專利名稱：表面處理裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及表面處理裝置。
背景技術(shù)：
現(xiàn)有的表面處理裝置例如具備與在外周面具有作為環(huán)狀被處理區(qū)域的周槽的金屬制的被處理物電連接的陽電極部件、具有相對于所述外周面以及所述周槽隔開間隔而對置的內(nèi)周面的框部件、通過密封夾著所述外周面中的所述周槽的兩側(cè)的每一側(cè)與所述內(nèi)周面的間隙而能夠形成沿著所述周槽的電解液通路的非導(dǎo)電性的彈性密封件、設(shè)置在所述電解液通路的陰電極部件、沿著所述電解液通路而流通電解液的電解液流通單元。上述表面處理裝置能夠在形成沿著在被處理物的外周面所具有的環(huán)狀被處理區(qū)域的電解液通路并沿著該電解液通路而流通電解液的同時(shí)、有效地對環(huán)狀被處理區(qū)域進(jìn)行例如陽極氧化處理等的表面處理。 在現(xiàn)有的上述表面處理裝置中，通過導(dǎo)電性的材料形成框部件，并在該框部件構(gòu)成陰電極部件，所述陰電極部件具有相對于被處理物的外周面以及環(huán)狀被處理區(qū)域(周槽)隔開間隔對置的環(huán)狀的內(nèi)周面(例如，參考專利文獻(xiàn)I)。專利文獻(xiàn)I :日本特開2003-119593號公報(bào)(段落號
)。上述表面處理裝置由于在表面處理時(shí)遍布陽電極部件和陰電極部件來通電，因此溶解在電解液中的容易陽離子化的銅等的金屬成分在陰電極部件的表面析出而容易粘著堆積。現(xiàn)有的表面處理裝置由于設(shè)置有具有環(huán)狀的內(nèi)周面的陰電極部件，因此析出金屬容易在陰電極部件的內(nèi)周面遍布整周均勻地粘著堆積，當(dāng)由于所堆積的析出金屬而電解液通路的通路截面積變狹窄時(shí)，妨礙了電解液的順利的流通。此外，在框部件構(gòu)成具有相對于被處理物的外周面以及環(huán)狀被處理區(qū)域隔開間隔而對置的環(huán)狀的內(nèi)周面的陽電極部件的情況下，溶解在電解液中的容易陰離子化的氯化物和硫化物等非金屬成分在陽電極部件的表面析出，產(chǎn)生同樣的現(xiàn)象。電解液的溫度由于因電極反應(yīng)而產(chǎn)生的熱而在環(huán)狀被處理區(qū)域的表面附件變高，當(dāng)電解液的順利的流通被妨礙時(shí)，電解液的溫度容易上升。當(dāng)電解液的溫度上升時(shí)，在將例如耐酸鋁覆膜等的覆膜形成于環(huán)狀被處理區(qū)域的表面處理中容易產(chǎn)生皮膜燒結(jié)。即，容易呈現(xiàn)由于在陽極氧化處理時(shí)電流分布不均勻、或者電流密度過大等而產(chǎn)生的、如烤制那樣的外觀，有可能難以以高電壓有效地重復(fù)進(jìn)行表面處理。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明就是鑒于上述實(shí)際情況而完成的，其目的在于提供能夠以高電壓有效地重復(fù)進(jìn)行表面處理的表面處理裝置。本發(fā)明的表面處理裝置的第I特征構(gòu)成在于具備陽電極部件和陰電極部件中的一者，所述陽電極部件和陰電極部件中的一者與在外周面具有環(huán)狀被處理區(qū)域的金屬制的被處理物電連接；框部件，所述框部件具備相對所述外周面以及所述環(huán)狀被處理區(qū)域隔開間隔而對置的非導(dǎo)電性的內(nèi)周面；非導(dǎo)電性的彈性密封件，所述非導(dǎo)電性的彈性密封件通過密封所述外周面中的夾著所述環(huán)狀被處理區(qū)域的兩側(cè)的每一側(cè)與所述內(nèi)周面的間隙，由此能夠形成沿所述環(huán)狀被處理區(qū)域的電解液通路；棒狀的陽電極部件和陰電極部件中的另一者，所述棒狀的陽電極部件和陰電極部件中的另一者以頂端部插入到所述電解液通路中的方式朝向所述被處理物一側(cè)突出設(shè)置；以及電解液流通單元，所述電解液傳到單元沿著所述電解液通路使電解液進(jìn)行流通。根據(jù)本構(gòu)成，由于框部件具備相對于被處理物的外周面以及環(huán)狀被處理區(qū)域隔開間隔而對置的非導(dǎo)電性的內(nèi)周面，因此在表面處理時(shí)，金屬成分或非金屬成分不會在框部件的內(nèi)周面析出。另外，由于突出設(shè)置棒狀的陽電極部件和陰電極部件中的另一者，因此與現(xiàn)有相比縮小陽電極部件和陰電極部件中的另一者的表面積，能夠減小金屬成分或非金屬成分等析出成分對陽電極部件和陰電極部件中的另一者的附著面積，能夠減弱析出成分對陽電極 部件和陰電極部件中的另一者的附著強(qiáng)度。并且，由于將棒狀的陽電極部件和陰電極部件中的另一者以頂端部進(jìn)入到電解液通路中的方式朝向被處理物側(cè)突出設(shè)置，因此通過沿著電解液通路流通的電解液的力沖走堆積在棒狀的陽電極部件和陰電極部件中的另一者上的附著強(qiáng)度弱的析出成分，而容易從棒狀的陽電極部件和陰電極部件中的另一者去除析出成分，堆積在棒狀的陽電極部件和陰電極部件中的另一者的析出成分難以增大。因此，能夠長久確保電解液通路中的電解液的順利的流通，并能夠長久地抑制環(huán)狀被處理區(qū)域的表面附近的溫度上升。因此，如果是本構(gòu)成的表面處理裝置，能夠以高電壓有效地重復(fù)進(jìn)行表面處理。本發(fā)明的第2特征構(gòu)成在于將多個(gè)所述棒狀的陽電極部件和陰電極部件中的另一者沿所述電解液通路的周向分散配置。根據(jù)本構(gòu)成，使在棒狀的陽電極部件和陰電極部件中的另一者與環(huán)狀被處理區(qū)域之間產(chǎn)生的電場強(qiáng)度沿環(huán)狀被處理區(qū)域分散，容易形成均質(zhì)的覆膜。本發(fā)明的第3特征構(gòu)成在于將所述棒狀的陽電極部件和陰電極部件中的另一者以使其長度方向?yàn)橄鄬τ谒鐾庵苊嬲坏姆较虻姆绞酵怀鲈O(shè)置。根據(jù)本構(gòu)成，使棒狀的陽電極部件和陰電極部件中的另一者與相對于該棒狀的陽電極部件和陰電極部件中的另一者而位于左右兩側(cè)的環(huán)狀被處理區(qū)域部分之間產(chǎn)生左右對稱的電場，容易形成均質(zhì)的覆膜。本發(fā)明的第4特征構(gòu)成在于將所述棒狀的陽電極部件和陰電極部件中的另一者的外周面形成為凹凸面。根據(jù)本構(gòu)成，由于增大棒狀的陽電極部件和陰電極部件中的另一者的表面積，因此能夠流過大的電流，容易以短時(shí)間有效地形成希望厚度的覆膜。本發(fā)明的第5特征構(gòu)成在于將所述棒狀的陽電極部件和陰電極部件中的另一者中的頂端部的形狀形成為凸曲面狀。根據(jù)本構(gòu)成，在靠近被處理物的頂端部電流難以集中，因此難以產(chǎn)生火花，容易形成均質(zhì)的覆膜。


圖I是表面處理裝置(陽極氧化處理裝置)的概略圖。圖2是從圖I的II-II線箭頭觀察下的第2電極部的俯視圖。圖3 (a)是示出陰電極部件的固定構(gòu)造的截面圖，(b)是從(a)中的III b_III b線箭頭觀察的側(cè)視圖。圖4是示出第2電極部的電解液供給嘴部分的剖面圖。圖5是示出第2電極部的內(nèi)周側(cè)的側(cè)視圖。圖6是示出第2電極部的彈性密封件從活塞的外周面分離的狀態(tài)的剖面圖。

圖7是示出第2電極部的彈性密封件與活塞的外周面壓接的狀態(tài)的剖面圖。圖8是示出第2實(shí)施方式的表面處理裝置(陽極氧化處理裝置)中的陰電極部件的側(cè)視圖。
具體實(shí)施例方式以下基于附圖對本發(fā)明的實(shí)施方式進(jìn)行說明。[第I實(shí)施方式]圖I 圖7示出作為基于本發(fā)明的表面處理裝置的一個(gè)例子的陽極氧化處理裝置。該陽極氧化處理裝置針對作為金屬制的被處理物的一個(gè)例子的鋁合金制活塞A的活塞環(huán)槽Al進(jìn)行在其表面形成耐酸鋁覆膜的陽極氧化處理。具體而言，針對圓柱狀的活塞A的包含從頂部到裙部形成的3個(gè)活塞環(huán)槽A1、A2、A3中的、頂部側(cè)的活塞環(huán)(壓縮環(huán))槽Al的表面的外周面(以下稱為活塞外周面)B實(shí)施陽極氧化處理。活塞環(huán)槽Al相當(dāng)于作為在活塞外周面B具有的環(huán)狀被處理區(qū)域的周槽。如圖I所示，陽極氧化處理裝置具有電解液槽I、電解液供給部2、氧化處理部3、以及通電部4。電解液槽I是由氯乙烯制或不銹鋼制的上端開口的容器狀的槽，并設(shè)置有用于接住通過了氧化處理部3的電解液而進(jìn)行回收，并將回收的電解液回流到電解液供給部2的回流通路5。 電解液供給部2具有用于對從電解液槽I回流的電解液進(jìn)行冷卻的冷卻槽6 ;用于將冷卻槽6的電解液供給到氧化處理部3的供給通路7 ;設(shè)置在供給通路7的供給泵8 ；控制供給泵8的運(yùn)轉(zhuǎn)以將電解液與規(guī)定的定時(shí)供給到氧化處理部3的供給控制部9。冷卻槽6設(shè)置有用于對被回收的電解液進(jìn)行冷卻的冷卻機(jī)10、以及為了將電解液冷卻到規(guī)定溫度而基于由溫度傳感器11進(jìn)行的電解液溫度的檢測信息對冷卻機(jī)10的運(yùn)轉(zhuǎn)進(jìn)行控制的冷卻控制部12。通電部4對氧化處理部3進(jìn)行通電。該通電部4優(yōu)選的是為了能夠調(diào)整電流密度而具有電流控制單元。電流控制單元能夠使用電流計(jì)、電壓計(jì)、整流器等構(gòu)成的現(xiàn)有公知的單元。氧化處理部3具有第I電極(陽極)部13和第2電極(陰極)部14。
第I電極部13具備具有導(dǎo)電性的銅或不銹鋼等金屬制的陽電極部件15、以及使陽電極部件15相對于第2電極部14升降的升降裝置16。陽電極部件15兼用作保持活塞A的保持具，并與通電部4的陽極端子4a電連接，通過保持活塞A來與該活塞A電連接。保持具(陽電極部件)15在其下端部具有相對于活塞A的內(nèi)周面自如卡合脫離的卡合爪(未圖示)。通過將該卡合爪卡合在活塞A的內(nèi)周面上，將活塞A以使其軸心沿垂直方向的姿勢、并且以電連接的狀態(tài)保持。如圖2所示，第2電極部14的外形俯視觀察被形成為圓形，使活塞A以使其軸心沿上下方向的姿勢進(jìn)入的、俯視觀察為圓形的活塞插入孔25被形成為同心狀。如圖I至圖3所示，第2電極部14具有對圓棒狀的多個(gè)陰電極部件41進(jìn)行固定的框部件17、配置于框部件17的上下的固定板18、19、以及支持底座20，彼此通過螺栓連 結(jié)。各陰電極部件41由鉬(Pt)或者導(dǎo)電性的不銹鋼(SUS)形成。陰電極部件41的數(shù)目優(yōu)選是4 20根，在本實(shí)施方式中，將14根陰電極部件41沿著框部件17的周向分散配置。框部件17、固定板18、19以及支持底座20均由氯乙烯樹脂等非導(dǎo)電性材料(絕緣體)形成。如圖I、圖3、圖4所示，框部件17被嵌合在將上側(cè)固定板18的下面外周側(cè)朝上凹入的環(huán)狀的朝上凹面部21與將下側(cè)固定板19的上面外周側(cè)朝下凹入的環(huán)狀的朝下凹面部22之間，彼此通過螺栓連結(jié)。如圖I所示，框部件17通過將上側(cè)的第I框板23和下側(cè)的第2框板24兩張框板通過螺栓連結(jié)來構(gòu)成，如圖3、圖5所示，在第I框板23和第2框板24之間夾入陰電極部件41而進(jìn)行固定。如圖4 圖6所示，在第I框板23以及第2框板24的活塞插入孔25側(cè)將隔開空間26而使第I框板23和第2框板24對置的對置板部27、28、以及沿著對置板部27、28的內(nèi)周側(cè)而向活塞插通孔25側(cè)突出的鍔板部29、30形成為環(huán)狀。各凸緣板部29、30的內(nèi)周面(以下稱為框板內(nèi)周面)31的內(nèi)側(cè)作為活塞插通孔25而形成。因此，框部件17具備框板內(nèi)周面31，所述框板內(nèi)周面31作為相對于活塞外周面B以及活塞環(huán)槽Al遍布整周而隔開固定間隔來對置的非導(dǎo)電性的圓環(huán)狀內(nèi)周面被形成。如圖I所示，在下側(cè)固定板19設(shè)置有與活塞插通孔25相同直徑并且同心的圓形凹面部32、以及使軸心沿上下方向的姿勢的載置支承活塞A的頂面的活塞載置部35。遍布下側(cè)固定板19和支持底座20設(shè)置有與電解液的供給通路7連接的連接流路33、以及通過使在圓形凹面部32中積攢的電解液通過自然流下而排出到電解液槽I的排出孔34。因此，如圖I所示，以軸心沿鉛垂方向的姿勢并以電連接的狀態(tài)被保持具(陽電極部件)15保持的活塞A插通在活塞插通孔25中，通過活塞A的頂面被載置在活塞載置部35，如圖3、圖4所示，被定位成在活塞外周面B和框板內(nèi)周面31之間遍布整周而具有固定間隔的間隙C的同心狀。如圖I、圖3至圖7所示，在框部件17中的框板內(nèi)周面31偵M吏上下兩個(gè)非導(dǎo)電性的環(huán)狀的彈性密封件40遍布整周并在上下隔開間隔，并以防止脫落的狀態(tài)、且避免頂端部44相比框板內(nèi)周面31向活塞外周面B側(cè)突出的方式安裝。各彈性密封件40由橡膠等非導(dǎo)電性材料(絕緣體)形成為圓環(huán)狀，如圖7所示，其頂端部44以與活塞外周面B壓接的方式伸長，密封活塞外周面B中夾著周槽Al的兩側(cè)的每一側(cè)與框板內(nèi)周面31的間隙C，由此能夠形成沿著周槽Al的環(huán)狀的電解液通路45。各彈性密封件40是朝向其外周側(cè)開口的凹入部42連續(xù)形成一圈而形成的，并形成為一體地具備上下的側(cè)壁部43以及與活塞外周面B接觸的頂端部44的橫向U字狀的橫截面形狀。如圖I、圖6、圖7所示，設(shè)置有加壓機(jī)構(gòu)51，所述加壓機(jī)構(gòu)51向各彈性密封件40的外周側(cè)同時(shí)供給作為加壓流體的加壓空氣，并使這些彈性密封件40的內(nèi)周側(cè)(頂端部44)遍布整周地與活塞外周面B自如壓接、或解除壓接。加壓機(jī)構(gòu)51具有自由地供給和排出加壓空氣的空氣供給排出裝置52、對空氣供 給排出裝置52的空氣供給排出動作進(jìn)行控制的供給排出控制部53、與彈性密封件40的凹入部42的各個(gè)連通的空氣供給排出路54、將空氣供給排出裝置52的空氣供給排出管55和空氣供給排出路54連接的管接頭56?？諝夤┙o排出路54在第2電極部14的周向上設(shè)置有三處，每處空氣供給排出路54均與空氣供給排出管55連接，從而從周向的三處向各彈性密封件40的凹入部42自由地供給排出加壓空氣。對加壓機(jī)構(gòu)51的動作進(jìn)行說明。如圖6所示，當(dāng)活塞A在活塞插通孔25中插通而載置于活塞載置部35上時(shí)，供給排出控制部53以通過空氣供給排出路54向各彈性密封件40的各個(gè)凹入部42供給加壓空氣的方式使空氣供給排出裝置52工作。當(dāng)向彈性密封件40的凹入部42供給加壓空氣時(shí)，該彈性密封件40朝向活塞外周面B側(cè)彈性地伸長，并且頂端部44朝向活塞外周面B彈性地的擴(kuò)展移動，如圖7所示，該頂端部44與活塞外周面B壓接。如圖7所示，通過彈性密封件40的頂端部44與活塞外周面B壓接，在夾著周槽Al的兩側(cè)的每側(cè)中，活塞外周面B和框板內(nèi)周面31的間隙C被密封，形成沿著周槽Al的環(huán)狀的電解液通路45。如圖2、圖3、圖5所示，陰電極部件41的每個(gè)被形成為具備電極軸部46、固定用軸部47、連接軸部48的筆直的圓棒狀，所述電極軸部46為了頂端部46a進(jìn)入到電解液通路45中而朝活塞A側(cè)突出設(shè)置，固定用軸部47被框部件17固定，連接軸部48與通電部4的陰極端子4b電連接。電極軸部46的頂端部46a的形狀被形成為不具備角部的凸曲面形狀。多個(gè)陰電極部件41優(yōu)選配置為其長度方向(軸心方向)為與相對于活塞外周面B正交的方向相同的方向、或者相對于該正交方向在75度以內(nèi)的角度范圍內(nèi)傾斜。在本實(shí)施方式中，如圖2所示，將多個(gè)陰電極部件41以電極軸部46的長度方向成為相對于活塞外周面B正交的方向的方式配置成相對于活塞插入孔25的中心呈放射狀，并沿著電解液通路45的周向等間隔地分散配置。各陰電極部件41以如圖3、圖5所示的電極軸部46在后述的電解液的排出流路38之中朝向活塞A側(cè)突出、且如圖2所示的連接軸部48向框部件17的外周側(cè)突出的方式將固定用軸部47以嵌合到第I框板23和第2框板24之間的狀態(tài)夾入并固定。各陰電極部件41的連接軸部48如圖2所示與電連接到通電部4的陰極端子4b的共用的連接端子板49電連接。連接端子板49形成為圍繞框部件17的圓環(huán)狀，連接軸部48的每個(gè)如圖3 (b)所示被夾入到連接端子板49和被螺栓固定到連接端子板49的支承板50之間，并被電連接。因此，在更換陰電極部件41時(shí)，解除連接軸部48和連接端子板49的連接，將更換對象的陰電極部件41從第I框板23和第2框板24之間拔出，并將新的陰電極部件41插入到第I框板23和第2框板24之間而與連接端子板49連接，由此能夠容易地進(jìn)行更換。如圖2、圖4、圖5所示，在第I框板23中的對置板部27和凸緣板部29與第2框 板24中的對置板部28和凸緣板部30之間，多個(gè)電解液供給嘴36在周向隔開固定間隔而被配置。電解液供給嘴36優(yōu)選配置成與陰電極部件41相同數(shù)目，在本實(shí)施方式中，配設(shè)與陰電極部件41相同數(shù)目的14個(gè)。如圖4、圖5所示，各電解液供給嘴36具有與連接流路33連接并向電解液通路45供給電解液的供給流路37，該供給流路37向框板內(nèi)周面31開口。電解液供給嘴36優(yōu)選的是如圖2所示，設(shè)置成該供給流路37的流路軸心X相對于框板內(nèi)周面31的切線在5 75度的角度范圍內(nèi)傾斜。如圖I、圖5所示，在周向相鄰的電解液供給嘴36間的上下的對置板部27、28之間的空間26以及上下的凸緣板部29、30之間的空間作為電解液的排出流路38而被設(shè)置。各電解液供給嘴36被配置成使得電解液沿電解液通路45流通，并且能夠從相對于框板內(nèi)周面31的切線傾斜的方向向電解液通路45供給電解液。因此，具備這些電解液供給嘴36的電解液供給部2作為使電解液沿著電解液通路45流通的電解液流通單元而設(shè)置，如圖5中的箭頭a所示，電解液由于以環(huán)繞電極軸部46的表面的方式流通，因此通過電解液的力將堆積在電極軸部46的附著強(qiáng)度弱的析出金屬沖走而容易將其去除。由于容易去除堆積在電極軸部46的析出金屬，因此難以發(fā)生由于所堆積的析出金屬與活塞外周面B和周槽Al接觸而產(chǎn)生的火花，所形成的耐酸鋁覆膜由于火花溶解而處理質(zhì)量降低的可能性降低。如圖2所示，在周向上相鄰的電解液供給嘴36間的位置形成遍布下側(cè)的對置板部28、下側(cè)固定板19以及支持底座20而貫通的貫通孔39，排出流路38的電解液從這些貫通孔39自然流下并被排出到電解液槽I。本實(shí)施方式的陽極氧化處理裝置由于堆積在陰電極部件41的析出金屬難以增大，因此析出金屬的析出厚度達(dá)到需要更換陰電極部件41的厚度所經(jīng)歷的電極使用時(shí)間，與現(xiàn)有的具備含有相對于活塞A的外周面B以及周槽Al隔開間隔而對置的環(huán)狀的內(nèi)周面的陰電極部件的陽極氧化處理裝置相比為大致兩倍。另外，如表I所示，在形成膜厚15 μ m的耐酸鋁覆膜的情況下，與專利文獻(xiàn)I所公開的現(xiàn)有的陽極氧化處理裝置相比，將燃弧電壓提高50V以上、將設(shè)定電壓提高30V以上，由此能夠使處理時(shí)間縮短30%以上。
[表 I]
權(quán)利要求
1.一種表面處理裝置，具備 陽電極部件和陰電極部件中的一者，所述陽電極部件和陰電極部件中的一者與在外周面具有環(huán)狀被處理區(qū)域的金屬制的被處理物電連接； 框部件，所述框部件具備相對所述外周面以及所述環(huán)狀被處理區(qū)域隔開間隔而對置的非導(dǎo)電性的內(nèi)周面； 非導(dǎo)電性的彈性密封件，所述非導(dǎo)電性的彈性密封件通過密封所述外周面中的夾著所述環(huán)狀被處理區(qū)域的兩側(cè)的每一側(cè)與所述內(nèi)周面的間隙，由此能夠形成沿所述環(huán)狀被處理區(qū)域的電解液通路； 棒狀的陽電極部件和陰電極部件中的另一者，所述棒狀的陽電極部件和陰電極部件中的另一者以頂端部插入到所述電解液通路中的方式朝向所述被處理物一側(cè)突出設(shè)置；以及電解液流通單元，所述電解液流通單元沿著所述電解液通路使電解液進(jìn)行流通。
2.根據(jù)權(quán)利要求I所述的表面處理裝置，其中， 將多個(gè)所述棒狀的陽電極部件和陰電極部件中的另一者沿所述電解液通路的周向分散配置。
3.根據(jù)權(quán)利要求I或2所述的表面處理單元，其中， 將所述棒狀的陽電極部件和陰電極部件中的另一者以使其長度方向成為相對于所述外周面正交的方向的方式突出設(shè)置。
4.根據(jù)權(quán)利要求I至3中任一項(xiàng)所述的表面處理單元，其中， 將所述棒狀的陽電極部件和陰電極部件中的另一者的外周面形成為凹凸面。
5.根據(jù)權(quán)利要求I至4中任一項(xiàng)所述的表面處理裝置，其中， 將所述棒狀的陽電極部件和陰電極部件中的另一者中的頂端部的形狀形成為凸曲面狀。
全文摘要
表面處理裝置具備陽電極部件和陰電極部件中的一者，其與在外周面具有環(huán)狀被處理區(qū)域的金屬制的被處理物電連接；框部件，其具備外周面以及相對于環(huán)狀被處理區(qū)域隔開間隔而對置的非導(dǎo)電性的內(nèi)周面；非導(dǎo)電性的彈性密封件，其通過密封外周面中夾著環(huán)狀被處理區(qū)域的兩側(cè)的每側(cè)和內(nèi)周面的間隙，能夠形成沿環(huán)狀被處理區(qū)域的電解液通路；棒狀的陽電極部件和陰電極部件中的另一者，其以頂端部進(jìn)入到電解液通路中的方式朝向被處理物側(cè)突出設(shè)置；以及電解液流通單元，其沿著電解液通路使電解液流通。
文檔編號C25D11/00GK102869815SQ20118002188
公開日2013年1月9日 申請日期2011年3月3日 優(yōu)先權(quán)日2010年5月27日
發(fā)明者小林大之, 加藤誠喜, 龍本和宏 申請人:愛信精機(jī)株式會社