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監(jiān)視裝置及監(jiān)視方法與流程技術(shù)資料下載

技術(shù)編號(hào):12795855

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本發(fā)明涉及一種監(jiān)視裝置及監(jiān)視方法。背景技術(shù)專利文獻(xiàn)1中記載了一種渦輪分子泵(turbo-molecularpump),其具備運(yùn)算渦輪分子泵的消耗功率的消耗功率運(yùn)算部。專利文獻(xiàn)1中,運(yùn)算與馬達(dá)電流及泵轉(zhuǎn)數(shù)對(duì)應(yīng)的馬達(dá)的消耗功率,并將該消耗功率作為泵的消耗功率。[現(xiàn)有技術(shù)文獻(xiàn)][專利文獻(xiàn)][專利文獻(xiàn)1]日本專利特開(kāi)2010-31679號(hào)公報(bào)發(fā)明內(nèi)容[發(fā)明所要解決的問(wèn)題]然而,在磁軸承式的渦輪分子泵的情況下,因磁軸承(magneticbearing)的消耗功率也包含在泵的消耗功率中,所以在現(xiàn)有的消耗功率...
注意:該技術(shù)已申請(qǐng)專利,請(qǐng)尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出,在未取得專利權(quán)人授權(quán)前,僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán),增加技術(shù)思路,做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備,不適合論文引用。

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