油泵排氣系統(tǒng)的制作方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本實用新型涉及一種腐蝕性工藝氣體的真空類設(shè)備的處理裝置，尤其涉及一種油泵排氣系統(tǒng)。
【背景技術(shù)】
[0002]半導(dǎo)體器件的制造過程中，通常需要通過真空類設(shè)備對半導(dǎo)體的襯底注入各種離子、硅片表面覆蓋一層特殊的導(dǎo)線，刻蝕多余的部分，來滿足不同用途的不同導(dǎo)電需求。這類真空設(shè)備所使用的工藝氣體大都具有腐蝕性，例如BF3，CL2等。此類氣體進入油泵與油蒸汽混合后容易產(chǎn)生腐蝕性很強的氫氟酸，鹽酸類的油狀液體，進而損壞真空設(shè)備的排氣管道及油泵。
[0003]如圖1所示，為現(xiàn)有的真空設(shè)備的油泵排氣系統(tǒng)，其具有抽真空管道10、油泵20和排氣管道30。腐蝕性氣體經(jīng)抽真空管道10進入油泵20，油泵20排氣進入排氣管道30。該排氣管路30過于簡單，當(dāng)油泵20溫度升高時，油蒸汽與腐蝕性氣體混合一起進入排氣管道30，會造成以下問題:1、在排氣管道30中凝結(jié)產(chǎn)生腐蝕性液體，對排氣管道30腐蝕破壞，影響設(shè)備的安全使用；2、當(dāng)腐蝕性液體回流進入油泵20時，造成油泵20的損壞。工藝設(shè)備不能正常運行。
【實用新型內(nèi)容】
[0004]本實用新型要解決的技術(shù)問題是:為了解決腐蝕性廢氣凝結(jié)在排氣管路中腐蝕排氣管道，腐蝕性廢液回流到油泵引起損壞的問題，本實用新型提供一種具有自動清潔功能的油泵排氣系統(tǒng)來解決上述問題。
[0005]本實用新型解決其技術(shù)問題所采用的技術(shù)方案是:一種油泵排氣系統(tǒng)，包括真空抽氣管道、真空油泵、排氣管道、冷凝裝置和廢液收集器，所述真空油泵具有進氣口和排氣口，真空抽氣管道與進氣口連接，排氣管道的一端與排氣口連接，排氣管道的另一端與冷凝裝置連接，廢液收集器上具有進液口，冷凝裝置與進液口連接。通過冷凝裝置將排氣管道排出的廢氣液化凝結(jié)成廢液，再通過廢液收集器將凝結(jié)的廢液收集處置。
[0006]進一步優(yōu)選，所述冷凝裝置包括回液管和冷凝管，回液管一端與進液口連接，回液管上開設(shè)有回液口，回液口與排氣管道連接，冷凝管呈螺旋式纏繞固定在回液管上，冷凝管內(nèi)具有冷凝劑。冷凝裝置結(jié)構(gòu)簡單，易于實現(xiàn)。
[0007]進一步優(yōu)選，所述的冷凝劑為工藝?yán)鋮s水。工藝?yán)鋮s水成本低廉，有效降低該油泵排氣系統(tǒng)的工作成本。
[0008]進一步優(yōu)選，所述回液口開設(shè)在靠近進液口處。有益于廢液的回流收集。
[0009]進一步優(yōu)選，所述油泵排氣系統(tǒng)還包括液位傳感器和排液閥門，所述廢液收集器還具有排液口，所述液位傳感器裝設(shè)在廢液收集器內(nèi)，排液閥門裝設(shè)在排液口處，液位傳感器上連接有控制器，控制器連接排液閥門用于控制排液閥門的開啟或關(guān)閉。該結(jié)構(gòu)實現(xiàn)了自動排放廢液的功能。
[0010]進一步優(yōu)選，所述液位傳感器裝設(shè)在廢液收集器內(nèi)的上部，所述排液口開設(shè)在廢液收集器下部。該結(jié)構(gòu)方便廢液的排出。
[0011]本實用新型的有益效果是，本實用新型油泵排氣系統(tǒng)在真空油泵所連接的排氣管道末端加裝冷凝裝置和廢液收集器，將混合廢氣冷卻液化變成帶腐蝕性的油態(tài)液體，回流進入廢液收集器中集中排放，使廢氣不會凝結(jié)在排氣管道中腐蝕排氣管道，也不會回流進入油泵引起損壞。保證了設(shè)備的使用效率，提高了工藝設(shè)備的穩(wěn)定性。廢液收集器中裝設(shè)液位傳感器和由液位傳感器上的控制器控制的排液閥門，能根據(jù)腐蝕性廢液的多少進行自動排放，不需要人為干與，解放了勞動力。
【附圖說明】
[0012]下面結(jié)合附圖和實施例對本實用新型進一步說明。
[0013]圖1是現(xiàn)有油泵排氣系統(tǒng)的結(jié)構(gòu)示意圖。
[0014]圖2是本實用新型油泵排氣系統(tǒng)最優(yōu)實施例的結(jié)構(gòu)示意圖。
[0015]圖中10、抽真空管道；20、油泵；30、排氣管道；
[0016]1、真空抽氣管道；2、真空油泵；3、排氣管道；4、冷凝裝置；5、廢液收集器；6、液位傳感器；7、排液閥門；21、進氣口 ；22、排氣口 ；41、回液管；42、冷凝管；411、回液口 ；51、進液口 ； 52、排液口。
【具體實施方式】
[0017]現(xiàn)在結(jié)合附圖對本實用新型作進一步詳細(xì)的說明。這些附圖均為簡化的示意圖，僅以示意方式說明本實用新型的基本結(jié)構(gòu)，因此其僅顯示與本實用新型有關(guān)的構(gòu)成。
[0018]如圖2所示，本實用新型油泵排氣系統(tǒng)的最優(yōu)實施例，其包括真空抽氣管道1、真空油泵2、排氣管道3、冷凝裝置4、廢液收集器5、液位傳感器6和排液閥門7。所述真空油泵2具有進氣口 21和排氣口 22，所述冷凝裝置4包括回液管41和冷凝管42，所述回液管41上開設(shè)有回液口 411，所述廢液收集器5上具有進液口 51和排液口 52。真空抽氣管道I與進氣口 21連接。排氣管道3的一端與排氣口 22連接，排氣管道3的另一端與回液口 411連接，回液管41 一端與進液口 51連接。所述回液口 411開設(shè)在靠近進液口 51處，冷凝管42呈螺旋式纏繞固定在回液管41上，冷凝管42內(nèi)具有工藝?yán)鋮s水。
[0019]所述排液口 52開設(shè)在廢液收集器5下部。所述液位傳感器6裝設(shè)在廢液收集器5內(nèi)的上部，排液閥門7裝設(shè)在排液口 52處，液位傳感器6上連接有控制器(圖未示)，控制器連接排液閥門7用于控制排液閥門7的開啟或關(guān)閉。
[0020]當(dāng)真空設(shè)備運行時，真空油泵2通過真空抽氣管道I抽取帶腐蝕性的工藝氣體使真空設(shè)備腔體產(chǎn)生真空，真空油泵2運行發(fā)熱，部分油蒸汽與腐蝕性氣體混合進入排氣管道3。然后油氣混合氣體進一步進入回液管41內(nèi)，此時通過流淌有工藝?yán)鋮s水的冷凝管42將油氣混合氣體凝結(jié)成為腐蝕性廢液，腐蝕性廢液回流進入廢液收集器5，當(dāng)腐蝕性廢液收集到一定量時，液位傳感器6上的控制器偵測到油位信號，控制排液閥門7打開排除腐蝕性廢液。
[0021]以上述依據(jù)本實用新型的理想實施例為啟示，通過上述的說明內(nèi)容，相關(guān)工作人員完全可以在不偏離本項實用新型技術(shù)思想的范圍內(nèi)，進行多樣的變更以及修改。本項實用新型的技術(shù)性范圍并不局限于說明書上的內(nèi)容，必須要根據(jù)權(quán)利要求范圍來確定其技術(shù)性范圍。
【主權(quán)項】
1.一種油泵排氣系統(tǒng)，其特征是:包括真空抽氣管道(I)、真空油泵(2)、排氣管道(3)、冷凝裝置(4)和廢液收集器(5)，所述真空油泵(2)具有進氣口(21)和排氣口(22)，真空抽氣管道(I)與進氣口(21)連接，排氣管道(3)的一端與排氣口(22)連接，排氣管道(3)的另一端與冷凝裝置(4)連接，廢液收集器(5)上具有進液口(51)，冷凝裝置(4)與進液口(51)連接。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的油泵排氣系統(tǒng)，其特征是:所述冷凝裝置(4)包括回液管(41)和冷凝管(42)，回液管(41) 一端與進液口(51)連接，回液管(41)上開設(shè)有回液口(411)，回液口(411)與排氣管道連接，冷凝管(42)呈螺旋式纏繞固定在回液管(41)上，7令凝管(42)內(nèi)具有冷凝劑。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的油泵排氣系統(tǒng)，其特征是:所述的冷凝劑為工藝?yán)鋮s水。
4.根據(jù)權(quán)利要求2所述的油泵排氣系統(tǒng)，其特征是:所述回液口(411)開設(shè)在靠近進液口(51)處。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的油泵排氣系統(tǒng)，其特征是:還包括液位傳感器(6)和排液閥門(7)，所述廢液收集器(5)還具有排液口(52)，所述液位傳感器(6)裝設(shè)在廢液收集器(5)內(nèi)，排液閥門(7)裝設(shè)在排液口(52)處，液位傳感器(6)上連接有控制器，控制器連接排液閥門(7)用于控制排液閥門(7)的開啟或關(guān)閉。
6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的油泵排氣系統(tǒng)，其特征是:所述液位傳感器(6)裝設(shè)在廢液收集器(5)內(nèi)的上部，所述排液口(52)開設(shè)在廢液收集器(5)下部。
【專利摘要】本實用新型涉及一種油泵排氣系統(tǒng)。油泵排氣系統(tǒng)包括真空抽氣管道、真空油泵、排氣管道、冷凝裝置和廢液收集器，所述真空油泵具有進氣口和排氣口，真空抽氣管道與進氣口連接，排氣管道的一端與排氣口連接，排氣管道的另一端與冷凝裝置連接，廢液收集器上具有進液口，冷凝裝置與進液口連接。本實用新型在真空油泵所連接的排氣管道末端加裝冷凝裝置和廢液收集器，將混合廢氣冷卻液化變成帶腐蝕性的油態(tài)液體，回流進入廢液收集器中集中排放，使廢氣不會凝結(jié)在排氣管道中腐蝕排氣管道，也不會回流進入油泵引起損壞。保證了設(shè)備的使用效率，提高了工藝設(shè)備的穩(wěn)定性。
【IPC分類】F04B39-00, F04B37-14
【公開號】CN204327438
【申請?zhí)枴緾N201420649019
【發(fā)明人】王開軍, 吳耀輝
【申請人】蘇州同冠微電子有限公司
【公開日】2015年5月13日
【申請日】2014年11月3日