本發(fā)明涉及電鍍裝置及電鍍方法。

背景技術(shù)：

以往，公知有將保持于基板保持件的基板沿著鉛垂方向插入至收納有電鍍液的電鍍槽來(lái)進(jìn)行電解鍍的裝置(例如參照專利文獻(xiàn)1)。在這樣的電鍍裝置中，基板保持件在裝置的運(yùn)轉(zhuǎn)前被收納于用于收納基板保持件的儲(chǔ)料器(stocker)?；灞３旨谘b置的運(yùn)轉(zhuǎn)開(kāi)始時(shí)被從儲(chǔ)料器取出，保持要處理的晶片等基板。保持有基板的基板保持件被基板保持件輸送機(jī)向電鍍槽和電鍍處理所需要的各處理槽輸送，依次進(jìn)行所需要的處理。例如，將發(fā)現(xiàn)了供電不良的基板保持件返回儲(chǔ)料器，在維護(hù)完成之前限制其使用。

在這樣的電鍍裝置中，收納基板保持件的儲(chǔ)料器作為電鍍裝置的一部分難以分離地被裝入。因而，無(wú)法從電鍍裝置將收納基板保持件的儲(chǔ)料器本身取出，因此，在需要對(duì)收納于儲(chǔ)料器的基板保持件進(jìn)行維護(hù)的情況下，基板保持件以手動(dòng)作業(yè)或通過(guò)專用的吊車被從儲(chǔ)料器取出?；蛘撸褂萌缦路椒ǎ簩⒒灞３旨膬?chǔ)料器向能夠從外部接近(access)的電鍍裝置內(nèi)的輸送槽、保養(yǎng)區(qū)域(servicearea)輸送，同樣以手動(dòng)作業(yè)或通過(guò)專用的吊車取出。

于是，提出了如下電鍍裝置，該電鍍裝置為了能夠減輕將這樣的基板保持件從電鍍裝置取出的作業(yè)的負(fù)擔(dān)，容易地進(jìn)行基板保持件的維護(hù)，而具備能夠向電鍍裝置之外拉出的收納基板保持件的貨箱(wagon)(參照專利文獻(xiàn)2)。

現(xiàn)有技術(shù)文獻(xiàn)

專利文獻(xiàn)

專利文獻(xiàn)1：日本專利第3979847號(hào)

專利文獻(xiàn)2：日本專利第5642517號(hào)

技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素：

在專利文獻(xiàn)2所公開(kāi)的電鍍裝置中，僅具有單一儲(chǔ)料器(貨箱)，因此，若為了維護(hù)而將儲(chǔ)料器從電鍍裝置拉出，則在電鍍裝置內(nèi)沒(méi)有儲(chǔ)料器，沒(méi)有供使用過(guò)程中的基板保持件返回的場(chǎng)所。因而，在將儲(chǔ)料器從電鍍裝置拉出來(lái)的狀態(tài)下，無(wú)法進(jìn)行電鍍裝置的連續(xù)運(yùn)轉(zhuǎn)，因此，不得不使裝置的運(yùn)轉(zhuǎn)停止。另外，在儲(chǔ)料器構(gòu)成為收納陽(yáng)極保持件的情況下，也可能產(chǎn)生同樣的問(wèn)題。

本發(fā)明是鑒于上述問(wèn)題而完成的，其目的之一在于提供一種在將儲(chǔ)料器從電鍍裝置拉出來(lái)的期間內(nèi)也能夠連續(xù)運(yùn)轉(zhuǎn)的電鍍裝置及電鍍方法。

根據(jù)本發(fā)明的一方案，提供一種電鍍裝置。該電鍍裝置具有：電鍍處理部，其對(duì)基板進(jìn)行電鍍；多個(gè)儲(chǔ)料器，其構(gòu)成為能夠收納保持件，該保持件構(gòu)成為保持基板或陽(yáng)極，多個(gè)上述儲(chǔ)料器中的至少一個(gè)構(gòu)成為，能夠向上述電鍍裝置的內(nèi)外移動(dòng)。

根據(jù)該一方案，具有多個(gè)儲(chǔ)料器，能夠?qū)⒃搩?chǔ)料器中的至少一個(gè)向電鍍裝置外取出，因此，能夠?qū)⑹占{有需要維護(hù)的保持件的儲(chǔ)料器向電鍍裝置外取出，進(jìn)行保持件的維護(hù)。另外，在維護(hù)期間，成為其他儲(chǔ)料器配置于電鍍裝置內(nèi)的狀態(tài)。由此，在保持件的維護(hù)過(guò)程中，也能夠繼續(xù)電鍍裝置的運(yùn)轉(zhuǎn)，因此，與像以往那樣使電鍍裝置停止的情況相比，能夠使生產(chǎn)量提高。另外，對(duì)于基板保持件和陽(yáng)極保持件，得知如下?tīng)顩r：雖然保持件自身沒(méi)有產(chǎn)生構(gòu)造上的不良情況，但在持續(xù)進(jìn)行電鍍處理的過(guò)程中，會(huì)逐漸產(chǎn)生進(jìn)行電鍍處理之際產(chǎn)生錯(cuò)誤的次數(shù)多的保持件和產(chǎn)生錯(cuò)誤的次數(shù)少的保持件。在該一方案中，在電鍍裝置中設(shè)置有多個(gè)儲(chǔ)料器，因此，例如能夠?qū)⒋嬖诋a(chǎn)生了錯(cuò)誤的履歷的保持件收納于第1儲(chǔ)料器，將除此之外的保持件收納于第2儲(chǔ)料器，由此使第1儲(chǔ)料器作為維護(hù)的對(duì)象向電鍍裝置之外移動(dòng)。而且，在該一方案中，由于在電鍍裝置中設(shè)置有多個(gè)儲(chǔ)料器，因此，例如能夠在拉出來(lái)的儲(chǔ)料器中儲(chǔ)存規(guī)格與留在電鍍裝置內(nèi)的保持件不同的保持件。其結(jié)果是，即使使不同規(guī)格的基板混合在一起來(lái)進(jìn)行處理，也無(wú)需為了更換保持件而使裝置整體停止而是繼續(xù)生產(chǎn)，因此，能夠使裝置的生產(chǎn)率提高。

在本發(fā)明的一方案中，電鍍裝置具有將上述儲(chǔ)料器向上述電鍍裝置的外部取出的開(kāi)口部，上述儲(chǔ)料器在其側(cè)面具有分隔壁，該分隔壁以將上述電鍍裝置的內(nèi)部和上述電鍍裝置的外部分隔開(kāi)的方式覆蓋上述開(kāi)口部的至少一部分。

根據(jù)該一方案，儲(chǔ)料器所具備的分隔壁將電鍍裝置的內(nèi)部和外部分隔開(kāi)，因此，在儲(chǔ)料器配置于電鍍裝置內(nèi)部時(shí)，能夠防止作業(yè)人員從開(kāi)口部進(jìn)入電鍍裝置內(nèi)部。因而，在儲(chǔ)料器配置于電鍍裝置內(nèi)部且電鍍裝置正在運(yùn)轉(zhuǎn)的期間，能夠防止作業(yè)人員誤入電鍍裝置內(nèi)部，能夠確保作業(yè)人員的安全。此外，在專利文獻(xiàn)2所公開(kāi)的電鍍裝置中，將電鍍裝置內(nèi)部和儲(chǔ)料器分隔開(kāi)的開(kāi)閉器通過(guò)開(kāi)閉器旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)而構(gòu)成為彈起式。因此，在專利文獻(xiàn)2所公開(kāi)的電鍍裝置中，在開(kāi)閉器旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)產(chǎn)生了故障的情況下，開(kāi)閉器無(wú)法開(kāi)閉，因此，開(kāi)閉器保持關(guān)閉的狀態(tài)或保持打開(kāi)的狀態(tài)。在開(kāi)閉器保持關(guān)閉的狀態(tài)下，作業(yè)人員無(wú)法進(jìn)入電鍍裝置內(nèi)，在開(kāi)閉器保持打開(kāi)的狀態(tài)下，在作業(yè)人員取出儲(chǔ)料器(貨箱)之際作業(yè)人員的安全性較差。與此相對(duì)，根據(jù)該一方案，能夠移動(dòng)的儲(chǔ)料器具有分隔壁，因此，無(wú)需用于使該分隔壁移動(dòng)的特別的機(jī)構(gòu)，裝置結(jié)構(gòu)被簡(jiǎn)化。進(jìn)而，能夠降低裝置的故障風(fēng)險(xiǎn)，且能夠無(wú)需設(shè)置開(kāi)閉器旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)那樣的機(jī)構(gòu)的空間。

在本發(fā)明的一方案中，上述電鍍裝置具有背面分隔壁，該背面分隔壁隔著上述儲(chǔ)料器配置于上述分隔壁的相反側(cè)，構(gòu)成為覆蓋上述開(kāi)口部的至少一部分，上述背面分隔壁構(gòu)成為能夠與上述儲(chǔ)料器一起移動(dòng)，上述電鍍裝置具有使移動(dòng)到上述開(kāi)口部的上述背面分隔壁停止的止擋件。

根據(jù)該一方案，在使儲(chǔ)料器移動(dòng)時(shí)背面分隔壁也移動(dòng)，在背面分隔壁移動(dòng)到開(kāi)口部時(shí)，利用止擋件使背面分隔壁停止在開(kāi)口部。由此，即使在將儲(chǔ)料器取出到裝置外時(shí)，也利用停止在開(kāi)口部的背面分隔壁覆蓋開(kāi)口部的至少一部分，因此，在收納于儲(chǔ)料器的保持件的維護(hù)過(guò)程中，能夠防止作業(yè)人員誤入電鍍裝置內(nèi)部，能夠確保作業(yè)人員的安全。

在本發(fā)明的一方案中，具有用于將上述儲(chǔ)料器向上述電鍍裝置的內(nèi)外引導(dǎo)的引導(dǎo)構(gòu)件。

根據(jù)該一方案，能夠容易地進(jìn)行儲(chǔ)料器的出入作業(yè)。

在本發(fā)明的一方案中，上述引導(dǎo)構(gòu)件具有將上述儲(chǔ)料器以能夠滑動(dòng)的方式支承的滑動(dòng)體。

根據(jù)該一方案，通過(guò)滑動(dòng)體將儲(chǔ)料器以能夠滑動(dòng)的方式支承，因此，在使儲(chǔ)料器向電鍍裝置的內(nèi)外移動(dòng)時(shí)，儲(chǔ)料器的出入所需的力較少就足夠，能夠容易地進(jìn)行作業(yè)。另外，引導(dǎo)構(gòu)件具有滑動(dòng)體，因此，無(wú)需在儲(chǔ)料器上安裝移動(dòng)用的腳輪等。

在本發(fā)明的一方案中，電鍍裝置具有用于將配置于上述電鍍裝置內(nèi)的上述儲(chǔ)料器固定的固定構(gòu)件。

根據(jù)該一方案，在從電鍍裝置取出來(lái)的儲(chǔ)料器返回到電鍍裝置內(nèi)時(shí)，能夠?qū)?chǔ)料器固定于恰當(dāng)?shù)奈恢谩?/p>

在本發(fā)明的一方案中，電鍍裝置具有對(duì)在上述電鍍裝置內(nèi)部的規(guī)定位置是否存在上述儲(chǔ)料器進(jìn)行檢測(cè)的儲(chǔ)料器傳感器。

根據(jù)該一方案，能夠?qū)κ欠駷閮?chǔ)料器已從電鍍裝置取出來(lái)的狀態(tài)進(jìn)行檢測(cè)。由此，電鍍裝置能夠識(shí)別可使用的儲(chǔ)料器，能夠不使用取出來(lái)的儲(chǔ)料器而僅利用配置于電鍍裝置內(nèi)的儲(chǔ)料器來(lái)進(jìn)行電鍍處理。

在本發(fā)明的一方案中，具有對(duì)在上述開(kāi)口部是否存在障礙物進(jìn)行檢測(cè)的障礙物傳感器。

根據(jù)該一方案，能夠?qū)υ陂_(kāi)口部是否存在障礙物進(jìn)行檢測(cè)。在本電鍍裝置中，對(duì)于可能存在于開(kāi)口部的障礙物能夠想到分隔壁、儲(chǔ)料器、背面分隔壁等。若在開(kāi)口部存在這些障礙物中的任一個(gè)，則作業(yè)人員無(wú)法容易地進(jìn)入電鍍裝置內(nèi)。因而，通過(guò)對(duì)在開(kāi)口部是否存在障礙物進(jìn)行檢測(cè)，能夠確保作業(yè)人員的安全。

在本發(fā)明的一方案中，上述儲(chǔ)料器具有連結(jié)部，該連結(jié)部構(gòu)成為，將上述儲(chǔ)料器和在上述儲(chǔ)料器的移動(dòng)方向上與該儲(chǔ)料器相鄰的另一儲(chǔ)料器以能夠拆裝的方式連結(jié)。

根據(jù)該一方案，當(dāng)在第1儲(chǔ)料器利用連結(jié)部與第2儲(chǔ)料器連結(jié)的狀態(tài)下使第1儲(chǔ)料器移動(dòng)到電鍍裝置之外時(shí)，能夠使第2儲(chǔ)料器也移動(dòng)。由此，也能夠使第2儲(chǔ)料器與第1儲(chǔ)料器一起向電鍍裝置之外移動(dòng)，還能夠通過(guò)在第2儲(chǔ)料器位于第1儲(chǔ)料器曾經(jīng)存在的場(chǎng)所時(shí)將連結(jié)解除，而使第2儲(chǔ)料器向第1儲(chǔ)料器曾經(jīng)存在的場(chǎng)所移動(dòng)。

在本發(fā)明的一方案中，電鍍裝置具有將上述儲(chǔ)料器以能夠滑動(dòng)的方式支承的支承面。

根據(jù)該一方案，儲(chǔ)料器通過(guò)支承面而能夠滑動(dòng)地被支承，因此，能夠使儲(chǔ)料器容易地向任意方向移動(dòng)。由此，通過(guò)預(yù)先將例如預(yù)備的儲(chǔ)料器配置于支承面上，能夠在將一個(gè)儲(chǔ)料器從電鍍裝置取出來(lái)之后，立即將預(yù)備的儲(chǔ)料器儲(chǔ)存于電鍍裝置，能夠迅速地進(jìn)行基板保持件的更換。

在本發(fā)明的一方案中，電鍍裝置具有：以輸送上述保持件的方式構(gòu)成的輸送機(jī)；和控制部。上述控制部構(gòu)成為，選擇多個(gè)上述儲(chǔ)料器中的至少一個(gè)，并向上述輸送機(jī)發(fā)出指示，以將上述保持件收納于所選擇的上述儲(chǔ)料器。

在基板保持件或陽(yáng)極保持件產(chǎn)生了異常的情況、到達(dá)了定期的維護(hù)時(shí)期的情況下等，需要使這些保持件的使用停止來(lái)進(jìn)行維護(hù)。根據(jù)該一方案，通過(guò)選擇要收納例如需要停止使用的保持件的儲(chǔ)料器，能夠?qū)⑿枰Ｖ故褂玫谋３旨占{于儲(chǔ)料器而向電鍍裝置外取出。

在本發(fā)明的一方案中，電鍍裝置具有：以輸送上述保持件的方式構(gòu)成的輸送機(jī)；和控制部。上述控制部構(gòu)成為，接收表示上述保持件產(chǎn)生了異常的信號(hào)，在接收到上述信號(hào)時(shí)選擇收納產(chǎn)生了上述異常的保持件的儲(chǔ)料器，向上述輸送機(jī)發(fā)出指示，以至少使產(chǎn)生了上述異常的保持件返回至所選擇的上述儲(chǔ)料器。

根據(jù)該一方案，能夠在保持件產(chǎn)生了異常時(shí)，選擇要收納產(chǎn)生了異常的保持件的儲(chǔ)料器，并將產(chǎn)生了異常的保持件收納于所選擇的儲(chǔ)料器而向電鍍裝置外取出。

在本發(fā)明的一方案中，上述控制部構(gòu)成為，對(duì)上述電鍍處理部和上述輸送機(jī)進(jìn)行控制，以使用被收納于除了所選擇的上述儲(chǔ)料器以外的儲(chǔ)料器中的上述保持件來(lái)對(duì)上述基板進(jìn)行電鍍。

根據(jù)該一方案，使用被收納于除了所選擇的儲(chǔ)料器以外的儲(chǔ)料器中的保持件來(lái)進(jìn)行電鍍處理，因此，在將儲(chǔ)料器從電鍍裝置拉出來(lái)的期間也能夠連續(xù)運(yùn)轉(zhuǎn)。

在本發(fā)明的一方案中，上述控制部構(gòu)成為，在所選擇的上述儲(chǔ)料器被取出到上述電鍍裝置之外后，對(duì)所取出的上述儲(chǔ)料器或與該儲(chǔ)料器不同的其他儲(chǔ)料器是否儲(chǔ)存于上述電鍍裝置進(jìn)行判定，在所取出的上述儲(chǔ)料器或與該儲(chǔ)料器不同的其他儲(chǔ)料器儲(chǔ)存于上述電鍍裝置時(shí)，對(duì)上述電鍍處理部和上述輸送機(jī)進(jìn)行控制，以使用被收納于全部的儲(chǔ)料器中的上述保持件來(lái)對(duì)上述基板進(jìn)行電鍍。

根據(jù)該一方案，在儲(chǔ)料器儲(chǔ)存于電鍍裝置時(shí)，能夠使用被收納于包括該儲(chǔ)料器在內(nèi)的全部的儲(chǔ)料器中的保持件來(lái)進(jìn)行電鍍處理。因而，在儲(chǔ)料器返回到電鍍裝置之后，與通常同樣地，使用全部的保持件來(lái)進(jìn)行電鍍處理，因此，能夠防止電鍍裝置的生產(chǎn)量的降低。

在本發(fā)明的一方案中，多個(gè)上述儲(chǔ)料器包括收納要維護(hù)的保持件的維護(hù)專用儲(chǔ)料器，收納產(chǎn)生了上述異常的保持件的儲(chǔ)料器是上述維護(hù)專用儲(chǔ)料器。

根據(jù)該一方案，產(chǎn)生了異常的保持件被收納于維護(hù)專用儲(chǔ)料器。在此，維護(hù)專用儲(chǔ)料器是指，在通常的電鍍處理時(shí)不使用、而用于收納要維護(hù)的保持件的儲(chǔ)料器。因而，即使為了維護(hù)而使維護(hù)專用儲(chǔ)料器向電鍍裝置外移動(dòng)，通常的電鍍處理所使用的儲(chǔ)料器的數(shù)量也不會(huì)改變。因此，即使在維護(hù)過(guò)程中，也能夠維持可使用的儲(chǔ)料器的數(shù)量，因此，能夠抑制電鍍裝置的生產(chǎn)量的降低。

在本發(fā)明的一方案中，電鍍裝置具有使上述儲(chǔ)料器向電鍍裝置外移動(dòng)的移動(dòng)裝置，上述控制部構(gòu)成為，對(duì)要在所選擇的上述儲(chǔ)料器中收納的上述保持件是否已返回到該儲(chǔ)料器進(jìn)行判定，在上述保持件已返回到所選擇的上述儲(chǔ)料器時(shí)，對(duì)上述移動(dòng)裝置進(jìn)行控制，以將所選擇的上述儲(chǔ)料器向電鍍裝置外取出。

根據(jù)該一方案，在保持件已返回到所選擇的儲(chǔ)料器時(shí)，能夠自動(dòng)地取出儲(chǔ)料器，因此，能夠減少作業(yè)人員的作業(yè)量。

在本發(fā)明的一方案中，上述移動(dòng)裝置構(gòu)成為，使上述儲(chǔ)料器向電鍍裝置內(nèi)移動(dòng)。

根據(jù)該一方案，能夠自動(dòng)地將儲(chǔ)料器儲(chǔ)存于電鍍裝置內(nèi)，因此，能夠減少作業(yè)人員的作業(yè)量。

根據(jù)本發(fā)明的一方案，提供一種電鍍方法，其是使用了電鍍裝置的電鍍方法，該電鍍裝置具備：對(duì)基板進(jìn)行電鍍的電鍍處理部；和構(gòu)成為能夠收納對(duì)基板或陽(yáng)極進(jìn)行保持的保持件的多個(gè)儲(chǔ)料器。該電鍍方法具有取出工序，在該取出工序中，使多個(gè)上述儲(chǔ)料器中的至少一個(gè)向上述電鍍裝置之外移動(dòng)。

根據(jù)該一方案，能夠?qū)⑹占{有需要維護(hù)的保持件的儲(chǔ)料器向電鍍裝置外取出，進(jìn)行保持件的維護(hù)。另外，在維護(hù)期間，成為其他儲(chǔ)料器配置于電鍍裝置內(nèi)的狀態(tài)。由此，即使在保持件的維護(hù)過(guò)程中，也能夠繼續(xù)電鍍裝置的運(yùn)轉(zhuǎn)，因此，與像以往那樣使電鍍裝置停止的情況相比，能夠使生產(chǎn)量提高。另外，對(duì)于基板保持件和陽(yáng)極保持件，得知如下?tīng)顩r：雖然保持件自身沒(méi)有產(chǎn)生構(gòu)造上的不良情況，但在持續(xù)進(jìn)行電鍍處理的過(guò)程中，會(huì)逐漸產(chǎn)生在進(jìn)行電鍍處理之際產(chǎn)生錯(cuò)誤的次數(shù)多的保持件和產(chǎn)生錯(cuò)誤的次數(shù)少的保持件。在該一方案中，在電鍍裝置中設(shè)置有多個(gè)儲(chǔ)料器，因此，例如也能夠?qū)⒋嬖诋a(chǎn)生了錯(cuò)誤的履歷的保持件收納于第1儲(chǔ)料器，將除此之外的保持件收納于第2儲(chǔ)料器，由此使第1儲(chǔ)料器作為維護(hù)的對(duì)象向電鍍裝置之外移動(dòng)。而且，在該一方案中，由于在電鍍裝置中設(shè)置有多個(gè)儲(chǔ)料器，因此，例如能夠?qū)⒂糜诒３值?規(guī)格的基板的基板保持件收納于第1儲(chǔ)料器，將除此之外的基板保持件收納于第2儲(chǔ)料器。由此，即使不同規(guī)格的基板同時(shí)或連續(xù)地輸送到電鍍裝置，也無(wú)需使裝置停止，能夠繼續(xù)進(jìn)行電鍍處理。其結(jié)果是，即使針對(duì)不同規(guī)格的基板，也能夠不使裝置整體的每單位時(shí)間的生產(chǎn)率降低地進(jìn)行電鍍處理。

在本發(fā)明的一方案中，電鍍方法具有儲(chǔ)存工序，在該儲(chǔ)存工序中，使移動(dòng)到上述電鍍裝置之外的儲(chǔ)料器或與該儲(chǔ)料器不同的其他儲(chǔ)料器向電鍍裝置中移動(dòng)。

根據(jù)該一方案，也能夠使移動(dòng)到電鍍裝置之外的儲(chǔ)料器復(fù)原，還能夠使與移動(dòng)到電鍍裝置之外的儲(chǔ)料器不同的其他儲(chǔ)料器向電鍍裝置中移動(dòng)。因而，在為了維護(hù)而將儲(chǔ)料器取出到電鍍裝置之外后，能夠使儲(chǔ)料器的數(shù)量復(fù)原。另外，在使與移動(dòng)到電鍍裝置之外的儲(chǔ)料器不同的其他儲(chǔ)料器向電鍍裝置中移動(dòng)的情況下，在被收納于移動(dòng)到電鍍裝置之外的儲(chǔ)料器中的保持件的維護(hù)結(jié)束前，能夠使另一儲(chǔ)料器返回電鍍裝置。因而，在維護(hù)期間，不會(huì)減少電鍍裝置所具備的儲(chǔ)料器的數(shù)量，因此，能夠抑制電鍍裝置的生產(chǎn)量的降低。

在本發(fā)明的一方案中，電鍍方法具有以下工序：選擇多個(gè)上述儲(chǔ)料器中的至少一個(gè)的工序；和使保持件返回至所選擇的上述儲(chǔ)料器的工序，上述取出工序包括將所選擇的上述儲(chǔ)料器向電鍍裝置外取出的工序。

在基板保持件或陽(yáng)極保持件產(chǎn)生了異常的情況、到達(dá)了定期的維護(hù)時(shí)期的情況下等，需要使這些保持件的使用停止來(lái)進(jìn)行維護(hù)。根據(jù)該一方案，通過(guò)選擇要收納例如需要停止使用的保持件的儲(chǔ)料器，能夠?qū)⑿枰Ｖ故褂玫谋３旨占{于儲(chǔ)料器而向電鍍裝置外取出。

在本發(fā)明的一方案中，電鍍方法具有以下工序：對(duì)保持件產(chǎn)生了異常的情況進(jìn)行檢測(cè)的工序；選擇收納產(chǎn)生了上述異常的保持件的儲(chǔ)料器的工序；和至少使產(chǎn)生了上述異常的保持件返回至所選擇的上述儲(chǔ)料器的工序，上述取出工序包括將所選擇的上述儲(chǔ)料器向電鍍裝置外取出的工序。

根據(jù)該一方案，能夠在保持件產(chǎn)生了異常時(shí)，選擇要收納產(chǎn)生了異常的保持件的儲(chǔ)料器，將產(chǎn)生了異常的保持件收納于儲(chǔ)料器而向電鍍裝置外取出。

在本發(fā)明的一方案中，電鍍方法具有使用被收納于除了所選擇的上述儲(chǔ)料器以外的儲(chǔ)料器中的保持件來(lái)對(duì)基板進(jìn)行電鍍的工序。

根據(jù)該一方案，使用被收納于除了所選擇的儲(chǔ)料器以外的儲(chǔ)料器中的保持件來(lái)進(jìn)行電鍍處理，因此，在將儲(chǔ)料器從電鍍裝置拉出來(lái)的期間也能夠連續(xù)運(yùn)轉(zhuǎn)。

在本發(fā)明的一方案中，電鍍方法具有保持件有無(wú)判定工序，在該保持件有無(wú)判定工序中，對(duì)要在所選擇的上述儲(chǔ)料器中收納的上述保持件是否已返回到該儲(chǔ)料器進(jìn)行判定，將所選擇的上述儲(chǔ)料器向電鍍裝置外取出的工序在判定為上述保持件已返回到所選擇的上述儲(chǔ)料器時(shí)被執(zhí)行。

根據(jù)該一方案，對(duì)保持件是否已返回到所選擇的儲(chǔ)料器進(jìn)行判定，因此，能夠在保持件可靠地返回到儲(chǔ)料器之后將該儲(chǔ)料器向電鍍裝置外取出。

在本發(fā)明的一方案中，電鍍方法具有以下工序：儲(chǔ)料器有無(wú)判定工序，在該儲(chǔ)料器有無(wú)判定工序中，在所選擇的上述儲(chǔ)料器被取出到上述電鍍裝置之外后，對(duì)取出到上述電鍍裝置之外的儲(chǔ)料器或與該儲(chǔ)料器不同的其他儲(chǔ)料器是否儲(chǔ)存于上述電鍍裝置進(jìn)行判定；和在取出到上述電鍍裝置外的儲(chǔ)料器或與該儲(chǔ)料器不同的其他儲(chǔ)料器儲(chǔ)存于電鍍裝置時(shí)，使用被收納于全部的儲(chǔ)料器中的上述保持件來(lái)對(duì)基板進(jìn)行電鍍的工序。

根據(jù)該一方案，在儲(chǔ)料器儲(chǔ)存于電鍍裝置時(shí)，能夠使用被收納于包括該儲(chǔ)料器在內(nèi)的全部?jī)?chǔ)料器中的保持件來(lái)進(jìn)行電鍍處理。因而，在儲(chǔ)料器返回到電鍍裝置之后，與通常同樣地使用全部的保持件來(lái)進(jìn)行電鍍處理，因此，能夠防止電鍍裝置的生產(chǎn)量的降低。

在本發(fā)明的一方案中，多個(gè)上述儲(chǔ)料器包括收納要維護(hù)的保持件的維護(hù)專用儲(chǔ)料器，收納產(chǎn)生了上述異常的保持件的儲(chǔ)料器是上述維護(hù)專用儲(chǔ)料器。

根據(jù)該一方案，產(chǎn)生了異常的保持件收納于維護(hù)專用儲(chǔ)料器。在此，維護(hù)專用儲(chǔ)料器是指，在通常的電鍍處理時(shí)不使用、而僅用于收納產(chǎn)生了異常的保持件的儲(chǔ)料器。因而，即使為了維護(hù)而使維護(hù)專用儲(chǔ)料器向電鍍裝置外移動(dòng)，通常的電鍍處理所使用的儲(chǔ)料器的數(shù)量也不會(huì)改變。因此，即使在維護(hù)過(guò)程中，也能夠維持可使用的儲(chǔ)料器的數(shù)量，因此，能夠抑制電鍍裝置的生產(chǎn)量的降低。

附圖說(shuō)明

圖1是第1實(shí)施方式的電鍍裝置的整體配置圖。

圖2是表示在電鍍裝置中使用的基板保持件的例子的概略圖。

圖3是電鍍裝置的供儲(chǔ)料器配置的儲(chǔ)料器設(shè)置部的立體圖。

圖4a是儲(chǔ)料器的正面立體圖。

圖4b是儲(chǔ)料器的背面立體圖。

圖4c是儲(chǔ)料器的底面立體圖。

圖5是表示將儲(chǔ)料器和另一儲(chǔ)料器連結(jié)的狀態(tài)的局部立體圖。

圖6a是表示將儲(chǔ)料器和另一儲(chǔ)料器連結(jié)的狀態(tài)的連結(jié)部分的側(cè)視圖。

圖6b是表示將儲(chǔ)料器與另一儲(chǔ)料器之間的連結(jié)解除后的狀態(tài)的連結(jié)部分的側(cè)視圖。

圖7是儲(chǔ)料器設(shè)置部的設(shè)置面的放大立體圖。

圖8是儲(chǔ)料器設(shè)置部的概略側(cè)視圖。

圖9a是表示從電鍍裝置取出儲(chǔ)料器的工序(process)的圖。

圖9b是表示從電鍍裝置取出儲(chǔ)料器的工序的圖。

圖9c是表示從電鍍裝置取出儲(chǔ)料器的工序的圖。

圖9d是表示從電鍍裝置取出儲(chǔ)料器的工序的圖。

圖10是表示電鍍裝置中的儲(chǔ)料器的取出、儲(chǔ)存控制流程的一個(gè)例子的圖。

圖11是表示電鍍裝置中的儲(chǔ)料器的取出、儲(chǔ)存控制流程的另一個(gè)例子的圖。

圖12是表示電鍍裝置中的儲(chǔ)料器的取出、儲(chǔ)存控制流程的另一個(gè)例子的圖。

圖13是第2實(shí)施方式的電鍍裝置的整體側(cè)視圖。附圖標(biāo)記說(shuō)明

10…電鍍槽

11…基板保持件

18…攪動(dòng)件

19…攪動(dòng)件驅(qū)動(dòng)裝置

20…儲(chǔ)料器

21…開(kāi)口部

23…軌道

25…背面分隔壁

27…分隔壁

27a…分隔壁構(gòu)件

29a…卡定部

29b…被卡定部

35…滑動(dòng)體

36…支承面

37…止擋件

38…儲(chǔ)料器傳感器

39…固定銷

40…障礙物傳感器

45…儲(chǔ)料器移動(dòng)裝置

114…供電觸點(diǎn)

122…基板輸送裝置

125…儲(chǔ)料器設(shè)置部

140…基板保持件輸送裝置

175…控制器

具體實(shí)施方式

＜第1實(shí)施方式>

以下，參照附圖對(duì)本發(fā)明的第1實(shí)施方式進(jìn)行說(shuō)明。在以下說(shuō)明的附圖中，對(duì)相同或相當(dāng)?shù)臉?gòu)成要素標(biāo)注相同的附圖標(biāo)記并省略重復(fù)的說(shuō)明。圖1是第1實(shí)施方式的電鍍裝置的整體配置圖。如圖1所示，該電鍍裝置大致被分成：裝載/卸載部170a，其向基板保持件11裝載(load)基板，或從基板保持件11卸載(unload)基板；和處理部170b，其對(duì)基板進(jìn)行處理。

裝載/卸載部170a具有：兩個(gè)盒臺(tái)102；定位器(aligner)104，其使基板的定向平面(orientationflat)、凹口等的位置對(duì)準(zhǔn)規(guī)定的方向；旋干機(jī)106，其使電鍍處理后的基板高速旋轉(zhuǎn)而使該基板干燥。盒臺(tái)102供收納有半導(dǎo)體晶片等基板的盒100搭載。在旋干機(jī)106附近設(shè)置有載置基板保持件11并進(jìn)行基板的拆裝的基板拆裝部120。在這些單元100、104、106、120的中央配置有在這些單元間輸送基板的由輸送用機(jī)械手構(gòu)成的基板輸送裝置122。

基板拆裝部120具備沿著軌道150橫向地滑動(dòng)自由的平板狀的載置板152。兩個(gè)基板保持件11以水平狀態(tài)并列地載置于該載置板152，在一個(gè)基板保持件11與基板輸送裝置122之間進(jìn)行了基板的交接之后，載置板152在橫向上滑動(dòng)，在另一個(gè)基板保持件11與基板輸送裝置122之間進(jìn)行基板的交接。

電鍍裝置的處理部170b具有多個(gè)儲(chǔ)料器20、預(yù)濕槽126、預(yù)浸槽128、第1清洗槽130a、泄料槽132、第2清洗槽130b、以及電鍍槽10(相當(dāng)于電鍍處理部的一個(gè)例子)。在儲(chǔ)料器20中，進(jìn)行基板保持件11的保管和臨時(shí)放置。在本說(shuō)明書中將電鍍裝置內(nèi)的供儲(chǔ)料器20設(shè)置的場(chǎng)所稱為儲(chǔ)料器設(shè)置部。在本實(shí)施方式中，儲(chǔ)料器20構(gòu)成為收納基板保持件11，但也可以構(gòu)成為收納在電鍍槽10使用的陽(yáng)極保持件。在電鍍裝置的處理部170b形成有供儲(chǔ)料器20出入電鍍裝置的開(kāi)口部21。在預(yù)濕槽126中，基板被浸漬于純水。在預(yù)浸槽128中，形成于基板表面的晶種層等導(dǎo)電層的表面的氧化膜被蝕刻去除。在第1清洗槽130a中，預(yù)浸后的基板與基板保持件11一起被清洗液(純水等)清洗。在泄料槽132中，進(jìn)行清洗后的基板的排液。在第2清洗槽130b中，電鍍后的基板與基板保持件11一起被清洗液清洗。儲(chǔ)料器20、預(yù)濕槽126、預(yù)浸槽128、第1清洗槽130a、泄料槽132、第2清洗槽130b、以及電鍍槽10以儲(chǔ)料器20、預(yù)濕槽126、預(yù)浸槽128、第1清洗槽130a、泄料槽132、第2清洗槽130b、以及電鍍槽10的順序配置。

電鍍槽10具有例如具備溢流槽54的多個(gè)電鍍小室50。各電鍍小室50在內(nèi)部收納一個(gè)基板，使基板浸漬于保持在內(nèi)部的電鍍液中而在基板表面進(jìn)行鍍銅等電鍍。在此，電鍍液的種類并沒(méi)有特別限制，可根據(jù)用途使用各種電鍍液。例如在tsv(硅通孔；throughsiliconvia)用電鍍處理時(shí)的電鍍液的情況下，能夠使用以下的表1所記載的電鍍液。即，能夠?qū)⒈?所記載的濃度的cu、h2so4、以及cl作為tsv用底液，將表1所記載的濃度的添加劑a(suppressor；抑制劑)、添加劑b(accelerator；促進(jìn)劑)、以及添加劑c(整平劑)作為有機(jī)添加劑。

【表1】

另外，作為電鍍液，也可以使用用于在具有cu布線的基板的表面形成金屬膜的含有cowb(鈷·鎢·硼)、cowp(鈷·鎢·磷)等的電鍍液。另外，為了防止cu向絕緣膜中擴(kuò)散，也可以使用用于在形成cu布線之前形成被設(shè)置于基板的表面、基板凹部的表面上的阻擋膜的電鍍液，例如含有cowb、ta(鉭)的電鍍液。

電鍍裝置具有采用了例如線性馬達(dá)方式的基板保持件輸送裝置140(相當(dāng)于輸送機(jī)的一個(gè)例子)，該基板保持件輸送裝置140位于所述各設(shè)備的側(cè)方，將基板保持件11與基板一起在所述各設(shè)備之間輸送。該基板保持件輸送裝置140具有第1運(yùn)輸裝置142和第2運(yùn)輸裝置144。第1運(yùn)輸裝置142構(gòu)成為，在基板拆裝部120、儲(chǔ)料器20、預(yù)濕槽126、預(yù)浸槽128、第1清洗槽130a、以及泄料槽132之間輸送基板保持件11。第2運(yùn)輸裝置144構(gòu)成為，在第1清洗槽130a、第2清洗槽130b、泄料槽132、以及電鍍槽10之間輸送基板保持件11。在其他實(shí)施方式中，電鍍裝置也可以僅具備第1運(yùn)輸裝置142和第2運(yùn)輸裝置144中的任一個(gè)。

在溢流槽54的兩側(cè)配置有攪動(dòng)件驅(qū)動(dòng)裝置19，該攪動(dòng)件驅(qū)動(dòng)裝置19對(duì)位于各電鍍小室50內(nèi)部并對(duì)電鍍小室50內(nèi)的電鍍液進(jìn)行攪拌的作為攪拌棒的攪動(dòng)件進(jìn)行驅(qū)動(dòng)。

如以上那樣構(gòu)成的電鍍裝置具有構(gòu)成為對(duì)上述的各部分進(jìn)行控制的控制器175。該控制器175也能夠?qū)Πǘ鄠€(gè)圖1所示的電鍍裝置在內(nèi)的電鍍處理系統(tǒng)整體進(jìn)行控制?？刂破?75具有：存儲(chǔ)器175b，其儲(chǔ)存有規(guī)定的程序；cpu(中央處理單元；centralprocessingunit)175a，其執(zhí)行存儲(chǔ)器175b的程序；以及控制部175c(相當(dāng)于控制部的一個(gè)例子)，其通過(guò)由cpu175a執(zhí)行程序來(lái)實(shí)現(xiàn)?？刂撇?75c能夠進(jìn)行例如基板輸送裝置122的輸送控制、基板保持件輸送裝置140的輸送控制、以及電鍍槽10中的電鍍電流和電鍍時(shí)間的控制等。另外，控制器175構(gòu)成為能夠與對(duì)電鍍裝置和其他關(guān)聯(lián)裝置進(jìn)行綜合控制的未圖示的上級(jí)控制器進(jìn)行通信，能夠與上級(jí)控制器所具有的數(shù)據(jù)庫(kù)進(jìn)行數(shù)據(jù)的交換。在此，存儲(chǔ)器175b儲(chǔ)存有各種設(shè)定數(shù)據(jù)、后述的電鍍處理程序等各種程序。作為存儲(chǔ)器175b，能夠使用計(jì)算機(jī)可讀取的rom、ram、和硬盤、cd-rom、dvd-rom、以及軟盤等盤狀存儲(chǔ)介質(zhì)等公知的存儲(chǔ)器。

基板保持件11在電鍍處理前被收納于儲(chǔ)料器20，在電鍍處理時(shí)利用基板保持件輸送裝置140在基板拆裝部120的載置板152與各槽之間移動(dòng)，在基板被電鍍后再次收納到儲(chǔ)料器20。在對(duì)基板進(jìn)行電鍍時(shí)，將保持于基板保持件11的基板沿著鉛垂方向浸漬于收納在電鍍槽10的電鍍小室50中的電鍍液。在使基板浸漬到電鍍液的狀態(tài)下，一邊將電鍍液從電鍍小室50的下方導(dǎo)入并使其向溢流槽54溢流，一邊進(jìn)行電鍍。

構(gòu)成電鍍槽10的電鍍小室50分別構(gòu)成為，對(duì)保持有1個(gè)基板的1個(gè)基板保持件進(jìn)行收納，來(lái)對(duì)基板進(jìn)行電鍍。優(yōu)選電鍍小室50分別具備向基板保持件11通電的通電部、保持于陽(yáng)極保持件的陽(yáng)極、攪動(dòng)件驅(qū)動(dòng)裝置19、以及遮蔽板。保持于陽(yáng)極保持件的陽(yáng)極的露出面與基板呈同心圓狀地形成。保持于基板保持件11的基板被各槽內(nèi)的處理流體處理。

圖2是表示在本實(shí)施方式的電鍍裝置中使用的基板保持件的例子的概略圖。如圖2所示，基板保持件11在其一端具有手柄111。手柄111由圖1所示的基板保持件輸送裝置140保持。手柄111是圓棒形狀，以使得在基板保持件11從鉛垂?fàn)顟B(tài)向水平狀態(tài)或從水平狀態(tài)向鉛垂?fàn)顟B(tài)轉(zhuǎn)換姿勢(shì)之際基板保持件11能夠旋轉(zhuǎn)。期望的是，手柄111是耐腐蝕的不銹鋼制成的，以使得在附著有電鍍液的情況下難以腐蝕。另外，根據(jù)電鍍液的種類、濃度的不同，存在不銹鋼經(jīng)不住電鍍液的腐蝕的情況。在該情況下，優(yōu)選在不銹鋼的表面鍍鉻、涂敷tic等來(lái)提高耐腐蝕性。此外，手柄111也能夠使用耐腐蝕性高的鈦，鈦的表面的摩擦阻力通常較大，因此，需要適于滑動(dòng)的精加工。

另外，在基板保持件11的上部?jī)啥嗽O(shè)置有長(zhǎng)方體形狀或立方體形狀的懸掛部112。懸掛部112在將基板保持件11配置于各槽內(nèi)之際配置于各槽的懸掛支承構(gòu)件之上，由此作為用于懸掛基板保持件11的支承部發(fā)揮功能。此外，在電鍍槽是電解鍍槽的情況下，通過(guò)使設(shè)置于懸掛部112的供電觸點(diǎn)114和設(shè)置于懸掛支承構(gòu)件的電觸點(diǎn)彼此接觸，電流從外部電源向基板w的被電鍍面供給。供電觸點(diǎn)114設(shè)置于在基板保持件11懸掛于懸掛支承構(gòu)件時(shí)不會(huì)與電鍍槽的電鍍液接觸的部位。另外，懸掛部112在將基板保持件11收納于儲(chǔ)料器20時(shí)支承于儲(chǔ)料器20的后述的懸掛支承構(gòu)件22。

懸掛部112也可以設(shè)計(jì)成，通過(guò)從圖2所示的箭頭a1的方向被基板保持件輸送裝置140施加力，來(lái)防止基板保持件11的移動(dòng)時(shí)的擺動(dòng)。

圖2所示的基板保持件11以對(duì)基板w的外周端部進(jìn)行密封且使被電鍍面露出的方式保持基板w。由此，電鍍液不會(huì)附著于基板w的外周端部和背面。另外，基板保持件11也可以具備用于與基板w的被電鍍面的周緣部接觸并經(jīng)由供電觸點(diǎn)114使來(lái)自外部電源的電流向基板w上的晶種層流動(dòng)的未圖示的電觸點(diǎn)。此外，本發(fā)明中“基板保持件”是指在使電鍍液和基板w接觸來(lái)進(jìn)行電鍍處理前保持基板w、并在電鍍處理的前后輸送基板w之際所使用的構(gòu)件，具體的結(jié)構(gòu)并不限于圖2的例子。

圖3是供圖1所示的電鍍裝置的儲(chǔ)料器20配置的儲(chǔ)料器設(shè)置部的立體圖。如上所述，本實(shí)施方式的電鍍裝置具有多個(gè)儲(chǔ)料器20。在圖3中，示出了兩個(gè)儲(chǔ)料器20。另外，也如圖1所示，電鍍裝置具有用于供儲(chǔ)料器20出入電鍍裝置的開(kāi)口部21。另外，電鍍裝置具有用于供作業(yè)人員從外部視覺(jué)辨認(rèn)電鍍裝置內(nèi)部的觀察窗24。

本實(shí)施方式中的多個(gè)儲(chǔ)料器20構(gòu)成為，該多個(gè)儲(chǔ)料器20中的至少一個(gè)能夠向電鍍裝置的內(nèi)外獨(dú)立地移動(dòng)。換言之，多個(gè)儲(chǔ)料器20各自能夠分別獨(dú)立地向電鍍裝置的內(nèi)外移動(dòng)，或者，多個(gè)儲(chǔ)料器20的一部分固定于電鍍裝置內(nèi)部，剩余的儲(chǔ)料器20各自能夠獨(dú)立地向電鍍裝置的內(nèi)外移動(dòng)。

具體而言，電鍍裝置具有用于將儲(chǔ)料器20向電鍍裝置的內(nèi)外引導(dǎo)的軌道23(相當(dāng)于引導(dǎo)構(gòu)件的一個(gè)例子)。軌道23在其上表面具有多個(gè)將儲(chǔ)料器20以能夠滑動(dòng)的方式支承的球軸承等滑動(dòng)體35。儲(chǔ)料器20一邊被滑動(dòng)體35支承一邊在軌道23上滑動(dòng)，從而向電鍍裝置的內(nèi)外移動(dòng)。由此，在使儲(chǔ)料器20向電鍍裝置的內(nèi)外移動(dòng)時(shí)，能夠容易地進(jìn)行儲(chǔ)料器20的出入作業(yè)。另外，由于軌道23具有滑動(dòng)體35，因此無(wú)需在儲(chǔ)料器20上安裝移動(dòng)用的腳輪等。

另外，電鍍裝置也可以具有將儲(chǔ)料器20以能夠滑動(dòng)的方式支承的支承面36。支承面36在其上表面具有多個(gè)將儲(chǔ)料器20以能夠滑動(dòng)的方式支承的滑動(dòng)體35。配置于支承面36上的儲(chǔ)料器20一邊被滑動(dòng)體35支承一邊在支承面36上滑動(dòng)，從而能夠沿著水平方向的任意方向移動(dòng)。由此，通過(guò)預(yù)先在支承面36上配置例如預(yù)備的儲(chǔ)料器20，能夠在將一個(gè)儲(chǔ)料器20從電鍍裝置取出來(lái)之后，立即將預(yù)備的儲(chǔ)料器20儲(chǔ)存于電鍍裝置，能夠迅速地進(jìn)行基板保持件11的更換。

儲(chǔ)料器20在其正面?zhèn)染哂蟹指舯跇?gòu)件27a，該分隔壁構(gòu)件27a構(gòu)成為覆蓋開(kāi)口部21的至少一部分。隨后詳細(xì)論述分隔壁構(gòu)件27a的構(gòu)造。另外，電鍍裝置具有背面分隔壁25，該背面分隔壁25配置于儲(chǔ)料器20的與開(kāi)口部21相反的一側(cè)、即配置于隔著儲(chǔ)料器20而與分隔壁構(gòu)件27a相反的一側(cè)。背面分隔壁25構(gòu)成為能夠與儲(chǔ)料器20一起移動(dòng)，并構(gòu)成為覆蓋開(kāi)口部21的至少一部分。電鍍裝置在軌道23附近具有使移動(dòng)到開(kāi)口部21的背面分隔壁25停止在開(kāi)口部21附近的止擋件37。止擋件37構(gòu)成為，與移動(dòng)到開(kāi)口部21的背面分隔壁25的一部分接觸。由此，能夠防止背面分隔壁25超過(guò)止擋件37而向電鍍裝置之外移動(dòng)。此外，止擋件37構(gòu)成為不與儲(chǔ)料器20接觸，不與儲(chǔ)料器20向電鍍裝置內(nèi)外的移動(dòng)發(fā)生干涉。另外，止擋件37能夠設(shè)置于能夠使移動(dòng)到開(kāi)口部21的背面分隔壁25停止且不與儲(chǔ)料器20的移動(dòng)產(chǎn)生干涉的任意位置。根據(jù)本實(shí)施方式，在將儲(chǔ)料器20取出來(lái)時(shí)，開(kāi)口部21的至少一部分被背面分隔壁25覆蓋，因此，在收納于儲(chǔ)料器20的基板保持件11的維護(hù)過(guò)程中，能夠防止作業(yè)人員誤入電鍍裝置內(nèi)部，能夠確保作業(yè)人員的安全。

接著，說(shuō)明儲(chǔ)料器20的詳細(xì)情況。圖4a是儲(chǔ)料器20的正面立體圖。圖4b是儲(chǔ)料器20的背面立體圖。圖4c是儲(chǔ)料器20的底面立體圖。在本說(shuō)明書中，儲(chǔ)料器20的正面是指，儲(chǔ)料器20配置到電鍍裝置內(nèi)的狀態(tài)下的開(kāi)口部21側(cè)的面，背面是指與正面相反的一側(cè)的面。如圖4a和圖4b所示，儲(chǔ)料器20具備收納基板保持件11的具有開(kāi)口28的大致箱狀的儲(chǔ)料器主體26。儲(chǔ)料器20具有從下方對(duì)被收納于儲(chǔ)料器主體26的基板保持件11的懸掛部112進(jìn)行支承的懸掛支承構(gòu)件22。在儲(chǔ)料器主體26的正面部設(shè)置有把手31。在以手動(dòng)方式使儲(chǔ)料器20移動(dòng)時(shí)，作業(yè)人員能夠握持把手31來(lái)操作儲(chǔ)料器20。

另外，儲(chǔ)料器20具有從儲(chǔ)料器主體26的正面向上方延伸的分隔壁構(gòu)件27a。分隔壁構(gòu)件27a與儲(chǔ)料器主體26的正面一起構(gòu)成分隔壁27。分隔壁27構(gòu)成為，覆蓋圖3所示的開(kāi)口部21的至少一部分，在儲(chǔ)料器20配置于電鍍裝置內(nèi)的狀態(tài)下將電鍍裝置的內(nèi)部和外部分隔開(kāi)。分隔壁27的結(jié)構(gòu)并不限于圖4a和圖4b所示的結(jié)構(gòu)，可以是能夠覆蓋開(kāi)口部21的至少一部分的任意構(gòu)件。通過(guò)使儲(chǔ)料器20具有分隔壁27，在儲(chǔ)料器20配置于電鍍裝置內(nèi)部時(shí)，能夠防止作業(yè)人員從開(kāi)口部21進(jìn)入電鍍裝置內(nèi)部。因而，在儲(chǔ)料器20配置于電鍍裝置內(nèi)部且電鍍裝置運(yùn)轉(zhuǎn)的期間，能夠防止作業(yè)人員誤入電鍍裝置內(nèi)部，能夠確保作業(yè)人員的安全。另外，在本實(shí)施方式中，由于能夠移動(dòng)的儲(chǔ)料器20具有分隔壁27，因此無(wú)需用于使該分隔壁27移動(dòng)的特別的機(jī)構(gòu)，裝置結(jié)構(gòu)被簡(jiǎn)化。進(jìn)而，能夠減少電鍍裝置的故障風(fēng)險(xiǎn)，且能夠無(wú)需設(shè)置使分隔壁27移動(dòng)的機(jī)構(gòu)的空間。

如圖4c所示，儲(chǔ)料器20在儲(chǔ)料器主體26的底部具有在圖3所示的軌道23上或支承面36上滑動(dòng)的滑動(dòng)部30。另外，如圖4a～圖4c所示，儲(chǔ)料器20在一對(duì)側(cè)面上具有卡定部29a和被卡定部29b，該卡定部29a和被卡定部29b具備鉤型頂端。儲(chǔ)料器20的卡定部29a能夠拆裝地卡定于在儲(chǔ)料器20的移動(dòng)方向上相鄰的另一儲(chǔ)料器20的被卡定部29b。因而，卡定部29a和被卡定部29b形成以將儲(chǔ)料器20和在儲(chǔ)料器20的移動(dòng)方向上與該儲(chǔ)料器20相鄰的另一儲(chǔ)料器20能夠拆裝地連結(jié)的方式構(gòu)成的連結(jié)部。

如圖4c所示，儲(chǔ)料器20在其底面具有從儲(chǔ)料器20的正面?zhèn)认虮趁鎮(zhèn)妊由臁⒉⑴c卡定部29a的端部連結(jié)的操作桿32。操作桿32構(gòu)成為能夠沿著其長(zhǎng)度方向(軸向)移動(dòng)，在儲(chǔ)料器20的正面?zhèn)染哂胁僮鞫瞬?2a。通過(guò)由作業(yè)人員將操作端部32a向操作桿32的軸向推動(dòng)，操作桿32沿著軸向移動(dòng)。另外，儲(chǔ)料器20具有將卡定部29a能夠轉(zhuǎn)動(dòng)地支承的支承軸33。

此外，如上所述，本實(shí)施方式的電鍍裝置具有多個(gè)儲(chǔ)料器20，該多個(gè)儲(chǔ)料器20中的至少一個(gè)構(gòu)成為能夠向電鍍裝置的內(nèi)外獨(dú)立地移動(dòng)。在此，圖4a～圖4c所示的儲(chǔ)料器20設(shè)為具有單一的儲(chǔ)料器主體26的儲(chǔ)料器來(lái)進(jìn)行說(shuō)明。換言之，圖4a～圖4c所示的儲(chǔ)料器20設(shè)為具有對(duì)基板保持件11或陽(yáng)極保持件進(jìn)行收納的單一的收納部的儲(chǔ)料器來(lái)進(jìn)行說(shuō)明。然而，并不限于此，儲(chǔ)料器20也可以由多個(gè)儲(chǔ)料器主體26構(gòu)成。即，在本說(shuō)明書中，“儲(chǔ)料器”是指，具有一個(gè)以上的收納基板保持件11或陽(yáng)極保持件的收納部的單元。作為這樣的單元的儲(chǔ)料器20在本實(shí)施方式的電鍍裝置中設(shè)置有多個(gè)，該多個(gè)中的至少一個(gè)構(gòu)成為能夠向電鍍裝置的內(nèi)外移動(dòng)。

接著，詳細(xì)地說(shuō)明儲(chǔ)料器20的連結(jié)構(gòu)造。圖5是表示儲(chǔ)料器20和另一儲(chǔ)料器20連結(jié)的狀態(tài)的局部立體圖。圖6a是表示儲(chǔ)料器20和另一儲(chǔ)料器20連結(jié)的狀態(tài)的連結(jié)部分的側(cè)視圖。圖6b是表示儲(chǔ)料器20與另一儲(chǔ)料器20之間的連結(jié)解除后的狀態(tài)的連結(jié)部分的側(cè)視圖。如圖5所示，靠近開(kāi)口部21(參照?qǐng)D3)的儲(chǔ)料器20的卡定部29a與相鄰的儲(chǔ)料器20的被卡定部29b卡定。背面分隔壁25具有與儲(chǔ)料器20同樣的被卡定部29b，能夠與相鄰的儲(chǔ)料器20的卡定部29a卡定。由此，兩個(gè)儲(chǔ)料器20和背面分隔壁25成列地連結(jié)。

如圖6a所示，在儲(chǔ)料器20和另一儲(chǔ)料器20連結(jié)的狀態(tài)下，卡定部29a的鉤型的頂端卡定于被卡定部29b的鉤型的頂端。雖未圖示，但儲(chǔ)料器20與背面分隔壁25連結(jié)的狀態(tài)下也同樣地，卡定部29a的鉤型的頂端卡定于被卡定部29b的鉤型的頂端。

若將圖4c所示的操作桿32的操作端部32a沿著操作桿32的軸向推動(dòng)，則如圖6b所示，卡定部29a以支承軸33為中心轉(zhuǎn)動(dòng)，卡定部29a的鉤型的頂端抬起。由此，卡定部29a與被卡定部29b之間的卡定被解除，儲(chǔ)料器20與另一儲(chǔ)料器20或背面分隔壁25之間的連結(jié)被解除。

如圖5、圖6a、和圖6b所示，儲(chǔ)料器20能夠拆裝地與另一儲(chǔ)料器20連結(jié)，因此，既能夠使一個(gè)儲(chǔ)料器20與另一儲(chǔ)料器20一起向電鍍裝置之外移動(dòng)，也能夠通過(guò)在另一儲(chǔ)料器20位于一個(gè)儲(chǔ)料器20曾經(jīng)存在的場(chǎng)所時(shí)將連結(jié)解除，來(lái)使另一儲(chǔ)料器20移動(dòng)至一個(gè)儲(chǔ)料器20曾經(jīng)存在的場(chǎng)所。

接著，說(shuō)明對(duì)在電鍍裝置內(nèi)部配置有儲(chǔ)料器20的情況進(jìn)行檢測(cè)的結(jié)構(gòu)等。圖7是儲(chǔ)料器設(shè)置部的設(shè)置面的放大立體圖。如上所述，在本實(shí)施方式中，多個(gè)儲(chǔ)料器20的至少一個(gè)構(gòu)成為能夠向電鍍裝置的內(nèi)外獨(dú)立地移動(dòng)。因此，當(dāng)在電鍍裝置的運(yùn)轉(zhuǎn)過(guò)程中儲(chǔ)料器20被取出來(lái)時(shí)，如果取出了儲(chǔ)料器20這一情況沒(méi)有通知給電鍍裝置的控制器175，則電鍍裝置視作存在儲(chǔ)料器20而運(yùn)轉(zhuǎn)，從而有可能誤輸送基板保持件11。因而，優(yōu)選電鍍裝置能夠?qū)υ陔婂冄b置內(nèi)部的儲(chǔ)料器設(shè)置部上是否存在儲(chǔ)料器20進(jìn)行檢測(cè)。因此，在本實(shí)施方式中，在儲(chǔ)料器設(shè)置部的設(shè)置面上具有儲(chǔ)料器傳感器38。儲(chǔ)料器傳感器38能夠?qū)υ陔婂冄b置內(nèi)部的規(guī)定位置是否存在儲(chǔ)料器20進(jìn)行檢測(cè)。另外，儲(chǔ)料器傳感器38構(gòu)成為，將其檢測(cè)結(jié)果向圖1所示的控制部175c發(fā)送?？刂撇?75c基于接收到的檢測(cè)結(jié)果進(jìn)行基板保持件輸送裝置140的輸送控制等。由此，電鍍裝置能夠識(shí)別可使用的儲(chǔ)料器20，能夠不使用已被取出的儲(chǔ)料器20而僅利用配置在電鍍裝置內(nèi)的儲(chǔ)料器20進(jìn)行電鍍處理。

另外，即使檢測(cè)到在電鍍裝置內(nèi)存在儲(chǔ)料器20，在儲(chǔ)料器20從所期望的位置偏離地設(shè)置的情況下，也存在圖1所示的基板保持件輸送裝置140無(wú)法從儲(chǔ)料器20取出基板保持件11，或無(wú)法將基板保持件11收納于儲(chǔ)料器20的隱患。因而，優(yōu)選將儲(chǔ)料器20在設(shè)置于電鍍裝置內(nèi)部的所期望的位置(儲(chǔ)料器設(shè)置部)的狀態(tài)下固定。因此，在本實(shí)施方式中，在儲(chǔ)料器設(shè)置部的設(shè)置面上具有固定儲(chǔ)料器20的固定銷39(相當(dāng)于固定構(gòu)件的一個(gè)例子)。固定銷39構(gòu)成為，沿著鉛垂方向可動(dòng)，能夠插入至設(shè)在儲(chǔ)料器20的底面上的孔中。若儲(chǔ)料器傳感器38檢測(cè)到儲(chǔ)料器20存在于電鍍裝置內(nèi)，則固定銷39上升并插入至設(shè)于儲(chǔ)料器20的底面上的孔中，儲(chǔ)料器20的位置被固定。由此，在使從電鍍裝置取出來(lái)的儲(chǔ)料器20返回到電鍍裝置內(nèi)時(shí)，能夠?qū)?chǔ)料器20固定于恰當(dāng)?shù)奈恢?。此外，固定銷39優(yōu)選以其頂端變得尖細(xì)的方式形成為錐狀。在該情況下，即使配置于電鍍裝置內(nèi)的儲(chǔ)料器20從所期望的位置稍微偏離，在利用固定銷39將儲(chǔ)料器20固定時(shí)，錐狀的固定銷39的頂端也能夠?qū)?chǔ)料器20向所期望的位置引導(dǎo)。

圖8是儲(chǔ)料器設(shè)置部的概略側(cè)視圖。如圖所示，電鍍裝置具有用于使固定銷39沿著鉛垂方向移動(dòng)的活塞、缸機(jī)構(gòu)等驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)42。另外，該驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)42具有對(duì)固定銷39的位置進(jìn)行檢測(cè)的位置傳感器41。即使儲(chǔ)料器傳感器38檢測(cè)到儲(chǔ)料器20配置于電鍍裝置內(nèi)，在儲(chǔ)料器20從所期望的位置偏離地設(shè)置的情況下，固定銷39也有可能不會(huì)進(jìn)入設(shè)于儲(chǔ)料器20的底部的孔中。在該情況下，即使使固定銷39上升，固定銷39也會(huì)與儲(chǔ)料器20的底面接觸，固定銷39的位置無(wú)法上升到固定位置。位置傳感器41在檢測(cè)到在固定銷39利用驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)42上升時(shí)固定銷39的位置沒(méi)有上升到固定位置(例如最上位置)的情況下，能夠?qū)⑵錂z測(cè)結(jié)果向控制部175c發(fā)送。在控制部175c接收到該檢測(cè)結(jié)果的情況下，控制部175c判斷為儲(chǔ)料器20未配置于所期望的位置，能夠利用例如顯示器、揚(yáng)聲器等裝置向作業(yè)人員發(fā)出警告。

另外，電鍍裝置具有障礙物傳感器40，該障礙物傳感器40設(shè)置于開(kāi)口部21附近，對(duì)在開(kāi)口部21是否存在障礙物進(jìn)行檢測(cè)。在本電鍍裝置中，對(duì)于可能存在于開(kāi)口部21的障礙物能夠想到分隔壁27、儲(chǔ)料器20、背面分隔壁25等。只要在開(kāi)口部21存在這些障礙物中的任一個(gè)，作業(yè)人員就無(wú)法容易地進(jìn)入電鍍裝置內(nèi)。因而，通過(guò)對(duì)在開(kāi)口部21是否存在障礙物進(jìn)行檢測(cè)，能夠確保作業(yè)人員的安全。此外，本實(shí)施方式的儲(chǔ)料器20具有彼此連結(jié)的構(gòu)造，因此，存在微小的間隙產(chǎn)生于連結(jié)部分的情況。在障礙物傳感器40是1個(gè)的情況下，若障礙物傳感器40檢測(cè)到這樣的微小的間隙，則盡管在開(kāi)口部21存在儲(chǔ)料器20，障礙物傳感器40也會(huì)誤檢測(cè)為在開(kāi)口部21沒(méi)有存在障礙物。在開(kāi)口部21是否存在障礙物、即是否為作業(yè)人員能夠從開(kāi)口部21進(jìn)入電鍍裝置內(nèi)的狀態(tài)涉及到作業(yè)人員的安全，因此，優(yōu)選盡可能減少誤檢測(cè)。因此，如圖8所示，優(yōu)選障礙物傳感器40在儲(chǔ)料器設(shè)置部的設(shè)置面設(shè)置有兩個(gè)以上，以減少誤檢測(cè)。

接著，對(duì)從電鍍裝置取出儲(chǔ)料器20的工序的一個(gè)例子進(jìn)行說(shuō)明。圖9a～圖9d是表示從電鍍裝置取出儲(chǔ)料器20的工序的圖。在圖9a～圖9d所示的例子中，電鍍裝置具有儲(chǔ)料器移動(dòng)裝置45(相當(dāng)于移動(dòng)裝置的一個(gè)例子)。儲(chǔ)料器移動(dòng)裝置45根據(jù)來(lái)自控制部175c的指令使儲(chǔ)料器20向電鍍裝置外移動(dòng)、或向電鍍裝置內(nèi)移動(dòng)。儲(chǔ)料器移動(dòng)裝置45是構(gòu)成為使例如背面分隔壁25移動(dòng)的致動(dòng)器等。此外，使儲(chǔ)料器20自動(dòng)移動(dòng)的手段并不限于儲(chǔ)料器移動(dòng)裝置45，也可以構(gòu)成為在儲(chǔ)料器設(shè)置部的設(shè)置面上設(shè)置驅(qū)動(dòng)輥等來(lái)輸送儲(chǔ)料器20，還可以構(gòu)成為儲(chǔ)料器2自行移動(dòng)。另外，儲(chǔ)料器移動(dòng)裝置45并不是必須的，也可以由作業(yè)人員以手動(dòng)作業(yè)使儲(chǔ)料器20出入。

如圖9a所示，首先，預(yù)先將用于搭載已取出的儲(chǔ)料器20的臺(tái)車44配置成與電鍍裝置相鄰。接下來(lái)，儲(chǔ)料器移動(dòng)裝置45推動(dòng)背面分隔壁25而將所連結(jié)的兩個(gè)儲(chǔ)料器20a、20b向電鍍裝置外推出。此時(shí)，僅使1個(gè)儲(chǔ)料器20a位于開(kāi)口部21(省略圖示)之外。在該狀態(tài)下，將儲(chǔ)料器20a與儲(chǔ)料器20b之間的連結(jié)解除，如圖9b所示，僅將儲(chǔ)料器20a載置于臺(tái)車44。

接下來(lái)，如圖9c所示，儲(chǔ)料器移動(dòng)裝置45進(jìn)一步推動(dòng)背面分隔壁25，使所連結(jié)的儲(chǔ)料器20b位于開(kāi)口部21之外。該狀態(tài)下，將儲(chǔ)料器20b與背面分隔壁25之間的連結(jié)解除，如圖9d所示，將儲(chǔ)料器20b載置于臺(tái)車44。這樣一來(lái)，儲(chǔ)料器20a、20b被取出到電鍍裝置之外。另外，此時(shí)，如圖9d所示，通過(guò)未圖示的止擋件37防止背面分隔壁25出來(lái)到開(kāi)口部21之外，開(kāi)口部21的至少一部分被背面分隔壁25覆蓋。由此，能夠防止作業(yè)人員從開(kāi)口部21進(jìn)入。

接著，對(duì)儲(chǔ)料器20的取出、儲(chǔ)存控制進(jìn)行說(shuō)明。圖10是表示本實(shí)施方式的電鍍裝置中的儲(chǔ)料器20的取出、儲(chǔ)存控制流程的一個(gè)例子的圖。在本實(shí)施方式的電鍍裝置中，能夠選擇多個(gè)儲(chǔ)料器20中的成為維護(hù)對(duì)象的儲(chǔ)料器20。

首先，電鍍裝置的控制部175c從多個(gè)儲(chǔ)料器20中對(duì)要收納成為實(shí)施維護(hù)的對(duì)象的基板保持件11的至少一個(gè)儲(chǔ)料器20(稱為維護(hù)儲(chǔ)料器)進(jìn)行取出預(yù)約(步驟s1001)。在此，取出預(yù)約是指，控制部175c從多個(gè)儲(chǔ)料器20中將至少一個(gè)儲(chǔ)料器20選擇為取出對(duì)象。具體而言，例如由作業(yè)人員對(duì)電鍍裝置的控制器175進(jìn)行操作，來(lái)選擇儲(chǔ)料器20，由此進(jìn)行儲(chǔ)料器20的取出預(yù)約。在本說(shuō)明書中，將被進(jìn)行了取出預(yù)約的儲(chǔ)料器稱為預(yù)約儲(chǔ)料器。此外，如上所述，也能夠在儲(chǔ)料器20中收納成為維護(hù)對(duì)象的陽(yáng)極保持件?？刂撇?75c使與預(yù)約儲(chǔ)料器相對(duì)應(yīng)的基板保持件11、即要在預(yù)約儲(chǔ)料器中收納的基板保持件11的使用停止，并對(duì)基板保持件輸送裝置140進(jìn)行控制，以使基板保持件11返回至預(yù)約儲(chǔ)料器(步驟s1001)。

控制部175c對(duì)要在預(yù)約儲(chǔ)料器中收納的全部基板保持件11是否已返回到預(yù)約儲(chǔ)料器進(jìn)行判定(步驟s1002)。在判定為全部基板保持件11已返回到預(yù)約儲(chǔ)料器時(shí)(步驟s1002，是)，控制部175c使例如設(shè)置于控制器175的未圖示的燈點(diǎn)亮(步驟s1003)。燈的點(diǎn)亮表示可以將預(yù)約儲(chǔ)料器從電鍍裝置取出。此外，也可以不使與預(yù)約儲(chǔ)料器相對(duì)應(yīng)的全部基板保持件11返回至預(yù)約儲(chǔ)料器，而是使至少需要維護(hù)的基板保持件11返回至預(yù)約儲(chǔ)料器。

控制部175c使用除了預(yù)約儲(chǔ)料器以外的剩余的儲(chǔ)料器20而繼續(xù)電鍍裝置的運(yùn)轉(zhuǎn)(步驟s1004)。具體而言，控制部175c對(duì)處理部170b(參照?qǐng)D1)和基板保持件輸送裝置140進(jìn)行控制，以使用被收納于除了預(yù)約儲(chǔ)料器以外的儲(chǔ)料器20中的基板保持件11來(lái)對(duì)基板w進(jìn)行電鍍處理。另一方面，預(yù)約儲(chǔ)料器被從電鍍裝置拉出(步驟s1005)。此時(shí)，既可以利用圖9a～圖9d所示那樣的儲(chǔ)料器移動(dòng)裝置45自動(dòng)地將預(yù)約儲(chǔ)料器從電鍍裝置拉出，也可以由作業(yè)人員以手動(dòng)方式將預(yù)約儲(chǔ)料器拉出。

接下來(lái)，進(jìn)行收納于從電鍍裝置取出來(lái)的預(yù)約儲(chǔ)料器中的基板保持件11的維護(hù)(步驟s1006)。在基板保持件11的維護(hù)結(jié)束之后，基板保持件11在收納于預(yù)約儲(chǔ)料器的狀態(tài)下，返回至電鍍裝置(步驟s1007)。若預(yù)約儲(chǔ)料器返回至電鍍裝置、由圖7和圖8所示的儲(chǔ)料器傳感器38檢測(cè)到預(yù)約儲(chǔ)料器、且由位置傳感器41檢測(cè)到預(yù)約儲(chǔ)料器已被固定銷39固定的情況，則控制部175c將預(yù)約儲(chǔ)料器的取出預(yù)約解除。若取出預(yù)約被解除，則控制部175c使未圖示的燈熄滅，使用被收納于全部的儲(chǔ)料器20的基板保持件11而再次開(kāi)始電鍍處理(步驟s1008)。

在本實(shí)施方式的電鍍裝置中，在基板保持件11或陽(yáng)極保持件產(chǎn)生了異常的情況、到達(dá)了定期的維護(hù)時(shí)期的情況下等，需要使這些保持件的使用停止來(lái)進(jìn)行維護(hù)。根據(jù)圖10所示的工序流程，通過(guò)對(duì)例如要收納需要停止使用的保持件的儲(chǔ)料器20進(jìn)行取出預(yù)約，能夠?qū)⑿枰Ｖ故褂玫幕灞３旨?1或陽(yáng)極保持件收納于儲(chǔ)料器20而向電鍍裝置外取出。另外，根據(jù)本實(shí)施方式，使用被收納于除了進(jìn)行了取出預(yù)約的儲(chǔ)料器20以外的儲(chǔ)料器20中的保持件來(lái)進(jìn)行電鍍處理，因此，在將儲(chǔ)料器20從電鍍裝置拉出來(lái)的期間內(nèi)也能夠連續(xù)運(yùn)轉(zhuǎn)。

另外，根據(jù)圖10所示的工序流程，在取出來(lái)的儲(chǔ)料器20返回到電鍍裝置時(shí)，能夠使用被收納于包括該儲(chǔ)料器20在內(nèi)的全部?jī)?chǔ)料器20中的基板保持件11來(lái)進(jìn)行電鍍處理。因而，在儲(chǔ)料器20返回到電鍍裝置之后，與通常同樣地使用全部的基板保持件11來(lái)進(jìn)行電鍍處理，因此，能夠防止電鍍裝置的生產(chǎn)量的降低。此外，在圖10所示的工序流程中，在取出預(yù)約儲(chǔ)料器并進(jìn)行了維護(hù)之后，使該預(yù)約儲(chǔ)料器返回至電鍍裝置，但并不限于此，也可以預(yù)先準(zhǔn)備收納有預(yù)備的基板保持件11的預(yù)備的儲(chǔ)料器20，在將預(yù)約儲(chǔ)料器取出之后立即將預(yù)備的儲(chǔ)料器20儲(chǔ)存于電鍍裝置。由此，在基板保持件11的維護(hù)過(guò)程中也能夠使用預(yù)備的基板保持件11來(lái)進(jìn)行電鍍處理，能夠防止維護(hù)過(guò)程中的電鍍裝置的生產(chǎn)量的降低。

接著，對(duì)基板保持件11或陽(yáng)極保持件產(chǎn)生了異常的情況下的儲(chǔ)料器20的取出、儲(chǔ)存控制進(jìn)行說(shuō)明。圖11是表示本實(shí)施方式的電鍍裝置中的儲(chǔ)料器20的取出、儲(chǔ)存控制流程的另一個(gè)例子的圖。在本實(shí)施方式的電鍍裝置中，能夠從電鍍裝置取出收納產(chǎn)生了異常的基板保持件11或陽(yáng)極保持件的儲(chǔ)料器20。在圖11中，為了方便說(shuō)明，對(duì)基板保持件11產(chǎn)生了異常的情況下的儲(chǔ)料器20的取出、儲(chǔ)存控制進(jìn)行說(shuō)明。

首先，控制器175的控制部175c對(duì)基板保持件11的異常進(jìn)行檢測(cè)(步驟s1101)。具體而言，例如，當(dāng)在基板拆裝部120中將基板w安裝到了基板保持件11時(shí)，進(jìn)行通電確認(rèn)，對(duì)是否向基板w通電進(jìn)行檢測(cè)。另外，例如，也能夠?qū)灞３旨?1相對(duì)于基板w的周緣部的密封產(chǎn)生了異常的情況進(jìn)行檢測(cè)，或?qū)﹄婂儠r(shí)的電阻進(jìn)行監(jiān)控并根據(jù)電阻值的變化來(lái)對(duì)電鍍液進(jìn)入到密封內(nèi)部的情況進(jìn)行檢測(cè)。作為這樣的基板保持件11的異常的檢測(cè)手段，能夠采用公知的方法。若控制部175c從電鍍裝置的各部分接收到表示基板保持件11產(chǎn)生了異常的信號(hào)，則對(duì)基板保持件輸送裝置140進(jìn)行控制，以使基板保持件11返回至與產(chǎn)生了異常的基板保持件11相對(duì)應(yīng)的儲(chǔ)料器20、即要收納產(chǎn)生了異常的基板保持件11的儲(chǔ)料器20(步驟s1101)。此時(shí)，既可以僅使產(chǎn)生了異常的基板保持件11返回儲(chǔ)料器20，也可以使與儲(chǔ)料器20相對(duì)應(yīng)的包括產(chǎn)生了異常的基板保持件11在內(nèi)的全部基板保持件11返回?？刂撇?75c使要收納產(chǎn)生了異常的基板保持件11的儲(chǔ)料器20的使用停止并自動(dòng)地進(jìn)行取出預(yù)約(步驟s1101)。

控制部175c對(duì)要在預(yù)約儲(chǔ)料器中收納的全部基板保持件11是否已返回到預(yù)約儲(chǔ)料器進(jìn)行判定(步驟s1102)。此外，也可以是，在步驟s1102中，對(duì)至少產(chǎn)生了異常的基板保持件11是否已返回到預(yù)約儲(chǔ)料器進(jìn)行判定。在判定為全部基板保持件11、或至少產(chǎn)生了異常的基板保持件11已返回到預(yù)約儲(chǔ)料器時(shí)(s1102，是)，控制部175c使用除了預(yù)約儲(chǔ)料器以外的剩余的儲(chǔ)料器20而繼續(xù)電鍍裝置的運(yùn)轉(zhuǎn)(步驟s1103)。具體而言，控制部175c對(duì)處理部170b(參照?qǐng)D1)和基板保持件輸送裝置140進(jìn)行控制，以使用被收納于除了預(yù)約儲(chǔ)料器以外的儲(chǔ)料器20中的基板保持件11來(lái)對(duì)基板w進(jìn)行電鍍處理。另一方面，預(yù)約儲(chǔ)料器被從電鍍裝置拉出(步驟s1104)。此時(shí)，通過(guò)圖9a～圖9d所示那樣的儲(chǔ)料器移動(dòng)裝置45等自動(dòng)地將預(yù)約儲(chǔ)料器拉出。此外，也可以由作業(yè)人員手動(dòng)地拉出預(yù)約儲(chǔ)料器。在該情況下，出于作業(yè)人員的安全上的觀點(diǎn)考慮，優(yōu)選的是，使在圖10中進(jìn)行了說(shuō)明那樣的燈等點(diǎn)亮來(lái)使作業(yè)人員知曉可以由作業(yè)人員拉出預(yù)約儲(chǔ)料器這一情況。

接下來(lái)，進(jìn)行收納于從電鍍裝置取出來(lái)的預(yù)約儲(chǔ)料器中的基板保持件11的維護(hù)(步驟s1105)。在基板保持件11的維護(hù)結(jié)束之后，基板保持件11在收納于預(yù)約儲(chǔ)料器的狀態(tài)下，返回至電鍍裝置(步驟s1106)。若預(yù)約儲(chǔ)料器返回至電鍍裝置、由圖7和圖8所示的儲(chǔ)料器傳感器38檢測(cè)到預(yù)約儲(chǔ)料器、且由位置傳感器41檢測(cè)到預(yù)約儲(chǔ)料器被固定銷39固定的情況，則控制部175c將預(yù)約儲(chǔ)料器的取出預(yù)約解除(步驟s1107)。若取出預(yù)約被解除，則控制部175c使用被收納于全部的儲(chǔ)料器20中的基板保持件11而再次開(kāi)始電鍍處理(步驟s1107)。

根據(jù)圖11所示的工序流程，在基板保持件11產(chǎn)生了異常時(shí)，對(duì)要收納產(chǎn)生了異常的基板保持件11的儲(chǔ)料器20進(jìn)行取出預(yù)約，因此，能夠?qū)a(chǎn)生了異常的基板保持件11收納于儲(chǔ)料器20而向電鍍裝置外取出。另外，根據(jù)本實(shí)施方式，使用被收納于除了已進(jìn)行了取出預(yù)約的儲(chǔ)料器20以外的儲(chǔ)料器20中的保持件來(lái)進(jìn)行電鍍處理，因此，在將儲(chǔ)料器20從電鍍裝置拉出的期間內(nèi)也能夠連續(xù)運(yùn)轉(zhuǎn)。

另外，根據(jù)圖11所示的工序流程，在取出來(lái)的儲(chǔ)料器20返回到電鍍裝置時(shí)，能夠使用被收納于包括該儲(chǔ)料器20在內(nèi)的全部?jī)?chǔ)料器20中的基板保持件11來(lái)進(jìn)行電鍍處理。因而，在儲(chǔ)料器20返回到電鍍裝置之后，與通常同樣地，使用全部的基板保持件11來(lái)進(jìn)行電鍍處理，因此，能夠防止電鍍裝置的生產(chǎn)量的降低。此外，在圖11所示的工序流程中，在取出預(yù)約儲(chǔ)料器并進(jìn)行了維護(hù)之后，使該預(yù)約儲(chǔ)料器返回至電鍍裝置，但并不限于此，也可以預(yù)先準(zhǔn)備收納有預(yù)備的基板保持件11的預(yù)備的儲(chǔ)料器20，在將預(yù)約儲(chǔ)料器取出來(lái)之后立即將預(yù)備的儲(chǔ)料器20儲(chǔ)存于電鍍裝置。由此，在基板保持件11的維護(hù)過(guò)程中也能夠使用預(yù)備的基板保持件11來(lái)進(jìn)行電鍍處理，能夠防止維護(hù)過(guò)程中的電鍍裝置的生產(chǎn)量的降低。

接著，對(duì)電鍍裝置具有維護(hù)專用的儲(chǔ)料器20的情況下的儲(chǔ)料器20的取出、儲(chǔ)存控制進(jìn)行說(shuō)明。電鍍裝置也可以將多個(gè)儲(chǔ)料器20中的至少1個(gè)作為在通常的電鍍處理時(shí)不使用而僅用于收納需要維護(hù)的基板保持件11或陽(yáng)極保持件的儲(chǔ)料器20(稱為維護(hù)專用儲(chǔ)料器)。圖12是表示本實(shí)施方式的電鍍裝置中的儲(chǔ)料器20的取出、儲(chǔ)存控制流程的另一個(gè)例子的圖。在本實(shí)施方式的電鍍裝置中，能夠?qū)a(chǎn)生了異常的基板保持件11或陽(yáng)極保持件收納于維護(hù)專用儲(chǔ)料器，并將該維護(hù)專用儲(chǔ)料器從電鍍裝置取出。在圖12中，為了方便說(shuō)明，對(duì)基板保持件11產(chǎn)生了異常的情況下的維護(hù)專用儲(chǔ)料器的取出、儲(chǔ)存控制進(jìn)行說(shuō)明。

首先，控制器175的控制部175c對(duì)基板保持件11的異常進(jìn)行檢測(cè)(步驟s1201)。具體而言，例如，當(dāng)在基板拆裝部120中將基板w安裝到了基板保持件11時(shí)，進(jìn)行通電確認(rèn)，對(duì)是否向基板w通電進(jìn)行檢測(cè)。另外，例如，也能夠?qū)灞３旨?1相對(duì)于基板w的周緣部的密封產(chǎn)生了異常的情況進(jìn)行檢測(cè)，或?qū)﹄婂儠r(shí)的電阻進(jìn)行監(jiān)控并根據(jù)電阻值的變化對(duì)電鍍液進(jìn)入到密封內(nèi)部的情況進(jìn)行檢測(cè)。作為這樣的基板保持件11的異常的檢測(cè)手段，能夠采用公知的方法?？刂撇?75c若從電鍍裝置的各部分接收到表示基板保持件11產(chǎn)生了異常的信號(hào)，則對(duì)基板保持件輸送裝置140進(jìn)行控制，以使基板保持件11返回至維護(hù)專用儲(chǔ)料器(步驟s1201)。此外，維護(hù)專用儲(chǔ)料器是作為取出對(duì)象而被控制部175c預(yù)先選擇好的儲(chǔ)料器20。

控制部175c使用除了維護(hù)專用儲(chǔ)料器以外的剩余的儲(chǔ)料器20而繼續(xù)電鍍裝置的運(yùn)轉(zhuǎn)(步驟s1202)。具體而言，控制部175c對(duì)處理部170b(參照?qǐng)D1)和基板保持件輸送裝置140進(jìn)行控制，以使用被收納于除了維護(hù)專用儲(chǔ)料器以外的儲(chǔ)料器20中的基板保持件11來(lái)對(duì)基板w進(jìn)行電鍍處理。換言之，控制部175c使用除了產(chǎn)生了異常的基板保持件11以外的全部基板保持件來(lái)進(jìn)行電鍍處理。

另一方面，維護(hù)專用儲(chǔ)料器被從電鍍裝置拉出(步驟s1203)。此時(shí)，通過(guò)圖9a～圖9d所示那樣的儲(chǔ)料器移動(dòng)裝置45等自動(dòng)地將預(yù)約儲(chǔ)料器拉出。此外，也可以由作業(yè)人員手動(dòng)地拉出預(yù)約儲(chǔ)料器。在該情況下，出于作業(yè)人員的安全上的觀點(diǎn)考慮，優(yōu)選使在圖10中進(jìn)行了說(shuō)明那樣的燈等點(diǎn)亮，使作業(yè)人員知曉可以由作業(yè)人員拉出預(yù)約儲(chǔ)料器這一情況。此外，在圖12所示的工序流程中，沒(méi)有執(zhí)行圖10和圖11所示的對(duì)基板保持件11是否返回到儲(chǔ)料器20進(jìn)行判定的工序(步驟s1002和步驟s1102)。其原因在于，在圖12所示的工序流程中，在檢測(cè)到基板保持件11產(chǎn)生了異常時(shí)，僅使該基板保持件11立即返回至維護(hù)專用儲(chǔ)料器，因此，不需要這樣的判定工序。不過(guò)，也可以執(zhí)行這樣的判定工序。

接下來(lái)，進(jìn)行收納于從電鍍裝置取出來(lái)的維護(hù)專用儲(chǔ)料器中的基板保持件11的維護(hù)(步驟s1204)。在基板保持件11的維護(hù)結(jié)束之后，基板保持件11在收納于維護(hù)專用儲(chǔ)料器的狀態(tài)下，返回至電鍍裝置(步驟s1205)。若維護(hù)專用儲(chǔ)料器返回至電鍍裝置、由圖7和圖8所示的儲(chǔ)料器傳感器38檢測(cè)到維護(hù)專用儲(chǔ)料器、且由位置傳感器41檢測(cè)到維護(hù)專用儲(chǔ)料器被固定銷39固定這一情況，則控制部175c對(duì)基板保持件輸送裝置140進(jìn)行控制，以使維護(hù)專用儲(chǔ)料器內(nèi)的基板保持件11返回至原來(lái)的儲(chǔ)料器20(步驟s1206)。若基板保持件11返回至原來(lái)的儲(chǔ)料器20，則控制部175c使用被收納于全部?jī)?chǔ)料器20的基板保持件11而再次開(kāi)始電鍍處理(步驟s1207)。

根據(jù)圖12所示的工序流程，產(chǎn)生了異常的基板保持件11或陽(yáng)極保持件被收納于維護(hù)專用儲(chǔ)料器。因而，即使為了維護(hù)而使維護(hù)專用儲(chǔ)料器移動(dòng)至電鍍裝置外，通常的電鍍處理所使用的儲(chǔ)料器20的數(shù)量也不會(huì)改變。因此，即使是維護(hù)過(guò)程中，也能夠維持可使用的儲(chǔ)料器20的數(shù)量，因此，能夠抑制電鍍裝置的生產(chǎn)量的降低。

如以上進(jìn)行了說(shuō)明那樣，第1實(shí)施方式的電鍍裝置具有多個(gè)儲(chǔ)料器20，能夠?qū)⒃搩?chǔ)料器20中的至少一個(gè)向電鍍裝置外取出，因此，能夠?qū)⑹占{有需要維護(hù)的基板保持件11或陽(yáng)極保持件的儲(chǔ)料器20向電鍍裝置外取出，來(lái)進(jìn)行基板保持件11或陽(yáng)極保持件的維護(hù)。另外，在維護(hù)期間，成為其他儲(chǔ)料器20配置在電鍍裝置內(nèi)的狀態(tài)。由此，在基板保持件11或陽(yáng)極保持件的維護(hù)過(guò)程中也能夠繼續(xù)電鍍裝置的運(yùn)轉(zhuǎn)，因此，與如以往那樣使電鍍裝置停止的情況相比，能夠使生產(chǎn)量提高。另外，對(duì)于基板保持件11和陽(yáng)極保持件，得知如下?tīng)顩r：雖然保持件自身沒(méi)有產(chǎn)生構(gòu)造上的不良情況，但在持續(xù)進(jìn)行電鍍處理的過(guò)程中，會(huì)逐漸產(chǎn)生進(jìn)行電鍍處理之際產(chǎn)生錯(cuò)誤的次數(shù)多的基板保持件11或陽(yáng)極保持件、和產(chǎn)生錯(cuò)誤的次數(shù)少的基板保持件11或陽(yáng)極保持件。在第1實(shí)施方式中，在電鍍裝置中設(shè)置有多個(gè)儲(chǔ)料器20，因此，也能夠?qū)⒗绱嬖诋a(chǎn)生了錯(cuò)誤的履歷的基板保持件11或陽(yáng)極保持件收納于第1儲(chǔ)料器20，將除此之外的保持件收納于第2儲(chǔ)料器20，由此將第1儲(chǔ)料器20選擇為維護(hù)的對(duì)象，使其向電鍍裝置之外移動(dòng)。而且，在電鍍裝置中設(shè)置有多個(gè)儲(chǔ)料器20，因此能夠?qū)⒗缬糜诒３值?規(guī)格的基板w的基板保持件11收納于第1儲(chǔ)料器20，將除此之外的基板保持件11收納于第2儲(chǔ)料器20。由此，即使不同規(guī)格的基板w同時(shí)或連續(xù)地輸送到電鍍裝置，也無(wú)需使裝置停止，能夠繼續(xù)進(jìn)行電鍍處理。其結(jié)果，對(duì)于不同規(guī)格的基板w，也能夠不使裝置整體的每單位時(shí)間的生產(chǎn)率降低地進(jìn)行電鍍處理。

＜第2實(shí)施方式>

以下，參照附圖對(duì)本發(fā)明的第2實(shí)施方式進(jìn)行說(shuō)明。圖13是第2實(shí)施方式的電鍍裝置的整體側(cè)視圖。第2實(shí)施方式的電鍍裝置與第1實(shí)施方式的電鍍裝置相比，僅各部分的配置結(jié)構(gòu)不同，各部分的具體結(jié)構(gòu)和功能相同。即，第2實(shí)施方式的電鍍裝置具備具有圖3～圖9所示的儲(chǔ)料器20的具體結(jié)構(gòu)和功能的儲(chǔ)料器20，能夠執(zhí)行在圖10～圖12中進(jìn)行了說(shuō)明的儲(chǔ)料器20的取出、儲(chǔ)存控制。

如圖13所示，該電鍍裝置在電鍍裝置框架105上具備收納有基板w的盒100、基板輸送裝置122、旋干機(jī)106、基板拆裝部120、載置板152、處理部170b、能夠沿著行進(jìn)軸143行進(jìn)的基板保持件輸送裝置140、多個(gè)儲(chǔ)料器20、儲(chǔ)料器設(shè)置部125、以及未圖示的定位器。此外，圖13中僅示出多個(gè)儲(chǔ)料器20中的一個(gè)。

在該例中，處理部170b從盒100側(cè)看來(lái)依次具有泄料槽、沖洗槽、第2電鍍槽、沖洗槽、第1電鍍槽、沖洗槽、前處理槽、以及前水洗槽。但并不限于此，也可以具有與第1實(shí)施方式的電鍍裝置同樣的結(jié)構(gòu)的處理部170b，還可以具有其他結(jié)構(gòu)的處理部170b。即，處理部170b的槽的種類、槽的數(shù)量、槽的配置能夠根據(jù)基板w的處理目的自由地選擇。在縮短基板保持件11的輸送路徑方面，優(yōu)選各槽的配置順序按照工序順序沿著圖中從x朝向x’的方向配置。

在第2實(shí)施方式中，多個(gè)儲(chǔ)料器20配置于電鍍裝置的后級(jí)這點(diǎn)與第1實(shí)施方式的電鍍裝置有很大不同。即使是這樣的結(jié)構(gòu)的電鍍裝置，也能夠使多個(gè)儲(chǔ)料器20中的至少一個(gè)向電鍍裝置的內(nèi)外獨(dú)立地移動(dòng)。

以上，對(duì)本發(fā)明的實(shí)施方式進(jìn)行了說(shuō)明，但上述的發(fā)明的實(shí)施方式用于容易地理解本發(fā)明，并不限定本發(fā)明。本發(fā)明在不脫離其主旨的情況下能夠進(jìn)行變更、改良，并且其等效物當(dāng)然包含于本發(fā)明。另外，在能夠解決上述課題的至少一部分的范圍、或起到效果的至少一部分的范圍內(nèi)，能夠進(jìn)行權(quán)利要求書和說(shuō)明書所記載的各構(gòu)成要素的任意組合或省略。