專利名稱：一種爪式無油真空泵的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實(shí)用新型涉及一種爪式無油真空泵。
背景技術(shù)：
目前市場上的真空泵存在以下缺陷1、清潔度低，沒有對油潤滑型的干式真空泵的油蒸氣污染采取必要的措施，沒有對抽氣過程中混入的顆粒物做好有效的防護(hù)；2、安全性低，沒有對CVD (化學(xué)氣相沉積)過程中可能出現(xiàn)的爆炸事故做好防護(hù)措施；3、耐磨性低；4、造價(jià)高；5、維修不方便；6、性能不穩(wěn)定；7、振動大、噪音高。

實(shí)用新型內(nèi)容本實(shí)用新型的目的是提供一種爪式無油真空泵，以克服目前現(xiàn)有技術(shù)的真空泵存在的清潔度低、安全性低、耐磨性低、造價(jià)高、維修不方便、性能不穩(wěn)定、振動大、噪音高的不足。本實(shí)用新型的目的是通過以下技術(shù)方案來實(shí)現(xiàn)一種爪式無油真空泵，包括電機(jī)，所述電機(jī)右端設(shè)有電機(jī)連接架，電機(jī)連接架右端連接干泵主體，干泵主體上端靠右側(cè)設(shè)有進(jìn)氣口，所述干泵主體前端設(shè)有排氣口，所述電機(jī)連接架內(nèi)設(shè)有聯(lián)軸器，聯(lián)軸器連接主動軸，主動軸上設(shè)有主動齒輪，主動齒輪活動連接從動齒輪，從動齒輪中心固定有從動軸，從動軸和主動軸上分別自主動齒輪和從動齒輪向右依次設(shè)有軸封層一、軸承一、隔套一、轉(zhuǎn)子一、隔套二、轉(zhuǎn)子二、隔套三、轉(zhuǎn)子三、隔套四、轉(zhuǎn)子四、隔套五、軸承二，所述轉(zhuǎn)子一、轉(zhuǎn)子二、轉(zhuǎn)子三、轉(zhuǎn)子四之間分別設(shè)有間隙，所述轉(zhuǎn)子一與泵腔一、轉(zhuǎn)子二與泵腔二、轉(zhuǎn)子三與泵腔三、轉(zhuǎn)子四與泵腔四之間分別設(shè)有間隙，所述隔套五上靠近軸承二處設(shè)有油封層一，所述主動軸上靠近主動齒輪左側(cè)設(shè)有軸套二，軸套二外部環(huán)設(shè)有軸封層二。進(jìn)一步的，所述干泵主體外部設(shè)有自動清洗工藝孔，所述干泵主體右端設(shè)有若干水冷工藝孔，所述排氣口上設(shè)有消音器。本實(shí)用新型的有益效果為爪式無油真空泵在轉(zhuǎn)子之間及轉(zhuǎn)子與泵腔之間并不接觸，留有微小的間隙，不用任何潤滑劑，從而保證了清潔的真空環(huán)境；水冷工藝孔的獨(dú)特設(shè)計(jì)，防止形成的氧化物自燃引起爆炸；自動清洗工藝孔的獨(dú)特設(shè)計(jì)使得泵工作兩年左右或有意外大量進(jìn)入液體或粉塵和粘稠物等異物后，可以在不拆泵的情況下，半小時內(nèi)對泵內(nèi)部全面清洗并恢復(fù)到出廠水平，并長期保持非常穩(wěn)定的極限真空；消音器的獨(dú)特設(shè)計(jì)，可降低噪音50%以上，保證噪音在65db以內(nèi)。

下面根據(jù)附圖對本實(shí)用新型作進(jìn)一步詳細(xì)說明。圖1是本實(shí)用新型實(shí)施例所述的一種爪式無油真空泵的結(jié)構(gòu)示意圖一；圖2是本實(shí)用新型實(shí)施例所述的一種爪式無油真空泵的結(jié)構(gòu)示意圖二 ；[0011]圖3是本實(shí)用新型實(shí)施例所述的一種爪式無油真空泵的干泵主體的剖視圖。圖中1、電機(jī)；2、電機(jī)連接架；3、干泵主體；4、自動清洗工藝孔；5、進(jìn)氣口 ；6、排氣口 ；7、聯(lián)軸器；8、主動軸；9、主動齒輪；10、從動齒輪；11、從動軸；12、軸承一 ；13、隔套一 ；14、轉(zhuǎn)子一 ；15、隔套二 ；16、轉(zhuǎn)子二 ；17、隔套三；18、轉(zhuǎn)子三；19、隔套四；20、轉(zhuǎn)子四；21、隔套五；22、軸承二 ；23、油封層一 ；24、軸套二 ；25、泵腔一 ；26、泵腔二 ；27、泵腔三；28、泵腔四；29、水冷工藝孔；30、消音器；31、軸封層一 ；32、軸封層二。
具體實(shí)施方式
如圖1-3所示，本實(shí)用新型實(shí)施例所述的一種爪式無油真空泵，包括電機(jī)I和干泵主體3，所述電機(jī)I右端設(shè)有電機(jī)連接架2，電機(jī)連接架2右端連接干泵主體3，干泵主體3上端靠右側(cè)設(shè)有進(jìn)氣口 5，所述干泵主體3前端設(shè)有排氣口 6，排氣口 6上設(shè)有消音器30 ;所述電機(jī)連接架2內(nèi)設(shè)有聯(lián)軸器7，聯(lián)軸器7連接主動軸8，主動軸8上設(shè)有主動齒輪9，主動齒輪9活動連接從動齒輪10，從動齒輪10中心固定有從動軸11，從動軸11和主動軸8上分別自主動齒輪9和從動齒輪10向右依次設(shè)有軸封層一 31、軸承一 12、隔套一 13、轉(zhuǎn)子一14、隔套二 15、轉(zhuǎn)子二 16、隔套三17、轉(zhuǎn)子三18、隔套四19、轉(zhuǎn)子四20、隔套五21、軸承二 22，所述轉(zhuǎn)子一 14、轉(zhuǎn)子二 16、轉(zhuǎn)子三18、轉(zhuǎn)子四20之間分別設(shè)有間隙，所述轉(zhuǎn)子一 14與泵腔
一25、轉(zhuǎn)子二 16與泵腔二 26、轉(zhuǎn)子三18與泵腔三27、轉(zhuǎn)子四20與泵腔四28之間分別設(shè)有間隙，所述隔套五21上靠近軸承二 22處設(shè)有油封層一 23，所述主動軸8上靠近主動齒輪9左側(cè)設(shè)有軸套二 24，軸套二 24外部環(huán)設(shè)有軸封層二 32 ;所述干泵主體3外部設(shè)有自動清洗工藝孔4，所述干泵主體3右端設(shè)有若干水冷工藝孔29，在實(shí)際生產(chǎn)中，上述主體結(jié)構(gòu)一般被整合統(tǒng)稱為密封裝置。具體實(shí)施時，針對抽氣過程中混入的顆粒物，可在爪式無油真空泵加上可調(diào)溫裝置，爪式無油真空泵的型號為APKX-4H，因?yàn)楦杀脙?nèi)部正常工作溫度為65°，所以可調(diào)整的溫度范圍是25°飛5°，由于某些應(yīng)用中的生成物在溫度增大到一定程度時可以揮發(fā)為氣態(tài)，故適當(dāng)控制泵溫可以使上述生成物的沉積避免；根據(jù)不同的工況，泵體材料可以是耐蝕鑄鐵、鑄鋼、不銹鋼；轉(zhuǎn)子材料可選擇不銹鋼和合金鋼，合金鋼可選擇型號為40Cr鋼材；主軸材料可選擇不銹鋼和鑄鋼，鑄鋼可選擇40Cr型號鋼材，不銹鋼可選擇2Crl3型號鋼材；密封型式為骨架密封和機(jī)械密封以及氮?dú)饷芊獾冉M成，確保了泵腔與油箱的安全隔離，工藝孔在成品步驟會被堵上，以保持完整外觀。具體使用時，空氣經(jīng)進(jìn)氣口 5進(jìn)入后，經(jīng)水冷工藝孔29降溫后通過轉(zhuǎn)子四進(jìn)入泵腔四28，在轉(zhuǎn)子四20、轉(zhuǎn)子三18、轉(zhuǎn)子二 16、轉(zhuǎn)子一 14的作用下，依次通過泵腔三27、泵腔
二26和泵腔一 25后從排出口 6排出，當(dāng)爪式無油真空泵需要清洗時，可不經(jīng)過拆泵，直接通過自動清洗工藝孔4對爪式無油真空泵進(jìn)行清洗。本實(shí)用新型不局限于上述最佳實(shí)施方式，任何人在本實(shí)用新型的啟示下都可得出其他各種形式的產(chǎn)品，但不論在其形狀或結(jié)構(gòu)上作任何變化，凡是具有與本申請相同或相近似的技術(shù)方案，均落在本實(shí)用新型的保護(hù)范圍之內(nèi)。
權(quán)利要求1.一種爪式無油真空泵，包括電機(jī)(I)和干泵主體(3 )，所述電機(jī)(I)右端設(shè)有電機(jī)連接架(2)，電機(jī)連接架(2)右端連接干泵主體(3)，干泵主體(3)上端靠右側(cè)設(shè)有進(jìn)氣口(5)，干泵主體(3)前端設(shè)有排氣口(6)，電機(jī)連接架(2)內(nèi)設(shè)有聯(lián)軸器(7)，聯(lián)軸器(7)連接主動軸(8 )，主動軸(8 )上設(shè)有主動齒輪(9 )，主動齒輪(9 )活動連接從動齒輪(10 )，從動齒輪(10 )中心固定有從動軸(11)，其特征在于從動軸(11)和主動軸(8 )上分別自主動齒輪(9 )和從動齒輪(10)向右依次設(shè)有軸封層一(31)、軸承一(12)、隔套一(13)、轉(zhuǎn)子一(14)、隔套二(15)、轉(zhuǎn)子二(16)、隔套三(17)、轉(zhuǎn)子三(18)、隔套四(19)、轉(zhuǎn)子四(20)、隔套五(21)、軸承二(22)，所述轉(zhuǎn)子一(14)、轉(zhuǎn)子二(16)、轉(zhuǎn)子三(18)、轉(zhuǎn)子四(20)之間分別設(shè)有間隙，所述轉(zhuǎn)子一(14)與泵腔一(25)、轉(zhuǎn)子二(16)與泵腔二(26)、轉(zhuǎn)子三(18)與泵腔三(27)以及轉(zhuǎn)子四(20)與泵腔四(28)之間分別設(shè)有間隙，所述隔套五(21)上靠近軸承二(22)設(shè)有油封層一(23)。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種爪式無油真空泵，其特征在于所述主動軸(8)上靠近主動齒輪(9)左側(cè)設(shè)有軸套二(24)，軸套二(24)外部環(huán)設(shè)有軸封層二(32)。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的一種爪式無油真空泵，其特征在于所述干泵主體(3)外部設(shè)有自動清洗工藝孔(4)。
4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的一種爪式無油真空泵，其特征在于所述干泵主體(3)右端設(shè)有若干水冷工藝孔(29)。
5.根據(jù)權(quán)利要求1-4任一項(xiàng)所述的一種爪式無油真空泵，其特征在于所述排氣口(6)上設(shè)有消音器(30)。
專利摘要本實(shí)用新型涉及一種爪式無油真空泵，包括電機(jī)和干泵主體，電機(jī)右端設(shè)有聯(lián)軸器，聯(lián)軸器右端連接干泵主體，干泵主體上端靠右側(cè)設(shè)有進(jìn)氣口，干泵主體前端設(shè)有排氣口，轉(zhuǎn)子一、轉(zhuǎn)子二、轉(zhuǎn)子三、轉(zhuǎn)子四與泵腔一、泵腔二、泵腔三、泵腔四之間分別設(shè)有微小的間隙，并形成密封裝置，干泵主體外部設(shè)有清洗工藝孔，干泵主體右端設(shè)有若干水冷工藝孔，排氣口上設(shè)有消音器。本實(shí)用新型的有益效果為在轉(zhuǎn)子之間及轉(zhuǎn)子與泵腔之間留有微小的間隙，保證了清潔的真空環(huán)境；水冷工藝孔的設(shè)計(jì)防止形成的氧化物自燃引起爆炸；自動清洗工藝孔的設(shè)計(jì)可在不拆泵的情況下，30分鐘內(nèi)對泵的內(nèi)部進(jìn)行全面清洗并恢復(fù)到出廠水平；消音器的設(shè)計(jì)，可降低噪音至65Db。
文檔編號F04C25/02GK202851358SQ20122046846
公開日2013年4月3日 申請日期2012年9月13日 優(yōu)先權(quán)日2012年9月13日
發(fā)明者王瑞華, 頓成元 申請人:北京奧普科星技術(shù)有限公司