技術(shù)編號：5433073
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本實用新型屬于真空泵，具體地說是一種真空泵水冷結(jié)構(gòu)。 背景技術(shù)干式真空泵是一種泵內(nèi)不用油類(或液體)密封的變?nèi)菡婵毡?。由于干式真空泵泵腔?nèi)不需要工作液體，因此，適用于半導(dǎo)體行業(yè)、化學(xué)工業(yè)、制藥工業(yè)及食品行業(yè)等需要無油清潔真空環(huán)境的工藝場合。隨著半導(dǎo)體工業(yè)、電子工業(yè)的蓬勃興起，對于真空環(huán)境的要求越來越多、越來越嚴(yán)格。由于由普通的油封機械泵、擴散泵所組成的真空系統(tǒng)易于向真空室中返油，真空室中的油分子會在硅片晶體上沉積，使硅晶體成為廢品。所以這樣的真空系統(tǒng)在半導(dǎo)...
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