專利名稱：連續(xù)電鍍處理裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及連續(xù)電鍍處理裝置，可以在電鍍槽內(nèi)搬運(yùn)工件過(guò)程中 連續(xù)為各個(gè)工件供電同時(shí)連續(xù)進(jìn)行電鍍處理。
背景技術(shù)：
圖9中，工件50 (50A 50E)是單片物體即薄板形狀物體(例如 印刷電路襯底用材料)，在電鍍槽10P內(nèi)以一定間隔沿著工件搬運(yùn)方向 (方向X)連續(xù)搬運(yùn)。所述工件連續(xù)搬運(yùn)裝置由如下部分構(gòu)成搬運(yùn) 軌道(圖中省略)，設(shè)置在工件搬運(yùn)路徑上方，而且沿著X方向設(shè)置； 沿著所述搬運(yùn)軌道安裝的可以移動(dòng)的多個(gè)滑塊(圖中省略，但是作為 電路工作的部分賦予符號(hào)36P G6PA 36PE)、與各個(gè)滑塊同步搬運(yùn)的 傳送帶(圖中省略)等。
陽(yáng)極電極15PL、 15PR由各個(gè)工件(陰極電極)50A 50E共通， 將工件搬運(yùn)路徑夾持在中央從而在左右兩側(cè)相對(duì)向設(shè)置(圖中是上下 兩側(cè))，并且沿著X方向延伸。而且，各個(gè)陽(yáng)極電極15PL、 15PR經(jīng)由 供電電纜17P (17PL、 17PR)連接到電源裝置20P的陽(yáng)極端子21。所 述電源裝置20P的陰極端子25經(jīng)由供電電纜37P、搬運(yùn)軌道和滑塊(電 路36PA 36PE)與各個(gè)工件50A 50E電連接(參見(jiàn)日本特開(kāi) 2000-226697號(hào)公報(bào))。
電源裝置20P具有可以分別向各個(gè)工件50的兩側(cè)面Fr、Fl提供設(shè) 定電流值(例如1A/dm2)的容量，通過(guò)定電流控制來(lái)驅(qū)動(dòng)。而且，能 夠向電鍍槽10P內(nèi)搬運(yùn)中的各個(gè)工件50A 50E連續(xù)供電，同時(shí)連續(xù)進(jìn) 行電鍍處理。

發(fā)明內(nèi)容
發(fā)明要解決的技術(shù)問(wèn)題
但是，雖然電源裝置20P共通，但是由于電路[電纜17P (17PL、17PR)、電路36P (36PA 36PE等)]結(jié)構(gòu)或者組裝的原因，每個(gè)工件 的電阻或者電極間距離產(chǎn)生偏差。這些偏差導(dǎo)致鍍層厚度或者處理質(zhì) 量不相同(偏差)。而且，即使是同一工件， 一個(gè)面(第一側(cè)面)和另 一個(gè)側(cè)面(第二側(cè)面)的鍍層厚度和處理質(zhì)量也產(chǎn)生差異。也就是說(shuō)， 不能把每個(gè)工件的鍍層厚度設(shè)定為不同。而且，不能設(shè)定同一工件的 每個(gè)面鍍層厚度。而且，在要求一層的鍍層厚度和處理質(zhì)量一致性高 的情況下，也難以允許工件搬運(yùn)方向的部分(前方部分、中央部分和 后方部分)不同。
本發(fā)明的目的是提供一種連續(xù)電鍍處理裝置，能夠?qū)γ總€(gè)工件變 化設(shè)定電流進(jìn)行電鍍處理。而且，提供一種連續(xù)電鍍處理裝置，能夠 對(duì)同一工件的每個(gè)面變化設(shè)定電流進(jìn)行電鍍處理。
根據(jù)本發(fā)明的連續(xù)電鍍處理裝置，對(duì)電鍍槽中搬運(yùn)過(guò)程中的各個(gè) 工件連續(xù)供電，同時(shí)可以連續(xù)進(jìn)行電鍍處理；在全部浸漬狀態(tài)下可以 同時(shí)在上述電鍍槽中搬運(yùn)的工件數(shù)目為N的情況下，在上述電鍍槽外 設(shè)置數(shù)目為N+1個(gè)沿著工件搬運(yùn)方向延伸的陰極中繼部件，并且設(shè)置 N+l個(gè)電源單元，同時(shí)在上述電鍍槽內(nèi)相對(duì)向設(shè)置沿著工件搬運(yùn)方向 延伸且各個(gè)工件共通的陽(yáng)極電極，各個(gè)電源單元的各個(gè)陽(yáng)極端子與陽(yáng) 極電極相連，且各個(gè)陰極端子分別與各個(gè)陰極中繼部件相連，形成為 各個(gè)電源單元可以經(jīng)由各個(gè)陰極中繼部件向上述電鍍槽內(nèi)搬運(yùn)過(guò)程中 的各個(gè)工件供電，形成為在各個(gè)工件在上述電鍍槽內(nèi)以全部浸漬狀態(tài) 搬運(yùn)期間可以定電流控制各個(gè)電源單元，同時(shí)形成為在部分浸漬狀態(tài) 下搬入上述電鍍槽期間可以進(jìn)行電流漸增控制，而且在部分浸漬狀態(tài) 下搬出上述電鍍槽期間可以進(jìn)行電流漸減控制。
而且，根據(jù)本發(fā)明的連續(xù)電鍍處理裝置，對(duì)電鍍槽中搬運(yùn)過(guò)程中 的各個(gè)工件連續(xù)供電，同時(shí)可以連續(xù)進(jìn)行電鍍處理；在全部浸漬狀態(tài) 下可以同時(shí)在上述電鍍槽中搬運(yùn)的工件數(shù)目為N的情況下，在上述電 鍍槽外設(shè)置數(shù)目為N+1個(gè)沿著工件搬運(yùn)方向延伸的陰極中繼部件，并 且分別設(shè)置N+1個(gè)第一側(cè)電源單元和第二側(cè)電源單元，同時(shí)在上述電 鍍槽內(nèi)相對(duì)向設(shè)置沿著工件搬運(yùn)方向延伸且各個(gè)工件共通的第一側(cè)陽(yáng) 極電極和第二側(cè)陽(yáng)極電極，第一側(cè)電源單元的各個(gè)陽(yáng)極端子與第一側(cè) 陽(yáng)極電極相連，且第二側(cè)電源單元的各個(gè)陽(yáng)極端子與第二側(cè)陽(yáng)極電極相連，同時(shí)第一側(cè)電源單元的各個(gè)陰極端子和第二側(cè)電源單元的各個(gè) 陰極端子分別與各個(gè)陰極中繼部件相連，形成為第一側(cè)電源單元和第 二側(cè)電源單元可以經(jīng)由各個(gè)陰極中繼部件向上述電鍍槽內(nèi)搬運(yùn)過(guò)程中 的各個(gè)工件供電，形成為在各個(gè)工件在上述電鍍槽內(nèi)以全部浸漬狀態(tài) 搬運(yùn)期間可以定電流控制第一側(cè)和第二側(cè)的各個(gè)電源單元，同時(shí)形成 為在部分浸漬狀態(tài)下搬入上述電鍍槽期間可以進(jìn)行電流漸增控制，而 且在部分浸漬狀態(tài)下搬出上述電鍍槽期間可以進(jìn)行電流漸減控制。
而且，本發(fā)明是一種連續(xù)電鍍處理裝置，形成為如下形式在上 述工件搬運(yùn)方向上延伸的搬運(yùn)軌道上安裝多個(gè)可以搬運(yùn)工件的工件搬 運(yùn)體，設(shè)計(jì)有臂部件，所述臂部件基端部安裝在工件搬運(yùn)體上，而且 前端與對(duì)應(yīng)的上述陰極中繼部件可以相對(duì)移動(dòng)地配合，同時(shí)形成為直 接或者間接向各個(gè)臂部件供電的結(jié)構(gòu)，可以從所述各個(gè)電源單元經(jīng)由 各個(gè)陰極中繼部件和所述各個(gè)臂部件向電鍍槽內(nèi)搬運(yùn)過(guò)程中的各個(gè)工 件供電。
發(fā)明的效果
根據(jù)本發(fā)明，由于對(duì)每個(gè)工件以設(shè)定電流值連續(xù)進(jìn)行電鍍處理， 能夠?qū)γ總€(gè)工件根據(jù)該工件的設(shè)定電流值形成沒(méi)有偏差的鍍層厚度、 形成均勻且高質(zhì)量的電鍍層。
而且，根據(jù)本發(fā)明，由于對(duì)每個(gè)工件以及同一工件的每個(gè)面以設(shè) 定電流值連續(xù)進(jìn)行電鍍處理，能夠?qū)Ω鱾€(gè)工件的各個(gè)面根據(jù)該面的設(shè) 定電流值形成沒(méi)有偏差的鍍層厚度、形成均勻且高品質(zhì)的電鍍層。
而且，根據(jù)本發(fā)明，除了能夠達(dá)到如上所述發(fā)明的情況下相同的 效果之外，而且能夠更加平緩且穩(wěn)定地搬運(yùn)工件和向工件供電。


圖1是說(shuō)明本發(fā)明第一實(shí)施方式的系統(tǒng)圖2是說(shuō)明本發(fā)明第一實(shí)施方式涉及的工件搬運(yùn)裝置、連續(xù)供電 裝置等局部省略后的外觀斜視圖3是說(shuō)明本發(fā)明第一實(shí)施方式涉及的運(yùn)轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)控制裝置的方塊
圖4是說(shuō)明本發(fā)明第一實(shí)施方式涉及的HDD 64內(nèi)設(shè)計(jì)的表64M;圖5是說(shuō)明本發(fā)明第一實(shí)施方式涉及的搬運(yùn)/供電操作的流程圖6 (A)和圖6 (B)是說(shuō)明本發(fā)明第一實(shí)施方式涉及的漸增/漸 減操作的時(shí)序圖7是說(shuō)明本發(fā)明第二實(shí)施方式涉及的系統(tǒng)圖8是說(shuō)明本發(fā)明第二實(shí)施方式涉及的工件搬運(yùn)裝置、連續(xù)供電 裝置等局部省略后的外觀斜視圖； 圖9是說(shuō)明現(xiàn)有例子的系統(tǒng)圖。
符號(hào)說(shuō)明
10電鍍槽 10F入口頂lj 10B出口偵lj
15陽(yáng)極電極17供電電纜
20電源單元
21陽(yáng)極端子
25陰極端子
30連續(xù)供電裝置
31陰極中繼部件
35臂部件
37供電電纜
50工件(陰極電極)
60計(jì)算機(jī)(運(yùn)轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)控制裝置)
80工件連續(xù)搬運(yùn)裝置
81搬運(yùn)軌道
83工件搬運(yùn)體
X工件搬運(yùn)方向
具體實(shí)施例方式
下面，參照

本發(fā)明的實(shí)施方式。 第一實(shí)施方式
本連續(xù)電鍍處理裝置如圖1至圖6所示，形成為可以向電鍍槽10 內(nèi)搬運(yùn)過(guò)程中的各個(gè)工件50連續(xù)供電并連續(xù)進(jìn)行電鍍處理，形成為各個(gè)電源單元20可以經(jīng)由各個(gè)陰極中繼部件13向搬運(yùn)中的各個(gè)工件50 供電，而且可以以設(shè)定電流值(A/dm2)的定電流控制向每個(gè)工件50 (第一側(cè)面Fl和第二側(cè)面Fr)供電，同時(shí)可以在向電鍍槽10內(nèi)搬入 時(shí)電流漸增控制，在搬出時(shí)電流漸減控制。
圖1中，電鍍槽10數(shù)目為N(N是大于等于1的整數(shù)，例如4個(gè)) 的工件50 (50A 50D或者50B 50E)可以同時(shí)在全部浸漬狀態(tài)下沿著 搬運(yùn)方向(X)方向搬運(yùn)。全部浸漬狀態(tài)是指至少工件50的電鍍處理 對(duì)象面(第一側(cè)面Fl和第二側(cè)面Fr)全部浸漬在圖2所示的電鍍液Q 中的狀態(tài)。因此，開(kāi)始從電鍍槽10的出口側(cè)10B搬出工件50A而且 開(kāi)始從電鍍槽10的入口側(cè)10F搬入工件50E的狀態(tài)下，電鍍槽10內(nèi) 浸漬數(shù)目為N+l即5個(gè)工件50 (50A 50E)。
在該狀態(tài)下，工件50B 50D為全部浸漬狀態(tài)，工件50A和50E為 部分浸漬狀態(tài)。部分浸漬狀態(tài)是指至少工件50的電鍍處理對(duì)象面(第 一側(cè)面Fl和第二側(cè)面Fr)的長(zhǎng)度方向的一部分浸漬在電鍍液Q中的狀 態(tài)。
而且，在同時(shí)全部浸漬狀態(tài)下可以在電鍍槽10中搬運(yùn)的工件50 數(shù)N[例如為3 (5)]的情況下，陰極中繼部件31和電源單元20的數(shù) 目為冊(cè)[=4 (6)]。
電鍍槽10內(nèi)(電鍍液Q中)，如圖1所示，沿著X方向延伸相對(duì) 向設(shè)置左右1對(duì)的陽(yáng)極電極15L、 15R。兩個(gè)陽(yáng)極電極15L、 15R由各 個(gè)工件50 (50A-50E)共通，長(zhǎng)度是整個(gè)槽的長(zhǎng)度，而且所述各個(gè)陽(yáng) 極電極15L、 15R與搬運(yùn)過(guò)程中的各個(gè)工件50 (各面101和10r)之間 保持一定(既定值)的間隔(電極間距離)。
而且，具體地，在本實(shí)施方式中陽(yáng)極電極15L、 15R如圖2所示模 式，內(nèi)部裝有多個(gè)溶解性陽(yáng)極球(銅系球)的多個(gè)圓筒網(wǎng)背景15LB、 15RB在X方向排成一列。而且，作為陽(yáng)極電極15L、 15R，并不僅限 于本實(shí)施方式的溶解性陽(yáng)極球，也可以適合采用公知的電極。
由于全部浸漬在電鍍槽10內(nèi)的狀態(tài)下同時(shí)搬運(yùn)過(guò)程中的工件50 數(shù)目為N個(gè)(4個(gè))工件，電鍍槽10外面是如圖l和2所示，設(shè)置沿 著X方向延伸數(shù)目為N+1即5個(gè)陰極中繼部件31 (31A 31E)。槽外 沒(méi)有電鍍槽內(nèi)的電鍍液Q，槽外可以自由選擇，但是在本實(shí)施方式中，
8為了進(jìn)一步實(shí)現(xiàn)平緩地搬運(yùn)工件50和向工件供電，如圖2所示沿著槽
寬度方向平行地設(shè)置。
而且，各個(gè)陰極中繼部件31 (31A 31E)構(gòu)成為橫截面為凹槽形 狀的凹面形狀，而且是銅軌道。而且，各個(gè)陰極中繼部件31形成為至 少與臂部件(例如35A1)的垂直部分(的表面)接觸的內(nèi)面為良好的 導(dǎo)電體(例如銅材料)。
工件連續(xù)搬運(yùn)裝置80是用于在X方向連續(xù)搬運(yùn)工件50的裝置， 如圖2所示，由以下部件形成設(shè)置在電鍍槽10的上方而且沿著X方 向延伸設(shè)置的搬運(yùn)軌道81、沿著所述搬運(yùn)軌道81可移動(dòng)地安裝多個(gè)工 件搬運(yùn)體83 (83A， 83B…)、與各個(gè)工件搬運(yùn)體83同步搬運(yùn)的傳送帶 (+ 二一>3>《7)(圖中省略)、臂部件35 (35A， 35B)。
臂部件(例如35A)由圖2中沿右方向延伸的工件保持用的臂部 件35A2和沿左方向延伸的用于通電的臂部件35A1構(gòu)成。任何一個(gè)臂 部件35都是由基端部安裝在工件搬運(yùn)體83的沿著水平方向延伸的水 平部分和設(shè)置在所述水平部分前端的垂直部分構(gòu)成。
構(gòu)成工件連續(xù)搬運(yùn)裝置80的一部分的工件保持用的臂部件35A2 通過(guò)安裝在它的垂直部分下端的供電裝置(圖中省略)，能夠夾持工件 而且保持在搬運(yùn)路徑(電鍍槽的寬度方向中央)。因此，能夠沿著X方 向以設(shè)定搬運(yùn)速度V連續(xù)搬運(yùn)各個(gè)工件。
連續(xù)供電裝置30是從各個(gè)電源單元20 (25)向各個(gè)工件(陰極) 50提供電鍍用電源的裝置，在本實(shí)施方式中為，有效利用(兼用)工 件連續(xù)搬運(yùn)裝置80的構(gòu)成要素來(lái)構(gòu)成。g卩，如圖1和2所示，連續(xù)供 電裝置30由搬運(yùn)軌道81、各個(gè)工件搬運(yùn)體(例如83A)、電源側(cè)通電 電路(通電用臂部件35A1)和工件側(cè)通電電路(包括工件保持用臂部 件35A2......供電裝置)、各個(gè)陰極中繼部件G1A)、各個(gè)陰極側(cè)電纜
G7A)、陽(yáng)極側(cè)電纜17 (17L、 17R)、各個(gè)電源單元20構(gòu)成，可以直 接供電。
這樣，在圖2所示沿右方向延伸的工件保持用臂部件35A2和在左 側(cè)延伸的通電用臂部件35A1構(gòu)成的臂部件35[電源側(cè)通電電路(35A1) 和工件側(cè)通電電路(35A2)]與搬運(yùn)軌道81、各個(gè)工件搬運(yùn)體83等一 起構(gòu)成工件連續(xù)供電裝置30的一部分，由導(dǎo)電性良好的導(dǎo)體(例如銅材料)形成。而且，電源側(cè)通電電路和工件側(cè)通電電路也可以由沿著
對(duì)應(yīng)的各個(gè)臂部件(35A1、 35A2)的桿乃至電源電纜構(gòu)成。也就是間 接通電。
各個(gè)電源單元20的各個(gè)陽(yáng)極端子21通過(guò)電纜17 (17L、 17R)與 陽(yáng)極電極15L、 15R連接。各個(gè)電源單元20 (20A 20E)的各個(gè)陰極 端子25分別經(jīng)由電纜37 (37A 37E)與相應(yīng)的各個(gè)陰極中繼部件31 (31A 31E)連接。即，可以從各個(gè)電源單元20 (25)經(jīng)過(guò)所述陰極 中繼部件31向在電鍍槽10內(nèi)連續(xù)搬運(yùn)過(guò)程中的各個(gè)工件50供電。
如上所述，沿著X方向延伸的搬運(yùn)軌道81上安裝的多個(gè)工件搬運(yùn) 體83，可以搬運(yùn)工件。設(shè)計(jì)有臂部件35，所述臂部件35基端部安裝 于工件搬運(yùn)體83，而且前端與對(duì)應(yīng)的陰極中繼部件31可以相對(duì)移動(dòng)地 配合，同時(shí)形成為直接(或者間接)向臂部件35供電的結(jié)構(gòu)。理解為 形成如下形式，即可以從所述各個(gè)電源單元20經(jīng)由各個(gè)陰極中繼部件 31和所述各個(gè)臂部件35向在電鍍槽10內(nèi)搬運(yùn)過(guò)程中的各個(gè)工件50 供電。
因此，如圖1所示，電源單元20由與陰極中繼部件31 G1A 31E) 的數(shù)目(5)相同數(shù)目(即5臺(tái))電源單元20 (20A 20E)構(gòu)成。但是， 供電容量由與作為處理對(duì)象的所述工件50的關(guān)系確定。即，可以對(duì)每 個(gè)工件(每個(gè)電源)變更設(shè)定電流值，而且能夠?qū)υO(shè)定電流值Is進(jìn)行 定電流控制。
艮口，形成為如下形式，即各個(gè)電源單元20能夠在所述工件50全 部浸漬在電鍍槽10中搬運(yùn)期間進(jìn)行上述定電流控制，但是在各個(gè)工件 部分浸漬在電鍍槽內(nèi)的狀態(tài)下搬入期間也可以進(jìn)行電流漸增控制，而 且在部分浸漬狀態(tài)下搬出期間也可以進(jìn)行電流漸減控制。
艮口，在圖6 (A)中，以縱軸為電流(1)，橫軸為時(shí)間(T)，在工 件50部分浸漬搬入期間T12(-tl t2)內(nèi)，在達(dá)到設(shè)定電流值Is之前， 與時(shí)間長(zhǎng)度(處理面積)成比例地漸增控制電流(Iin)。在全部浸漬時(shí) (t2)，切換成設(shè)定電流值Is的定電流值控制。在工件50部分浸漬搬 出期間T34 (=t3~t4)內(nèi)，如圖6 (B)所示，從設(shè)定電流值Is的定電 流控制切換為漸減電流值控制。電流(Idg)與時(shí)間長(zhǎng)度(處理面積) 成反比例地漸減控制。圖3中，計(jì)算機(jī)60包括CPU(包括計(jì)時(shí)功能)61、ROM62、RAM 63、硬盤(HDD) 64、操作部(PNL) 65、顯示部(IND) 66、多個(gè)接 口 (I/F) 71、 72以及輸入輸出接口 (I/O) 75、 76，具有設(shè)定、選擇、 指令和驅(qū)動(dòng)控制等功能，形成為運(yùn)轉(zhuǎn)、驅(qū)動(dòng)、控制連續(xù)電鍍處理裝置 整體的運(yùn)轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)控制裝置。
HDD 64內(nèi)設(shè)計(jì)的圖4所示的表64M中存儲(chǔ)工件50的種類(A E)、 每個(gè)工件X方向尺寸(長(zhǎng)度La Le)和設(shè)定電流值(Isa Ise)。而且， 還存儲(chǔ)通過(guò)共通工件連續(xù)搬運(yùn)裝置搬運(yùn)各個(gè)工件50的搬運(yùn)速度(V)。 這些信息(A、 La、 Isa、 V)能夠在顯示部66通過(guò)目視識(shí)別輸入狀態(tài)， 而且能夠利用操作部65輸入。
其中，各個(gè)工件50的部分浸漬搬入期間T12 (=部分浸漬搬出期 間T34)，期間長(zhǎng)度計(jì)算裝置(CPU61、 ROM 62)利用各個(gè)長(zhǎng)度La Le 和共同搬運(yùn)速度V計(jì)算出每個(gè)工件的搬運(yùn)期間長(zhǎng)度(Ta Te)，作為計(jì) 算結(jié)果自動(dòng)存儲(chǔ)。
在圖3中，電源單元20A 20E連接到接口 71，工件連續(xù)搬運(yùn)裝置 80連接到接口 72。而且，輸入輸出接口 75與搬入工件識(shí)別用傳感器 55和搬出工件識(shí)別傳感器56連接。輸入輸出接口 76與搬入中傳感器 58和搬出中傳感器59連接。
在該實(shí)施方式中，搬入工件識(shí)別用傳感器55 (搬出工件識(shí)別用傳 感器56)設(shè)置在搬入中傳感器58 (搬出中傳感器59)的X方向的上 流側(cè)，設(shè)置位置為能夠在檢測(cè)是否處于搬入中(搬出中)的檢測(cè)動(dòng)作 之前就可以識(shí)別工件50是什么(是什么種類)，形成為在通過(guò)可識(shí)別 區(qū)域過(guò)程中讀取設(shè)置(例如粘貼、寫入等)在工件50上的標(biāo)識(shí)來(lái)進(jìn)行 識(shí)別。而且，也可以形成為在與各個(gè)工件50對(duì)應(yīng)的其他結(jié)構(gòu)(例如工 件搬運(yùn)體81)上設(shè)置標(biāo)識(shí)。
搬入中傳感器58 (搬出中傳感器59)是光電型的，能夠利用檢測(cè) 光束檢測(cè)工件50通過(guò)部分浸漬搬入(搬出)區(qū)域過(guò)程中。在進(jìn)入部分 浸漬搬入(搬出)區(qū)域時(shí)變成導(dǎo)通(ON)，在部分浸漬搬入(搬出) 區(qū)域內(nèi)保持導(dǎo)通狀態(tài)，在脫離時(shí)變成關(guān)閉(OFF)。
工件信息讀取控制裝置(61、 62)、電源自動(dòng)開(kāi)關(guān)控制裝置(61、 62)、電源單元選擇控制裝置(61、 62)、每個(gè)工件電流設(shè)定值控制裝置(61、 62)、每個(gè)工件電流值漸增控制裝置(61、 62)、每個(gè)工件定 電流控制指令裝置(61、 62)、每個(gè)工件電流值漸減控制裝置(61、 62) 由分別存儲(chǔ)相應(yīng)控制程序的ROM和在RAM中編譯并執(zhí)行這些控制程 序的CPU構(gòu)成。
工件信息讀取控制裝置(61、 62)檢索圖4所示的表64M，讀取 與搬入工件識(shí)別用傳感器55識(shí)別的工件50對(duì)應(yīng)的信息，并存儲(chǔ)在 RAM 63的工件區(qū)域。在工件50被搬入電鍍槽10中的情況下(圖5 中的ST10為YES "是")，電源單元選擇控制裝置(61、 62)根據(jù)存儲(chǔ) 信息選擇該工件50對(duì)應(yīng)的電源單元20 (STll)。這樣，電源自動(dòng)開(kāi)關(guān) 控制裝置(61、 62)向所選擇的電源單元20輸出電源接入信號(hào)，啟動(dòng) 所述電源單元20 (ST12)。而且，該工件50從電鍍槽10內(nèi)搬出的情 況下(ST19中為NO "否")，輸出電源切斷信號(hào)，切斷該電源單元20 (ST20)。
每個(gè)工件電流設(shè)定值控制裝置(61、 62)向各個(gè)電源單元20輸出 與所述各個(gè)設(shè)定電流值對(duì)應(yīng)的電流設(shè)定信號(hào)。
在搬入中傳感器58導(dǎo)通，即工件(例如50A)進(jìn)入部分浸漬搬入 區(qū)域時(shí)，每個(gè)工件電流值漸增控制裝置(61、 62)生成漸增指令信號(hào) 并輸出給相應(yīng)的電源單元20A，用于在讀取/存儲(chǔ)的該工件(50A)的 部分浸漬搬入期間(=部分浸漬搬出時(shí)間=化)內(nèi)，漸增控制電流值從 零(0)開(kāi)始漸增到設(shè)定電流值Isa。而且，漸增指令信號(hào)的生成也可 以形成為在搬入中傳感器58導(dǎo)通之前進(jìn)行也可以。而且，利用電源單 元20A的結(jié)構(gòu)可以生成并輸出漸增控制信號(hào)，代替漸增指令信號(hào)也可 以。
同樣，在搬出中傳感器59導(dǎo)通，即工件(例如50A)進(jìn)入部分浸 漬搬出區(qū)域時(shí)，每個(gè)工件電流值漸減控制裝置(61、 62)生成漸減指 令信號(hào)并輸出給相應(yīng)的電源單元20A，用于在讀取/存儲(chǔ)的部分浸漬搬 出期間(=Ta)內(nèi)，漸減控制電流值從設(shè)定電流值Isa開(kāi)始漸減到零(0)。 而且，漸減指令信號(hào)的生成也可以形成為在搬出中傳感器59導(dǎo)通之前 進(jìn)行也可以。而且，利用電源單元20A的結(jié)構(gòu)可以生成并輸出漸減控 制信號(hào)，代替漸減指令信號(hào)也可以。
在搬入中傳感器58從導(dǎo)通切換到斷開(kāi)時(shí)刻開(kāi)始到搬出中傳感器59導(dǎo)通時(shí)刻為止的期間(全部浸漬搬運(yùn))內(nèi)，每個(gè)工件定電流值控制
指令裝置(61、 62)向相應(yīng)電源單元20生成輸出定電流控制指令信號(hào)。 下面，說(shuō)明裝置的作用(操作)。
工件50A通過(guò)圖2所示的工件搬運(yùn)體[83A G5A2)]沿著X方向 搬運(yùn)，如果到達(dá)圖1所示的入口側(cè)IOF近前，搬運(yùn)工件識(shí)別用傳感器 55讀取該工件50A的標(biāo)識(shí)。然后，工件信息讀取存儲(chǔ)控制裝置(61、 62)檢索圖4中的表64M，讀取與識(shí)別工件50A對(duì)應(yīng)的信息(Isa、 La、 Ta、 V)，并存儲(chǔ)在工件區(qū)域。然后，搬入中傳感器58變成導(dǎo)通(圖5 中的ST10中為YES "是")，電源單元選擇控制裝置(61、 62)選擇與 讀取的標(biāo)識(shí)對(duì)應(yīng)的電源單元20A (ST11 )。電源自動(dòng)開(kāi)關(guān)控制裝置(61 、 62)向所選擇的電源單元20A輸出電源接入信號(hào)(ST12)。
這樣，從各個(gè)電源單元20A至陰極(50A)與陽(yáng)極15L、 15R電性 連接。陰極端子25經(jīng)由電纜37A—陰極中繼部件31A—臂部件35A(電 源側(cè)通電電路35A1、工件搬運(yùn)體83A、工件側(cè)通電電路35A2)與工 件50A連接。靜止側(cè)的陰極中繼部件31A和可動(dòng)側(cè)的臂部件35A (電 源側(cè)通電電路35A1)在X方向的相對(duì)移動(dòng)中(工件搬運(yùn)過(guò)程中)維持 電性連接。陽(yáng)極端子21經(jīng)由電纜17 (17L， 17R)與陽(yáng)極電極15L、 15R連接。因此，能夠?yàn)殡婂兲幚碛秒娫垂╇姟?br> 同時(shí)，每個(gè)工件電流值漸增控制裝置(61、 62)生成漸增指令信 號(hào)并輸出至電源單元20A (ST13)。因此，在部分浸漬搬入期間(Ta) 內(nèi)，向工件50A供電的電流值Iin如圖6 (A)所示從零(0)開(kāi)始逐漸 增加(漸增)到設(shè)定電流值Isa為止。即，由于工件50A各面的單位 面積的電流值一定，能夠保持品質(zhì)均勻性。
如果搬入中傳感器58變成斷開(kāi)(ST14中為YES "是")，每個(gè)工 件定電流控制指令裝置(61、 62)將與讀取/并存儲(chǔ)的設(shè)定電流值Isa 對(duì)應(yīng)的定電流控制指令信號(hào)生成輸出至電源單元20A (ST15)。在全部 浸漬搬運(yùn)過(guò)程中的工件50A，對(duì)單位面積供給設(shè)定電流值Isa(A/dm2)。 進(jìn)行定電流控制。
工件50A在電鍍槽10內(nèi)(電鍍液Q中)沿著X方向連續(xù)搬運(yùn)。 此時(shí)，電流從第一側(cè)的陽(yáng)極電極15L開(kāi)始流過(guò)第一側(cè)面F1側(cè)，在該面 上析出鍍層，而且電流從第二側(cè)的陽(yáng)極電極15R開(kāi)始流過(guò)第二側(cè)面Fr側(cè)，在該面上析出鍍層。鍍層厚度隨著處理經(jīng)過(guò)的時(shí)間成比例增厚。
然后，如果搬出中傳感器59變成導(dǎo)通(ST16中為YES "是")， 電源單元選擇控制裝置(61、 62)，即，選擇與搬出工件標(biāo)識(shí)用傳感器 56已經(jīng)讀取標(biāo)識(shí)對(duì)應(yīng)的電源單元20A (ST17)。而且，由于搬運(yùn)速度 一定，工件50A的識(shí)別也可以形成為利用入口側(cè)10F處的識(shí)別結(jié)果。 這種情況下，可以省略搬出工件標(biāo)識(shí)用傳感器56。
其中，每個(gè)工件電流值漸減控制裝置(61、 62)生成漸減指令信 號(hào)并輸出給相應(yīng)的電源單元20A (ST18)。因此，在部分浸漬搬出期間 (Ta)內(nèi)，向工件50A供電的電流值Idg如圖6 (B)所示從設(shè)定電流 值Isa開(kāi)始逐漸減少(漸減)到零(0)到為止。g卩，在出口側(cè)10B的 情況下，與入口側(cè)10F相同，工件50A對(duì)各面的單位面積的電流值一 定，能夠保持品質(zhì)的均勻性。
如果搬出中傳感器59變成斷開(kāi)(ST19中為YES "是")，電源自 動(dòng)開(kāi)關(guān)控制裝置(61、 62)向選擇電源單元20A輸出電源切斷信號(hào) (ST20)。切斷電源單元20A。
工件20B、 20C、 20D、 20E也與上述工件20A的情況相同，進(jìn)行 相同的處理。然后，對(duì)后面的工件20A 20E也同樣。而且，在不成為 負(fù)擔(dān)的情況下，陰極中繼部件31A 31E同時(shí)搬運(yùn)兩個(gè)以上的工件20。
因此，根據(jù)本實(shí)施方式，能夠?qū)γ總€(gè)工件50以設(shè)定電流值連續(xù)進(jìn) 行電鍍處理，因此能夠在各個(gè)工件50上形成與所述工件設(shè)定電流值對(duì) 應(yīng)的無(wú)偏差的鍍層厚度，能夠形成均勻而且高品質(zhì)的鍍層。
而且，由于能夠連續(xù)搬運(yùn)電鍍處理內(nèi)容(鍍層形成面積、鍍層厚 度等)不同的多個(gè)工件50并連續(xù)進(jìn)行處理，因此生產(chǎn)效率高。
而且，由于電源裝置由N+1個(gè)電源單元20構(gòu)成，因此與以前的例 子比較，能夠減少總供給容量，能夠減少消耗的電量。
電路路徑[電纜17、 37、電路(31、 35)等]的結(jié)構(gòu)和組裝引起的 電阻或者電極間距離的偏差的影響，可以通過(guò)微調(diào)每個(gè)工件50的設(shè)定 電流值消除，因此，通過(guò)這一點(diǎn)也能夠使鍍層厚度和處理品質(zhì)進(jìn)一步 均勻化。
而且，通過(guò)入口側(cè)10f的電流漸增控制和出口側(cè)10B的電流漸減 控制，消除部分搬入電鍍處理槽10內(nèi)時(shí)和部分搬出電鍍處理槽10時(shí)部分處理不合格，因此能夠消除由于工件50的X方向部分(前方部分、 中央部分、后方部分)情況的不同而產(chǎn)生的偏差。
而且，設(shè)置臂部件[35A (35A2)]，基端部安裝在工件搬運(yùn)體(例 如83A)上，所述工件搬運(yùn)體安裝成可以在搬運(yùn)軌道81上搬運(yùn)工件， 而且設(shè)計(jì)臂部件[35A (35A2)]前端與對(duì)應(yīng)的陰極中繼部件31A可以相 對(duì)移動(dòng)地配合，同時(shí)形成為能夠直接(或者間接)向各個(gè)臂部件[35A (35A2)]供電的結(jié)構(gòu)，從對(duì)應(yīng)的各個(gè)電源單元20A經(jīng)由對(duì)應(yīng)的陰極中 繼部件31A和對(duì)應(yīng)的臂部件[35A (35A2)]向電鍍槽10內(nèi)搬運(yùn)過(guò)程中 的各個(gè)工件50供電，因此能夠更平緩且穩(wěn)定地進(jìn)行工件50的搬運(yùn)和 向工件供電。
而且，第一實(shí)施方式中，取代搬入工件識(shí)別用傳感器55、搬出工 件識(shí)別用傳感器56、搬入中傳感器58以及搬出中傳感器59四個(gè)傳感 器，例如可以只使用搬入工件識(shí)別傳感器55—個(gè)傳感器。該情況下， 搬入工件識(shí)別傳感器55配置在搬入中傳感器58的位置，由搬入工件 識(shí)別傳感器55識(shí)別工件50的同時(shí)檢測(cè)工件50進(jìn)入部分浸漬搬入?yún)^(qū)域。 并且，利用搬送速度V、由搬入工件識(shí)別傳感器55識(shí)別的工件50的X 方向的工件50長(zhǎng)度相關(guān)信息，由期間長(zhǎng)度計(jì)算裝置計(jì)算出圖6A和圖 6B中的部分浸漬搬入期間T12、全面浸漬時(shí)間(t2)以及部分浸漬搬 出期間T34。利用該計(jì)算結(jié)果，可以進(jìn)行上述電流漸增控制或電流漸減 控制。
(第二實(shí)施方式)
在該第二實(shí)施方式中，如圖7和圖8所示，與第一實(shí)施方式的情 況相同，形成為在電鍍槽10內(nèi)搬運(yùn)過(guò)程中的各個(gè)工件50連續(xù)供電且 連續(xù)電鍍處理，并形成為分別向每個(gè)工件50和每個(gè)表面(Fl和Fr)能 夠供給設(shè)定電流值(A/dm2)。
艮口，在全部浸漬狀態(tài)下可以同時(shí)在電鍍槽10搬運(yùn)的工件50的數(shù) 目為N(例如4個(gè))的情況下，電鍍槽10外部沿著X方向設(shè)置數(shù)目為 N+l (=5)個(gè)陰極中繼部件31，而且分別設(shè)置數(shù)目為N+1 (=5)個(gè)第 一側(cè)電源單元20L和第二側(cè)電源單元20R，同時(shí)電鍍槽10內(nèi)相對(duì)向設(shè) 置沿著X方向延伸而且各個(gè)工件50共通的第一側(cè)的陽(yáng)極電極15L和第 二側(cè)的陽(yáng)極電極15R，第一側(cè)的電源單元20L的各個(gè)陽(yáng)極端子21與第一側(cè)的陽(yáng)極電極15L連接，而且第二側(cè)的電源單元20R的各個(gè)陽(yáng)極端 子21與第二側(cè)的陽(yáng)極電極15R連接，同時(shí)第一側(cè)的電源單元20L的各 個(gè)陰極端子25和第二側(cè)的電源單元20R的各個(gè)陰極端子25與分別與 相應(yīng)的陰極中繼部件31相連，形成為可以從第一側(cè)和第二側(cè)的各個(gè)電 源單元20L、20R分別經(jīng)由相應(yīng)的陰極中繼部件31向在電鍍槽10內(nèi)搬 運(yùn)過(guò)程中的各個(gè)工件50供電，還有形成為在各個(gè)工件50全部浸漬在 電鍍槽10內(nèi)的狀態(tài)下搬運(yùn)期間可以定電流控制第一側(cè)和第二側(cè)的各個(gè) 電源單元20L、 20R，同時(shí)形成為在部分浸漬狀態(tài)下搬入期間可以進(jìn)行 電流漸增控制，而且在部分浸漬狀態(tài)下搬出期間可以進(jìn)行電流漸減控 制。
圖8中，各個(gè)陰極中繼部件31LRA 31LRE的結(jié)構(gòu)/功能與第一實(shí) 施方式的情況相同，第一側(cè)的電源單元20L和第二側(cè)的電源單元20R 共通。即，第一側(cè)和第二側(cè)的各個(gè)電源單元20L、 20R的各個(gè)陰極端子 25如圖7所示，經(jīng)由各個(gè)電纜37L (37LA 37LE)、 37R (37RA 37RE) 分別與陰極中繼部件31LRA 31LRE連接。
成對(duì)的第一側(cè)的電源單元20L的各陽(yáng)極端子21可以僅向工件50 的第一側(cè)的面F1供電，因此經(jīng)由電纜17L僅與第一側(cè)的陽(yáng)極電極15L 相連。而且，第二側(cè)的電源單元20R的各陽(yáng)極端子21可以僅向工件 50的第二側(cè)的面Fr供電，因此通過(guò)電纜17R僅與第二側(cè)的陽(yáng)極電極 15R相連。
因此，根據(jù)本實(shí)施方式，可以對(duì)每個(gè)工件50以及同一個(gè)工件的每 個(gè)表面Fl和Fr以設(shè)定電流值進(jìn)行連續(xù)電鍍處理，根據(jù)各個(gè)工件的各 個(gè)面設(shè)定的電流值，形成沒(méi)有偏差的鍍層厚度，能夠形成均勻而且高 品質(zhì)的鍍層。
而且，由于能夠連續(xù)搬運(yùn)電鍍處理內(nèi)容(形成鍍層的面數(shù)、每個(gè) 面形成鍍層的面積/厚度等)不同的多個(gè)工件50并連續(xù)進(jìn)行處理，因此 生產(chǎn)效率高。
而且，能夠?qū)H以單面(Fl或Fr)作為處理對(duì)象的工件50進(jìn)行 電鍍處理。在與兩面作為處理對(duì)象的工件混合情況下也能夠進(jìn)行電鍍 處理。
而且，由于電源裝置由第一側(cè)和第二側(cè)的電源單元20各N+1個(gè)構(gòu)成，因此與以前的例子比較，能夠減少總供給電容量，能夠減少消耗 的電量。
電路路徑[電纜17、 37、電路(31、 35)等]的結(jié)構(gòu)和組裝引起的 電阻或者電極間距離的偏差的影響，可以通過(guò)微調(diào)每個(gè)工件50及每個(gè) 表面的設(shè)定電流值消除，因此，通過(guò)這一點(diǎn)也能夠使鍍層厚度和處理 品質(zhì)進(jìn)一步均勻化。
由于陰極中繼部件(例如31LRA)由第一側(cè)電源單元20LA和第 二側(cè)電源單元20RA共通，因此與分別設(shè)計(jì)的情況比較，結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單， 而且電力損耗小。
此外，能夠取得與第一實(shí)施方式的情況相同的作用和效果(例如， 通過(guò)經(jīng)過(guò)陰極中繼部件31LRA和臂部件[35A (35A1， 35A2)]供電， 能夠進(jìn)一步使工件50的搬運(yùn)和供電平緩和穩(wěn)定)。
產(chǎn)業(yè)上的應(yīng)用
本發(fā)明可以用于在印刷襯底材料等形成鍍層厚度均勻而且高品質(zhì) 的鍍層。
1權(quán)利要求
1、一種連續(xù)電鍍處理裝置，對(duì)電鍍槽中搬運(yùn)過(guò)程中的各個(gè)工件連續(xù)供電，同時(shí)可以連續(xù)進(jìn)行電鍍處理，其特征在于，在全部浸漬狀態(tài)下可以同時(shí)在上述電鍍槽中搬運(yùn)的工件數(shù)目為N的情況下，在上述電鍍槽外設(shè)置數(shù)目為N+1個(gè)沿著工件搬運(yùn)方向延伸的陰極中繼部件，并設(shè)置N+1個(gè)電源單元，同時(shí)在上述電鍍槽內(nèi)相對(duì)向設(shè)置沿著工件搬運(yùn)方向延伸且各個(gè)工件共通的陽(yáng)極電極；各個(gè)電源單元的各個(gè)陽(yáng)極端子與陽(yáng)極電極相連，而且各個(gè)陰極端子與分別相應(yīng)的陰極中繼部件相連，形成為從各個(gè)電源單元可以經(jīng)由相應(yīng)的陰極中繼部件向上述電鍍槽內(nèi)搬運(yùn)過(guò)程中的各個(gè)工件供電；形成為在各個(gè)工件在上述電鍍槽內(nèi)以全部浸漬狀態(tài)搬運(yùn)期間可以定電流控制各個(gè)電源單元，同時(shí)形成為在部分浸漬狀態(tài)下搬入上述電鍍槽期間可以進(jìn)行電流漸增控制，而且在部分浸漬狀態(tài)下搬出期間可以進(jìn)行電流漸減控制。
2、 一種連續(xù)電鍍處理裝置，對(duì)電鍍槽中搬運(yùn)過(guò)程中的各個(gè)工件連 續(xù)供電，同時(shí)可以連續(xù)進(jìn)行電鍍處理，其特征在于，在全部浸漬狀態(tài)下可以同時(shí)在上述電鍍槽中搬運(yùn)的工件數(shù)目為N 的情況下，在上述電鍍槽外設(shè)置數(shù)目為N+1個(gè)沿著工件搬運(yùn)方向延伸 的陰極中繼部件，并分別設(shè)置N+1個(gè)第一側(cè)的電源單元和第二側(cè)的電 源單元，同時(shí)在上述電鍍槽內(nèi)相對(duì)向設(shè)置沿著工件搬運(yùn)方向延伸且各個(gè)工件共通的第一側(cè)的陽(yáng)極電極和第二側(cè)的陽(yáng)極電極；第一側(cè)的電源單元的各個(gè)陽(yáng)極端子與第一側(cè)的陽(yáng)極電極相連，第 二側(cè)的電源單元的各個(gè)陽(yáng)極端子與第二側(cè)的陽(yáng)極電極相連，同時(shí)第一 側(cè)的電源單元的各個(gè)陰極端子和第二側(cè)的電源單元的各個(gè)陰極端子分 別與相應(yīng)的陰極中繼部件相連，形成為第一側(cè)的電源單元和第二側(cè)的 電源單元可以經(jīng)由相應(yīng)的陰極中繼部件向上述電鍍槽內(nèi)搬運(yùn)過(guò)程中的 各個(gè)工件供電；形成為在各個(gè)工件在上述電鍍槽內(nèi)以全部浸漬狀態(tài)搬運(yùn)期間可以 定電流控制第一側(cè)和第二側(cè)的各個(gè)電源單元，同時(shí)形成為在部分浸漬狀態(tài)下搬入上述電鍍槽期間可以進(jìn)行電流漸增控制，而且在部分浸漬 狀態(tài)下搬出期間可以進(jìn)行電流漸減控制。
3、根據(jù)權(quán)利要求1或2所述連續(xù)電鍍處理裝置，其特征在于， 形成為如下形式在沿上述工件搬運(yùn)方向延伸的搬運(yùn)軌道安裝多個(gè)可以搬運(yùn)工件的工件搬運(yùn)體；設(shè)計(jì)有臂部件，所述臂部件基端部安裝于工件搬運(yùn)體，而且前端與對(duì)應(yīng)的上述陰極中繼部件可以相對(duì)移動(dòng)地配合；同時(shí)形成為能夠直接或者間接向各個(gè)臂部件供電的結(jié)構(gòu)； 可以從所述各個(gè)電源單元經(jīng)過(guò)所述各個(gè)陰極中繼部件和所述各個(gè)臂部件向電鍍槽內(nèi)搬運(yùn)過(guò)程中的各個(gè)工件供電。
全文摘要
本發(fā)明的目的是提供一種連續(xù)電鍍處理裝置，能夠?qū)γ總€(gè)工件變化設(shè)定電流進(jìn)行電鍍處理。在全部浸漬狀態(tài)下可以同時(shí)在電鍍槽中搬運(yùn)的工件數(shù)目為N的情況下，在電鍍槽外設(shè)置數(shù)目為N+1個(gè)沿著工件搬運(yùn)方向延伸的陰極中繼部件，并設(shè)置N+1個(gè)電源單元，各個(gè)電源單元的各個(gè)陽(yáng)極端子與電鍍槽內(nèi)相對(duì)向設(shè)置的陽(yáng)極電極相連，而且各個(gè)陰極端子分別與這些陰極中繼部件相連，形成為各個(gè)電源單元可以經(jīng)由相應(yīng)的各個(gè)陰極中繼部件向搬運(yùn)過(guò)程中的各個(gè)工件供電，形成為在各個(gè)工件以全部浸漬狀態(tài)搬運(yùn)期間可以定電流控制各個(gè)電源單元，同時(shí)形成為在部分浸漬狀態(tài)下搬入期間可以進(jìn)行電流漸增控制，而且在部分浸漬狀態(tài)下搬出期間可以進(jìn)行電流漸減控制。
文檔編號(hào)C25D17/28GK101423969SQ20081017329
公開(kāi)日2009年5月6日 申請(qǐng)日期2008年10月31日 優(yōu)先權(quán)日2007年11月1日
發(fā)明者赤松一俊, 野田朝裕 申請(qǐng)人:Almex Pe株式會(huì)社