技術(shù)編號(hào)：11260426
提示：您尚未登錄，請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ，登陸完成后，請(qǐng)刷新本頁(yè)查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及被作為半導(dǎo)體制造裝置、平板顯示器制造裝置、太陽(yáng)能電池板制造裝置中的處理腔、其他腔室的氣體排出機(jī)構(gòu)等而利用的真空泵及被使用于該真空泵的靜翼部，特別地，作為構(gòu)成該真空泵的固定翼，具備防止由拉深加工引起的裂縫的高剛性的固定翼，由此實(shí)現(xiàn)作為真空泵的耐久性、可靠性及排氣性能的提高。背景技術(shù)這種以往的真空泵例如被專利文獻(xiàn)1公開。該文獻(xiàn)1的真空泵具備由旋轉(zhuǎn)的動(dòng)翼部（6）和固定的靜翼部（70）將氣體移送的渦輪分子部。并且，專利文獻(xiàn)1的真空泵的前述靜翼部（70）如該文獻(xiàn)1的圖3、圖4等所公開那樣，具有以...
注意：該技術(shù)已申請(qǐng)專利，請(qǐng)尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出，在未取得專利權(quán)人授權(quán)前，僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備，不適合論文引用。