本發(fā)明涉及被作為半導(dǎo)體制造裝置、平板顯示器制造裝置、太陽能電池板制造裝置中的處理腔、其他腔室的氣體排出機(jī)構(gòu)等而利用的真空泵及被使用于該真空泵的靜翼部，特別地，作為構(gòu)成該真空泵的固定翼，具備防止由拉深加工引起的裂縫的高剛性的固定翼，由此實(shí)現(xiàn)作為真空泵的耐久性、可靠性及排氣性能的提高。

背景技術(shù)：

這種以往的真空泵例如被專利文獻(xiàn)1公開。該文獻(xiàn)1的真空泵具備由旋轉(zhuǎn)的動翼部（6）和固定的靜翼部（70）將氣體移送的渦輪分子部。

并且，專利文獻(xiàn)1的真空泵的前述靜翼部（70）如該文獻(xiàn)1的圖3、圖4等所公開那樣，具有以既定角度傾斜的固定翼（71）、支承該固定翼（71）的邊緣部（75、76）。該固定翼（71）被通過拉深加工形成，此外，為了提高固定翼（71）的剛性，在該固定翼（71）的側(cè)端部，通過拉深加工設(shè)置有支承側(cè)壁部（75s、76s）（參照該文獻(xiàn)1的0031段及該文獻(xiàn)1的圖3）。

在專利文獻(xiàn)1中，作為為了使在前述那樣的固定翼側(cè)端部的支承側(cè)壁部（75s）處不產(chǎn)生由拉深加工引起的裂縫的技術(shù)，公開了如下方案，在固定翼（71）的側(cè)端部，設(shè)置從固定翼（71）的傾斜末端向其傾斜根部切入的形狀的缺口（75k）（參照該文獻(xiàn)1的0031段和該文獻(xiàn)1的圖3）。

但是，關(guān)于不使前述那樣的裂縫產(chǎn)生的條件，在專利文獻(xiàn)1中沒有任何公開和啟示。在僅設(shè)置那樣的缺口（75k）的方案中，不能可靠且切實(shí)地防止由于拉深加工而在支承側(cè)壁部（75s）處產(chǎn)生的裂縫，繼續(xù)真空泵的運(yùn)轉(zhuǎn)，由此產(chǎn)生那樣的裂縫逐漸擴(kuò)大等，作為真空泵的耐久性、可靠性方面的問題。此外，若稍許產(chǎn)生那樣的裂縫，則提高固定翼（71）的剛性的支承側(cè)壁部（75s）本來的功能下降，固定翼（71）的傾斜角度容易變化。固定翼（71）設(shè)定成以最適合氣體分子的排氣的角度傾斜，所以有若其傾斜角度稍許變化，則導(dǎo)致排氣性能的下降的問題。

另外，以上說明中的括號內(nèi)的附圖標(biāo)記是專利文獻(xiàn)1中被使用的附圖標(biāo)記。

專利文獻(xiàn)1：日本特開2014－159805號公報。

技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素：

本發(fā)明是為了解決前述問題而作出的，其目的在于提供一種真空泵及被使用于該真空泵的靜翼部，前述真空泵具備防止由拉深加工引起的裂縫的高剛性的固定翼來作為構(gòu)成真空泵的固定翼，由此適合于實(shí)現(xiàn)耐久性、可靠性及排氣性能的提高。

為了實(shí)現(xiàn)前述目的，本發(fā)明是一種真空泵，前述真空泵具備渦輪分子泵部，前述渦輪分子泵部借助被設(shè)置于旋轉(zhuǎn)體的動翼部和被固定于靜止體的靜翼部將氣體移送，其特征在于，前述靜翼部具有以既定角度傾斜的固定翼和將該固定翼支承的邊緣部，前述固定翼的側(cè)端部具備從前述固定翼的傾斜根部向其傾斜末端形成的支持側(cè)壁部，并且，前述固定翼的側(cè)端部經(jīng)由該支承側(cè)壁部被支承于前述邊緣部，作為不由于將前述支承側(cè)壁部成形的拉深加工而在前述支承側(cè)壁部處產(chǎn)生裂縫的條件，在前述拉深加工前，前述靜翼部的將通過前述拉深加工成為前述支承側(cè)壁部的部分被設(shè)定成滿足下述式（a），

式

s×l×t1≥v…式（a）

s：將通過拉深加工成為支承側(cè)壁部的部分的前述旋轉(zhuǎn)體的半徑方向的寬度，

l：將通過拉深加工成為支承側(cè)壁部的部分的前述旋轉(zhuǎn)體的圓周方向的長度，

t1：將通過拉深加工成為支承側(cè)壁部的部分的板厚，

s×l×t1：將通過拉深加工成為支承側(cè)壁部的部分的體積，

v：拉深加工后的支承側(cè)壁部的體積。

在前述本發(fā)明中，也可以是，其特征在于，前述靜翼部在前述固定翼的前述側(cè)端部和前述邊緣部之間具有缺口部，前述缺口部是被從前述固定翼的前述傾斜末端向前述傾斜根部切入的形狀。

在前述本發(fā)明中，也可以是，其特征在于，前述拉深加工前，前述缺口部的前述旋轉(zhuǎn)體的半徑方向的寬度設(shè)定成與前述邊緣部的板厚相等的尺寸或比前述邊緣部的板厚大的尺寸。

在前述本發(fā)明中，也可以是，其特征在于，前述邊緣部的寬度設(shè)定成與其邊緣部的板厚相等的尺寸或比其邊緣部的板厚大的尺寸。

在前述本發(fā)明中，也可以是，其特征在于，前述缺口部的角部呈圓弧形狀。

在前述本發(fā)明中，也可以是，其特征在于，在前述缺口部的吸氣口側(cè)設(shè)置有遮蔽部作為氣體分子逆流防止構(gòu)造。

在前述本發(fā)明中，也可以是，其特征在于，在前述靜翼部處設(shè)置有前述遮蔽部。

在前述本發(fā)明中，也可以是，其特征在于，前述拉深加工前，在前述靜翼部的將成為前述固定翼的前述傾斜末端的部位和前述邊緣部之間形成固定翼長度方向的切口的情況下，前述切口的寬度設(shè)定成與前述邊緣部的板厚相等的尺寸或比前述邊緣部的板厚大的尺寸。

在前述本發(fā)明中，也可以是，其特征在于，前述支承側(cè)壁部相對于前述邊緣部的傾斜角度被設(shè)定成不滿90度。

在前述本發(fā)明中，也可以是，其特征在于，前述傾斜角度由下述式（d）確定，

式

c≤r×b…式(b)

r＝（b＋δr）／b…式(c)

θ＝cos^－1（b／c）…式（d）

c：拉深加工后的支承側(cè)壁部的長度，

r：材料的極限伸長率，

b：將拉深加工后的支承側(cè)壁部在包括邊緣部的表面的面上投影的長度，

δr：構(gòu)成支承側(cè)壁部的材料的極限伸長量，

θ：拉深加工后的支承側(cè)壁部相對于邊緣部的傾斜角度。

在前述本發(fā)明中，也可以是，其特征在于，前述邊緣部的與前述固定翼的前述傾斜根部連結(jié)的部分與前述固定翼同樣地傾斜。

在本發(fā)明中，作為真空泵的具體的方案，采用如下方案，如前所述，作為不由于形成支承側(cè)壁部的拉深加工而在支承側(cè)壁部產(chǎn)生裂縫的條件，該拉深加工前，靜翼部的將通過拉深加工成為支承側(cè)壁部的部分滿足前述式（a），所以能夠提供一種真空泵及被使用于該真空泵的靜翼部，前述真空泵能夠防止由拉深加工引起的在支承側(cè)壁部處產(chǎn)生裂縫的不利情況，例如，作為真空泵的耐久性的問題、將固定翼剛性提高的支承側(cè)壁部本來的功能下降導(dǎo)致固定翼的剛性下降、以及由固定翼的傾斜角度的變化引起的作為真空泵的排氣性能的下降等，耐久性、可靠性及排氣性能優(yōu)異。

附圖說明

圖1是應(yīng)用本發(fā)明的真空泵的整體剖視圖。

圖2（a）是構(gòu)成圖1的真空泵的靜翼部的俯視圖，圖2（b）是構(gòu)成該靜翼部的兩個分割靜翼部的俯視圖。

圖3是圖2（a）中a部附近的靜翼部的立體示意圖。

圖4是圖3中的b向視圖。

圖5是拉深加工前的靜翼部（分割靜翼部）的俯視圖。

圖6是圖5中的cc剖視圖。

圖7是被應(yīng)用于圖1的真空泵的氣體分子逆流防止構(gòu)造的說明圖。

圖8是圖3中的ee剖視圖。

圖9是從圖3中的箭頭d方向觀察的分割靜翼部的說明圖。

圖10是靜翼部（分割靜翼部）的其他實(shí)施方式的說明圖。

具體實(shí)施方式

以下，參照附圖對用于實(shí)施本發(fā)明的最優(yōu)的方式進(jìn)行詳細(xì)的說明。

圖1是應(yīng)用本發(fā)明的真空泵的整體剖視圖，圖2（a）是構(gòu)成圖1的真空泵的靜翼部的俯視圖，圖2（b）是構(gòu)成該靜翼部的兩個分割靜翼部的俯視圖。

圖1的真空泵p是由具備渦輪分子泵部pt及螺旋槽泵部ps的復(fù)合泵構(gòu)成的，前述渦輪分子泵部pt借助動翼部a1、靜翼部a2移送氣體，前述動翼部a1被設(shè)置于作為旋轉(zhuǎn)體的轉(zhuǎn)子7，前述靜翼部a2被經(jīng)由間隔件17固定于作為靜止體的外包裝殼1，前述螺旋槽泵部ps利用螺旋槽b移送氣體，例如，被作為半導(dǎo)體制造裝置、平板顯示器制造裝置、太陽能電池板制造裝置的處理腔、其他腔室的氣體排出機(jī)構(gòu)等利用。

若參照圖1，則該圖的真空泵p的外包裝殼1是將筒狀的泵殼1a和有底筒狀的泵基部1b在其筒軸方向上用緊固螺栓一體地連結(jié)的有底圓筒形，泵殼1a的上端部側(cè)作為用于將氣體吸入的吸氣口2開口，此外，在泵基部1b的下端部側(cè)面，設(shè)置有用于將氣體排出的排氣口3。

吸氣口2借助被設(shè)置于泵殼1a上緣的凸緣的緊固螺栓，被連接于例如半導(dǎo)體制造裝置處理腔等呈高真空的腔室ch。此外，排氣口3經(jīng)由圖中未示出的配管、閥被連接于輔助泵。

在泵殼1a內(nèi)的中央部立設(shè)有圓筒狀的定子柱4，在定子柱4的內(nèi)側(cè)中心部設(shè)置有轉(zhuǎn)子軸5。此外，在定子柱4的內(nèi)側(cè)設(shè)置有磁軸承6，借助該磁軸承6，轉(zhuǎn)子軸5被繞其軸心能夠旋轉(zhuǎn)地支承。

在定子柱4的外側(cè)設(shè)有轉(zhuǎn)子7，該轉(zhuǎn)子7構(gòu)造成具備筒部件7b、端部件7a，前述筒部件7b是覆蓋定子柱4的外周面的形狀，前述端部件7a是將該筒部件7b的一端側(cè)堵塞的形狀。

并且，轉(zhuǎn)子軸5的末端部從定子柱4的一端突出，這樣突出的轉(zhuǎn)子軸5的末端部和轉(zhuǎn)子7的端部件7a被連結(jié)，由此轉(zhuǎn)子7成為與轉(zhuǎn)子軸5一體化的構(gòu)造。

進(jìn)而，在定子柱4的內(nèi)側(cè)設(shè)置有驅(qū)動馬達(dá)8，借助該驅(qū)動馬達(dá)8，將轉(zhuǎn)子軸5繞其軸心旋轉(zhuǎn)驅(qū)動，由此轉(zhuǎn)子7能夠與轉(zhuǎn)子軸5一體地旋轉(zhuǎn)。

此外，在圖1的真空泵p中，構(gòu)成為，轉(zhuǎn)子7的大致上半部分作為渦輪分子泵部pt發(fā)揮功能，該轉(zhuǎn)子7的大致下半部分作為螺旋槽泵部ps發(fā)揮功能。該渦輪分子泵部pt和螺旋槽泵部ps具體地如以下所述地構(gòu)成。

渦輪分子泵部pt的構(gòu)造說明

參照圖1，作為將氣體從吸氣口1向排氣口3移送的機(jī)構(gòu)，渦輪分子泵部pt設(shè)置成以下構(gòu)造，將旋轉(zhuǎn)的動翼部a1和固定的靜翼部a2沿泵軸心（具體來說是轉(zhuǎn)子7或轉(zhuǎn)子軸5的軸心。下同）交替地配置多個。

動翼部a1由一體地形成于轉(zhuǎn)子7的外周面的多個旋轉(zhuǎn)翼9構(gòu)成，這些多個旋轉(zhuǎn)翼9將泵軸心作為中心在泵徑向上放射狀地設(shè)置。此外，多個旋轉(zhuǎn)翼9都以最適合氣體分子的排出的角度傾斜。

靜翼部a2在真空泵p的組裝時，從轉(zhuǎn)子7的外周面?zhèn)葘D2（b）所示的兩個分割靜翼部11（11a、11b）對合，由此設(shè)定成如圖2（a）那樣的環(huán)狀。

參照圖2（a）、（b），各個分割靜翼部11（11a、11b）具有以既定角度傾斜的固定翼10、支承固定翼10的內(nèi)側(cè)的邊緣部12、同樣支承固定翼10的外側(cè)的邊緣部13。此外，這些分割靜翼部11（11a、11b）通過將各個內(nèi)側(cè)的邊緣部12的端部或外側(cè)的邊緣部13的端部作為對合端12a或?qū)隙?3a互相對合，構(gòu)成圖2（a）那樣的環(huán)狀的靜翼部a2。另外，被內(nèi)外的邊緣部12、13支承的固定翼10也和先前說明的旋轉(zhuǎn)翼9同樣，被放射狀地配置多個。

在泵軸心方向及泵徑向（與泵軸心正交的方向。下同）上，作為將固定翼10定位固定的方式，采用如下方式，在圖1的真空泵p中，沿著泵殼1a的內(nèi)周面將多個間隔件17堆垛層疊，在層疊的間隔件17間存在外側(cè)的邊緣部13。

在通過如前述那樣的定位固定方式來在真空泵p內(nèi)配置安裝多個固定翼10的狀態(tài)下，多個固定翼10都被預(yù)先設(shè)定成以最適合氣體分子的排出的角度傾斜。

圖3是圖2（a）中a部附近的靜翼部的立體示意圖，圖4是圖3中的b向視圖，圖5是拉深加工前的靜翼部（分割靜翼部）的俯視圖，圖6是圖5中的cc圖剖視圖。

參照圖3，在固定翼10的傾斜根部10e附近，設(shè)置有將內(nèi)外的邊緣部12、13連接的連接部18。并且，相對于該連接部18連結(jié)有固定翼10的傾斜根部10e，由此，固定翼10被內(nèi)外的邊緣部12、13支承。

在固定翼10的兩側(cè)端部10－s1、10－s2中，與外側(cè)的邊緣部13接近的側(cè)端部10－s1具備缺口部101（參照圖5）和支承側(cè)壁部102（參照圖4），前述缺口部101是被從固定翼10的傾斜末端10t向其傾斜根部10e切入的形狀，前述支承側(cè)壁部102被從固定翼10的傾斜根部10e朝向其傾斜末端10t地形成，并且，側(cè)端部10－s1經(jīng)由該支承側(cè)壁部102被外側(cè)的邊緣部13支承。即，靜翼部a2具有缺口部101，前述缺口部101是在固定翼10的側(cè)端部10－s1和邊緣部13之間被如前所述地切入的形狀。

固定翼10的傾斜方向的剛性借助該支承側(cè)壁部102提高，例如即使發(fā)生在真空泵的組裝時其他部件觸碰到固定翼10那樣的情況，被設(shè)定為最合適的固定翼10的傾斜角度也不容易變化。

如前所述的包括固定翼10及支承側(cè)壁部102的分割靜翼部11（11a、11b），能夠使用與固定翼10、支承側(cè)壁部102的形狀對應(yīng)的模具，通過固定翼10的沖壓加工及支承側(cè)壁部102的拉深加工來形成，但沖壓加工及拉深加工自身是眾所周知的，所以省略其詳細(xì)說明。

固定翼10的兩側(cè)端部10－s1、10－s2中，與內(nèi)側(cè)的邊緣部12接近的側(cè)端部10－s2也呈具備如前所述那樣的支承側(cè)壁部102的構(gòu)造。另外，在該側(cè)端部10－s2，也能夠設(shè)置如前所述的缺口部101。

如前所述，固定翼10被通過沖壓加工來形成，支承側(cè)壁部102被通過拉深加工來形成，但作為不由于將該支承側(cè)壁部102成形的拉深加工而在支承側(cè)壁部102處產(chǎn)生裂縫的條件，在圖1的真空泵p中，在拉深加工前，設(shè)定成靜翼部a2的將通過拉深加工而成為支承側(cè)壁部102的部分滿足下述式（1）。

s×l×t1≥v…式（1）

s：將通過拉深加工成為支承側(cè)壁部的部分的轉(zhuǎn)子7（旋轉(zhuǎn)體）的半徑方向的寬度（參照圖5）

l：將通過拉深加工成為支承側(cè)壁部的部分的轉(zhuǎn)子7（旋轉(zhuǎn)體）的圓周方向的長度（參照圖5）

t1：將通過拉深加工成為支承側(cè)壁部的部分的板厚（參照圖6）

s×l×t1：將通過拉深加工成為支承側(cè)壁部的部分的體積

v：拉深加工后的支承側(cè)壁部的體積。

前述v的值也可以通過實(shí)驗(yàn)來求出。該實(shí)驗(yàn)例如是將前述s、l或t1的值適當(dāng)?shù)馗淖儙状?，進(jìn)行固定翼10的沖壓加工及支承側(cè)壁部102的拉深加工，之后觀察支承側(cè)壁部102處的裂縫的有無，由此最終取得不由拉深加工產(chǎn)生裂縫的s、l、t1，算出v。

這里，像前述式（1）中的"s×l×t1＝v"那樣將拉深加工前的支承側(cè)壁部102的體積"s×l×t1"設(shè)定成與"v"相等的情況（設(shè)定成相等）下，從該式的變形，即"s×l×t1＝v"可知，拉深加工后的支承側(cè)壁部102的體積"s×l×t1"與防止由拉深加工引起的裂縫所必需的支承側(cè)壁部102的體積"v"相等，所以若以滿足前述式（1）中的"s×l×t1＝v"的方式設(shè)定拉深加工前的支承側(cè)壁部102的體積（s×l×t1），則會在支承側(cè)壁部102處有效地防止由拉深加工引起的裂縫。

此外，在像式（1）中的"s×l×t1＞v"那樣將拉深加工前的支承側(cè)壁部102的體積"s×l×t1"設(shè)定成比"v"大的情況下，進(jìn)而與將成為拉深加工對象的部分（拉伸加工前的支承側(cè)壁部102）的體積"s×l×t1"與前述的設(shè)定成相等相比增加的量相應(yīng)地，在支持側(cè)壁部102的拉深加工上能夠存在余量，所以前述的支承側(cè)壁部102處的裂縫更難以產(chǎn)生。

前述缺口部101的寬度s1（＝支承側(cè)壁部的寬度s，參照圖5）根據(jù)需要可以適當(dāng)?shù)馗淖?，但在將缺口?01通過沖孔加工來形成時，若考慮通常比沖孔材料的板厚小的寬度的沖孔加工較為困難、固定翼10的沖壓加工或支承側(cè)壁部102的拉深加工的容易性，則如下述式（2）所示，優(yōu)選的是，在拉深加工前，缺口部101的轉(zhuǎn)子7（旋轉(zhuǎn)體）的半徑方向的寬度s1設(shè)定成與邊緣部12、13的板厚t2相等的尺寸或比其大的尺寸。

s1≥t2…式（2）

s1：缺口部的轉(zhuǎn)子（旋轉(zhuǎn)體）的半徑方向的寬度（＝支承側(cè)壁部的寬度s）

t2：邊緣部的板厚（參照圖6）。

前述缺口部101的角部101a、101b（參照圖5）位于與支承側(cè)壁部102的邊界，在支承側(cè)壁部102的拉深加工中被拉長，所以為了防止由拉長引起的來自角部101a、101b的裂縫，缺口部101的角部101a、101b的形狀優(yōu)選地呈圓弧形狀。

前述外側(cè)的邊緣部13的寬度s2（參照圖5）也能夠適當(dāng)?shù)馗淖?，但其寬度s2如下述式（3）所示，優(yōu)選地設(shè)定成與外側(cè)的邊緣部13的板厚t2（參照圖6）相等的尺寸或比其大的尺寸。

s2≥t2…式（3）

s2：外側(cè)的邊緣部的寬度

t2：邊緣部的板厚。

優(yōu)選如前所述的邊緣部13的寬度s2的設(shè)定的理由總體上來說是因?yàn)?，為了在固定?0的沖壓加工、支承側(cè)壁部102的拉深加工中將外側(cè)的邊緣部13作為按壓部來固定，若外側(cè)的邊緣部13的寬度s2比該材料的板厚t2小，則產(chǎn)生在拉深加工時外側(cè)的邊緣部13從模具脫離等拉深加工上的不利情況的可能性較高。

以上的特征在將內(nèi)側(cè)的邊緣部12作為按壓部來固定的狀態(tài)中進(jìn)行固定翼10的沖壓加工、支承側(cè)壁部102的拉深加工的情況下，也是一樣的。因此，該情況下，優(yōu)選的是，內(nèi)側(cè)的邊緣部12的寬度設(shè)定成，與構(gòu)成該邊緣部12的材料的板厚相等的尺寸或比其更大的尺寸。

圖7是被應(yīng)用于圖1的真空泵的氣體分子逆流防止構(gòu)造的說明圖。另外，在圖7中所示的分割靜翼部11（11a）的剖視圖相當(dāng)于從圖3中的箭頭d方向觀察的分割靜翼部11（11a）的剖視圖。

之前說明的缺口101在用于防止由于支承側(cè)壁部102的拉深加工產(chǎn)生的裂縫上是重要的，但相反，產(chǎn)生向吸氣口2側(cè)的氣體分子的逆流，導(dǎo)致作為真空泵p的排氣性能的下降。

因此，在圖1的真空泵p中，如圖7所示，作為氣體分子逆流防止部件，在缺口部101的吸氣口側(cè)設(shè)置遮蔽部19，借助該遮蔽部19，防止經(jīng)由缺口部101的氣體分子的逆流，實(shí)現(xiàn)作為真空泵p的排氣性能的提高。

在圖7的例中，將前述遮蔽部19一體地形成于間隔件17（參照圖1）的內(nèi)表面，但不限于此。雖省略圖示，但可在靜翼部a2上設(shè)置遮蔽部19等，前述遮蔽部19被存在于真空泵p內(nèi)的一些固定部件（靜止體等）支承。

在將固定翼10通過沖壓加工形成時，在拉深加工前，在將成為固定翼10的傾斜末端的部位和邊緣部12、13間形成固定翼長度方向的切口20（參照圖5及圖8）。這樣的固定翼長度方向的切口20也與先前已說明的缺口部101一樣，通過沖孔加工來形成，但如前所述，通常比沖孔材料的板厚小的寬度的沖孔加工較為困難。因此，固定翼長度方向的切口20的寬度s3（參照圖5及圖8）優(yōu)選地設(shè)定成與邊緣部12、13的板厚t2相等的尺寸或比其更大的尺寸。

包括固定翼10、支承側(cè)壁部102以及邊緣部12、13的分割靜翼部11（11a、11b）是由鋁鋼板或不銹鋼板形成，但其材料的性質(zhì)上，需要將由拉深加工形成的支承側(cè)壁部102相對于邊緣部12、13的傾斜角度θ（參照圖9）設(shè)定成不滿90度。此外，該傾斜角度θ可以由下述式（6）確定成不滿90度的傾斜角度。

c≤r×b…式（4）

r＝（b＋δr）／b…式（5）

θ＝cos^－1（b／c）…式（6）

c：拉深加工后的支承側(cè)壁部的長度（參照圖9）

r：材料的極限伸長率

b：將拉深加工后的支承側(cè)壁部投影至包括邊緣部的表面的面的長度（參照圖9）

δr：構(gòu)成支承側(cè)壁部的材料的極限伸長量

θ：拉深加工后的支承側(cè)壁部相對于邊緣部的傾斜角度。

若前述c值超過前述r×b值，則在支承側(cè)壁部102處產(chǎn)生由拉深加工引起的裂縫，為了防止這樣的裂縫，前述c值必須滿足前述式（5）。即，如果是滿足前述式（5）的c值，則在支承側(cè)壁部102處難以產(chǎn)生由拉深加工引起的裂縫。前述公式（6）包括這樣的c值，確定θ，所以如果形成以由前述公式（6）確定的θ的傾斜角度進(jìn)行拉深加工的支承側(cè)壁部102，則由拉深加工引起的裂縫在支承側(cè)壁部102處產(chǎn)生的可能性較低。

與前述邊緣部12、13的固定翼10的傾斜根部連結(jié)的部分18如圖3所示，可以形成為沒有傾斜的平坦的平板狀，但也可以例如如圖10所示，與固定翼10同樣地傾斜。該情況下，傾斜的連接部18也與固定翼10相同，具備對氣體分子施加向下的方向（從吸氣口2向排氣口3的方向）的動量的功能，所以可以期待作為真空泵的排氣性能的進(jìn)一步的提高。

渦輪分子泵部pt的動作說明

在圖1的真空泵p中，借助驅(qū)動馬達(dá)8的起動，轉(zhuǎn)子軸5、轉(zhuǎn)子7及多個旋轉(zhuǎn)翼9一體地旋轉(zhuǎn)。此時，在渦輪分子泵部pt中，最上級的旋轉(zhuǎn)翼9對從吸氣口2進(jìn)入的氣體分子施加向下的方向（從吸氣口2向排氣口3的方向）的動量。具有該向下的方向的動量的氣體分子被固定翼10向下一級的旋轉(zhuǎn)翼9側(cè)送入。以上那樣的對氣體分子的動量的施加和送入動作被動翼部a1和靜翼部a2的各級重復(fù)多級地進(jìn)行，由此吸氣口2側(cè)的氣體分子被以向轉(zhuǎn)子7的下游（在圖1中是轉(zhuǎn)子7的下方）依次轉(zhuǎn)移的方式排出。

螺旋槽泵部ps的構(gòu)造說明

參照圖1，螺旋槽泵部ps由轉(zhuǎn)子7的大致下半部分和位于該轉(zhuǎn)子7的外周面?zhèn)鹊穆菪鄱ㄗ?4形成螺旋槽流路15，經(jīng)由螺旋槽流路15將氣體排出。具體地，在圖1的真空泵p中，轉(zhuǎn)子7的大致下半部分被圓筒形的螺旋槽定子14包圍，借助在該螺旋槽定子14的內(nèi)周面上形成的螺旋槽b和轉(zhuǎn)子7的外周面，在該轉(zhuǎn)子7的外周面?zhèn)仍O(shè)置有螺旋槽流路15。

螺旋槽流路15的入口（上流端側(cè)）與渦輪分子泵部pt的下游側(cè)連通，該螺紋槽流路15的出口（下游端側(cè)）經(jīng)由泵內(nèi)排氣流路16與排氣口3連通。

作為前述螺旋槽流路15的其他的實(shí)施方式，例如，可以采用省略前述螺旋槽定子14的螺旋槽b而將那樣的螺旋槽b在轉(zhuǎn)子7的外周面上形成的結(jié)構(gòu)，或?qū)⑶笆雎菪踒在轉(zhuǎn)子7的外周面和螺旋槽定子14的內(nèi)周面二者上形成的結(jié)構(gòu)，此外，也可以采用將前述螺旋槽b在轉(zhuǎn)子7的外周面的一部分或螺旋槽定子14的內(nèi)周面的一部分上形成的結(jié)構(gòu)。

在由前述那樣的構(gòu)造構(gòu)成的螺旋槽泵部ps中，借助由螺旋槽b和轉(zhuǎn)子7的外周面產(chǎn)生的拖拽效果，將氣體壓縮，同時進(jìn)行移送，所以螺旋槽b的深度設(shè)定成，在螺旋槽流路15的入口側(cè)（接近吸氣口2的流路開口端）最深，再其出口側(cè)（接近排氣口3的流路開口端）最淺。

螺旋槽泵部的動作說明

在圖1的真空泵p中，借助渦輪分子泵部pt的排氣動作，氣體分子到達(dá)螺旋槽流路15的入口側(cè)。到達(dá)的氣體分子流入螺旋槽流路15，借助由轉(zhuǎn)子7的旋轉(zhuǎn)產(chǎn)生的效果、即由轉(zhuǎn)子7的外周面和螺旋槽b產(chǎn)生的牽引效果，被從過渡流壓縮成粘性流，同時朝向泵內(nèi)排氣流路16。并且，到達(dá)泵內(nèi)排氣流路16的氣體分子的粘性流借助圖中未示出的輔助泵，被從排氣口3向外包裝殼1外排出。

本發(fā)明不限于以上說明的實(shí)施方式，在本發(fā)明的技術(shù)思想內(nèi)，具有本領(lǐng)域通常知識的技術(shù)人員能夠進(jìn)行多種變形。

例如，在前述實(shí)施方式中，對在與固定翼的兩側(cè)端部中的外側(cè)的邊緣部13較近的側(cè)端部設(shè)置支承側(cè)壁部的例子進(jìn)行了說明，但本發(fā)明不限于此，也可以應(yīng)用于在與固定翼的兩側(cè)端部中的內(nèi)側(cè)的邊緣部12較近的側(cè)端部設(shè)置支承側(cè)壁部的例子。

此外，也可以將以上說明的各實(shí)施方式組合來使用。

在前述實(shí)施方式中，用具備渦輪分子泵部pt及螺旋槽泵部ps的復(fù)合泵來進(jìn)行說明，但也可以使用僅具備渦輪分子泵部pt的全翼泵（全翼ポンプ）。

附圖標(biāo)記說明

1外包裝殼

1a泵殼

1b泵基部

2吸氣口

3排氣口

4定子柱

5轉(zhuǎn)子軸

6磁軸承

7轉(zhuǎn)子

7a端部件

7b筒部件

8驅(qū)動馬達(dá)

9旋轉(zhuǎn)翼

10固定翼

10e固定翼的傾斜根部

10t固定翼的傾斜末端

10－s1與外側(cè)的邊緣部較近的固定翼的側(cè)端部

10－s2與內(nèi)側(cè)的邊緣部較近的固定翼的側(cè)端部

11分割靜翼部

11a第1分割靜翼部

11b第2分割靜翼部

12內(nèi)側(cè)的邊緣部

12a內(nèi)側(cè)的邊緣部的端部

13外側(cè)的邊緣部

14螺旋槽定子

15螺旋槽流路

16泵內(nèi)排氣流路

17間隔件

18邊緣部的與固定翼的傾斜根部連結(jié)的部分

19遮蔽部

a1動翼部

a2靜翼部

b螺旋槽

ch腔室

p真空泵

pt渦輪分子泵部

ps螺旋槽泵部。