技術(shù)編號：5690977
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細信息。一種蝕刻機輔助安全設(shè)備，其特征是在腔體中安裝有彈簧，彈簧的一端連接閥桿，閥桿穿過腔體的側(cè)壁連接鼓膜，腔體壁上設(shè)置有進氣口和出氣口，閥桿可以關(guān)閉出氣口，鼓膜設(shè)置在進水口和出水口之間的水管中?？梢栽诩兯畨毫Ξ惓５那闆r下自動切斷劇毒反應(yīng)氣體的輸入，結(jié)構(gòu)簡單，安全可靠。專利說明一種蝕刻機輔助安全設(shè)備所屬[0001]本發(fā)明涉及一種蝕刻機輔助安全設(shè)備。背景技術(shù)[0002]目前，蝕刻機廣泛應(yīng)用于半導體和LED制造領(lǐng)域。由于蝕刻機內(nèi)部的反映氣體有劇毒，目前廣泛應(yīng)用各種監(jiān)控...
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