一種蝕刻機輔助安全設備的制作方法
【專利摘要】一種蝕刻機輔助安全設備，其特征是：在腔體中安裝有彈簧，彈簧的一端連接閥桿，閥桿穿過腔體的側(cè)壁連接鼓膜，腔體壁上設置有進氣口和出氣口，閥桿可以關閉出氣口，鼓膜設置在進水口和出水口之間的水管中?？梢栽诩兯畨毫Ξ惓５那闆r下自動切斷劇毒反應氣體的輸入，結(jié)構簡單，安全可靠。
【專利說明】一種蝕刻機輔助安全設備
所屬【技術領域】
[0001]本發(fā)明涉及一種蝕刻機輔助安全設備。
【背景技術】
[0002]目前，蝕刻機廣泛應用于半導體和LED制造領域。由于蝕刻機內(nèi)部的反映氣體有劇毒，目前廣泛應用各種監(jiān)控報警設備進行不間斷的檢測，必要時即時切斷氣體輸入與關閉機器。人工值守與機械電控的配合通常較為復雜，并且經(jīng)濟效益較低。如何讓設備在異常情況下，例如純水壓力異常的情況下，自動切斷氣體輸入成為一個亟待解決的問題。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0003]為了克服現(xiàn)有的蝕刻機監(jiān)控設備需要人工值守，機械電控設備復雜不可靠的問題，本發(fā)明提供一種蝕刻機輔助安全設備，該蝕刻機輔助安全設備結(jié)構簡單，安全可靠，可以在純水壓力異常的情況下自動切斷劇毒反應氣體的輸入。
[0004]本發(fā)明解決其技術問題所采用的技術方案是:一種蝕刻機輔助安全設備，在腔體中安裝有彈簧，彈簧的一端連接閥桿，閥桿穿過腔體的側(cè)壁連接鼓膜，腔體壁上設置有進氣口和出氣口，閥桿可以關閉出氣口，鼓膜設置在進水口和出水口之間的水管中。
[0005]本發(fā)明的有益效果是，結(jié)構簡單，安全可靠，可以在純水壓力異常的情況下自動切斷劇毒反應氣體的輸入。
【專利附圖】

【附圖說明】
[0006]下面結(jié)合附圖和實施例對本發(fā)明進一步說明。
[0007]圖1是本發(fā)明的結(jié)構示意圖。
[0008]圖中1.腔體，2.彈簧，3.進氣口，4.出氣口，5.閥桿，6.鼓膜，7.水閥，8.出水口，9.進水口。
【具體實施方式】
[0009]在圖1中，一種蝕刻機輔助安全設備，其特征是:在腔體I中安裝有彈簧2，彈簧2的一端連接閥桿5，閥桿5穿過腔體I的側(cè)壁連接鼓膜6，腔體I壁上設置有進氣口 3和出氣口 4，閥桿5可以關閉出氣口 4，鼓膜6設置在進水口 8和出水口 9之間的水管中。
[0010]進一步的，出水口 8、進水口 9與鼓膜6之間的環(huán)路中并聯(lián)有水閥；為了設置壓力臨界值，可以是使用可調(diào)節(jié)力度彈簧。
[0011]若水壓正常，水流形成的壓力差使鼓膜6移動，閥桿7壓力把出氣口 4打開。若水壓異常則鼓膜6在彈簧2作用下向反方向移動，出氣口 4關閉,安全可靠。
【權利要求】
1.一種蝕刻機輔助安全設備，其特征是:在腔體中安裝有彈簧，彈簧的一端連接閥桿，閥桿穿過腔體的側(cè)壁連接鼓膜，腔體壁上設置有進氣口和出氣口，閥桿可以關閉出氣口，鼓膜設置在進水口和出水口之間的水管中。
2.根據(jù)權利要求1所述的蝕刻機輔助安全設備，其特征是:出水口、進水口與鼓膜之間的環(huán)路中并聯(lián)有水閥。
3.根據(jù)權利要求1所述的蝕刻機輔助安全設備，其特征是彈簧為可調(diào)節(jié)力度彈簧。
【文檔編號】F16K31/126GK103982684SQ201410226410
【公開日】2014年8月13日 申請日期:2014年5月27日 優(yōu)先權日:2014年5月27日
【發(fā)明者】孫冒田 申請人:徐州天太機械制造有限公司