本發(fā)明涉及適合于例如機(jī)械密封件、軸承及其它滑動(dòng)部的滑動(dòng)部件。特別是涉及需要使流體介于滑動(dòng)面之間來減小摩擦并且防止流體從滑動(dòng)面泄漏的密封環(huán)或軸承等滑動(dòng)部件。

背景技術(shù)：
在作為滑動(dòng)部件的一個(gè)示例的機(jī)械密封件中，通過泄漏量、磨損量以及轉(zhuǎn)矩來評(píng)價(jià)其性能。在以往技術(shù)中，通過使機(jī)械密封件的滑動(dòng)材質(zhì)及滑動(dòng)面粗糙度最優(yōu)化來提高性能，并實(shí)現(xiàn)低泄漏、高壽命、低轉(zhuǎn)矩。但是，由于近年對(duì)于環(huán)境問題的意識(shí)的提高，要求機(jī)械密封件進(jìn)一步提高性能，需要超越以往技術(shù)框架的技術(shù)開發(fā)。在這樣的情況下，例如，在用于水冷式發(fā)動(dòng)機(jī)的冷卻的水泵的機(jī)械密封件中，隨著時(shí)間的推移，作為防凍液的一種的LLC(LiquidLevelControl：液面控制)的添加劑、例如硅酸鹽、磷酸鹽等(下面，稱為“堆積物產(chǎn)生原因物質(zhì)”)有可能在滑動(dòng)面上濃縮而生成堆積物，機(jī)械密封件的功能降低，對(duì)于這點(diǎn)，本件發(fā)明人已確認(rèn)?？梢哉J(rèn)為該堆積物的生成的現(xiàn)象在處理藥劑或油的設(shè)備的機(jī)械密封件中也同樣產(chǎn)生。在以往的機(jī)械密封件中，已知如下這種機(jī)械密封件：為了防止滑動(dòng)面因摩擦發(fā)熱而產(chǎn)生磨損或燒損，在滑動(dòng)面上形成有流體導(dǎo)入槽以形成流體層(例如，參照專利文獻(xiàn)1、2、3)，但現(xiàn)狀是，尚未提出尋求到如下對(duì)策的結(jié)構(gòu)：不僅減少泄漏及磨損還用于防止在滑動(dòng)面上生成堆積物。現(xiàn)有技術(shù)文獻(xiàn)專利文獻(xiàn)專利文獻(xiàn)1：日本特開平7-180772號(hào)公報(bào)專利文獻(xiàn)2：日本特開平7-224948號(hào)公報(bào)專利文獻(xiàn)3：美國(guó)專利第5498007號(hào)說明書

技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素：
發(fā)明要解決的課題本發(fā)明的目的在于，提供一種滑動(dòng)部件，其能夠兼顧密封和潤(rùn)滑這樣相悖的條件，并且積極地將流體引入到滑動(dòng)面，并使該流體從滑動(dòng)面排出，從而防止堆積物產(chǎn)生原因物質(zhì)在滑動(dòng)面上濃縮，進(jìn)而防止堆積物產(chǎn)生，能夠長(zhǎng)期地維持滑動(dòng)面的密封功能。用于解決課題的手段為了達(dá)成所述目的，本發(fā)明的滑動(dòng)部件的第一特征在于，在一對(duì)滑動(dòng)部件的彼此相對(duì)滑動(dòng)的滑動(dòng)面的至少一側(cè)設(shè)置有流體循環(huán)槽，所述流體循環(huán)槽由從高壓流體側(cè)進(jìn)入的入口部、向高壓流體側(cè)排出的出口部、以及將所述入口部和所述出口部連通的連通部構(gòu)成，所述流體循環(huán)槽借助于臺(tái)面部與低壓流體側(cè)隔離開，所述流體循環(huán)槽的底壁的截面形成為圓底形狀。根據(jù)該特征，能夠提供一種滑動(dòng)部件，其能夠兼顧密封和潤(rùn)滑這樣的相悖的條件，并且積極地將流體引入到滑動(dòng)面，并使該流體從滑動(dòng)面排出，從而防止堆積物產(chǎn)生原因物質(zhì)在滑動(dòng)面上濃縮，進(jìn)而防止堆積物產(chǎn)生，能夠長(zhǎng)期地維持滑動(dòng)面的密封功能。特別是，由于流體循環(huán)槽的底壁的截面形成為圓底形狀，因此能夠防止流體在底壁附近處的滯留，能夠進(jìn)一步提高流體循環(huán)效果。此外，本發(fā)明的滑動(dòng)部件的第二特征在于，在第一特征中，所述流體循環(huán)槽沿所述滑動(dòng)面的周向被臺(tái)面部隔離開地設(shè)置有多個(gè)，俯視觀察時(shí)，所述入口部和所述出口部從低壓側(cè)朝向高壓側(cè)分別向張開的方向傾斜。根據(jù)該特征，能夠容易將流體均勻地引入到整個(gè)滑動(dòng)面上并排出。此外，本發(fā)明的滑動(dòng)部件的第三特征在于，在第一或第二特征中，在由所述流體循環(huán)槽和高壓流體側(cè)圍著的部分設(shè)置有正壓產(chǎn)生機(jī)構(gòu)，所述正壓產(chǎn)生機(jī)構(gòu)由比所述流體循環(huán)槽淺的正壓產(chǎn)生槽構(gòu)成，所述正壓產(chǎn)生機(jī)構(gòu)與所述入口部連通，借助于臺(tái)面部與所述出口部和所述高壓流體側(cè)隔離開。根據(jù)該特征，能夠提供如下的滑動(dòng)部件：通過增加滑動(dòng)面之間的流體膜，從而提高潤(rùn)滑性能，此外，通過利用臺(tái)面部進(jìn)行密封，從而能夠兼顧密封和潤(rùn)滑這樣的相悖的條件，并且能夠防止在滑動(dòng)面上產(chǎn)生堆積物。此外，本發(fā)明的滑動(dòng)部件的第四特征在于，在第三特征中，所述正壓產(chǎn)生機(jī)構(gòu)由瑞利臺(tái)階機(jī)構(gòu)構(gòu)成。根據(jù)該特征，通過在滑動(dòng)面設(shè)置瑞利臺(tái)階，從而能夠容易地形成正壓產(chǎn)生機(jī)構(gòu)。此外，本發(fā)明的滑動(dòng)部件的第五特征在于，在第一至第四特征中的任一特征中，在由所述一側(cè)的滑動(dòng)面的所述流體循環(huán)槽和高壓流體側(cè)圍著的部分的外側(cè)設(shè)置有螺旋槽，所述螺旋槽通過所述滑動(dòng)部件的相對(duì)滑動(dòng)而將流體向高壓流體側(cè)排出，所述螺旋槽與高壓流體側(cè)連通，借助于臺(tái)面部與低壓流體側(cè)隔離開。根據(jù)該特征，將在未設(shè)置正壓產(chǎn)生機(jī)構(gòu)處的相鄰的流體循環(huán)槽之間欲從高壓流體側(cè)向低壓流體側(cè)泄漏的被密封流體推回到高壓流體側(cè)，提高密封性，能夠提高整個(gè)滑動(dòng)面的密封性。此外，由于螺旋槽借助于臺(tái)面部與低壓流體側(cè)隔離開，因此也不會(huì)在靜止時(shí)產(chǎn)生泄漏。此外，本發(fā)明的滑動(dòng)部件的第六特征在于，在第一至第四特征中的任一特征中，在由所述一側(cè)的滑動(dòng)面的所述流體循環(huán)槽和高壓流體側(cè)圍著的部分的外側(cè)設(shè)置有負(fù)壓產(chǎn)生機(jī)構(gòu)，所述負(fù)壓產(chǎn)生機(jī)構(gòu)由比所述流體循環(huán)槽淺的負(fù)壓產(chǎn)生槽構(gòu)成，所述負(fù)壓產(chǎn)生槽與所述入口部連通，借助于臺(tái)面部與所述出口部和所述低壓流體側(cè)隔離開。根據(jù)該特征，通過將在未設(shè)置瑞利臺(tái)階機(jī)構(gòu)的部分即相鄰的流體循環(huán)槽之間欲從高壓流體側(cè)向低壓流體側(cè)泄漏的被密封流體引入到負(fù)壓產(chǎn)生槽，并使該被密封流體經(jīng)流體循環(huán)槽而回到高壓流體側(cè)，從而提高密封性，能夠提高整個(gè)滑動(dòng)面的密封性。此外，本發(fā)明的滑動(dòng)部件的第七特征在于，在第六特征中，所述負(fù)壓產(chǎn)生機(jī)構(gòu)由倒瑞利臺(tái)階機(jī)構(gòu)構(gòu)成。根據(jù)該特征，通過在滑動(dòng)面設(shè)置倒瑞利臺(tái)階，從而能夠容易地形成負(fù)壓產(chǎn)生機(jī)構(gòu)。此外，本發(fā)明的滑動(dòng)部件的第八特征在于，在第一至第七特征中的任一特征中，所述滑動(dòng)部件被設(shè)定成：至少所述入口部或者所述出口部處的槽的截面積與所述連通部處的槽的截面積不同，使得在所述流體循環(huán)槽中流動(dòng)的流體在所述連通部處的壓力降低。根據(jù)該特征，能夠提供如下的滑動(dòng)部件：通過使在流體循環(huán)槽中流動(dòng)的流體在連通部處的壓力降低，防止被引入到滑動(dòng)面上的流體向低壓流體側(cè)泄漏，從而能夠長(zhǎng)期地維持滑動(dòng)面的密封功能。此外，本發(fā)明的滑動(dòng)部件的第九特征在于，在第八特征中，所述入口部的槽的截面積被設(shè)定成小于所述連通部和所述出口部的槽的截面積。根據(jù)該特征，能夠確保流體相對(duì)于滑動(dòng)面的引入，并能夠使在流體循環(huán)槽中流動(dòng)的流體在連通部處的壓力降低。此外，本發(fā)明的滑動(dòng)部件的第十特征在于，在第八特征中，所述出口部的槽的截面積被設(shè)定成大于所述連通部和所述入口部的槽的截面積。根據(jù)該特征，能夠確保流體相對(duì)于滑動(dòng)面的引入，并能夠使在流體循環(huán)槽中流動(dòng)的流體在連通部處的壓力降低。發(fā)明效果本發(fā)明起到如下的優(yōu)異效果：(1)能夠提供一種滑動(dòng)部件，其能夠兼顧密封和潤(rùn)滑這樣的相悖的條件，并且積極地將流體引入到滑動(dòng)面，并使該流體從滑動(dòng)面排出，從而防止堆積物產(chǎn)生原因物質(zhì)在滑動(dòng)面上濃縮，進(jìn)而防止堆積物產(chǎn)生，能夠長(zhǎng)期地維持滑動(dòng)面的密封功能。特別是，由于流體循環(huán)槽的底壁的截面形成為圓底形狀，因此能夠防止流體在底壁附近處的滯留，能夠進(jìn)一步提高流體循環(huán)效果。(2)由于流體循環(huán)槽沿滑動(dòng)面的周向被臺(tái)面部隔離開地設(shè)置有多個(gè)，俯視觀察時(shí)，入口部和出口部從低壓側(cè)朝向高壓側(cè)分別向張開的方向傾斜，因此，能夠容易將流體均勻地引入到整個(gè)滑動(dòng)面上并排出。(3)由于在由流體循環(huán)槽和高壓流體側(cè)圍著的部分設(shè)置有正壓產(chǎn)生機(jī)構(gòu)，所述正壓產(chǎn)生機(jī)構(gòu)由比流體循環(huán)槽淺的正壓產(chǎn)生槽構(gòu)成，正壓產(chǎn)生機(jī)構(gòu)與所述入口部連通，借助于臺(tái)面部與出口部和高壓流體側(cè)隔離開，因此，能夠提供如下的滑動(dòng)部件：通過增加滑動(dòng)面之間的流體膜，從而提高潤(rùn)滑性能，此外，通過利用臺(tái)面部進(jìn)行密封，從而能夠兼顧密封和潤(rùn)滑這樣的相悖的條件，并且能夠防止在滑動(dòng)面上產(chǎn)生堆積物。(4)由于正壓產(chǎn)生機(jī)構(gòu)由瑞利臺(tái)階機(jī)構(gòu)構(gòu)成，因此，通過在滑動(dòng)面設(shè)置瑞利臺(tái)階，從而能夠容易地形成正壓產(chǎn)生機(jī)構(gòu)。(5)由于在由一側(cè)的滑動(dòng)面的所述流體循環(huán)槽和高壓流體側(cè)圍著的部分的外側(cè)設(shè)置有螺旋槽，所述螺旋槽通過所述滑動(dòng)部件的相對(duì)滑動(dòng)而將流體向高壓流體側(cè)排出，所述螺旋槽與高壓流體側(cè)連通，借助于臺(tái)面部與低壓流體側(cè)隔離開，因此，將在未設(shè)置正壓產(chǎn)生機(jī)構(gòu)處的相鄰的流體循環(huán)槽之間欲從高壓流體側(cè)向低壓流體側(cè)泄漏的被密封流體推回到高壓流體側(cè)，提高密封性，能夠提高整個(gè)滑動(dòng)面的密封性。此外，由于螺旋槽借助于臺(tái)面部與低壓流體側(cè)隔離開，因此也不會(huì)在靜止時(shí)產(chǎn)生泄漏。(6)由于在由一側(cè)的滑動(dòng)面的所述流體循環(huán)槽和高壓流體側(cè)圍著的部分的外側(cè)設(shè)置有負(fù)壓產(chǎn)生機(jī)構(gòu)，所述負(fù)壓產(chǎn)生機(jī)構(gòu)由比流體循環(huán)槽淺的負(fù)壓產(chǎn)生槽構(gòu)成，負(fù)壓產(chǎn)生槽與所述入口部連通，借助于臺(tái)面部與出口部和低壓流體側(cè)隔離開，因此，通過將在未設(shè)置瑞利臺(tái)階機(jī)構(gòu)的部分即相鄰的流體循環(huán)槽之間欲從高壓流體側(cè)向低壓流體側(cè)泄漏的被密封流體引入到負(fù)壓產(chǎn)生槽，并使該被密封流體經(jīng)流體循環(huán)槽而回到高壓流體側(cè)，從而提高密封性，能夠提高整個(gè)滑動(dòng)面的密封性。(7)由于負(fù)壓產(chǎn)生機(jī)構(gòu)由倒瑞利臺(tái)階機(jī)構(gòu)構(gòu)成，因此，通過在滑動(dòng)面設(shè)置倒瑞利臺(tái)階，從而能夠容易地形成負(fù)壓產(chǎn)生機(jī)構(gòu)。(8)由于滑動(dòng)部件被設(shè)定成：至少所述入口部或者所述出口部處的槽的截面積與所述連通部處的槽的截面積不同，使得在流體循環(huán)槽中流動(dòng)的流體在所述連通部處的壓力降低，因此，能夠提供如下的滑動(dòng)部件：通過使在流體循環(huán)槽中流動(dòng)的流體在連通部處的壓力降低，防止被引入到滑動(dòng)面上的流體向低壓流體側(cè)泄漏，從而能夠長(zhǎng)期地維持滑動(dòng)面的密封功能。(9)由于入口部的槽的截面積被設(shè)定成小于或者大于連通部和出口部的槽的截面積，因此，能夠確保流體相對(duì)于滑動(dòng)面的引入，并能夠使在流體循環(huán)槽中流動(dòng)的流體在連通部處的壓力降低。附圖說明圖1是示出本發(fā)明的實(shí)施例1的機(jī)械密封件的一個(gè)示例的縱剖視圖。圖2示出了本發(fā)明的實(shí)施例1的滑動(dòng)部件的滑動(dòng)面，示出了流體循環(huán)槽沿周向獨(dú)立地設(shè)置有多個(gè)的情況。圖3是圖2中的A-A剖視圖。圖4示出了本發(fā)明的實(shí)施例2的滑動(dòng)部件的滑動(dòng)面。圖5示出了本發(fā)明的實(shí)施例3的滑動(dòng)部件的滑動(dòng)面。圖6示出了本發(fā)明的實(shí)施例4的滑動(dòng)部件的滑動(dòng)面。圖7是圖6中的B-B剖視圖。圖8用于說明由瑞利臺(tái)階機(jī)構(gòu)等構(gòu)成的正壓產(chǎn)生機(jī)構(gòu)和由倒瑞利臺(tái)階機(jī)構(gòu)等構(gòu)成的負(fù)壓產(chǎn)生機(jī)構(gòu)，圖(a)示出了瑞利臺(tái)階機(jī)構(gòu)，圖(b)示出了倒瑞利臺(tái)階機(jī)構(gòu)。圖9是對(duì)流體循環(huán)槽的底壁的截面形狀與在流體循環(huán)槽內(nèi)流動(dòng)的流體的滯留之間的關(guān)系進(jìn)行CFD(ComputationalFluidDynamics：計(jì)算流體動(dòng)力學(xué))分析并模擬其結(jié)果的說明圖。具體實(shí)施方式下面，參照附圖而根據(jù)實(shí)施例來示例性地對(duì)用于實(shí)施本發(fā)明的方式進(jìn)行說明。但是，關(guān)于該實(shí)施例中記載的構(gòu)成部件的尺寸、材質(zhì)、形狀及其相對(duì)的配置等，只要沒有特別明示的記載，則本發(fā)明的范圍不僅限定于這些。實(shí)施例1參照?qǐng)D1至圖3來對(duì)本發(fā)明的實(shí)施例1的滑動(dòng)部件進(jìn)行說明。另外，在下面的實(shí)施例中，列舉作為滑動(dòng)部件的一個(gè)示例的機(jī)械密封件為例來進(jìn)行說明。此外，將構(gòu)成機(jī)械密封件的滑動(dòng)部件的外周側(cè)作為高壓流體側(cè)(被密封流體側(cè))、將內(nèi)周側(cè)作為低壓流體側(cè)(大氣側(cè))來進(jìn)行說明，但本發(fā)明不限于此，也可以應(yīng)用于高壓流體側(cè)和低壓流體側(cè)相反的情況。圖1是示出機(jī)械密封件的一個(gè)示例的縱剖視圖，并且是對(duì)欲從滑動(dòng)面的外周朝向內(nèi)周方向泄漏的高壓流體側(cè)的被密封流體進(jìn)行密封的形式的內(nèi)側(cè)形式的機(jī)械密封件，設(shè)置有：作為一個(gè)滑動(dòng)部件的圓環(huán)狀的旋轉(zhuǎn)環(huán)3；和作為另一個(gè)滑動(dòng)部件的圓環(huán)狀的固定環(huán)5，所述旋轉(zhuǎn)環(huán)3借助于套筒2以能夠與該旋轉(zhuǎn)軸1一體地旋轉(zhuǎn)的狀態(tài)被設(shè)置在對(duì)高壓流體側(cè)的泵輪(省略圖示)進(jìn)行驅(qū)動(dòng)的旋轉(zhuǎn)軸1側(cè)，所述固定環(huán)5以非旋轉(zhuǎn)狀態(tài)且能夠軸向移動(dòng)的狀態(tài)被設(shè)置于泵的外殼4，利用沿著軸向?qū)潭ōh(huán)5施力的螺旋波浪形彈簧6和波紋管7，使通過研磨等被鏡面加工成的滑動(dòng)面S彼此緊貼地滑動(dòng)。即，該機(jī)械密封件防止被密封流體在旋轉(zhuǎn)環(huán)3與固定環(huán)5彼此的滑動(dòng)面S上從旋轉(zhuǎn)軸1的外周流出到大氣側(cè)。另外，在圖1中，示出了旋轉(zhuǎn)環(huán)3的滑動(dòng)面的寬度寬于固定環(huán)5的滑動(dòng)面的寬度的情況，但不限于此，當(dāng)然，在相反的情況下也能夠應(yīng)用本發(fā)明。圖2示出了本發(fā)明的實(shí)施例1的滑動(dòng)部件的滑動(dòng)面，這里，以在圖2的固定環(huán)5的滑動(dòng)面上形成流體循環(huán)槽的情況為例來進(jìn)行說明。另外，在旋轉(zhuǎn)環(huán)3的滑動(dòng)面上形成流體循環(huán)槽的情況也基本上相同，但在該情況下，由于流體循環(huán)槽與被密封流體側(cè)連通即可，因此無需設(shè)置到滑動(dòng)面的外周側(cè)。在圖2中，固定環(huán)5的滑動(dòng)面的外周側(cè)是高壓流體側(cè)，此外，內(nèi)周側(cè)是低壓流體側(cè)、例如大氣側(cè)，對(duì)方滑動(dòng)面沿著逆時(shí)針方向旋轉(zhuǎn)。在固定環(huán)5的滑動(dòng)面上，在周向上設(shè)置有多個(gè)流體循環(huán)槽10，所述流體循環(huán)槽10與高壓流體側(cè)連通，并借助于滑動(dòng)面的平滑部R(在本發(fā)明中，有時(shí)稱為“臺(tái)面部”)與低壓流體側(cè)隔離開。流體循環(huán)槽10由從高壓流體側(cè)進(jìn)入的入口部10a、向高壓流體側(cè)排出的出口部10b、以及將入口部10a與出口部10b沿周向連通的連通部10c構(gòu)成，其借助于臺(tái)面部R與低壓流體側(cè)隔離開。由于流體循環(huán)槽10防止包括腐蝕生成物等在內(nèi)的流體在滑動(dòng)面上濃縮，因此起到積極地將被密封流體從高壓流體側(cè)導(dǎo)入到滑動(dòng)面上并排出的作用，流體循環(huán)槽10形成有入口部10a和出口部10b，以便容易與對(duì)方滑動(dòng)面的旋轉(zhuǎn)方向相對(duì)應(yīng)地將被密封流體引入到滑動(dòng)面上且容易排出，另一方面，為了減少泄漏，流體循環(huán)槽10借助于臺(tái)面部R與低壓流體側(cè)隔離開。另外，流體循環(huán)槽的形狀可以采用如圖2所示的大致V字形、或者大致U字形等各種形態(tài)，但在本說明書中，作為原則，以“從高壓流體側(cè)進(jìn)入的入口部”是指流體循環(huán)槽的朝向內(nèi)徑方向的部分、“向高壓流體側(cè)排出的出口部”是指流體循環(huán)槽的外徑方向的部分來進(jìn)行說明。因此，“將入口部與出口部連通的連通部”存在極短的情況到具有相當(dāng)程度的長(zhǎng)度的情況。在本示例中，俯視觀察滑動(dòng)面，流體循環(huán)槽10形成為以滑動(dòng)面的半徑線r為基準(zhǔn)而左右大致對(duì)稱的形狀，流體循環(huán)槽10的左右的部分、即入口部10a與出口部10b所成的高壓流體側(cè)的交角α設(shè)定在120°～180°的范圍。另外，在流體循環(huán)槽10的俯視觀察時(shí)的形狀中，無需是以半徑線r為基準(zhǔn)而必須左右對(duì)稱的形狀，也可以使入口部10a的交角α1大于出口部10b的交角α2，此外，也可以相反。在本說明書中，所謂左右大致對(duì)稱的情況是指α1＝α2±5°的范圍。此外，作為交角α，優(yōu)選的范圍是120°～180°的范圍，但不一定限定于120°～180°的范圍。并且，在流體循環(huán)槽10的俯視觀察時(shí)的形狀中，也可以沒有直線部分而整體為曲線狀(圓弧狀等)。此外，流體循環(huán)槽10的寬度和深度根據(jù)被密封流體的壓力、種類(粘性)等而設(shè)定成最適合的尺寸即可。由于圖2所示的流體循環(huán)槽10是左右對(duì)稱且交角α為160°那么大，因此，被密封流體向入口部10a的流入和被密封流體從出口部10b的排出容易。在設(shè)置有流體循環(huán)槽10的滑動(dòng)面上，在由流體循環(huán)槽10和高壓流體側(cè)圍著的部分設(shè)置有正壓產(chǎn)生機(jī)構(gòu)11，所述正壓產(chǎn)生機(jī)構(gòu)11具備比流體循環(huán)槽10淺的正壓產(chǎn)生槽11a。通過正壓產(chǎn)生機(jī)構(gòu)11產(chǎn)生正壓(動(dòng)壓)，從而使滑動(dòng)面之間的流體膜增加，提高潤(rùn)滑性能。正壓產(chǎn)生槽11a與流體循環(huán)槽10的入口部連通，并借助于臺(tái)面部R與出口部10b和高壓流體側(cè)隔離開。在本示例中，正壓產(chǎn)生機(jī)構(gòu)11由瑞利臺(tái)階機(jī)構(gòu)構(gòu)成，所述瑞利臺(tái)階機(jī)構(gòu)具備與流體循環(huán)槽10的入口部10a連通的正壓產(chǎn)生槽11a和瑞利臺(tái)階11b，但不限于此，例如，也可以由帶堰部的飛母托槽構(gòu)成，關(guān)鍵是產(chǎn)生正壓的機(jī)構(gòu)即可。另外，關(guān)于瑞利臺(tái)階機(jī)構(gòu)和倒瑞利臺(tái)階機(jī)構(gòu)，后面詳細(xì)地進(jìn)行說明。下面，參照?qǐng)D3對(duì)流體循環(huán)槽10的截面形狀進(jìn)行說明。另外，在本發(fā)明中，流體循環(huán)槽的截面是指與該流體循環(huán)槽的長(zhǎng)邊方向垂直的截面。在圖3(a)中，流體循環(huán)槽10由兩側(cè)壁10d、10d和底壁10e構(gòu)成，底壁10e的截面形成為由與兩側(cè)壁10d、10d連接的單一的圓弧連結(jié)而成的圓底形狀。即，在設(shè)槽寬為d的情況下，圓弧的半徑R1被設(shè)定為R1≥d/2。因此，底壁10e形成為由半徑為R1的單一的圓弧連結(jié)而成的圓底形狀。此外，兩側(cè)壁10d、10d和臺(tái)面部R被半徑為R2的圓弧連接起來。圖3(b)示出了流體循環(huán)槽10的截面形狀的其它示例。在本示例中，流體循環(huán)槽10的兩側(cè)壁10d、10d和底壁10e在兩角處被半徑為R3的圓弧連結(jié)起來。在設(shè)槽寬為d的情況下，半徑R3的大小被設(shè)定為d/3＜R3＜d/2。因此，底壁10e的中央部的一部分包括直線部，但整體上為圓底形狀。另外，由于R3與通常進(jìn)行的角部的圓角加工的目的不同，因此R3被設(shè)定成大于圓角加工中的圓角。此外，底壁10e的形狀不一定限定于兩側(cè)壁10d、10d和底壁10e由半徑為R1的單一的圓弧、或者在兩角處分別由R3的圓弧連結(jié)而成的圓底形狀，還包括例如由橢圓或者平滑的曲線構(gòu)成的圓底形狀。另外，在本發(fā)明中，除了圖3(a)和圖3(b)所示的圓底形狀以外，統(tǒng)稱由橢圓或者平滑的曲線構(gòu)成的圓底形狀，稱為“流體循環(huán)槽的底壁的截面形成為圓底形狀”。作為形成底壁的截面為圓底形狀的流體循環(huán)槽的方法，例如，有如下的方法：在通過模具成形方式制造滑動(dòng)部件時(shí)，同時(shí)地成形流體循環(huán)槽。除此以外，也可以通過機(jī)械加工等來成形。如以上說明的那樣，根據(jù)實(shí)施例1的結(jié)構(gòu)，利用流體循環(huán)槽10將流體積極地導(dǎo)入到滑動(dòng)面上并排出，從而滑動(dòng)面之間的流體進(jìn)行循環(huán)，防止包括堆積物產(chǎn)生原因物質(zhì)等在內(nèi)的流體的濃縮、以及磨損粉末及異物的滯留，進(jìn)而防止堆積物形成，能夠長(zhǎng)期地維持滑動(dòng)面的密封功能。此時(shí)，由于流體循環(huán)槽10借助于臺(tái)面部R與低壓流體側(cè)隔離開，因此能夠減少流體從流體循環(huán)槽10向低壓流體側(cè)的泄漏，并且還能夠防止靜止時(shí)的泄漏。此外，同時(shí)利用正壓產(chǎn)生機(jī)構(gòu)11來增加滑動(dòng)面之間的流體膜，從而提高潤(rùn)滑性能，能夠進(jìn)一步促進(jìn)滑動(dòng)面之間的流體的循環(huán)。并且，由于流體循環(huán)槽10的底壁10e的截面形成為圓底形狀，因此能夠防止流體在底壁附近處的滯留，能夠進(jìn)一步提高流體循環(huán)效果。實(shí)施例2參照?qǐng)D4對(duì)本發(fā)明的實(shí)施例2的滑動(dòng)部件進(jìn)行說明。實(shí)施例2的滑動(dòng)部件在滑動(dòng)面上沿周向4等分地配設(shè)有流體循環(huán)槽10這點(diǎn)、以及在滑動(dòng)面上附加地設(shè)置有將流體向高壓流體側(cè)排出的螺旋槽12這點(diǎn)上與實(shí)施例1的滑動(dòng)部件不同，但其它基本結(jié)構(gòu)與實(shí)施例1相同，對(duì)相同部件標(biāo)注相同標(biāo)號(hào)，省略重復(fù)的說明。在圖4中，在由固定環(huán)5的滑動(dòng)面的流體循環(huán)槽10和高壓流體側(cè)圍著的部分的外側(cè)、即相鄰的流體循環(huán)槽10、10之間設(shè)置有螺旋槽12，所述螺旋槽12通過旋轉(zhuǎn)環(huán)3與固定環(huán)5的相對(duì)滑動(dòng)而將流體向高壓流體側(cè)排出。螺旋槽12以從內(nèi)周側(cè)朝向外周側(cè)地向逆時(shí)針方向傾斜的方式呈曲線狀(螺旋狀)地設(shè)置多條，所述螺旋槽12與高壓流體側(cè)連通，并且借助于臺(tái)面部R與低壓流體側(cè)隔離開。螺旋槽12將欲從高壓流體側(cè)向低壓流體側(cè)泄漏的被密封流體推回到高壓流體側(cè)，起到提高密封性的作用，防止未設(shè)置有正壓產(chǎn)生機(jī)構(gòu)11的部分即相鄰的流體循環(huán)槽10與10之間的泄漏，有助于提高整個(gè)滑動(dòng)面的密封性。此外，螺旋槽12借助于臺(tái)面部R與低壓流體側(cè)隔離開，因此也不會(huì)在靜止時(shí)產(chǎn)生泄漏。在本示例中，流體循環(huán)槽10的底壁與實(shí)施例1同樣地截面形成為圓底形狀。因此，能夠防止流體在底壁附近處的滯留，能夠進(jìn)一步提高流體循環(huán)效果。實(shí)施例3參照?qǐng)D5對(duì)本發(fā)明的實(shí)施例3的滑動(dòng)部件進(jìn)行說明。實(shí)施例3的滑動(dòng)部件在代替實(shí)施例2的螺旋槽而設(shè)置倒瑞利臺(tái)階機(jī)構(gòu)15這點(diǎn)上與圖4所示的實(shí)施例2不同，但其它基本結(jié)構(gòu)與圖4相同，對(duì)相同部件標(biāo)注相同標(biāo)號(hào)，省略重復(fù)的說明。在圖5中，在固定環(huán)5的滑動(dòng)面上設(shè)置有沿周向6等分地配設(shè)的流體循環(huán)槽10和瑞利臺(tái)階機(jī)構(gòu)11，并且，在由流體循環(huán)槽10和高壓流體側(cè)圍著的部分的外側(cè)、即相鄰的流體循環(huán)槽10、10之間設(shè)置有倒瑞利臺(tái)階機(jī)構(gòu)15，所述倒瑞利臺(tái)階機(jī)構(gòu)15構(gòu)成了由凹槽15a和倒瑞利臺(tái)階15b構(gòu)成的負(fù)壓產(chǎn)生機(jī)構(gòu)，所述凹槽15a構(gòu)成比流體循環(huán)槽10淺的負(fù)壓產(chǎn)生槽。凹槽15a與入口部10a連通，并且借助于臺(tái)面部R與出口部10b和低壓流體側(cè)隔離開。在本實(shí)施例3中，構(gòu)成負(fù)壓產(chǎn)生機(jī)構(gòu)的倒瑞利臺(tái)階機(jī)構(gòu)15通過產(chǎn)生負(fù)壓而將欲從高壓流體側(cè)向低壓流體側(cè)泄漏的被密封流體引入到凹槽15a中，并經(jīng)由流體循環(huán)槽10使所述流體回到高壓流體側(cè)，起到提高密封性的作用，防止未設(shè)置有瑞利臺(tái)階機(jī)構(gòu)11的部分即相鄰的流體循環(huán)槽10與10之間的泄漏，提高整個(gè)滑動(dòng)面的密封性。另外，瑞利臺(tái)階機(jī)構(gòu)11和倒瑞利臺(tái)階機(jī)構(gòu)15的等分?jǐn)?shù)及瑞利臺(tái)階機(jī)構(gòu)11與倒瑞利臺(tái)階機(jī)構(gòu)15的長(zhǎng)度之比能夠適當(dāng)?shù)剡x定最適合的值。在本示例中，流體循環(huán)槽10的底壁與實(shí)施例1同樣地截面形成為圓底形狀。因此，能夠防止底壁附近處的流體的滯留，能夠進(jìn)一步提高流體循環(huán)效果。實(shí)施例4參照?qǐng)D6來對(duì)本發(fā)明的實(shí)施例4的滑動(dòng)部件進(jìn)行說明。實(shí)施例4的滑動(dòng)部件在流體循環(huán)槽的入口部或者出口部的槽的截面積設(shè)定成與連通部的槽的截面積不同這點(diǎn)、以及未設(shè)置正壓產(chǎn)生機(jī)構(gòu)這點(diǎn)上與圖2的情況不同，但其它基本結(jié)構(gòu)與圖2相同，對(duì)相同部件標(biāo)注相同標(biāo)號(hào)，省略重復(fù)的說明。在圖6(a)中，流體循環(huán)槽10由從高壓流體側(cè)進(jìn)入的入口部10a、向高壓流體側(cè)排出的出口部10b、以及將入口部10a與出口部10b在周向上連通的連通部10c構(gòu)成。由于流體循環(huán)槽10防止包括腐蝕生成物等在內(nèi)的流體在滑動(dòng)面上濃縮，因此起到積極地將被密封流體從高壓流體側(cè)導(dǎo)入到滑動(dòng)面上并排出的作用，流體循環(huán)槽10形成有入口部10a和出口部10b，以便容易與對(duì)方滑動(dòng)面的旋轉(zhuǎn)方向相對(duì)應(yīng)地將被密封流體引入到滑動(dòng)面上且容易排出，另一方面，為了減少泄漏，流體循環(huán)槽10借助于臺(tái)面部R與低壓流體側(cè)隔離開。另外，雖然流體循環(huán)槽10借助于臺(tái)面部R與低壓流體側(cè)隔離開，但只要與低壓流體側(cè)存在壓力梯度就無法避免微量的泄漏，如圖6(a)所示的流體循環(huán)槽10那樣在靠近低壓流體側(cè)的連通部10c處壓力梯度最大，因此容易從連通部10c產(chǎn)生流體泄漏。在本示例中，流體循環(huán)槽10的入口部10a和出口部10b的傾斜角度設(shè)定得大，二者在低壓流體側(cè)(在圖6(a)中是內(nèi)周側(cè))以交叉的方式配設(shè)成大致V字狀，該交叉部形成連通部10c。入口部10a與出口部10b的交叉角度是鈍角(例如，約150°)，但不特別地限定于此，也可以進(jìn)一步地增大入口部10a與出口部10b的傾斜度，此外，也可以不形成為直線狀而形成為曲線狀(圓弧狀等)。此外，流體循環(huán)槽10的寬度和深度根據(jù)被密封流體的壓力、種類(粘性)等而被設(shè)定成最適合的尺寸，關(guān)于這點(diǎn)，在后面詳細(xì)地進(jìn)行說明。在圖6(a)所示的流體循環(huán)槽10中，由于入口部10a和出口部10b的傾斜角度大，因此流體向入口部10a的流入和流體從出口部10b的排出容易。此外，由于靠近流入低壓流體側(cè)的連通部10c的長(zhǎng)度短，因此從連通部10c向低壓流體側(cè)的泄漏減少。下面，一邊參照?qǐng)D6和圖7一邊對(duì)流體循環(huán)槽的截面形狀進(jìn)行說明。首先，一邊參照?qǐng)D6(b)、(c)一邊對(duì)通過流體循環(huán)槽10的槽寬的大小而改變槽的截面積的情況進(jìn)行說明。圖6(b)示出了入口部10a的槽寬b1設(shè)定得小于連通部10c和出口部10b的槽寬b的情況。在該情況下，入口部10a、連通部10c和出口部10b的槽深恒定。圖6(b)所示的入口部10a在面向高壓流體側(cè)的入口面處槽寬被設(shè)定成b1，以朝向連通部10c平緩地?cái)U(kuò)大而變成槽寬b的方式形成為錐狀。作為入口部10a的槽寬b1朝向連通部10c擴(kuò)大的方式，從面向高壓流體側(cè)的入口面到一定距離的槽寬設(shè)為槽寬b1，之后，設(shè)定成朝向連通部10c平緩地?cái)U(kuò)大，除了這情況以外，也可以這樣：從面向高壓流體側(cè)的入口面到一定距離的槽寬為槽寬b1，之后，利用臺(tái)階部設(shè)定成急劇地?cái)U(kuò)大到槽寬b。圖6(c)示出了出口部10b的槽寬b2設(shè)定得大于連通部10c和入口部10a的槽寬b的情況。在該情況下，入口部10a、連通部10c和出口部10b的槽深相同。圖6(c)所示的出口部10b以從連通部10c朝向出口部10b而平緩地?cái)U(kuò)大、并在面向高壓流體側(cè)的出口面處槽寬變成b2的方式形成為錐狀。作為出口部10b的槽寬b2從連通部10c朝向出口部10b擴(kuò)大的方式，設(shè)定成：從面向高壓流體側(cè)的出口面到一定距離設(shè)為槽寬b2，之后，朝向連通部10c而平緩地縮小，除了這情況以外，也可以這樣：從面向高壓流體側(cè)的出口面到一定距離設(shè)為槽寬b2，之后，利用臺(tái)階部設(shè)定成急劇地縮小到槽寬b。如上所述，如圖6(b)所示，在流體循環(huán)槽10的入口部10a的槽寬b1設(shè)定成小于連通部10c和出口部10b的槽寬b的情況下，即使在槽深為恒定的情況下，槽的截面積在入口部10a處也小于連通部10c和出口部10b。因此，相比于流體循環(huán)槽10的入口部10a處的截面積與連通部10c和出口部10b大小相同為恒定的情況，流體向流體循環(huán)槽10流入的流入量減少，最靠近低壓流體側(cè)的連通部10c處的流體的壓力也減少。其結(jié)果是，連通部10c與低壓流體側(cè)的壓力梯度也變小，從最靠近低壓流體側(cè)的連通部10c的泄漏減少。此外，如圖6(c)所示，在出口部10b的槽寬b2設(shè)定成大于連通部10c和入口部10a的槽寬b的情況下，即使在槽深為恒定的情況下，槽的截面積在出口部10b處也小于連通部10c和出口部10b。因此，相比于流體循環(huán)槽10的出口部10b處的截面積與連通部10c和入口部10a大小相同為恒定的情況，出口部10b處的流體的排出阻力變小，連通部10c處的流體的壓力減少。其結(jié)果是，連通部10c與低壓流體側(cè)的壓力梯度也變小，從最靠近低壓流體側(cè)的連通部10c的泄漏減少。下面，一邊參照?qǐng)D7一邊對(duì)通過流體循環(huán)槽10的槽深的大小而改變槽的截面積的情況進(jìn)行說明。在圖7(a)中，流體循環(huán)槽的入口部10a的槽深h1在面向高壓流體側(cè)的入口面處被設(shè)定得小于連通部10c和出口部10b的槽深h。在該情況下，入口部10a、連通部10c和出口部10b的槽寬恒定。圖7(a)所示的入口部10a在面向高壓流體側(cè)的入口面處從臺(tái)面部R到槽底面10d的槽深被設(shè)定為h1，以隨著朝向連通部10c而平緩地變深的方式呈錐狀地形成有底面10d。圖7(b)所示的入口部10a從面向高壓流體側(cè)的入口面起到一定的距離m的位置，從臺(tái)面部R到槽底面10d的槽深被設(shè)定為h1，之后，形成為隨著朝向連通部10c而平緩地變深的錐狀。圖7(c)所示的入口部10a從面向高壓流體側(cè)的入口面起到一定的距離m的位置，從臺(tái)面部R到槽底面10d的槽深被設(shè)定為h1，之后，利用階梯差部形成為變深到槽深h。如上述那樣，圖7所示的流體循環(huán)槽10的入口部10a的槽深h1被設(shè)定成小于連通部10c和出口部10b的槽深h，由此，即使在槽寬恒定的情況下，槽的截面積在入口部10a處也小于連通部10c和出口部10b。因此，相比于流體循環(huán)槽10的截面積與連通部10c和出口部10b大小相同為恒定的情況，流體向流體循環(huán)槽10流入的流入量減少，最靠近低壓流體側(cè)的連通部10c處的流體的壓力也減少。其結(jié)果是，連通部10c與低壓流體側(cè)的壓力梯度也變小，從最靠近低壓流體側(cè)的連通部10c的泄漏減少。在本示例中，流體循環(huán)槽10的底壁與實(shí)施例1同樣地截面形成為圓底形狀。因此，能夠防止流體在底壁附近處的滯留，能夠進(jìn)一步提高流體循環(huán)效果。另外，在上述中，對(duì)槽深和槽寬中的任一方恒定而改變另一方的情況進(jìn)行了說明，但也可以改變槽深和槽寬這兩方，關(guān)鍵是截面積按所希望的變化即可。如以上說明的那樣，根據(jù)實(shí)施例4的結(jié)構(gòu)，利用流體循環(huán)槽10將流體積極地導(dǎo)入到滑動(dòng)面上并排出，從而滑動(dòng)面之間的流體進(jìn)行循環(huán)，防止包括堆積物產(chǎn)生原因物質(zhì)等在內(nèi)的流體的濃縮、以及磨損粉末及異物的滯留，進(jìn)而防止堆積物形成，能夠長(zhǎng)期地維持滑動(dòng)面的密封功能。此時(shí)，為了使在流體循環(huán)槽10中流動(dòng)的流體在連通部10c處的壓力降低，至少入口部10a或者出口部10b處的槽的截面積被設(shè)定成與連通部10c處的槽的截面積不同，更具體而言設(shè)定成，入口部10a的槽的截面積小于連通部10c和出口部10b的槽的截面積，或者出口部10b的槽的截面積大于連通部10c和入口部10a的槽的截面積，因此能夠進(jìn)一步地減少流體從流體循環(huán)槽10的位于最靠近低壓流體側(cè)的部分的連通部10c向低壓流體側(cè)泄漏。此外，由于流體循環(huán)槽10的底壁與實(shí)施例1同樣地截面形成為圓底形狀，因此，能夠防止流體在底壁附近處的滯留，能夠進(jìn)一步提高流體循環(huán)效果。下面，一邊參照?qǐng)D8一邊對(duì)由瑞利臺(tái)階機(jī)構(gòu)等構(gòu)成的正壓產(chǎn)生機(jī)構(gòu)和由倒瑞利臺(tái)階機(jī)構(gòu)等構(gòu)成的負(fù)壓產(chǎn)生機(jī)構(gòu)進(jìn)行說明。在圖8(a)中，作為相對(duì)的滑動(dòng)部件的旋轉(zhuǎn)環(huán)3和固定環(huán)5如箭頭所示那樣地相對(duì)滑動(dòng)。例如，在固定環(huán)5的滑動(dòng)面上，與相對(duì)的移動(dòng)方向垂直且面向上游側(cè)地形成有瑞利臺(tái)階11b，在該瑞利臺(tái)階11b的上游側(cè)形成有作為正壓產(chǎn)生槽的凹槽部11a。相對(duì)的旋轉(zhuǎn)環(huán)3和固定環(huán)5的滑動(dòng)面是平坦的。當(dāng)旋轉(zhuǎn)環(huán)3和固定環(huán)5沿著箭頭所示的方向相對(duì)移動(dòng)時(shí)，介于旋轉(zhuǎn)環(huán)3和固定環(huán)5的滑動(dòng)面之間的流體由于其粘性而欲沿著旋轉(zhuǎn)環(huán)3或者固定環(huán)5的移動(dòng)方向跟隨移動(dòng)，因此，此時(shí)，由于瑞利臺(tái)階11b的存在而產(chǎn)生虛線所示那樣的正壓(動(dòng)壓)。另外，10a、10b表示流體循環(huán)槽的入口部、出口部，此外，R表示臺(tái)面部。在圖8(b)中也同樣地，作為相對(duì)的滑動(dòng)部件的旋轉(zhuǎn)環(huán)3和固定環(huán)5如箭頭所示那樣地相對(duì)滑動(dòng)，但在旋轉(zhuǎn)環(huán)3和固定環(huán)5的滑動(dòng)面上，與相對(duì)的移動(dòng)方向垂直且面向下游側(cè)地形成有倒瑞利臺(tái)階15b，在該倒瑞利臺(tái)階15b的下游側(cè)形成有作為負(fù)壓產(chǎn)生槽的凹槽部15a。相對(duì)的旋轉(zhuǎn)環(huán)3和固定環(huán)5的滑動(dòng)面是平坦的。當(dāng)旋轉(zhuǎn)環(huán)3和固定環(huán)5沿著箭頭所示的方向相對(duì)移動(dòng)時(shí)，介于旋轉(zhuǎn)環(huán)3和固定環(huán)5的滑動(dòng)面之間的流體由于其粘性而欲沿著旋轉(zhuǎn)環(huán)3或者固定環(huán)5的移動(dòng)方向跟隨移動(dòng)，因此，此時(shí)，由于倒瑞利臺(tái)階15b的存在而產(chǎn)生虛線所示那樣的負(fù)壓(動(dòng)壓)。另外，10a、10b表示流體循環(huán)槽的入口部、出口部，此外，R表示臺(tái)面部。下面，參照?qǐng)D9對(duì)流體循環(huán)槽的底壁的截面為圓底形狀的情況與截面為矩形的情況的區(qū)別進(jìn)行說明。圖9(a)模擬了流體循環(huán)槽的底壁的截面是矩形時(shí)的CFD分析結(jié)果，流體從右下的入口到右上的出口卷起旋渦地在流體循環(huán)槽內(nèi)流動(dòng)，但可以看到在底壁的左右沒有流動(dòng)的部位，判斷為流體滯留在該部位。相對(duì)于此，能夠確認(rèn)的是，在模擬流體循環(huán)槽的底壁的截面是圓底形狀時(shí)的CFD分析結(jié)果的圖9(b)的情況下，幾乎沒有流體的滯留。以上利用附圖對(duì)本發(fā)明的實(shí)施例進(jìn)行了說明，但具體的結(jié)構(gòu)不限于這些實(shí)施例，即使有不脫離本發(fā)明主旨的范圍內(nèi)的變更及補(bǔ)充，也包括在本發(fā)明中。例如，在上述實(shí)施例中，對(duì)將滑動(dòng)部件用于機(jī)械密封裝置的一對(duì)旋轉(zhuǎn)用密封環(huán)和固定用密封環(huán)中的任一個(gè)的示例進(jìn)行了說明，但也可以用作在圓筒狀滑動(dòng)面的軸向一側(cè)密封潤(rùn)滑油并且與旋轉(zhuǎn)軸滑動(dòng)的軸承的滑動(dòng)部件。此外，例如，在上述實(shí)施例中，對(duì)在外周側(cè)存在高壓的被密封流體的情況進(jìn)行了說明，但也可以應(yīng)用于內(nèi)周側(cè)是高壓流體的情況。此外，例如，在上述實(shí)施例中，對(duì)在機(jī)械密封件的構(gòu)成滑動(dòng)部件的固定環(huán)上設(shè)置流體循環(huán)槽、正壓產(chǎn)生機(jī)構(gòu)和負(fù)壓產(chǎn)生機(jī)構(gòu)或者螺旋槽的情況進(jìn)行了說明，但也可以與之相反地在旋轉(zhuǎn)環(huán)上設(shè)置流體循環(huán)槽、正壓產(chǎn)生機(jī)構(gòu)和負(fù)壓產(chǎn)生機(jī)構(gòu)或者螺旋槽。在該情況下，流體循環(huán)槽和螺旋槽無需設(shè)置到旋轉(zhuǎn)環(huán)的外周側(cè)，與被密封流體側(cè)連通即可。標(biāo)號(hào)說明1旋轉(zhuǎn)軸2套筒3旋轉(zhuǎn)環(huán)4外殼5固定環(huán)6螺旋波浪形彈簧7波紋管10流體循環(huán)槽11正壓產(chǎn)生機(jī)構(gòu)(瑞利臺(tái)階機(jī)構(gòu))12螺旋槽15負(fù)壓產(chǎn)生機(jī)構(gòu)(倒瑞利臺(tái)階機(jī)構(gòu))R臺(tái)面部