專利名稱：一種真空泵水冷結(jié)構(gòu)的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實用新型屬于真空泵技術(shù)領(lǐng)域，具體地說是一種真空泵水冷結(jié)構(gòu)。
背景技術(shù)：
干式真空泵是一種泵內(nèi)不用油類(或液體)密封的變?nèi)菡婵毡?。由于干式真空泵泵腔?nèi)不需要工作液體，因此，適用于半導(dǎo)體行業(yè)、化學(xué)工業(yè)、制藥工業(yè)及食品行業(yè)等需要無油清潔真空環(huán)境的工藝場合。隨著半導(dǎo)體工業(yè)、電子工業(yè)的蓬勃興起，對于真空環(huán)境的要求越來越多、越來越嚴格。由于由普通的油封機械泵、擴散泵所組成的真空系統(tǒng)易于向真空室中返油，真空室中的油分子會在硅片晶體上沉積，使硅晶體成為廢品。所以這樣的真空系統(tǒng)在半導(dǎo)體工業(yè)、電子工業(yè)中的應(yīng)用受到了限制。相反，由于干式真空泵不需要潤滑油來潤滑密封，做到了無油蒸汽污染，而且對被抽氣體中含有的灰塵和水蒸氣不敏感。所以，由干式真空泵組成的真空系統(tǒng)得到了廣泛的應(yīng)用，并在半導(dǎo)體工業(yè)、電子工業(yè)的發(fā)展過程中起到了推動的作用。由于在半導(dǎo)體工藝中，使用的氣體往往都是比較高的溫度。高溫氣體經(jīng)過反應(yīng)腔進入泵體內(nèi)部，最后經(jīng)泵的排氣口排出。因此氣體將部分熱量傳給了干泵，同時由于多級干泵自身也不斷壓縮氣體，產(chǎn)生大量熱量，這些熱量也有很大一部分傳導(dǎo)到泵體上。經(jīng)過多方面的熱量傳導(dǎo)干泵自身的溫度就比較高，使得泵體內(nèi)部的零部件由于高溫而變形，這對泵自身的壽命以及人員安全都造成威脅。因此通過對泵體的冷卻從而達到保護泵自身及使用人員的安全成為亟待解決的問題。
實用新型內(nèi)容針對上述問題，本實用新型的目的在于提供一種真空泵水冷結(jié)構(gòu)。該真空泵水冷結(jié)構(gòu)極大地增加了冷卻水與泵體的接觸面積，從而增強了冷卻效果。為了達到上述目的，本實用新型采用以下技術(shù)方案一種真空泵水冷結(jié)構(gòu)，包括依次相連的進氣腔體、多級腔體及排氣腔體，所述進氣腔體、多級腔體及排氣腔體上均設(shè)有水流通道，各相鄰腔體上的水流通道相通；所述水流通道的進水口設(shè)在進氣腔體上，回水口設(shè)在排氣腔體上。所述進氣腔體的下部設(shè)有泄水口。所述進水口設(shè)在進氣腔體的下部。所述回水口設(shè)在排氣腔體的上部。所述水流通道在各腔體上圍繞一周。所述多級腔體包括依次相連的一級腔體、一級隔板、二級腔體、三級腔體、四級腔體。所述一級腔體、一級隔板、二級腔體、三級腔體、四級腔體上水流通道的兩端口處均設(shè)有凹槽。所述凹槽內(nèi)設(shè)有0型密封圈。所述水流通道與各腔體為一體鑄造。
3[0017]本實用新型具有以下的優(yōu)點本實用新型相對于傳統(tǒng)的盤管冷卻，極大地增加了冷卻水與泵體的接觸面積，從而增強了冷卻效果。腔體內(nèi)水流通道為鑄造完成無需加工，省去了水管和固定零件，節(jié)約了成本，同時無需人工盤管，減少了勞動時間，增加效率。

圖1是本實用新型的結(jié)構(gòu)示意圖；圖2是圖1的左視圖；圖3是圖1的俯視圖；圖4是圖3的A-A剖視圖；其中1為進氣腔體，2為一級腔體，3為一級隔板，4為二級腔體，5為三級腔體，6 為四級腔體，7為排氣腔體，8為泄水口，9為水流通道，10為進水口，11為回水口。
具體實施方式
以下結(jié)合附圖對本實用新型作進一步描述。如圖1 4所示，本實用新型包括依次相連的進氣腔體1、多級腔體及排氣腔體7， 進氣腔體1、多級腔體及排氣腔體7上均設(shè)有水流通道9，水流通道9在各腔體上圍繞一周， 并可S形環(huán)繞，加大冷卻面積。各相鄰腔體上的水流通道9相通；水流通道9的進水口 10 設(shè)在進氣腔體1的下部，回水口 11設(shè)在排氣腔體7的上部。進氣腔體1的最下部設(shè)有泄水 Π 8。所述多級腔體包括依次連接的一級腔體2、一級隔板3、二級腔體4、三級腔體5、四級腔體6。在一級腔體2、一級隔板3、二級腔體4、三級腔體5、四級腔體6上的水流通道9 的兩端口處均設(shè)有凹槽，即密封槽。所述凹槽內(nèi)設(shè)有0型密封圈進行靜密封，再通過各個腔體間的連接壓緊，進行有效的密封。各腔體內(nèi)的水流通道9與各腔體為一體鑄造完成，無需加工，省去了水管和固定零件，節(jié)約了成本，同時無需人工盤管，減少了勞動時間，增加效率。本實用新型的工作過程是冷卻水由進氣腔體1上的進水口 10進入進氣腔體1內(nèi)的水流通道9，再經(jīng)由一級腔體2、一級隔板3、二級腔體4、三級腔體5、四級腔體6、排氣腔體7的水流通道9實現(xiàn)泵體內(nèi)部的冷卻，最后從排氣腔體7上的回水口 11排出。若將各腔體內(nèi)的冷卻水排凈，則從泄水口 8排出。
權(quán)利要求1.一種真空泵水冷結(jié)構(gòu)，其特征在于包括依次相連的進氣腔體(1)、多級腔體及排氣腔體(7)，所述進氣腔體(1)、多級腔體及排氣腔體(7)上均設(shè)有水流通道(9)，各相鄰腔體上的水流通道(9)相通；所述水流通道(9)的進水口(10)設(shè)在進氣腔體(1)上，回水口 (11)設(shè)在排氣腔體(7)上。
2.按權(quán)利要求1所述的真空泵水冷結(jié)構(gòu)，其特征在于所述進氣腔體(1)的下部設(shè)有泄水口 (8)。
3.按權(quán)利要求1所述的真空泵水冷結(jié)構(gòu)，其特征在于所述進水口(10)設(shè)在進氣腔體 ⑴的下部。
4.按權(quán)利要求1所述的真空泵水冷結(jié)構(gòu)，其特征在于所述回水口(11)設(shè)在排氣腔體 (7)的上部。
5.按權(quán)利要求1所述的真空泵水冷結(jié)構(gòu)，其特征在于所述水流通道(9)在各腔體上圍繞一周。
6.按權(quán)利要求1所述的真空泵水冷結(jié)構(gòu)，其特征在于所述多級腔體包括依次相連的一級腔體(2)、一級隔板(3)、二級腔體(4)、三級腔體(5)、四級腔體(6)。
7.按權(quán)利要求6所述的真空泵水冷結(jié)構(gòu)，其特征在于所述一級腔體O)、一級隔板 (3)、二級腔體G)、三級腔體(5)、四級腔體(6)上水流通道(9)的兩端口處均設(shè)有凹槽。
8.按權(quán)利要求7所述的真空泵水冷結(jié)構(gòu)，其特征在于所述凹槽內(nèi)設(shè)有0型密封圈。
9.按權(quán)利要求1所述的真空泵水冷結(jié)構(gòu)，其特征在于所述水流通道(9)與各腔體為一體鑄造。
專利摘要本實用新型屬于真空泵技術(shù)領(lǐng)域，具體地說是一種真空泵水冷結(jié)構(gòu)，包括依次相連的進氣腔體、多級腔體及排氣腔體，所述進氣腔體、多級腔體及排氣腔體上均設(shè)有水流通道，相鄰腔體上的水流通道相通；所述水流通道的進水口設(shè)在進氣腔體上，回水口設(shè)在排氣腔體上。本實用新型極大地增加了冷卻水與泵體的接觸面積，從而增強了冷卻效果。腔體內(nèi)水流通道為鑄造完成無需加工，省去了水管和固定零件，節(jié)約了成本，同時無需人工盤管，減少了勞動時間，增加效率。
文檔編號F04C29/04GK202326256SQ201120446718
公開日2012年7月11日 申請日期2011年11月11日 優(yōu)先權(quán)日2011年11月11日
發(fā)明者于明鶴, 張振厚, 王光玉 申請人:中國科學(xué)院沈陽科學(xué)儀器研制中心有限公司