(guān)閉狀態(tài)的關(guān)閉位置移動(dòng)，或者從上述關(guān)閉位置朝上述開(kāi)啟位置移動(dòng)。

又，亦可上述閥機(jī)構(gòu)具有操作流體流入路，該操作流體流入路流入來(lái)自外部的操作流體，并與操作流體的上述通路連通。又，亦可上述閥機(jī)構(gòu)設(shè)置在上述殼體的內(nèi)部。

又，亦可上述閥機(jī)構(gòu)具備：引導(dǎo)部，形成圓筒狀，固定于上述殼體，在內(nèi)周?chē)嬖O(shè)有向內(nèi)方突出的凸輪部，在上述凸輪部于周?chē)较虻乳g隔形成有朝軸向延伸的多個(gè)第一凸輪溝槽，在上述凸輪部的上述驅(qū)動(dòng)單元側(cè)的端部，交替形成有相對(duì)于軸向傾斜的多個(gè)第一凸輪面及多個(gè)第二凸輪面，一組的上述第一凸輪面及上述第二凸輪面，定位在相鄰的上述第一凸輪溝槽之間；上述推壓部，可沿著上述引導(dǎo)部的上述軸向移動(dòng)地配置在上述引導(dǎo)部?jī)?nèi)，在上述驅(qū)動(dòng)單元側(cè)的端部設(shè)有朝上述驅(qū)動(dòng)單元側(cè)突出的多個(gè)山形的第一凸輪突起，各第一凸輪突起由相對(duì)于上述軸向傾斜的兩個(gè)第三凸輪面構(gòu)成；操作流體流入部，連接于上述推壓部的上述驅(qū)動(dòng)單元側(cè)并朝上述驅(qū)動(dòng)單元延伸；上述開(kāi)閉構(gòu)件，設(shè)置在上述操作流體流入部的上述驅(qū)動(dòng)單元側(cè)；轉(zhuǎn)子，形成可插入上述操作流體流入部的環(huán)狀，定位在上述推壓部的上述驅(qū)動(dòng)單元側(cè)，具備朝上述推壓部突出并在前端具有相對(duì)于上述軸向傾斜的第四凸輪面且可進(jìn)入及退出上述第一凸輪溝槽的第二凸輪突起，上述第四凸輪面可抵接于上述第一凸輪面、第二凸輪面及第三凸輪面；及螺旋彈簧，將上述轉(zhuǎn)子朝上述推壓部側(cè)推壓，在上述推壓部及上述操作流體流入部形成有上述操作流體流入路，在上述開(kāi)閉構(gòu)件位于上述開(kāi)啟位置的狀態(tài)，上述轉(zhuǎn)子的上述第二突起進(jìn)入上述第一凸輪溝槽，上述第四凸輪面抵接于上述推壓部的上述第三凸輪面，在上述開(kāi)閉構(gòu)件位于上述關(guān)閉位置的狀態(tài)，上述轉(zhuǎn)子的上述第二突起從上述第一凸輪溝槽退出，上述第四凸輪面抵接于上述第一凸輪面及上述第三凸輪面，在上述開(kāi)閉構(gòu)件位于上述關(guān)閉位置時(shí)，推壓上述推壓部而分開(kāi)，從而上述推壓部及上述轉(zhuǎn)子抵抗上述螺旋彈簧的作用力而朝上述驅(qū)動(dòng)單元側(cè)移動(dòng)，上述轉(zhuǎn)子的上述第四凸輪面沿著上述第二凸輪面及上述第三凸輪面移動(dòng)，上述轉(zhuǎn)子的上述第二突起通過(guò)上述螺旋彈簧的作用力進(jìn)入上述第一凸輪溝槽，上述開(kāi)閉構(gòu)件朝上述開(kāi)啟位置移動(dòng)，在上述開(kāi)閉構(gòu)件位于上述開(kāi)啟位置時(shí)，推壓上述推壓部而分開(kāi)，從而上述推壓部及上述轉(zhuǎn)子抵抗上述螺旋彈簧的作用力而朝上述驅(qū)動(dòng)單元側(cè)移動(dòng)，上述轉(zhuǎn)子的上述第二突起部從第一凸輪溝槽退出而沿著上述第一凸輪面及上述第三凸輪面移動(dòng)，上述開(kāi)閉構(gòu)件朝上述關(guān)閉位置移動(dòng)。

又，亦可在上述操作流體流入部設(shè)有向外方突出的止動(dòng)器抵接部，上述閥機(jī)構(gòu)，進(jìn)一步具備可抵接于上述止動(dòng)器抵接部，配置在上述轉(zhuǎn)子的上述驅(qū)動(dòng)單元側(cè)的止動(dòng)器，在上述開(kāi)閉構(gòu)件位于上述關(guān)閉位置的狀態(tài)，上述轉(zhuǎn)子的上述第二突起的上述第四凸輪面抵接于上述引導(dǎo)部的上述第一凸輪面，上述止動(dòng)器抵接于上述轉(zhuǎn)子，上述止動(dòng)器抵接部抵接于上述止動(dòng)器，從而限制上述推壓部朝上述驅(qū)動(dòng)單元側(cè)的相反側(cè)移動(dòng)。

(三)有益效果

根據(jù)本發(fā)明，可提供一種即使因錯(cuò)誤而供給操作流體也不會(huì)成為開(kāi)啟狀態(tài)，可抑制氣體因意外供給至半導(dǎo)體制造裝置等的閥。

附圖說(shuō)明

圖1表示本發(fā)明實(shí)施方式相關(guān)之位于關(guān)閉狀態(tài)的閥的縱剖視圖。

圖2表示位于關(guān)閉狀態(tài)的碰觸式閥機(jī)構(gòu)附近的放大圖。

圖3表示第一引導(dǎo)部的說(shuō)明圖。

圖4表示碰觸部的說(shuō)明圖。

圖5表示轉(zhuǎn)子的透視圖。

圖6是表示碰觸式閥機(jī)構(gòu)的動(dòng)作轉(zhuǎn)換的圖。

圖7表示本發(fā)明實(shí)施方式相關(guān)之位于開(kāi)啟狀態(tài)的閥的縱剖視圖。

具體實(shí)施方式

針對(duì)本發(fā)明之一實(shí)施方式的閥，參閱附圖進(jìn)行說(shuō)明。

圖1表示第一實(shí)施方式相關(guān)之位于關(guān)閉狀態(tài)的閥1的縱剖視圖。并且，圖1表示的閥1為隔膜閥。本實(shí)施方式的閥1是主要設(shè)置在供給多種類(lèi)氣體用的氣體供給裝置(氣箱)內(nèi)之各線路的最上游側(cè)來(lái)使用的閥。

如圖1表示，閥1具備閥主體2及管接頭3。閥主體2主要具備主體4、閥帽5、閥蓋6、隔膜7、隔膜壓件8、心柱9、活塞10、第一壓縮螺旋彈簧11及碰觸式閥機(jī)構(gòu)20。并且，在以下的說(shuō)明中，以閥1的管接頭3側(cè)為上側(cè)、主體4側(cè)為下側(cè)進(jìn)行說(shuō)明。

在主體4形成有閥室4a，及與閥室4a連通的流體流入路4b及流體流出路4c。在主體4的流體流入路4b與閥室4a連通之處的周緣設(shè)有環(huán)狀的薄片4d。

閥帽5形成大致圓筒狀，在其下端部的外圍設(shè)置的外螺紋部與設(shè)置在閥主體4的內(nèi)螺紋部螺合，從而包覆閥室4a地固定于閥主體5。

閥蓋6形成大致圓筒狀，在其下端部的外圍設(shè)置的外螺紋部與設(shè)置在閥帽5的上端部的內(nèi)螺紋部螺合，從而固定于閥帽5。閥蓋6具有上側(cè)部6a與下側(cè)部6b。在上側(cè)部6a形成有安裝孔6c，在下側(cè)部6b形成有內(nèi)徑比安裝孔6c大的收容孔6d。安裝孔6c具有第一被螺合孔6c1與第二被螺合孔6c2。在安裝孔6c安裝閥機(jī)構(gòu)20。閥蓋6的下側(cè)部6b與閥帽5的上端部進(jìn)行螺合，從而區(qū)隔出收容活塞10及第一壓縮螺旋彈簧11的空間。再者，閥帽5及閥蓋6相當(dāng)于致動(dòng)器的殼體。

閥芯的隔膜7的外周緣部被配置在閥帽5下端的壓接器7a與形成主體4的閥室4a的底面夾壓保持。隔膜7形成球殼狀，自然狀態(tài)呈上凸的圓弧狀。通過(guò)隔膜7相對(duì)于薄片4d抵接及分開(kāi)，來(lái)進(jìn)行流體通路的開(kāi)閉。隔膜7例如以鎳合金薄板構(gòu)成，沖切成圓形，且形成中央部向上方隆起的球殼狀。并且，隔膜7也可以由不銹鋼薄板構(gòu)成，或是由不銹鋼薄板與鎳鈷合金薄板的層疊體構(gòu)成，隔膜7的形狀也可以是任意形狀。

隔膜壓件8設(shè)置在隔膜7的上側(cè)，構(gòu)成為可推壓隔膜7的中央部。

心柱9由閥帽5支撐為可上下方向移動(dòng)，且構(gòu)成為通過(guò)相對(duì)于隔膜7接近及離開(kāi)地移動(dòng)，從而介由隔膜壓件8，使隔膜7抵接及離開(kāi)薄片4d。并且，本實(shí)施方式中，心柱9的移動(dòng)方向相當(dāng)于上下方向。

活塞10與心柱9一體地構(gòu)成，設(shè)置在心柱9的上側(cè)，被閥帽5可上下方向移動(dòng)地支撐。以活塞10的下面與閥帽5的上面區(qū)隔出操作流體導(dǎo)入室10a。并在活塞10，形成有從其上端延伸至操作流體導(dǎo)入室10a為止的操作流體導(dǎo)入路10b。

第一壓縮螺旋彈簧11是配置在上側(cè)部6a的下面與活塞10的上面之間，始終對(duì)活塞10朝下側(cè)施力。

第一o環(huán)5a介于閥帽5與心柱9之間，在心柱9及活塞10的上下方向上引導(dǎo)移動(dòng)。第二o環(huán)5b則是介于閥帽5與活塞10之間，在心柱9及活塞10的上下方向上引導(dǎo)移動(dòng)。又，第一o環(huán)5a及第二o環(huán)5b將連通于操作流體導(dǎo)入室10a之操作流體導(dǎo)入路10b的部份以外密閉。

接著，針對(duì)閥機(jī)構(gòu)20，參閱圖1～圖5進(jìn)行說(shuō)明。并且，圖1、圖2示出位于關(guān)閉狀態(tài)的閥機(jī)構(gòu)20。閥機(jī)構(gòu)20具備：第一引導(dǎo)部21、碰觸部22、轉(zhuǎn)子23、止動(dòng)器24、第二引導(dǎo)部25及第二壓縮螺旋彈簧26。閥構(gòu)件20設(shè)置在殼體(閥帽5及閥蓋6)的內(nèi)部。

圖3表示第一引導(dǎo)部21的說(shuō)明圖，(a)表示第一引導(dǎo)部21的縱剖視圖，(b)示出(a)所示第一引導(dǎo)部21的底視圖，(c)表示第一引導(dǎo)部21的剖面透視圖。

第一引導(dǎo)部21形成大致圓筒狀，螺合于帽蓋6的第一被螺合孔6c1。在第一引導(dǎo)部21的內(nèi)側(cè)全周?chē)O(shè)有向內(nèi)方突出的凸輪部21a。凸輪部21a從第一引導(dǎo)部21的上端設(shè)置到中央部。在凸輪部21a形成有多個(gè)(本實(shí)施方式為三條)第一凸輪溝槽21b及多個(gè)(本實(shí)施方式為三條)第二凸輪溝槽21c。第一凸輪溝槽21b及第二凸輪溝槽21c為交替等間隔形成在周?chē)较?。第一凸輪溝?1b的深度構(gòu)成比第二凸輪溝槽21c更深。并且，第一凸輪溝槽21b及第二凸輪溝槽21c為各上端被封閉而各下端向下方開(kāi)口。

在凸輪部21a的下端形成有多個(gè)(本實(shí)施方式為三個(gè))第一凸輪面21d及多個(gè)(本實(shí)施方式為三個(gè))第二凸輪面21e。第一凸輪面21d及第二凸輪面21e形成為相對(duì)于上下方向(第一引導(dǎo)部21的軸向)傾斜。第一凸輪面21d以第一凸輪溝槽21b的開(kāi)口部為下端，形成為從該下端朝向第二凸輪溝槽21c的開(kāi)口部緩緩上升。第二凸輪面21e以第二凸輪溝槽21c的開(kāi)口部的下方為下端，形成為從該下端朝向第一凸輪溝槽21b的開(kāi)口部緩緩上升。

圖4表示碰觸部22的說(shuō)明圖，(a)表示碰觸部22的透視圖，(b)表示碰觸部22的剖面透視圖。

碰觸部22形成有操作流體流入部22a，成為有底的大致圓筒狀。碰觸部22具有：相當(dāng)于推壓部的接頭螺合部22b；第一操作流體流入部22c；及第二操作流體流入部22d。接頭螺合部22b在其內(nèi)周?chē)?2e形成有內(nèi)螺紋。管接頭3的螺合部3a的外螺紋與該內(nèi)螺紋螺合，從而將管接頭3安裝于碰觸部22。

接頭螺合部22b可上下方向移動(dòng)地配置在第一引導(dǎo)部21內(nèi)。在接頭螺合部22b的外圍設(shè)有多個(gè)(本實(shí)施方式為3個(gè))突起部22f。突起部22f向外方突出，等間隔設(shè)置在周?chē)较?。如圖2所示，突起部22f可上下方向移動(dòng)地插入第二凸輪溝槽21c。在接頭螺合部22b的下端呈鋸齒狀形成有多個(gè)(本實(shí)施方式為6個(gè))山形的第一凸輪突起22g。3個(gè)突起部22f相對(duì)于6個(gè)第一凸輪突起22g，各間隔一個(gè)設(shè)置在這些前端(頂點(diǎn))的上側(cè)。從而，在徑向，將第一凸輪突起22g的各山的頂點(diǎn)(前端)配置成與第一凸輪溝槽21b及第二凸輪溝槽21c相對(duì)。又，各第一凸輪突起22g由相對(duì)于上下方向傾斜的兩個(gè)第三凸輪面22h構(gòu)成。

第一操作流體流入部22c定位在接頭螺合部22b的下側(cè)，形成圓筒狀，構(gòu)成為其外徑比接頭螺合部22b的外徑小。

第二操作流體流入部22d定位在第一操作流體流入部22c的下側(cè)，形成大致圓筒狀，構(gòu)成為其外徑比第一操作流體流入部22c的外徑大。因此，由第一操作流體流入部22c與第二操作流體流入部22d形成相當(dāng)于止動(dòng)器抵接部的階差部22i。第二操作流體流入部22d的下端被圓板部22j堵塞。圓板部22j具有相當(dāng)于開(kāi)閉構(gòu)件的栓22k。栓22k為前端部形成半球形的大致圓柱形，構(gòu)成為其外徑比操作流體導(dǎo)入路10b的內(nèi)徑略小。栓22k可進(jìn)入及退出操作流體導(dǎo)入路10b。又，在第二操作流體流入部22d的下端附近，形成有多個(gè)(本實(shí)施方式為4個(gè))操作流體流出孔22m。如圖2所示，進(jìn)入操作流體導(dǎo)入路10b的狀態(tài)為栓22k的關(guān)閉位置，如圖7所示，從操作流體導(dǎo)入路10b退出的狀態(tài)則為栓22k的開(kāi)啟位置。

圖5表示轉(zhuǎn)子23的透視圖。

如圖5所示，轉(zhuǎn)子23具有：圓筒部23a、突緣部23b及多個(gè)(本實(shí)施方式為3個(gè))第二凸輪突起23c。圓筒部23a的內(nèi)徑構(gòu)成為比第二操作流體流入部22d的外徑大。突緣部23b從圓筒部23a的下端向外方突出，構(gòu)成為其外徑比第一引導(dǎo)部21的內(nèi)徑大。第二凸輪突起23c從突緣部23b向上方延伸，等間隔設(shè)置在周?chē)较?。各第二凸輪突?3c的前端具有相對(duì)于上下方向傾斜的第四凸輪面23d。

如圖2所示，轉(zhuǎn)子23在碰觸部22插入其貫穿孔的狀態(tài)，于接頭螺合部22b的下側(cè)，相對(duì)于第一引導(dǎo)部21可上下方向移動(dòng)且可旋轉(zhuǎn)地配置在第一引導(dǎo)部21內(nèi)。又，第二凸輪突起23c的第四凸輪面23d構(gòu)成為，可抵接于第一引導(dǎo)部21的第一凸輪面21d及第二凸輪面21e和接頭螺合部22b的第三凸輪面22h。再者，第四凸輪面23d的徑向的外方端部定位成比第一引導(dǎo)部21的第二凸輪溝槽21c更靠外側(cè)。從而，第二凸輪突起23c構(gòu)成為，可進(jìn)入及退出第一凸輪溝槽21b，不能進(jìn)入第二凸輪溝槽21c。

止動(dòng)器24呈形成有縫隙的圓板狀。止動(dòng)器24的縫隙的寬度構(gòu)成為，比第一操作流體流入部22c的外徑稍大，比第二操作流體流入部22d的外徑小。朝止動(dòng)器24的縫隙插入第一操作流體流入部22c，止動(dòng)器24抵接于階差部22i，比之第一操作流體流入部22c抑制朝第二操作流體流入部22d的移動(dòng)。再者，構(gòu)成為，轉(zhuǎn)子23的上下方向的長(zhǎng)度(從突緣部23b到第二凸輪突起23c的端部為止的長(zhǎng)度)與止動(dòng)器24的厚度相加所得長(zhǎng)度，和上下方向之第一凸輪突起22g的前端(頂點(diǎn))與階差部22i之間的長(zhǎng)度大致相等。

如圖2所示，第二引導(dǎo)部25形成大致圓筒狀，其上端部螺合于閥蓋6的第二被螺合孔6c2。在第二引導(dǎo)部25形成有彈簧插入孔25a、o環(huán)收容槽25b、流體流入溝槽25c及活塞插入孔25d。

在彈簧插入孔25a中插入第二壓縮螺旋彈簧26。o環(huán)收容槽25b在第二引導(dǎo)部25的內(nèi)周?chē)嬲苓B續(xù)地形成而收容第三o環(huán)25e。第三o環(huán)25e介于碰觸部22的第二操作流體流入部22d與第二引導(dǎo)部25之間，沿碰觸部22的上下方向引導(dǎo)移動(dòng)，防止操作流體流出到壓縮螺旋彈簧11的上方。

流體流入溝槽25c在第二引導(dǎo)部25的內(nèi)周?chē)嬲苓B續(xù)地形成。第二操作流體流入部22d配置為其流體流出孔22m朝向流體流入溝槽25c開(kāi)口。因此，從第二操作流體流入部22d的流體流出孔22m流出的操作流體，流入流體流入溝槽25c。

將活塞10的上端部插入活塞插入孔25d。第四o環(huán)25f介于第二引導(dǎo)部25的下端部與活塞10的上端部之間，防止操作流體泄漏至收容第一壓縮螺旋彈簧11的空間。

第二壓縮螺旋彈簧26插入于彈簧插入孔25a，介于止動(dòng)器24與第二引導(dǎo)部25之間，始終對(duì)轉(zhuǎn)子23及止動(dòng)器24向上方施力。

管接頭3為單觸式接頭，呈l字型。將管接頭3的螺合部3a螺合于碰觸部22的接頭螺合部22b，從而將管接頭3安裝于碰觸部22。又，相對(duì)于管接頭3，插入從操作流體供給源延伸的管子。

接著，針對(duì)閥機(jī)構(gòu)20的動(dòng)作參閱圖6進(jìn)行說(shuō)明。

圖6是表示閥機(jī)構(gòu)20的動(dòng)作轉(zhuǎn)換的圖。圖6的(a1)～(a5)表示第一引導(dǎo)部21、碰觸部22及轉(zhuǎn)子23的展開(kāi)圖，(b1)～(b5)表示第一引導(dǎo)部21、碰觸部22及轉(zhuǎn)子23的前視圖。并且，在圖6的(a1)～(a5)中以實(shí)線表示第一引導(dǎo)部21，以點(diǎn)線表示碰觸部22，并以一點(diǎn)虛線表示轉(zhuǎn)子23。又，在圖6的(b1)～(b5)中，關(guān)于第一引導(dǎo)部21，示出了剖視圖。

圖6的(a1)示出了關(guān)閉狀態(tài)之閥機(jī)構(gòu)20的第一引導(dǎo)部21、碰觸部22及轉(zhuǎn)子23的位置關(guān)系。在此狀態(tài)中，各第二凸輪突起23c的第四凸輪面23d是在第二凸輪溝槽21c的下側(cè)，抵接于第一引導(dǎo)部21的第一凸輪面21d及接頭螺合部22b的第三凸輪面22h。因此，轉(zhuǎn)子23不能從此位置進(jìn)一步向上側(cè)移動(dòng)。又，第二凸輪突起23c的第四凸輪面23d抵接于接頭螺合部22b的第一凸輪突起22g的前端部(頂點(diǎn))。并且構(gòu)成為，轉(zhuǎn)子23的上下方向的長(zhǎng)度與止動(dòng)器24的厚度相加所得長(zhǎng)度，和上下方向之第一凸輪突起22g的前端與階差部22i之間的長(zhǎng)度大致相等，因此碰觸部22也不能從此位置進(jìn)一步向上側(cè)移動(dòng)。

又，圖6的(b1)所示之第一引導(dǎo)部21、碰觸部22及轉(zhuǎn)子23的狀態(tài)，與圖2所示之第一引導(dǎo)部21、碰觸部22及轉(zhuǎn)子23的狀態(tài)相同。因此，如圖2所示，碰觸部22的栓22k是進(jìn)入流體導(dǎo)入路10b內(nèi)的狀態(tài)，防止操作流體流入流體導(dǎo)入路10b。

經(jīng)由用者推壓管接頭3，如圖6的(a2)、(b2)所示，碰觸部22、轉(zhuǎn)子23、止動(dòng)器24抵抗第二壓縮螺旋彈簧26的作用力而下降。第二凸輪突起23c的第四凸輪面23d來(lái)到比凸輪部21a的第二凸輪面21e更下側(cè)時(shí)，轉(zhuǎn)子23因第二壓縮螺旋彈簧26的作用力，使得第二凸輪突起23c的第四凸輪面23d沿著接頭螺合部22b的第三凸輪面22h移動(dòng)。因此，轉(zhuǎn)子23及止動(dòng)器24沿著第三凸輪面22h向上側(cè)移動(dòng)。

圖6的(a3)、(b3)示出了碰觸部22的圓板部22j抵接于活塞10的上端之時(shí)間點(diǎn)的第一引導(dǎo)部21、碰觸部22及轉(zhuǎn)子23的狀態(tài)。如圖6的(a3)、(b3)所示，各第二凸輪突起23c的前端定位在由相鄰之第一凸輪突起22g所形成的谷部。

若使用者停止對(duì)管接頭3的推壓，則會(huì)由于第二壓縮螺旋彈簧26的作用力，使推壓轉(zhuǎn)子23及碰觸部22的接頭螺合部22b被推壓而向上側(cè)移動(dòng)。從而，第二凸輪突起23c的第四凸輪面23d沿著凸輪部21a的第一凸輪面21d移動(dòng)。

如圖6的(a4)、(b4)所示，若第二凸輪突起23c向第一凸輪溝槽21b的下側(cè)移動(dòng)，則第二凸輪突起23c沿著第一凸輪溝槽21b向上側(cè)移動(dòng)。從而，將接頭螺合部22b上推。

并且，如圖6的(a5)、(b5)所示，當(dāng)突起部22f到達(dá)第二凸輪溝槽21c的上端時(shí)，則碰觸部22及轉(zhuǎn)子23的上升會(huì)停止，如圖7所示，碰觸部22的栓22k成為從操作流體導(dǎo)入路10b退出的狀態(tài)，閥機(jī)構(gòu)20成為開(kāi)啟狀態(tài)。因此，在碰觸部22的操作流體流入路22a中通過(guò)并從操作流體流出孔22m流出的操作流體，流入流體導(dǎo)入路10b。

從而，將操作流體導(dǎo)入操作流體導(dǎo)入室10a，心柱9及活塞10抵抗第一壓縮螺旋彈簧11的作用力從下死點(diǎn)向上死點(diǎn)移動(dòng)，隔膜壓件8因隔膜7的彈性力及流體的壓力而向上側(cè)移動(dòng)，閥1成為開(kāi)啟狀態(tài)。

又，為了使處于開(kāi)啟狀態(tài)的閥機(jī)構(gòu)20成為關(guān)閉狀態(tài)，使用者推壓管接頭3，使碰觸部22、轉(zhuǎn)子23、止動(dòng)器24抵抗第二壓縮螺旋彈簧26的作用力而下降。從而，使第二凸輪突起23c沿著第三凸輪面22h及第一凸輪面21d移動(dòng)而使得轉(zhuǎn)子23旋轉(zhuǎn)，轉(zhuǎn)子23成為圖6的(a1)、(b1)所示的狀態(tài)，閥機(jī)構(gòu)20成為關(guān)閉狀態(tài)。

并且，本實(shí)施方式的閥1中，即使將閥機(jī)構(gòu)20從開(kāi)啟狀態(tài)變?yōu)殛P(guān)閉狀態(tài)，閥1也會(huì)保持開(kāi)啟狀態(tài)，為了使閥1成為關(guān)閉狀態(tài)，則需要停止對(duì)閥1的流體供給。

如以上說(shuō)明，根據(jù)本實(shí)施方式的閥1，具備設(shè)于殼體(閥帽5及閥蓋6)，可開(kāi)閉朝驅(qū)動(dòng)單元之操作流體的通路的閥機(jī)構(gòu)20。從而，即使因錯(cuò)誤操作而供給操作流體，也會(huì)由于預(yù)先使閥機(jī)構(gòu)20成為關(guān)閉狀態(tài)，而使得操作流體不會(huì)到達(dá)驅(qū)動(dòng)單元。從而，由于閥1不會(huì)成為開(kāi)啟狀態(tài)，可抑制氣體因意外而供給至半導(dǎo)體制造裝置等。

又，閥機(jī)構(gòu)20構(gòu)成為，每當(dāng)接頭螺合部22b被使用者推壓一次，則是栓22k從開(kāi)啟位置移動(dòng)至關(guān)閉位置，或是從關(guān)閉位置移動(dòng)至開(kāi)啟位置。因此，是通過(guò)使用者手動(dòng)進(jìn)行閥機(jī)構(gòu)20的開(kāi)閉，可抑制因意外而向驅(qū)動(dòng)單元供給操作流體。

又，由于閥機(jī)構(gòu)20具有操作流體流入路22a，而該操作流體流入路22a流入來(lái)自外部之操作流體并與操作流體導(dǎo)入路10b連通，因此能夠使閥機(jī)構(gòu)20在開(kāi)閉操作流體導(dǎo)入路10b之機(jī)構(gòu)的基礎(chǔ)上還具有使操作流體流入的功能。因此，可簡(jiǎn)化閥1整體的構(gòu)成。又，閥機(jī)構(gòu)20是設(shè)置在殼體(閥帽5及閥蓋6)的內(nèi)部，因此可以從外部保護(hù)閥機(jī)構(gòu)20。

又，閥機(jī)構(gòu)20是由第一引導(dǎo)部21、碰觸部22、轉(zhuǎn)子23及第二壓縮螺旋彈簧26所構(gòu)成，以碰觸方式進(jìn)行操作流體導(dǎo)入路10b的開(kāi)閉，因此能夠通過(guò)簡(jiǎn)單的構(gòu)成來(lái)進(jìn)行操作流體導(dǎo)入路10b的開(kāi)閉。

又，在栓22k位于關(guān)閉位置時(shí)，止動(dòng)器24抵接于碰觸部22的階差部22i，限制朝碰觸部22之上側(cè)的移動(dòng)，因此在閥機(jī)構(gòu)20處于關(guān)閉狀態(tài)時(shí)，可防止碰觸部22的移動(dòng)。

并且，本發(fā)明不為上述的實(shí)施例所限定。就本領(lǐng)域人員而言，在本發(fā)明的范圍內(nèi)可進(jìn)行多種追加或變更等。

例如，上述的實(shí)施方式中，針對(duì)將閥1設(shè)置成管接頭3側(cè)為上側(cè)而主體2為下側(cè)的形態(tài)已作說(shuō)明，但設(shè)置方向不為此所限制，也可以設(shè)置在水平方向或調(diào)換上下方向來(lái)進(jìn)行設(shè)置。

又，管接頭3雖是呈l字型，但也可形成直線形(i字型)。并且，雖然構(gòu)成為在接頭螺合部22b安裝接頭3，但是也可以構(gòu)成為直接安裝從操作流體供給源延伸的氣管。

又，雖然構(gòu)成為操作流體在閥機(jī)構(gòu)20內(nèi)流動(dòng)，且在閥機(jī)構(gòu)20安裝管接頭3，但是也可以構(gòu)成為，操作流體不經(jīng)閥機(jī)構(gòu)20地流入第二引導(dǎo)部25的流體流入溝槽25c，而閥機(jī)構(gòu)20僅進(jìn)行流路的開(kāi)閉。根據(jù)該構(gòu)成，閥機(jī)構(gòu)20可應(yīng)用普通的碰觸式圓珠筆的構(gòu)成。

并且，雖然構(gòu)成為，第二操作流體流入部22d的外徑，比第一操作流體流入部22c的外徑大，形成階差部22i而抵接止動(dòng)器24，但是，也可以使第二操作流體流入部22d的外徑，與第一操作流體流入部22c的外徑相等，而在階差部22i的位置設(shè)置向外方突出的突起部。

又，圓板部22j及栓22k是一體地設(shè)置在第二操作流體流入部22d的圓筒部的前端。但是，也可以將圓板部22j及栓22k從第二操作流體流入部22d的圓筒部分離成獨(dú)立個(gè)體，并構(gòu)成為，在第二操作流體流入部22d的圓筒部與圓板部22j及栓22k之間設(shè)置螺旋彈簧，由螺旋彈簧對(duì)圓板部22j及栓22k向操作流體導(dǎo)入路10b施力。

閥1雖是隔膜閥，但只要是以操作流體進(jìn)行驅(qū)動(dòng)的閥則也可以是其他的閥。又，操作流體也是氣體及液體皆可。并且，閥機(jī)構(gòu)20也可以設(shè)置在殼體(閥帽5及閥蓋6)的外部。

附圖標(biāo)記說(shuō)明

1：閥；2：閥主體；4：主體；5：閥帽；6：閥蓋；7：隔膜；8：隔膜壓件；9：心柱；10：活塞；10b：操作流體導(dǎo)入路；11：第一壓縮螺旋彈簧；20：碰觸式閥機(jī)構(gòu)；21：第一引導(dǎo)部；21a：凸輪部；21b：第一凸輪溝槽；21d：第一凸輪面；21e：第二凸輪面；22：碰觸部；22a：操作流體流入路；22b：接頭螺合部；22c：第一操作流體流入部；22d：第二操作流體流入部；22i：階差部；22k：栓；23：轉(zhuǎn)子；23c：第二凸輪突起；23d：第四凸輪面；24：止動(dòng)器；26：第二壓縮螺旋彈簧。