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硅片自動(dòng)分離設(shè)備的制作方法

文檔序號(hào):12895095閱讀:來(lái)源:國(guó)知局

技術(shù)特征:

1.一種硅片自動(dòng)分離設(shè)備,其特征在于:包括箱體(1)、控制單元(2)和顏色傳感器(3),所述顏色傳感器(3)設(shè)置在箱體(1)的一端,所述顏色傳感器(3)與所述控制單元(2)信號(hào)連接,所述箱體(1)上沿豎直方向設(shè)有若干隔板(4),相鄰兩隔板(4)之間具有間隙,每層隔板(4)均有兩支板(401)組成,兩個(gè)所述支板(401)設(shè)置在所述箱體(1)內(nèi)的兩側(cè),兩個(gè)所述支板(401)之間沿硅片輸送方向具有間隙,所述箱體(1)沿豎直方向滑動(dòng)設(shè)置有擋板(12),所述擋板(12)位于箱體(1)遠(yuǎn)離顏色傳感器(3)的一端,所述箱體(1)底部設(shè)有用于驅(qū)動(dòng)擋板(12)位移的第一驅(qū)動(dòng)裝置(5),所述箱體(1)上設(shè)有用于控制箱體(1)上升或者下降的第二驅(qū)動(dòng)裝置(6),所述第一驅(qū)動(dòng)裝置(5)和第二驅(qū)動(dòng)裝置(6)均于控制單元(2)信號(hào)連接。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的硅片自動(dòng)分離設(shè)備,其特征在于:還包括第一激光測(cè)距傳感器(7),所述第一激光測(cè)距傳感器(7)位于箱體(1)靠近顏色傳感器(3)的一端,所述第一激光測(cè)距傳感器(7)與所述控制單元(2)信號(hào)連接。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的硅片自動(dòng)分離設(shè)備,其特征在于:所述支板(401)上設(shè)有滾輪(11)。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的硅片自動(dòng)分離設(shè)備,其特征在于:所述箱體(1)上沿豎直方向開(kāi)設(shè)有滑槽(101),所述滑槽(101)與所述擋板(12)相匹配,所述擋板(12)滑動(dòng)設(shè)置在所述滑槽(101)內(nèi)。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的硅片自動(dòng)分離設(shè)備,其特征在于:所述第一驅(qū)動(dòng)裝置(5)和第二驅(qū)動(dòng)裝置(6)均為氣缸。

6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的硅片自動(dòng)分離設(shè)備,其特征在于:所述箱體(1)內(nèi)頂端設(shè)有第二激光測(cè)距傳感器(8),所述第二激光測(cè)距傳感器(8)與所述控制單元(2)信號(hào)連接。

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