技術(shù)特征：

技術(shù)總結(jié)
本發(fā)明提供一種監(jiān)視裝置及監(jiān)視方法，能夠精度更優(yōu)良地監(jiān)視真空泵的消耗功率。監(jiān)視裝置(3)包括：運(yùn)算部(31)，運(yùn)算磁軸承式的渦輪分子泵(TMP)的消耗功率，所述磁軸承式的渦輪分子泵(TMP)的消耗功率是將基于馬達(dá)轉(zhuǎn)數(shù)及馬達(dá)電流值的馬達(dá)(11)的消耗功率與磁軸承(12)的消耗功率相加所得；以及顯示控制部(34)，使由運(yùn)算部(31)運(yùn)算出的渦輪分子泵(TMP)的消耗功率顯示于顯示部(33)。

技術(shù)研發(fā)人員：森山伸彥
受保護(hù)的技術(shù)使用者：株式會社島津制作所
技術(shù)研發(fā)日：2016.08.11
技術(shù)公布日：2017.07.04