技術(shù)特征：

技術(shù)總結(jié)
一種用于形成較大厚度的微晶結(jié)構(gòu)的系統(tǒng)和方法。在一個實施例中，光單體樹脂被存放在具有透明底部的模具中，使用脫模劑涂覆該透明底部的內(nèi)表面?；灞环胖迷谟诠鈫误w樹脂的頂面接觸的位置。使用一個或多個準(zhǔn)直光源從下方穿過光掩膜照射光單體，以形成聚合物波導(dǎo)，向上延伸到基板，形成與基板接觸的微晶結(jié)構(gòu)。形成微晶結(jié)構(gòu)的層之后，使用平移?旋轉(zhuǎn)系統(tǒng)提升基板，向模具中添加外加的光單體樹脂，再次穿過光掩膜照射該光單體樹脂以形成微晶結(jié)構(gòu)的附加層。多次重復(fù)該過程以形成堆疊微晶結(jié)構(gòu)。

技術(shù)研發(fā)人員：D·佩奇;S·S·楊;A·J·雅各布森;Z·C·埃克爾;C·S·羅珀;W·卡特
受保護的技術(shù)使用者：HRL實驗室有限責(zé)任公司
技術(shù)研發(fā)日：2015.08.17
技術(shù)公布日：2017.08.18