測試盤旋轉(zhuǎn)裝置以及直列式測試分選的制造方法
【專利摘要】本發(fā)明涉及一種測試盤旋轉(zhuǎn)裝置以及包含其的直列式測試分選機(jī)，所述測試盤旋轉(zhuǎn)裝置包括：支撐機(jī)構(gòu)，用于支撐在第一腔室單元和第二腔室單元之間搬運(yùn)的測試盤，所述第一腔室單元和所述第二腔室單元朝向不同方向且隔著間隔設(shè)置；基座機(jī)構(gòu)，可旋轉(zhuǎn)地結(jié)合有所述支撐機(jī)構(gòu)；以及旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)，旋轉(zhuǎn)測試盤，使得收容在測試盤上的半導(dǎo)體元件在所述第一腔室單元和所述第二腔室單元中以相同的配置進(jìn)行測試。
【專利說明】測試盤旋轉(zhuǎn)裝置以及直列式測試分選機(jī)
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明涉及用于旋轉(zhuǎn)測試盤的測試盤旋轉(zhuǎn)裝置以及直列式測試分選機(jī)。
【背景技術(shù)】
[0002]存儲器或非存儲器半導(dǎo)體元件、模塊IC等(以下稱為“半導(dǎo)體元件”)，通過進(jìn)行各種過程的裝置來制造。作為這些裝置中的一種，測試分選機(jī)用于進(jìn)行如下過程，使半導(dǎo)體元件連接在測試裝置上，以便測試半導(dǎo)體元件，并根據(jù)測試結(jié)果，對測試后的半導(dǎo)體元件按等級進(jìn)行分類。半導(dǎo)體元件經(jīng)過測試被分為優(yōu)良品，則結(jié)束制造過程。
[0003]圖1是現(xiàn)有技術(shù)涉及的測試分選機(jī)的概略俯視圖。
[0004]參照圖1，現(xiàn)有技術(shù)涉及的測試分選機(jī)1000包括裝載單元1100、測試單元1200以及卸載單元1300。
[0005]所述裝載單元1100進(jìn)行裝載過程，使測試后的半導(dǎo)體元件收容于測試盤200。所述測試單元1200進(jìn)行測試過程，使收容在測試盤200上的半導(dǎo)體元件連接于測試裝置400。所述卸載單元1300進(jìn)行卸載過程，將測試后的半導(dǎo)體元件從測試盤200分離。
[0006]如此，現(xiàn)有技術(shù)涉及的測試分選機(jī)1000，在一個裝置內(nèi)，通過循環(huán)移動測試盤200，依次進(jìn)行所述裝載過程、所述測試過程以及所述卸載過程。這種現(xiàn)有技術(shù)涉及的測試分選機(jī)1000存在以下問題。
[0007]第一，現(xiàn)有技術(shù)涉及的測試分選機(jī)1000，無法將完成裝載過程的測試盤200直接移送至所述測試單元1200，而是需要使測試盤200在所述裝載單元1100上待機(jī)，直至在所述測試單元1200中測試過程結(jié)束，因此，存在拖延工作時間的問題。由于發(fā)生測試盤200在所述裝載單元1100上待機(jī)的時間，因此，現(xiàn)有技術(shù)涉及的測試分選機(jī)1000，存在所述裝載單元1100對下一個測試盤200進(jìn)行裝載過程為止所需的時間也被拖延的問題。
[0008]第二，如上所述，由于測試盤200需要在所述裝載單元1100上待機(jī)直到測試過程結(jié)束，因此，現(xiàn)有技術(shù)涉及的測試分選機(jī)1000，無法將完成卸載過程的測試盤200直接移送至所述裝載單元1100，而是使測試盤200在所述卸載單元1300上待機(jī)。因此，現(xiàn)有技術(shù)涉及的測試分選機(jī)1000，存在所述卸載單元1100對下一個測試盤200進(jìn)行卸載過程為止所需的時間也被拖延的問題。
[0009]第三，現(xiàn)有技術(shù)涉及的測試分選機(jī)1000，當(dāng)所述裝載單元1100、所述測試單元1200以及所述卸載單元1300中的一部分發(fā)生故障時，其余正常動作的結(jié)構(gòu)也無法工作。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0010]本發(fā)明是為了解決上述問題而提出的，目的在于提供一種測試盤旋轉(zhuǎn)裝置以及包含其的直列式測試分選機(jī)，即使分別進(jìn)行裝載過程、卸載過程以及測試過程所需的時間存在差異，也能夠防止拖延作業(yè)時間。
[0011]本發(fā)明的目的在于提供一種測試盤旋轉(zhuǎn)裝置以及包含其的直列式測試分選機(jī)，即使分別進(jìn)行裝載過程、測試過程以及卸載過程的裝置中的一部分發(fā)生故障，也能夠防止影響整個作業(yè)時間。
[0012]為了解決上述問題，本發(fā)明可以包括如下結(jié)構(gòu)。
[0013]本發(fā)明涉及的測試盤旋轉(zhuǎn)裝置可以包括:支撐機(jī)構(gòu)，用于支撐在第一腔室單元和第二腔室單元之間搬運(yùn)的測試盤，所述第一腔室單元和所述第二腔室單元朝向相互不同的方向且隔著間隔設(shè)置；基座機(jī)構(gòu)，可旋轉(zhuǎn)地結(jié)合有所述支撐機(jī)構(gòu)；以及旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)，其設(shè)置在所述基座機(jī)構(gòu)上，用于旋轉(zhuǎn)所述支撐機(jī)構(gòu)，從而使被所述支撐機(jī)構(gòu)支撐的測試盤旋轉(zhuǎn)。所述旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)可以旋轉(zhuǎn)測試盤，使得收容在測試盤上的半導(dǎo)體元件在所述第一腔室單元和所述第二腔室單中以相同的配置進(jìn)行測試。
[0014]本發(fā)明涉及的直列式測試分選機(jī)可以包括:第一腔室單元，用于執(zhí)行對半導(dǎo)體元件的測試過程；第二腔室單元，朝向與所述第一腔室單元不同的方向，并且與所述第一腔室單元隔著間隔設(shè)置，用于執(zhí)行對半導(dǎo)體元件的測試過程；分揀單元，分別與所述第一腔室單元以及所述第二腔室單元隔著間隔設(shè)置，用于進(jìn)行將待測試的半導(dǎo)體元件收容在測試盤上的裝載過程和將測試后的半導(dǎo)體元件從測試盤分離的卸載過程；傳送單元，搬運(yùn)測試盤，使得所述分揀單元、所述第一腔室單元和所述第二腔室單元連接成直列；旋轉(zhuǎn)裝置，用于旋轉(zhuǎn)測試盤，使得收容在測試盤上的半導(dǎo)體元件在所述第一腔室單元和所述第二腔室單元中以相同的配置進(jìn)行測試。
[0015]根據(jù)本發(fā)明可以實(shí)現(xiàn)如下效果。
[0016]根據(jù)本發(fā)明，即使分別進(jìn)行裝載過程、卸載過程以及測試過程所需的時間存在差異，也能夠防止拖延作業(yè)時間，從而能夠提高半導(dǎo)體元件的生產(chǎn)收率。
[0017]根據(jù)本發(fā)明，即使分別進(jìn)行裝載過程、卸載過程以及測試過程的裝置中的一部分發(fā)生故障，也能夠防止整個系統(tǒng)停止，從而能夠防止作業(yè)時間損失。
[0018]根據(jù)本發(fā)明，能夠提高配置進(jìn)行裝載過程和卸載過程的裝置以及進(jìn)行測試過程的裝置的作業(yè)便捷性和配置自由度，從而能夠容易進(jìn)行擴(kuò)大或縮小生產(chǎn)線的作業(yè)，并且能夠節(jié)省進(jìn)行這些作業(yè)所需的附加費(fèi)用。
【專利附圖】

【附圖說明】
[0019]圖1是現(xiàn)有技術(shù)涉及的測試分選機(jī)的概略俯視圖。
[0020]圖2和圖3是用于說明本發(fā)明涉及的測試盤旋轉(zhuǎn)裝置的作用效果的概念圖。
[0021]圖4是包括本發(fā)明涉及的測試盤旋轉(zhuǎn)裝置的直列式測試分選機(jī)的概略俯視圖。
[0022]圖5是本發(fā)明涉及的測試盤旋轉(zhuǎn)裝置的概略立體圖。
[0023]圖6是本發(fā)明涉及的測試盤旋轉(zhuǎn)裝置的概略分解立體圖。
[0024]圖7至圖12是用于說明本發(fā)明涉及的測試盤旋轉(zhuǎn)裝置動作的概略側(cè)視圖。
[0025]圖13和圖14是用于說明本發(fā)明涉及的緩沖機(jī)構(gòu)動作的概略仰視圖。
[0026]圖15和圖16是用于說明本發(fā)明涉及的測試盤旋轉(zhuǎn)裝置包括升降單元的實(shí)施例的概略側(cè)視圖。
[0027]圖17和圖18是用于說明本發(fā)明涉及的測試盤旋轉(zhuǎn)裝置變更測試盤搬運(yùn)路徑的動作的概略側(cè)視圖。
[0028]圖19是本發(fā)明涉及的直列式測試分選機(jī)的概略框圖。
[0029]圖20是本發(fā)明涉及的腔室單元的概略俯視圖。[0030]圖21和圖22是用于說明本發(fā)明涉及的腔室單元的實(shí)施例的概念圖。
[0031]圖23是本發(fā)明涉及的分揀單元的概略俯視圖。
[0032]圖24是本發(fā)明涉及的傳送單元的概略側(cè)視圖。
[0033] 圖25是本發(fā)明涉及的直列式測試分選機(jī)的概略俯視圖。
[0034]附圖標(biāo)記
[0035]1:旋轉(zhuǎn)裝置2:支撐機(jī)構(gòu)
[0036]3:基座機(jī)構(gòu)4:旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)
[0037]5:移送機(jī)構(gòu)6:突起
[0038]7:緩沖機(jī)構(gòu)10:本體
[0039]100:直列式測試分選機(jī) 110:腔室單元
[0040]111:第一腔室單元112:第二腔室單元
[0041]120:分揀單元121:裝載單元
[0042]122:卸載單元130:傳送單元
[0043]131:第一傳送機(jī)構(gòu)132:第二傳送機(jī)構(gòu)
[0044]200:測試盤300:半導(dǎo)體元件
[0045]400:測試裝置
【具體實(shí)施方式】
[0046]以下參照附圖詳細(xì)說明本發(fā)明涉及的測試盤旋轉(zhuǎn)裝置的實(shí)施例。
[0047]參照圖2至圖4，本發(fā)明涉及的測試盤旋轉(zhuǎn)裝置1，用于在直列式測試分選機(jī)100上旋轉(zhuǎn)測試盤200。所述直列式測試分選機(jī)100包括多個腔室單元110、分揀單元120、以及傳送單元130。在所述多個腔室單元110中分別對收容在測試盤200上的半導(dǎo)體元件進(jìn)行測試過程。所述分揀單元120對半導(dǎo)體元件進(jìn)行裝載過程和卸載過程。所述分揀單元120分別與所述多個腔室單元110隔著間隔設(shè)置。所述傳送單元130用于搬運(yùn)測試盤200。所述傳送單元130搬運(yùn)測試盤200，使得在所述分揀單元120完成裝載過程的測試盤200經(jīng)過所述多個腔室單元110中的至少一個而進(jìn)行測試過程。所述傳送單元130搬運(yùn)測試盤200，使得經(jīng)過所述多個腔室單元110中的至少一個而完成測試過程的測試盤200在所述分揀單元120進(jìn)行卸載過程。即，所述傳送單元130將所述多個腔室單元110和所述分揀單元120連接成直列(In-1 ine )。
[0048]其中，所述直列式測試分選機(jī)100包括第一腔室單元111和第二腔室單元112，該第一腔室單元111和第二腔室單元112朝向相互不同的方向且隔著間隔設(shè)置。本發(fā)明涉及的測試盤旋轉(zhuǎn)裝置I，用于旋轉(zhuǎn)在所述第一腔室單元111和所述第二腔室單元112之間搬運(yùn)的測試盤200。由此，本發(fā)明涉及的測試盤旋轉(zhuǎn)裝置1，能夠使收容在測試盤200上的半導(dǎo)體元件在所述第一腔室單元111和所述第二腔室單元112中以相同的配置進(jìn)行測試。具體觀察該過程如下。
[0049]首先，如圖2和圖3所示，所述第一腔室單元111和所述第二腔室單元112可以朝向相反方向且彼此隔著間隔設(shè)置。此時，如果從所述第一腔室單元111搬出而供給所述第二腔室單元112的測試盤200不旋轉(zhuǎn)，則收容在測試盤200上的半導(dǎo)體元件在所述第一腔室單元111和所述第二腔室單元112中以相互不同的配置進(jìn)行測試。為了清楚地表示，在圖2和圖3中，將收容在測試盤200上的半導(dǎo)體元件中的任一個半導(dǎo)體元件300用畫斜線的長方形來表不。
[0050]如圖2所示，以從正面看所述第一腔室單元111的方向(A箭頭方向)為基準(zhǔn)，測試盤200在所述第一腔室單元111中，以所述半導(dǎo)體元件300位于左側(cè)上方的狀態(tài)進(jìn)行測試過程。但是，如果從所述第一腔室單元111搬出的測試盤200不旋轉(zhuǎn)，以從正面看所述第二腔室單元112的方向(B箭頭方向)為基準(zhǔn)，測試盤200在所述第二腔室單元112中，以所述半導(dǎo)體元件300位于右側(cè)下方的狀態(tài)進(jìn)行測試過程。即，收容在測試盤200上的半導(dǎo)體元件在所述第一腔室單元111和所述第二腔室單元112中以相互不同的配置進(jìn)行測試。
[0051]因此，所述分揀單元120 (在圖4中示出)在進(jìn)行所述卸載過程時，難以按等級分離該半導(dǎo)體元件300。這是因?yàn)?，在所述腔室單?10進(jìn)行測試過程后的等級是以半導(dǎo)體元件所位于的坐標(biāo)為基準(zhǔn)給出的，而所述半導(dǎo)體元件300在所述第一腔室單元111中是在第一坐標(biāo)Cl上進(jìn)行測試，在所述第二腔室單元112中則是在與所述第一坐標(biāo)Cl不同的第二坐標(biāo)C2上進(jìn)行測試。因此，在所述第一腔室單元111和所述第二腔室單元112中，對位于所述第一坐標(biāo)Cl的半導(dǎo)體元件的等級是對彼此不同的半導(dǎo)體元件給出的等級，因此，所述分揀單元120 (在圖4中示出)無法準(zhǔn)確地進(jìn)行所述卸載過程。
[0052]為了解決這些問題，本發(fā)明涉及的測試盤旋轉(zhuǎn)裝置I旋轉(zhuǎn)測試盤200，使得收容在測試盤200上的半導(dǎo)體元件在所述第一腔室單元111和所述第二腔室單元112中以相同的配置進(jìn)行測試。
[0053]由此，如圖3所示，以從正面看所述第一腔室單元111的方向(A箭頭方向)為基準(zhǔn)，測試盤200在所述第一腔室單元111中，以所述半導(dǎo)體元件300位于左側(cè)上方的狀態(tài)進(jìn)行測試過程。并且，以從正面看所述第二腔室單元112的方向(B箭頭方向)為基準(zhǔn)，測試盤200在所述第二腔室單元112中，以該半導(dǎo)體元件300位于左側(cè)上方的狀態(tài)進(jìn)行測試過程。即，所述半導(dǎo)體元件300分別在所述第一腔室單元111和所述第二腔室單元112中以位于相同的第一坐標(biāo)Cl的狀態(tài)進(jìn)行測試。如此，收容在測試盤200上的半導(dǎo)體元件在所述第一腔室單元111和所述第二腔室單元112中彼此以相同的配置進(jìn)行測試。
[0054]因此，本發(fā)明涉及的測試盤旋轉(zhuǎn)裝置1，使收容在測試盤200上的半導(dǎo)體元件在所述第一腔室單元111和所述第二腔室單元112中以相同的配置進(jìn)行測試，從而能夠提高由所述分揀單元120 (在圖4中示出)進(jìn)行的卸載過程的準(zhǔn)確性和便捷性。此外，本發(fā)明涉及的測試盤旋轉(zhuǎn)裝置1，可以達(dá)到如下的作用效果。
[0055]第一，本發(fā)明涉及的測試盤旋轉(zhuǎn)裝置1，使收容在測試盤200上的半導(dǎo)體元件在所述多個腔室單元110中彼此以相同的配置進(jìn)行測試，因此，可以消除在直列式測試分選機(jī)100中所述多個腔室單元110均以相同方向進(jìn)行設(shè)置的限制。因此，本發(fā)明涉及的測試盤旋轉(zhuǎn)裝置1，能夠提高在所述直列式測試分選機(jī)100中配置所述多個腔室單元110的作業(yè)的便捷性和自由度。此外，本發(fā)明涉及的測試盤旋轉(zhuǎn)裝置I，能夠?qū)崿F(xiàn)使所述直列式測試分選機(jī)100在所述分揀單元120和所述多個腔室單元110之間搬運(yùn)測試盤200的移動路徑最小化地配置。
[0056]第二，本發(fā)明涉及的測試盤旋轉(zhuǎn)裝置1，在所述直列式測試分選機(jī)100中增加或除去所述腔室單元110以擴(kuò)張或縮小生產(chǎn)線時，與方向無關(guān)地，能夠自由地再配置腔室單元110，從而能夠提高擴(kuò)張或縮小生產(chǎn)線作業(yè)的便捷性。[0057]第三，本發(fā)明涉及的測試盤旋轉(zhuǎn)裝置1，使收容在測試盤200上的半導(dǎo)體元件在所述多個腔室單元110中彼此以相同的配置進(jìn)行測試，由此，根據(jù)分別進(jìn)行所述裝載過程、所述卸載過程以及所述測試過程所需的時間，以與所述多個腔室單元110的配置方向無關(guān)地，能夠使所述傳送單元130有效地分配測試盤200。因此，本發(fā)明涉及的測試盤旋轉(zhuǎn)裝置1，對于所述直列式測試分選機(jī)100而言，能夠提高設(shè)備可動率，并且能夠縮短完成半導(dǎo)體元件的裝載過程、測試過程以及分揀過程所需的時間。
[0058]為此，本發(fā)明涉及的測試盤旋轉(zhuǎn)裝置I可以包括如下的結(jié)構(gòu)。
[0059]參照圖4至圖6，本發(fā)明涉及的測試盤旋轉(zhuǎn)裝置I包括:支撐機(jī)構(gòu)2，用于支撐測試盤200 ;基座機(jī)構(gòu)3，可旋轉(zhuǎn)地結(jié)合有所述支撐機(jī)構(gòu)2 ;以及旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)4 (在圖6中示出)，為了旋轉(zhuǎn)被所述支撐機(jī)構(gòu)2支撐的測試盤200而旋轉(zhuǎn)所述支撐機(jī)構(gòu)2。
[0060]所示支撐機(jī)構(gòu)2支撐從所述多個腔室單元110 (在圖4中示出)搬出的測試盤200(在圖4中示出)。所述支撐機(jī)構(gòu)2可以支撐從所述第一腔室單元111 (在圖4中示出)搬出的測試盤200。此時，測試盤200可以從所述第一腔室單元111搬出后以被所述支撐機(jī)構(gòu)2支撐的狀態(tài)旋轉(zhuǎn)后，供給所述第二腔室單元112 (在圖4中示出)。所述支撐機(jī)構(gòu)2也可以支撐從所述第二腔室單元112搬出的測試盤200。此時，測試盤200可以從所述第二腔室單元112搬出后以被所述支撐機(jī)構(gòu)2支撐的狀態(tài)旋轉(zhuǎn)后，供給所述第一腔室單元111。
[0061]所述支撐機(jī)構(gòu)2可以設(shè)置成位于所述第一腔室單元111和所述第二腔室單元112之間。所述支撐機(jī)構(gòu)2可以以所述傳送單元130 (在圖4中示出)為介質(zhì)將所述第一腔室單元111和所述第二腔室單元112連接成直列。例如，所述傳送單元130可以包括:第一傳送機(jī)構(gòu)131(在圖4中示出)，將所述第一腔室單元111和所述分揀單元120連接成直列；第二傳送機(jī)構(gòu)132 (在圖4中示出)，將所述第二腔室單元112和所述分揀單元120連接成直列。此時，所述支撐機(jī)構(gòu)2設(shè)置在所述第一傳送機(jī)構(gòu)131和所述第二傳送機(jī)構(gòu)132之間，從而能夠?qū)⑺龅谝粋魉蜋C(jī)構(gòu)131和所述第二傳送機(jī)構(gòu)132連接成直列。由此，所述支撐機(jī)構(gòu)2能夠?qū)⑺龅谝磺皇覇卧?11和所述第二腔室單元112連接成直列。
[0062]所述支撐機(jī)構(gòu)2可以包括用于使測試盤200通過的通過孔21。由于所述通過孔21，所述支撐機(jī)構(gòu)2形成為一側(cè)被開放的形態(tài)。測試盤200通過所述通過孔21搬入至所述支撐機(jī)構(gòu)2。測試盤200通過所述通過孔21從所述支撐機(jī)構(gòu)2搬出。
[0063]所述支撐機(jī)構(gòu)2可以包括用于引導(dǎo)測試盤200移動的引導(dǎo)構(gòu)件22、22'。測試盤200的兩側(cè)邊可以插入于所述引導(dǎo)構(gòu)件22、22'中并沿著所述引導(dǎo)構(gòu)件22、22'移動。由此，本發(fā)明涉及的測試盤旋轉(zhuǎn)裝置I能夠提高將測試盤200搬入至所述支撐機(jī)構(gòu)2的過程以及將測試盤200從所述支撐機(jī)構(gòu)2搬出過程的準(zhǔn)確性。所述引導(dǎo)構(gòu)件22、22'能夠同時發(fā)揮支撐測試盤200的功能。所述引導(dǎo)構(gòu)件22、22'分別可以形成為“C”形狀。
[0064]參照圖4至圖6，所述基座機(jī)構(gòu)3支撐所述支撐機(jī)構(gòu)2。所述支撐機(jī)構(gòu)2可旋轉(zhuǎn)地結(jié)合在所述基座機(jī)構(gòu)3上。所述支撐機(jī)構(gòu)2可以通過軸承(未圖示)，可旋轉(zhuǎn)地結(jié)合在所述基座機(jī)構(gòu)3上。所述基座機(jī)構(gòu)3結(jié)合在本體10上。所述本體10可以支撐所述基座機(jī)構(gòu)3，使所述支撐機(jī)構(gòu)2位于(在圖4中示出)能夠在所述支撐機(jī)構(gòu)2和所述傳送單元130 (在圖4中示出)之間移送所述測試盤200的高度。所述本體10可以支撐所述基座機(jī)構(gòu)3，使得所述支撐機(jī)構(gòu)2位于所述第一傳送機(jī)構(gòu)131 (在圖4中不出)和所述第二傳送機(jī)構(gòu)132 (在圖4中示出)之間。[0065]參照圖3至圖6,所述旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)4設(shè)置于所述基座機(jī)構(gòu)3。所述旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)4能夠旋轉(zhuǎn)所述支撐機(jī)構(gòu)2。由此，所述旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)4能夠旋轉(zhuǎn)被所述支撐機(jī)構(gòu)2支撐的測試盤200。因此，所述旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)4能夠旋轉(zhuǎn)測試盤200，使得收容在測試盤200上的半導(dǎo)體元件在所述第一腔室單元111和所述第二腔室單元112中以相同的配置進(jìn)行測試。
[0066]所述旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)4可以設(shè)置在所述基座機(jī)構(gòu)3的下側(cè)。此時，所述基座機(jī)構(gòu)3可以設(shè)置在所述旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)4和所述支撐機(jī)構(gòu)2之間。所述旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)4可以貫通所述基座機(jī)構(gòu)3而結(jié)合于所述支撐機(jī)構(gòu)2。所述旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)4可以以從所述基座機(jī)構(gòu)3朝向所述支撐機(jī)構(gòu)2的垂直方向(Z軸方向)形成的旋轉(zhuǎn)軸4a (在圖6中示出)為中心旋轉(zhuǎn)所述支撐機(jī)構(gòu)2。由此，所述旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)4可以將水平狀態(tài)的測試盤200保持水平狀態(tài)的同時進(jìn)行旋轉(zhuǎn)。
[0067]如圖3所示。當(dāng)所述第一腔室單元111和所述第二腔室單元112設(shè)置成相互朝相反方向時，所述旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)4 (在圖6中示出)能夠使所述測試盤200旋轉(zhuǎn)180度。由此，與從所述第一腔室單元111搬出時的狀態(tài)相比，測試盤100可以以旋轉(zhuǎn)180度后的方向供給所述第二腔室單元112。因此，所述旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)4能夠使收容在所述測試盤200上的半導(dǎo)體元件在所述第一腔室單元111和所述第二腔室單元112中以相同的配置進(jìn)行測試。
[0068]雖然未圖示，當(dāng)所述第一腔室單元111和所述第二腔室單元112以形成90度角的形式朝向相互不同方向的設(shè)置時，所述旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)4能夠使所述測試盤200旋轉(zhuǎn)90度。SP，所述旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)4能夠使所述測試盤200旋轉(zhuǎn)以與所述第一腔室單元111和所述第二腔室單元112朝向相互不同的方向而形成的角度相應(yīng)的角度。所述旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)4以所述旋轉(zhuǎn)軸4a(在圖6中示出)為中心可以順時針方向或逆時針方向旋轉(zhuǎn)所述測試盤200。
[0069]所述旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)4可以包括電機(jī)(未圖示)，該電機(jī)用于產(chǎn)生旋轉(zhuǎn)所述旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)4所需的旋轉(zhuǎn)力。所述電機(jī)可以直接結(jié)合于所述支撐機(jī)構(gòu)2，以旋轉(zhuǎn)所述支撐機(jī)構(gòu)2。當(dāng)所述電機(jī)與所述旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)2彼此隔著規(guī)定間隔設(shè)置時，所述旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)4還可以包括連接單元，該連接單元用于連接所述電機(jī)和所述支撐機(jī)構(gòu)2。所述連接單元可以是皮帶輪以及傳送帶等。
[0070]參照圖3、圖6至圖12，為了移送測試盤200，本發(fā)明涉及的測試盤旋轉(zhuǎn)裝置I還可以包括移送機(jī)構(gòu)5，該移送機(jī)構(gòu)5設(shè)置在所述支撐機(jī)構(gòu)2上。
[0071]所述移送機(jī)構(gòu)5用于將從所述第一腔室單元111 (在圖4中示出)搬出的測試盤200移送至所述支撐機(jī)構(gòu)2上。所述移送機(jī)構(gòu)5可以將從所述第一傳送機(jī)構(gòu)131(在圖4中示出)搬出的測試盤200移送至所述支撐機(jī)構(gòu)2。此時，從所述第一傳送機(jī)構(gòu)131搬出的測試盤200是從所述第一腔室單元111搬出的。若測試盤200被所述支撐機(jī)構(gòu)2支撐，則所述旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)4通過旋轉(zhuǎn)所述支撐機(jī)構(gòu)2來旋轉(zhuǎn)被所述支撐機(jī)構(gòu)2支撐的測試盤200。
[0072]所述移送機(jī)構(gòu)5從所述支撐機(jī)構(gòu)2搬出測試盤200，以便將通過所述旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)4旋轉(zhuǎn)的測試盤200供給所述第二腔室單元112 (在圖4中示出)。所述移送機(jī)構(gòu)5可以將通過所述旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)4旋轉(zhuǎn)的測試盤200搬出至所述第二傳送機(jī)構(gòu)132 (在圖4中示出)。此時，從所述第二傳送機(jī)構(gòu)132搬出的測試盤200可以供給所述第二腔室單元112。
[0073]如上所述，本發(fā)明涉及的測試盤旋轉(zhuǎn)裝置1，不僅能夠旋轉(zhuǎn)測試盤200，使得收容在測試盤200上的半導(dǎo)體元件在所述第一腔室單元111和所述第二腔室單元112中以相同的配置進(jìn)行測試，而且還能夠在所述第一腔室單元111和所述第二腔室單元112之間移送測試盤200。以上說明了測試盤200從所述第一腔室單元111搬出后供給所述第二腔室單元112的情況，但是，所述移送機(jī)構(gòu)5也能夠旋轉(zhuǎn)和移送從所述第二腔室單元112搬出后供給所述第一腔室單元111的測試盤200。
[0074]參照圖3、圖6至圖12，所述移送機(jī)構(gòu)5可以包括:插入構(gòu)件51 (在圖6中示出)，用于插入到測試盤200中；升降構(gòu)件52 (在圖6中示出)，結(jié)合有所述插入構(gòu)件51 ;升降機(jī)構(gòu)53 (在圖6中示出)，用于升降所述升降構(gòu)件52 ;以及驅(qū)動機(jī)構(gòu)54 (在圖6中示出)，用于移動所述升降機(jī)構(gòu)53。
[0075]所述插入構(gòu)件51在所述基座機(jī)構(gòu)3上從所述升降構(gòu)件52朝著面向所述支撐機(jī)構(gòu)2的上側(cè)方向(D箭頭方向，在圖7中示出)突出地形成。若所述升降機(jī)構(gòu)53使得所述升降構(gòu)件52上升，則所述插入構(gòu)件51插入到在測試盤200上形成的移送槽210 (在圖7中示出)中。由此，測試盤200可以處于隨著所述插入構(gòu)件51的移動而移動的狀態(tài)。若所述升降機(jī)構(gòu)53使得所述升降構(gòu)件52下降，則所述插入構(gòu)件51從所述移送槽210分離。由此，測試盤200可以處于不受所述插入構(gòu)件51妨礙的從所述支撐機(jī)構(gòu)2搬出至所述傳送單元130 (在圖3中示出)的狀態(tài)。此外，測試盤200可以以不受所述插入構(gòu)件51妨礙的從所述傳送單元130移送至所述支撐機(jī)構(gòu)2。
[0076]所述插入構(gòu)件51整體可以形成圓筒形狀，但并非限定于此，只要是能夠插入至所述移送槽210或者能夠從所述移送槽210分離的形狀，也可以形成為長方體形狀等其他形狀。所述移送機(jī)構(gòu)5也可以包括多個所述插入構(gòu)件51。此時，所述插入構(gòu)件51可以相互隔著規(guī)定間隔形成。雖然在圖6中示出了所述移送機(jī)構(gòu)5具有3個插入構(gòu)件51的結(jié)構(gòu)，但并非限定于此，所述移送機(jī)構(gòu)5也可以具有2個或4個以上的插入構(gòu)件51。測試盤200可以具有與所述插入構(gòu)件51的數(shù)量大致相同數(shù)量的移送槽210。
[0077]所述升降構(gòu)件52結(jié)合于所述升降機(jī)構(gòu)53。所述插入構(gòu)件51結(jié)合于所述升降構(gòu)件52。由此，當(dāng)所述升降機(jī)構(gòu)53使所述升降構(gòu)件52上升時，所述插入構(gòu)件51—起上升。當(dāng)所述升降機(jī)構(gòu)53使所述升降構(gòu)件52下降時，所述插入構(gòu)件51 —起下降。所述升降構(gòu)件52可以包括:襯托構(gòu)件521，結(jié)合有所述插入構(gòu)件51，以及支撐構(gòu)件522，用于支撐測試盤200。
[0078]所述襯托構(gòu)件521結(jié)合在所述升降機(jī)構(gòu)53上。所述插入構(gòu)件51在所述襯托構(gòu)件521上從所述襯托構(gòu)件521朝著所述上側(cè)方向(D箭頭方向)突出地形成。所述襯托構(gòu)件521整體可以形成為矩形板狀。
[0079]所述支撐構(gòu)件522結(jié)合在所述襯托構(gòu)件521上。所述支撐構(gòu)件522從所述襯托構(gòu)件521朝所述上側(cè)方向(D箭頭方向)突出的方式結(jié)合在所述襯托構(gòu)件521上。當(dāng)所述旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)4旋轉(zhuǎn)所述支撐機(jī)構(gòu)2時，所述支撐構(gòu)件522通過支撐被所述支撐機(jī)構(gòu)2支撐的測試盤200的側(cè)面，以防止測試盤200因離心力發(fā)生脫離。所述支撐構(gòu)件522也可以支撐測試盤200，使得通過所述傳送單元130移送至所述支撐機(jī)構(gòu)2的測試盤200在搬入位置停止。所述搬入位置是測試盤200的移送槽210位于所述插入構(gòu)件51之上的位置。即，所述支撐構(gòu)件522也可以作為擋塊而發(fā)揮作用，以使測試盤200準(zhǔn)確地停止在所述搬入位置。
[0080]所述支撐構(gòu)件522和所述襯托構(gòu)件521可以形成為一體。通過所述支撐構(gòu)件522和所述襯托構(gòu)件521，所述升降構(gòu)件52整體可以形成為“L”形狀。所述支撐構(gòu)件522、所述襯托構(gòu)件521以及所述插入構(gòu)件51也可以形成為一體。
[0081]所述升降機(jī)構(gòu)53與所述驅(qū)動機(jī)構(gòu)54結(jié)合。所述升降機(jī)構(gòu)53能夠升降所述升降構(gòu)件52。當(dāng)測試盤200位于所述搬入位置時，所述升降機(jī)構(gòu)53通過上升所述升降構(gòu)件52，以使所述插入構(gòu)件51插入到所述移送槽210中。當(dāng)所述旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)4旋轉(zhuǎn)所述支撐機(jī)構(gòu)2來旋轉(zhuǎn)被所述支撐機(jī)構(gòu)2支撐的測試盤200時，所述升降機(jī)構(gòu)53通過下降所述升降構(gòu)件52，以使所述插入構(gòu)件51從所述移送槽210分離。
[0082]所述升降機(jī)構(gòu)53可以通過利用液壓缸或氣缸的缸體式、利用電機(jī)和滾珠螺桿(Ball Screw)等的滾珠螺桿式、利用電機(jī)和齒條(Rack Gear)和小齒輪(Pinion Gear)等的齒輪式、利用電機(jī)和皮帶輪和傳送帶等的帶式、利用線圈和永久磁體等的直線電動機(jī)(Linear Motor)等來升降所述升降構(gòu)件52。
[0083]所述驅(qū)動機(jī)構(gòu)54用于移動所述升降機(jī)構(gòu)53。所述升降構(gòu)件52以及所述插入構(gòu)件51隨著所述升降機(jī)構(gòu)53的移動而移動。所述驅(qū)動機(jī)構(gòu)54結(jié)合在所述支撐機(jī)構(gòu)2上。所述驅(qū)動機(jī)構(gòu)54能夠移動所述升降機(jī)構(gòu)53，以使位于所述搬入位置的測試盤200移送至旋轉(zhuǎn)位置。所述旋轉(zhuǎn)位置是，測試盤200位于所述支撐機(jī)構(gòu)2內(nèi)部而并不從所述支撐機(jī)構(gòu)2突出的位置。由此，當(dāng)所述旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)4旋轉(zhuǎn)所述支撐機(jī)構(gòu)2時，能夠防止測試盤200與其他結(jié)構(gòu)碰撞。當(dāng)所述旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)4旋轉(zhuǎn)位于所述旋轉(zhuǎn)位置的測試盤200時，所述驅(qū)動機(jī)構(gòu)54能夠移動所述升降機(jī)構(gòu)53，以便將位于所述旋轉(zhuǎn)位置上的測試盤200移送至搬出位置。所述搬出位置是，測試盤200通過所述傳送單元130可以從所述支撐機(jī)構(gòu)2搬出的位置。
[0084]所述驅(qū)動機(jī)構(gòu)54可以通過利用液壓缸或氣缸的缸體式、利用電機(jī)和滾珠螺桿等的滾珠螺桿式、利用電機(jī)和齒條和小齒輪等的齒輪式、利用電機(jī)和皮帶輪和傳送帶等的帶式、利用線圈和永久磁體等的直線電動機(jī)等來移動所述升降機(jī)構(gòu)53。所述驅(qū)動機(jī)構(gòu)54也可以包括:LM導(dǎo)軌(LM Guide Rail)，用于引導(dǎo)所述升降機(jī)構(gòu)53進(jìn)行直線移動；和LM導(dǎo)塊(LM Guide Block)。所述LM導(dǎo)軌可以結(jié)合在所述支撐機(jī)構(gòu)2上。所述LM導(dǎo)塊以可以直線移動的方式結(jié)合在所述LM導(dǎo)軌上。所述升降機(jī)構(gòu)53可以與所述LM導(dǎo)塊結(jié)合。
[0085]如上所述，具備所述插入構(gòu)件51、所述升降構(gòu)件52、所述升降機(jī)構(gòu)53以及所述驅(qū)動機(jī)構(gòu)54的移送機(jī)構(gòu)5和所述旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)4可以以如下方式動作。
[0086]首先，若所述第一傳送機(jī)構(gòu)131 (在圖4中示出)向所述支撐機(jī)構(gòu)2搬運(yùn)測試盤200，則如圖7所示，所述驅(qū)動機(jī)構(gòu)54使所述升降機(jī)構(gòu)53移動至所述第一傳送機(jī)構(gòu)131(在圖4中示出)側(cè)。此時，所述升降機(jī)構(gòu)53已使所述升降構(gòu)件52下降的狀態(tài)，以便防止所述插入構(gòu)件51被測試盤200碰撞。所述升降機(jī)構(gòu)53也可以調(diào)節(jié)升降構(gòu)件52的高度，使升降構(gòu)件52位于所述插入構(gòu)件51不被測試盤200碰撞的狀態(tài)下所述支撐構(gòu)件522能夠支撐測試盤200側(cè)面的位置。由此，所述支撐構(gòu)件522能夠使測試盤200準(zhǔn)確地停止在所述搬入位置的、支撐測試盤200。
[0087]之后，若測試盤200位于所述搬入位置，則如圖8所示，所述升降機(jī)構(gòu)53使所述升降構(gòu)件52上升。由此，所述插入構(gòu)件51插入到所述移送槽210中。
[0088]之后，若所述插入構(gòu)件51插入到所述移送槽210中，則如圖9所示，所述驅(qū)動機(jī)構(gòu)54移動所述升降機(jī)構(gòu)53，以使測試盤200從所述搬入位置移送至所述旋轉(zhuǎn)位置。由此，測試盤200位于所述支撐機(jī)構(gòu)2的內(nèi)部，而并不從所述支撐機(jī)構(gòu)2突出。
[0089]之后，若測試盤200位于所述旋轉(zhuǎn)位置，則如圖10所示，所述旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)4旋轉(zhuǎn)所述支撐機(jī)構(gòu)2。由此，測試盤200朝向可以使半導(dǎo)體元件在所述第一腔室單元111和所述第二腔室單元112中以相同的配置進(jìn)行測試的方向旋轉(zhuǎn)。例如，所述旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)4可以以所述支撐機(jī)構(gòu)2的旋轉(zhuǎn)軸4a為中心旋轉(zhuǎn)180度。在所述旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)4旋轉(zhuǎn)所述支撐機(jī)構(gòu)2的期間，所述升降機(jī)構(gòu)53可以保持使所述升降構(gòu)件52上升的狀態(tài)，以便保持所述插入構(gòu)件51插入到所述移送槽210中的狀態(tài)。由此，所述插入構(gòu)件51和所述支撐構(gòu)件522能夠防止測試盤200因離心力發(fā)生脫離。
[0090]之后，若測試盤200旋轉(zhuǎn)，則如圖11所示，所述驅(qū)動機(jī)構(gòu)54移動所述升降機(jī)構(gòu)53，以使所述測試盤200從所述旋轉(zhuǎn)位置移送至所述搬出位置。由此，測試盤200位于，所述第二傳送機(jī)構(gòu)132 (在圖3中示出)能夠從所述支撐機(jī)構(gòu)2搬出測試盤200的位置。
[0091]之后，若測試盤200位于所述搬出位置，則如圖12所示，所述升降機(jī)構(gòu)53下降所述升降構(gòu)件52。由此，所述插入構(gòu)件51從所述移送槽210分離。若所述插入構(gòu)件51從所述移送槽210分離，則所述第二傳送機(jī)構(gòu)132 (在圖3中示出)為了從所述支撐機(jī)構(gòu)2搬出測試盤200可以搬運(yùn)測試盤200。
[0092]之后，若測試盤200從所述支撐機(jī)構(gòu)2搬出，則如圖7所示，所述旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)4可以旋轉(zhuǎn)所述支撐機(jī)構(gòu)2，以便從所述第一傳送機(jī)構(gòu)131 (在圖4中示出)搬入其他測試盤200。所述旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)4也可以不旋轉(zhuǎn)所述支撐機(jī)構(gòu)2而是待機(jī)，以便從所述第二傳送機(jī)構(gòu)132 (在圖4中示出)搬入其他測試盤200。
[0093]參照圖6、圖13和圖14，本發(fā)明涉及的測試盤旋轉(zhuǎn)裝置I還可以包括:突起6 (在圖13中示出)，形成在所述支撐機(jī)構(gòu)2上；以及緩沖機(jī)構(gòu)7，與所述基座機(jī)構(gòu)3 (在圖6中示
出）結(jié)合。[0094]所述突起6在所述支撐機(jī)構(gòu)2上從所述支撐機(jī)構(gòu)2朝著面向所述基座機(jī)構(gòu)3的下側(cè)方向(Ε箭頭方向，在圖6中示出)突出地形成。即，所述突起6位于所述支撐機(jī)構(gòu)2和所述基座機(jī)構(gòu)3之間。所述突起6形成為，所述旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)4為了旋轉(zhuǎn)測試盤200而旋轉(zhuǎn)所述支撐機(jī)構(gòu)2后停止時，位于與所述緩沖機(jī)構(gòu)7接觸的位置。所述突起6整體可以形成長方體形狀，但并非限定于此，只要是能夠接觸于所述緩沖機(jī)構(gòu)7的形狀，也可以形成為圓盤形狀等其他形狀。
[0095]所述緩沖機(jī)構(gòu)7在所述旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)4旋轉(zhuǎn)所述支撐機(jī)構(gòu)2之后停止的過程中彈性地支撐所述突起6，從而能夠緩解施加于所述支撐機(jī)構(gòu)2以及被所述支撐機(jī)構(gòu)2支撐的測試盤200的沖擊。由此，所述緩沖機(jī)構(gòu)7能夠防止收容在所述測試盤200上的半導(dǎo)體元件因震動、晃動等原因而從測試盤200脫離。所述緩沖機(jī)構(gòu)7可以包括彈性構(gòu)件(未圖示)，該彈性構(gòu)件用于彈性地支撐所述突起6。所述彈性構(gòu)件可以是彈簧。所述緩沖機(jī)構(gòu)7在所述基座機(jī)構(gòu)3上結(jié)合于朝向所述支撐機(jī)構(gòu)2的一面上。即，所述緩沖機(jī)構(gòu)7位于所述支撐機(jī)構(gòu)2和所述基座機(jī)構(gòu)3之間。
[0096]當(dāng)所述旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)4使被所述支撐機(jī)構(gòu)2支撐的測試盤200旋轉(zhuǎn)180度時，所述緩沖機(jī)構(gòu)7可以彈性地支撐隨著所述支撐機(jī)構(gòu)2旋轉(zhuǎn)180度而旋轉(zhuǎn)180度的突起6。當(dāng)所述旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)4使被所述支撐機(jī)構(gòu)2支撐的測試盤200旋轉(zhuǎn)90度時，所述緩沖機(jī)構(gòu)7也可以彈性地支撐隨著所述支撐機(jī)構(gòu)2旋轉(zhuǎn)90度而旋轉(zhuǎn)90度的突起6。
[0097]參照圖15至圖18，本發(fā)明涉及的測試盤旋轉(zhuǎn)裝置I還可以包括升降單元8 (在圖15中示出)，該升降單元8用于升降所述支撐機(jī)構(gòu)2。
[0098]所述升降單元8可以結(jié)合在所述本體10上。所述基座機(jī)構(gòu)3可以與所述升降單元8結(jié)合。由此，所述升降單元8通過升降所述基座機(jī)構(gòu)3來能夠升降所述支撐機(jī)構(gòu)2。隨著所述升降單元8升降所述基座機(jī)構(gòu)3，所述支撐機(jī)構(gòu)2、所述旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)4以及所述移送機(jī)構(gòu)5可以一起升降。[0099]所述升降單元8可以通過利用液壓缸或氣缸的缸體式、利用電機(jī)和滾珠螺桿等的滾珠螺桿式、利用電機(jī)和齒條和小齒輪等的齒輪式、利用電機(jī)和皮帶輪和傳送帶等的帶式、利用線圈和永久磁體等的直線電動機(jī)等來升降所述基座機(jī)構(gòu)3。當(dāng)所述升降單元8利用缸體式升降所述基座機(jī)構(gòu)3時，所述基座機(jī)構(gòu)3可以與缸體桿結(jié)合，并隨著缸體桿移動而進(jìn)行升降。雖然未圖示，所述升降單元8也可以直接與所述支撐結(jié)構(gòu)2結(jié)合，從而升降所述支撐機(jī)構(gòu)2。
[0100]在此，所述第一傳送機(jī)構(gòu)131 (在圖17中示出)和所述第二傳送機(jī)構(gòu)132 (在圖17中示出)可以分別包括用于搬運(yùn)測試盤200的多個傳送機(jī)130a (在圖17中示出)。
[0101]所述第一傳送機(jī)構(gòu)131可以包括多個傳送機(jī)130a，該多個傳送機(jī)130a沿所述垂直方向(Z軸方向)相互隔著間隔形成。由此，所述第一傳送機(jī)構(gòu)131可以沿著向所述垂直方向(Z軸方向)形成的多個搬運(yùn)路徑單獨(dú)搬運(yùn)多個測試盤200。例如，所述第一傳送機(jī)構(gòu)131可以包括沿著第一搬運(yùn)路徑Pl (在圖17中示出)搬運(yùn)測試盤200的傳送機(jī)130a以及沿著所述第二搬運(yùn)路徑P2(在圖17中示出)搬運(yùn)測試盤200的傳送機(jī)130a。所述第二搬運(yùn)路徑P2相對于所述第一搬運(yùn)路徑Pl形成在下側(cè)方向(E箭頭方向)。此時，所述第一傳送機(jī)構(gòu)131可以以如下方式動作，即使形成所述第一搬運(yùn)路徑Pl的傳送機(jī)130a停止搬運(yùn)測試盤200的狀態(tài)下，形成所述第二搬運(yùn)路徑P2的傳送機(jī)130a也能夠搬運(yùn)測試盤200。
[0102]所述第二傳送機(jī)構(gòu)132可以包括多個傳送機(jī)130a，該多個傳送機(jī)130a沿所述垂直方向(Z軸方向)相互隔著間隔形成。由此，所述第二傳送機(jī)構(gòu)132沿著向所述垂直方向(Z軸方向)形成的多個搬運(yùn)路徑單獨(dú)搬運(yùn)多個測試盤200。例如，所述第二傳送機(jī)構(gòu)132可以包括沿著第一搬運(yùn)路徑Pl搬運(yùn)測試盤200的傳送機(jī)130a以及沿著所述第二搬運(yùn)路徑P2搬運(yùn)測試盤200的傳送機(jī)130a。此時，所述第二傳送機(jī)構(gòu)132可以以如下方式動作，即使形成所述第一搬運(yùn)路徑Pl的傳送機(jī)130a停止搬運(yùn)測試盤200的狀態(tài)下，形成所述第二搬運(yùn)路徑P2的傳送機(jī)130a也能夠搬運(yùn)測試盤200。
[0103]為了在所述支撐機(jī)構(gòu)2和所述傳送單元130 (在圖4中示出)之間調(diào)節(jié)移送測試盤200的高度，所述升降單元8可以升降所述支撐機(jī)構(gòu)2。此時，所述升降單元8通過升降所述基座機(jī)構(gòu)3，從而能夠升降所述支撐機(jī)構(gòu)2。由此，本發(fā)明涉及的測試盤旋轉(zhuǎn)裝置1，能夠變更在所述第一傳送機(jī)構(gòu)131和所述第二傳送機(jī)構(gòu)132之間搬運(yùn)的測試盤200的搬運(yùn)路徑。
[0104]例如，如圖17所示，在所述第一傳送機(jī)構(gòu)131上沿著所述第一搬運(yùn)路徑Pl搬運(yùn)的的測試盤200，可以移送至位于對應(yīng)所述第一搬運(yùn)路徑Pl的高度的支撐機(jī)構(gòu)2上。此時，所述升降單元8已使所述基座機(jī)構(gòu)3上升，以便所述支撐機(jī)構(gòu)2位于對應(yīng)所述第一搬運(yùn)路徑Pl的高度。測試盤200從形成所述第一搬運(yùn)路徑Pl的第一傳送機(jī)構(gòu)131的傳送機(jī)131a移送至位于對應(yīng)所述第一搬運(yùn)路徑Pl的高度的支撐機(jī)構(gòu)2上，從而被所述支撐機(jī)構(gòu)2的引導(dǎo)構(gòu)件22支撐。
[0105]若測試盤200被所述支撐機(jī)構(gòu)2支撐，則所述升降單元8可以通過升降所述基座機(jī)構(gòu)3來調(diào)節(jié)被所述支撐機(jī)構(gòu)2支撐的測試盤200的高度。例如，如圖18所示，所述升降單元8能夠下降所述基座機(jī)構(gòu)3，以便所述支撐機(jī)構(gòu)2位于對應(yīng)所述第二搬運(yùn)路徑P2的高度。由此，被所述支持機(jī)構(gòu)2支撐的測試盤200能夠下降至對應(yīng)所述第二搬運(yùn)路徑P2的高度。測試盤200可以從位于對應(yīng)所述第二搬運(yùn)路徑P2高度的支撐機(jī)構(gòu)2移送至形成所述第二搬運(yùn)路徑P2的第二傳送機(jī)構(gòu)132的傳送機(jī)130a上。由此，本發(fā)明涉及的測試盤旋轉(zhuǎn)裝置1，能夠?qū)乃龅谝粋魉蜋C(jī)構(gòu)131移送至所述第二傳送機(jī)構(gòu)132的測試盤200的搬運(yùn)路徑，從所述第一搬運(yùn)路徑Pl變更為所述第二搬運(yùn)路徑P2。
[0106]雖然未圖示，本發(fā)明涉及的測試盤旋轉(zhuǎn)裝置1，也可以將從所述第一傳送機(jī)構(gòu)131移送至所述第二傳送機(jī)構(gòu)132的測試盤200的搬運(yùn)路徑，從所述第二搬運(yùn)路徑P2變更為所述第一搬運(yùn)路徑P1。本發(fā)明涉及的測試盤旋轉(zhuǎn)裝置1，也可以將從所述第二傳送機(jī)構(gòu)132移送至所述第一傳送機(jī)構(gòu)131的測試盤200的搬運(yùn)路徑，在所述第一搬運(yùn)路徑Pl和所述第二搬運(yùn)路徑P2之間進(jìn)行變更。本發(fā)明涉及的測試盤旋轉(zhuǎn)裝置1，也可以以如下方式動作，在所述第一傳送機(jī)構(gòu)131和所述第二傳送機(jī)構(gòu)132之間移送的測試盤200的搬運(yùn)路徑不變更，而測試盤200保持搬運(yùn)路徑的狀態(tài)下在所述第一傳送機(jī)構(gòu)131和所述第二傳送機(jī)構(gòu)132之間移送。
[0107]以下參照附圖對本發(fā)明涉及的直列式測試分選機(jī)的優(yōu)選實(shí)施例進(jìn)行詳細(xì)說明。
[0108]參照圖4以及圖19，本發(fā)明涉及的直列式測試分選機(jī)100包括所述多個腔室單元110、所述分揀單元120、所述傳送單元130以及所述旋轉(zhuǎn)裝置I。由于所述旋轉(zhuǎn)裝置I與上述說明的本發(fā)明涉及的測試盤旋轉(zhuǎn)裝置I相同，因此省略對其的詳細(xì)說明。
[0109]所述分揀單元120用于進(jìn)行所述裝載過程以及所述卸載過程。所述多個腔室單元110分別進(jìn)行所述測試過程。所述腔室單元110沿著所述傳送單元130設(shè)置多個。所述傳送單元130將相互隔著間隔設(shè)置的分揀單元120和所述腔室單元110以直列式連接。由此，本發(fā)明涉及的直列式測試分選機(jī)100，可相對于所述分揀單元120進(jìn)行所述裝載過程以及所述卸載過程，所述多個腔室單元100分別獨(dú)立進(jìn)行測試過程。因此，本發(fā)明涉及的直列式測試分選機(jī)100可以達(dá)到如下的作用效果。
[0110]第一，本發(fā)明涉及的直列式測試分選機(jī)100，即使所述多個腔室單元110以及所述分揀單元120中的任一個發(fā)生故障，也能夠使正常動作的其余裝置繼續(xù)進(jìn)行作業(yè)。由此，本發(fā)明涉及的直列式測試分選機(jī)100，即使所述多個腔室單元110以及所述分揀單元120中的任一個發(fā)生故障，也能夠防止整個系統(tǒng)停止，從而能夠防止作業(yè)時間損失。
[0111]第二，本發(fā)明涉及的直列式測試分選機(jī)100，可以根據(jù)分別進(jìn)行所述裝載過程、所述卸載過程以及所述測試過程所需的時間，使所述傳送單元130有效地分配測試盤200。因此，本發(fā)明涉及的直列式測試分選機(jī)100，能夠提高設(shè)備可動率。此外，本發(fā)明涉及的直列式測試分選機(jī)100，可以利用所述旋轉(zhuǎn)裝置I使收容在測試盤200上的半導(dǎo)體元件在所述多個腔室單元110中彼此以相同的配置進(jìn)行測試，因此，與所述多個腔室單元110的設(shè)置方向無關(guān)地，可以根據(jù)所述裝載過程、所述卸載過程以及所述測試過程所需的時間，使所述傳送單元130有效地分配測試盤200。因此，本發(fā)明涉及的直列式測試分選機(jī)100，能夠進(jìn)一步提高設(shè)備可動率。
[0112]第三，本發(fā)明涉及的直列式測試分選機(jī)100，可以利用所述旋轉(zhuǎn)裝置I使收容在測試盤200上的半導(dǎo)體元件在所述多個腔室單元110中彼此以相同的配置進(jìn)行測試，從而能夠消除所述多個腔室單元110均以相同方向進(jìn)行配置的限制。因此，本發(fā)明涉及的直列式測試分選機(jī)100，能夠提高配置所述多個腔室單元110作業(yè)的便捷性和自由度。此外，本發(fā)明涉及的直列式測試分選機(jī)100，能夠?qū)崿F(xiàn)使在所述分揀單元120和所述多個腔室單元110之間搬運(yùn)測試盤200的移動路徑最小化地配置。[0113]第四，本發(fā)明涉及的直列式測試分選機(jī)100，增加或除去所述腔室單元110以擴(kuò)張或縮小生產(chǎn)線時，與所述腔室單元110的方向無關(guān)地，能夠自由地進(jìn)行再配置，從而能夠提高擴(kuò)張或縮小生產(chǎn)線作業(yè)的便捷性。
[0114]第五，本發(fā)明涉及的直列式測試分選機(jī)100，由于所述分揀單元120以及所述多個腔室單元Iio以單獨(dú)的裝置構(gòu)成，因此，能夠減少設(shè)置在所述分揀單元120中的機(jī)構(gòu)以及裝置的數(shù)量。由此，本發(fā)明涉及的直列式測試分選機(jī)100，能夠減少所述分揀單元120的堵塞率(Jam rate)。因此，本發(fā)明涉及的直列式測試分選機(jī)100，能夠減少因所述分揀單元120發(fā)生堵塞而所述分揀單元120停止的時間，從而能夠增加所述分揀單元120的可動時間。
[0115]以下，參照附圖詳細(xì)說明所述腔室單元110、所述分揀單元120以及所述傳送單元130。
[0116]參照圖19和圖20，所述腔室單元110進(jìn)行所述測試過程。所述腔室單元110通過使收容在測試盤200上的半導(dǎo)體元件與測試設(shè)備400 (在圖20中示出)接合，從而能夠進(jìn)行所述測試過程。所述測試設(shè)備400，隨著半導(dǎo)體元件接合進(jìn)而與半導(dǎo)體元件電連接，從而對半導(dǎo)體元件進(jìn)行測試。測試盤200可以收容多個半導(dǎo)體元件。此時，所述腔室單元110可以使多個半導(dǎo)體元件與所述測試設(shè)備400接合，從而所述測試設(shè)備400可以對多個半導(dǎo)體元件進(jìn)行測試。所述測試設(shè)備400可以包括高精度定位板(H1-Fix Board)。
[0117]所述腔室單元110包括用于進(jìn)行所述測試過程的第一腔室IlOa(在圖20中示出)。在所述第一腔室IlOa設(shè)置有所述測試裝置400。若收容在測試盤200上的半導(dǎo)體元件與所述測試插口接合，則所述測試裝置400能夠?qū)εc所述測試插口接合的半導(dǎo)體元件進(jìn)行測試。
[0118]所述腔室單元110包括接觸單元IlOb (在圖20中示出)，用于使測試盤200與所述測試裝置400接合。所述接觸單元IlOb設(shè)置在所述第一腔室IlOa中。所述接觸單元IlOb用于使收容在測試盤200上的半導(dǎo)體元件與所述測試設(shè)備400接合。
[0119]參照圖19至圖22，所述腔室單元110還包括第二腔室IlOc和第三腔室110d。
[0120]所述第二腔室IlOc將收容在測試盤200上的半導(dǎo)體元件調(diào)節(jié)成第一溫度。位于所述第二腔室IlOc中的測試盤200上收容有通過所述分揀單元120待測試的半導(dǎo)體元件。位于所述第二腔室IlOc中的測試盤200是通過所述傳送單元130 (在圖19中示出)搬運(yùn)至所述腔室單元110側(cè)后被移送至所述第二腔室IlOc的。所述第一溫度為，待測試的半導(dǎo)體元件通過所述測試設(shè)備400進(jìn)行測試時，待測試的半導(dǎo)體元件所具有的溫度范圍。所述第二腔室IlOc包括電加熱器和液氮噴射系統(tǒng)中的至少一個，以便能夠?qū)⒋郎y試的半導(dǎo)體兀件調(diào)節(jié)成所述第一溫度。若待測試的半導(dǎo)體元件被調(diào)節(jié)成所述第一溫度，則測試盤200從所述第二腔室IlOc移送至所述第一腔室110c。
[0121]所述第三腔室IlOd將收容在測試盤200上的半導(dǎo)體元件調(diào)節(jié)成第二溫度。位于所述第三腔室IlOd中的測試盤200上收納有通過測試過程完成測試的半導(dǎo)體元件。位于所述第三腔室IlOd中的測試盤200是從所述第一腔室IlOa移送的。所述第二溫度是包含常溫或接近常溫的溫度的溫度范圍。所述第三腔室IlOd包括電加熱器和液氮噴射系統(tǒng)中的至少一個，以便將測試后的半導(dǎo)體元件調(diào)節(jié)成第二溫度。若測試后的半導(dǎo)體元件被調(diào)節(jié)成所述第二溫度，則測試盤200被移送至所述傳送單元130。
[0122]雖然未圖示，所述腔室單元110可以包括移送單元(未圖示)，該移送單元用于移送測試盤200。所述移送單元可以推移測試盤200。所述移送單元也可以拽移測試盤200。所述移送單元可以將收容有待測試的半導(dǎo)體元件的測試盤200從所述第二腔室IlOc移送至所述第一腔室110a。所述移送單元可以將收容有測試后的半導(dǎo)體元件的測試盤200從所述第一腔室IlOa移送至所述第三腔室110d。所述移送單元可以通過利用液壓缸或氣缸的缸體式、利用電機(jī)和滾珠螺桿等的滾珠螺桿式、利用電機(jī)和齒條和小齒輪等的齒輪式、利用電機(jī)和皮帶輪和傳送帶等的帶式、利用線圈和永久磁體等的直線電動機(jī)等來移送測試盤200。
[0123]如圖21所示，在所述腔室單元110中，可以水平方向并排設(shè)置所述第二腔室110c、所述第一腔室IlOa以及所述第三腔室110d。此時，所述腔室單元110可以包括多個第一腔室110a。所述第一腔室IlOa可以上下層疊設(shè)置多個。
[0124]如圖22所示，在所述腔室單元110中，也可以垂直方向?qū)盈B設(shè)置所述第二腔室110c、所述第一腔室IlOa以及所述第三腔室110d。即，所述第二腔室110c、所述第一腔室IlOa以及所述第三腔室IlOd可以上下層疊設(shè)置。所述第二腔室IlOc可以設(shè)置成位于所述第一腔室IlOa的上側(cè)，所述第三腔室IlOd可以設(shè)置成位于所述第一腔室IlOa的下側(cè)。
[0125]參照圖19至圖22，所述腔室單元110可以包括旋轉(zhuǎn)體IlOe (在圖21中示出)，該旋轉(zhuǎn)體IlOe用于使測試盤200在水平狀態(tài)和垂直狀態(tài)之間旋轉(zhuǎn)。
[0126]所述旋轉(zhuǎn)體IlOe設(shè)置在所述腔室單元110。所述旋轉(zhuǎn)體IlOe可以使收容有待測試的半導(dǎo)體元件的測試盤200從水平狀態(tài)旋轉(zhuǎn)為垂直狀態(tài)。由此，所述第一腔室IlOa可以對以垂直狀態(tài)直立的測試盤200進(jìn)行所述測試過程。此外，所述分揀單元120可以對以水平狀態(tài)平放的測試盤200進(jìn)行所述裝載過程。所述旋轉(zhuǎn)體IlOe可以將收容有測試后的半導(dǎo)體元件的測試盤200從垂直狀態(tài)旋轉(zhuǎn)為水平狀態(tài)。由此，所述分揀單元120可以對以水平狀態(tài)平放的測試盤200進(jìn)行所述卸載過程。
[0127]如圖21和圖22所示，所述腔室單元110可以包括一個旋轉(zhuǎn)體IlOe。此時，所述旋轉(zhuǎn)體IlOe可以設(shè)置在所述第二腔室IlOc和所述第三腔室IlOd之間。收容有待測試的半導(dǎo)體元件的測試盤200可以通過所述旋轉(zhuǎn)體I IOe旋轉(zhuǎn)為垂直狀態(tài)之后，通過所述移送單元從所述旋轉(zhuǎn)體IlOe移送至所述第二腔室110c。收容有測試后的半導(dǎo)體元件的測試盤200可以通過所述移送單元從所述第三腔室IlOd移送至所述旋轉(zhuǎn)體IlOe之后，通過所述旋轉(zhuǎn)體IlOe旋轉(zhuǎn)為水平狀態(tài)。
[0128]雖然未圖示，所述腔室單元也可以包括:第一旋轉(zhuǎn)體，用于旋轉(zhuǎn)收容有待測試的半導(dǎo)體元件的測試盤200 ;以及第二旋轉(zhuǎn)體，用于旋轉(zhuǎn)收容有測試后的半導(dǎo)體元件的測試盤200。所述第一旋轉(zhuǎn)體可以設(shè)置成位于所述第二腔室IlOc內(nèi)部或所述第二腔室IlOc外部。所述第二旋轉(zhuǎn)體可以設(shè)置成位于所述第三腔室IlOd內(nèi)部或所述第三腔室IlOd外部。
[0129]雖然未圖示，所述腔室單元110也可以在沒有所述旋轉(zhuǎn)體IlOe的狀態(tài)下對水平狀態(tài)的測試盤200進(jìn)行測試過程。此時，測試盤200以水平狀態(tài)在所述第二腔室110c、所述第一腔室IlOa以及所述第三腔室IlOc之間移送的同時進(jìn)行所述測試過程。
[0130]參照圖3、圖4、圖19，所述移送單元可以向所述腔室單元110移送被所述傳送單元130支撐的測試盤200。所述移送單元可以向所述第一腔室IlOa移送被所述傳送單元130支撐的測試盤200。當(dāng)所述腔室單元110包括所述第二腔室IlOc時，所述移送單元可以將被所述傳送單元130支撐的測試盤200經(jīng)由所述第二腔室I IOc移送至所述第一腔室110a。
[0131]所述移送單元可以將完成所述測試過程的測試盤200移送至所述傳送單元130。所述移送單元可以將完成所述測試過程的測試盤200從所述第一腔室IlOa移送至所述傳送單元130。當(dāng)所述腔室單元110包括所述第三腔室IlOd時，所述移送單元可以將完成所述測試過程的測試盤200從所述第一腔室IlOa經(jīng)由所述第三腔室IlOd移送至所述傳送單元 130。
[0132]參照圖3、圖4以及圖19，所述腔室單元110沿著所述傳送單元130設(shè)置多個。本發(fā)明涉及的直列式測試分選機(jī)I可以包括朝向相互不同方向設(shè)置的所述第一腔室單元111和所述第二腔室單元112。
[0133]所述第一腔室單元111通過所述第一傳送機(jī)構(gòu)131以與所述分揀單元120直列式連接。所述第一腔室單元111所具有的移送單元，可以將被所述第一傳送機(jī)構(gòu)131支撐的測試盤200移送至所述第一腔室IlOa (在圖20中示出)。所述第一腔室單元111所具有的移送單元，也可以將被所述第一傳送機(jī)構(gòu)131支撐的測試盤200經(jīng)由所述第二腔室IlOc (在圖20中示出)移送至所述第一腔室IlOa (在圖20中示出)。
[0134]所述第一腔室單元111所具有的移送單元，可以將完成所述測試過程的測試盤200移送至所述第一傳送機(jī)構(gòu)131。所述第一腔室單元111所具有的移送單元，可以將完成所述測試過程的測試盤200從所述第一腔室IlOa (在圖20中示出)移送至所述第一傳送機(jī)構(gòu)131。所述第一腔室單元111所具有的移送單元，也可以將完成所述測試過程的測試盤200從所述第一腔室IlOa (在圖20中示出)經(jīng)由所述第三腔室IlOd (在圖20中示出)移送至所述第一傳送機(jī)構(gòu)131。
[0135]本發(fā)明涉及的直列式測試分選機(jī)I也可以包括多個所述第一腔室單元111。此時，所述多個第一腔室單元111可以沿著所述第一傳送機(jī)構(gòu)131向第一軸方向(X軸方向)相互隔著間隔設(shè)置。
[0136]參照圖3、圖4以及圖19，所述第二腔室單元112通過所述第二傳送機(jī)構(gòu)132以與所述分揀單元120直列式連接。所述第二腔室單元112所具有的移送單元，可以將被所述第二傳送機(jī)構(gòu)132支撐的測試盤200移送至所述第一腔室IlOa (在圖20中示出)。所述第二腔室單元112所具有的移送單元，也可以將被所述第二傳送機(jī)構(gòu)132支撐的測試盤200經(jīng)由所述第二腔室IlOc (在圖20中示出)移送至所述第一腔室IlOa (在圖20中示出)。
[0137]所述第二腔室單元112所具有的移送單元，可以將完成所述測試過程的測試盤200移送至所述第二傳送機(jī)構(gòu)132。所述第二腔室單元112所具有的移送單元，可以將完成所述測試過程的測試盤200從所述第一腔室IlOa (在圖20中示出)移送至所述第二傳送機(jī)構(gòu)132。所述第二腔室單元112所具有的移送單元，也可以將完成所述測試過程的測試盤200從所述第一腔室IlOa (在圖20中示出)經(jīng)由所述第三腔室IlOd (在圖20中示出)移送至所述第二傳送機(jī)構(gòu)132。
[0138]本發(fā)明涉及的直列式測試分選機(jī)I也可以包括多個所述第二腔室單元112。此時，所述第二腔室單元112可以沿著所述第二傳送機(jī)構(gòu)132朝所述第一軸方向(X軸方向)相互隔著間隔設(shè)置。所述多個第二腔室單元112以及所述多個第一腔室單元111可以朝垂直于所述第一軸方向(X軸方向)的第二軸方向(Y軸方向)相互隔著間隔設(shè)置。此時，所述第一傳送機(jī)構(gòu)131和所述第二傳送機(jī)構(gòu)132可以朝所述第二軸方向(Y軸方向)相互隔著間隔設(shè)置。所述旋轉(zhuǎn)裝置I可以設(shè)置在所述第一傳送機(jī)構(gòu)131和所述第二傳送機(jī)構(gòu)132之間，以便以直列式連接所述第一傳送機(jī)構(gòu)131和所述第二傳送機(jī)構(gòu)132。[0139]所述第二腔室單元112和所述第一腔室單元111可以在相互不同的溫度環(huán)境下測試半導(dǎo)體元件。例如，所述第一腔室單元111可以在高溫環(huán)境下測試半導(dǎo)體元件，所述第二腔室單元112可以在低溫環(huán)境下測試半導(dǎo)體元件。此時，所述傳送單元130可以將測試盤200搬運(yùn)至所述第一腔室單元111側(cè)，以使半導(dǎo)體元件首先在高溫環(huán)境下進(jìn)行測試，之后，若從所述第一腔室單元111排出完成測試過程的測試盤200，則搬運(yùn)至所述第二腔室單元112偵彳，以使半導(dǎo)體元件在低溫環(huán)境下進(jìn)行測試。所述傳送單元130也可以將測試盤200搬運(yùn)至所述第二腔室單元112側(cè)，以使半導(dǎo)體元件首先在低溫環(huán)境下進(jìn)行測試，之后，若從所述第二腔室單元112排出完成測試過程的測試盤200，則搬運(yùn)至所述第一腔室單元111偵牝以使半導(dǎo)體元件在高溫環(huán)境下進(jìn)行測試。在此過程中，所述旋轉(zhuǎn)裝置I可以旋轉(zhuǎn)在所述第一腔室單元111和所述第二腔室單元112之間搬運(yùn)的測試盤200，使得收容在測試盤200上的半導(dǎo)體元件在所述第一腔室單元111和所述第二腔室單元112中以相同的配置進(jìn)行測試。
[0140]參照圖3、圖4、圖19以及圖23，所述分揀單元120進(jìn)行所述裝載過程和所述卸載過程。所述分揀單元120與所述腔室單元110隔開設(shè)置。所述分揀單元120可以包括裝載單元121 (在圖23中示出)，該裝載單元121用于進(jìn)行所述裝載過程。
[0141]所述裝載單元121將待測試的半導(dǎo)體元件從用戶盤移送至測試盤200。所述裝載單元121可以包括裝載堆疊器1211 (在圖23中示出)以及裝載揀選器1212 (在圖23中示出)。
[0142]所述裝載堆疊器1211用于支撐用戶盤。被所述裝載堆疊器1211支撐的用戶盤上收容有待測試的半導(dǎo)體元件。所述裝載堆疊器1211可以儲存多個收容有待測試的半導(dǎo)體元件的用戶盤。用戶盤可以以上下層疊的方式儲存在所述裝載堆疊器1211上。
[0143]所述裝載揀選器1212可以從位于所述裝載堆疊器1211上的用戶盤揀選待測試的半導(dǎo)體元件，以收容在測試盤200上。待測試的半導(dǎo)體元件被收容在測試盤200上時，測試盤200可以位于裝載位置121a上(在圖23中示出)。所述裝載揀選器1212可以沿所述第一軸方向(X軸方向)和所述第二軸方向(Y軸方向)移動的同時移送待測試的半導(dǎo)體元件。所述裝載揀選器1212也可以進(jìn)行升降。
[0144]所述裝載單元121還可以包括裝載緩沖器1213 (在圖23中示出)，該裝載緩沖器1213用于臨時收容待測試的半導(dǎo)體元件。此時，所述裝載揀選器1212可以從用戶盤揀選待測試的半導(dǎo)體元件后，將揀選的半導(dǎo)體元件經(jīng)由所述裝載緩沖器1213收容到位于所述裝載位置121a的測試盤200上。所述裝載揀選器1212也可以包括:第一裝載揀選器1212a(在圖23中示出)，用于將待測試的半導(dǎo)體元件從用戶盤移送至所述裝載緩沖器1213 ;以及第二裝載揀選器1212b (在圖23中示出)，用于將待測試的半導(dǎo)體元件從所述裝載緩沖器1213移送至測試盤200。
[0145]雖然未圖示，所述裝載單元121可以包括裝載移送單元，該裝載移送單元用于移送所述測試盤200。所述裝載移送單元可以推移測試盤200。所述裝載移送單元也可以拽移測試盤200。所述裝載移送單元可以將完成所述裝載過程的測試盤200從所述裝載位置121a移送至所述傳送單元130。所述裝載移送單元也可以將空置的測試盤200從所述傳送單元130移送至所述裝載位置121a。所述裝載移送單元可以通過利用液壓缸或氣缸的缸體式、利用電機(jī)和滾珠螺桿等的滾珠螺桿式、利用電機(jī)和齒條和小齒輪等的齒輪式、利用電機(jī)和皮帶輪和傳送帶等的帶式、利用線圈和永久磁體等的直線電動機(jī)等來移送測試盤200。
[0146]參照圖3、圖4、圖19以及圖23，所述分揀單元120可以包括卸載單元122 (在圖23中示出)，該卸載單元122用于進(jìn)行所述卸載過程。
[0147]所述卸載單元122將測試后的半導(dǎo)體元件從測試盤200分離以移送至用戶盤。所述卸載單元122可以包括卸載堆疊器1221 (在圖23中示出)以及卸載揀選器1222 (在圖23中示出)。
[0148]所述卸載堆疊器1221用于支撐用戶盤。被所述卸載堆疊器1221支撐的用戶盤上收容有測試后的半導(dǎo)體元件。所述卸載堆疊器1221可以儲存多個收容有測試后的半導(dǎo)體元件的用戶盤。用戶盤可以以上下層疊的方式儲存在所述卸載堆疊器1221上。
[0149]所述卸載揀選器1222可以從測試盤200揀選測試后的半導(dǎo)體元件，以收容在位于所述卸載堆疊器1221上的用戶盤上。從測試盤200揀選測試后的半導(dǎo)體元件時，測試盤200可以位于卸載位置122a (在圖23中示出)。所述卸載揀選器1222可以根據(jù)測試結(jié)果，將測試后的半導(dǎo)體元件按等級收容在對應(yīng)其等級的用戶盤上。所述卸載揀選器1222可以沿所述第一軸方向(X軸方向)和所述第二軸方向(Y軸方向)移動的同時移送測試后的半導(dǎo)體元件。所述卸載揀選器1222也可以進(jìn)行升降。若隨著所述卸載單元122從測試盤200分離所有測試后的半導(dǎo)體元件而測試盤200變空，則所述分揀單元120可以將空置的測試盤200從所述卸載單元122移送至所述裝載單元121。
[0150]所述卸載單元122還可以包括卸載緩沖器1223 (在圖23中示出)，該卸載緩沖器1223用于臨時收容已完成測試的半導(dǎo)體元件。此時，所述卸載揀選器1222可以從位于所述卸載位置122a的測試盤200揀選已完成測試的半導(dǎo)體元件后，將揀選的半導(dǎo)體元件經(jīng)由所述卸載緩沖器1223收容于所述用戶盤。所述卸載揀選器1222也可以包括:第一卸載揀選器1223a (在圖23中示出)，用于將已完成測試的半導(dǎo)體元件從測試盤200移送至所述卸載緩沖器1223 ;以及第二卸載揀選器1223b (在圖23中示出)，用于將已完成測試的半導(dǎo)體元件從所述卸載緩沖器1223移送至用戶盤。
[0151]雖然未圖示，所述卸載單元122可以包括卸載移送單元，該卸載移送單元用于移送所述測試盤200。所述卸載移送單元可以推移測試盤200。所述卸載移送單元也可以拽移測試盤200。所述卸載移送單元可以將完成所述測試過程的測試盤200從所述傳送單元130移送至所述卸載位置122a。所述卸載移送單元可以將隨著所述卸載過程結(jié)束而變空的測試盤200從所述卸載位置122a移送至所述傳送單元130。所述卸載移送單元也可以將隨著所述卸載過程結(jié)束而變空的測試盤200從所述卸載位置122a移送至所述裝載位置121a。所述卸載移送單元可以通過利用液壓缸或氣缸的缸體式、利用電機(jī)和滾珠螺桿等的滾珠螺桿式、利用電機(jī)和齒條和小齒輪等的齒輪式、利用電機(jī)和皮帶輪和傳送帶等的帶式、利用線圈和永久磁體等的直線電動機(jī)等來移送測試盤200。
[0152]雖然未圖示，本發(fā)明涉及的直列式測試分選機(jī)I也可以包括多個所述分揀單元120。此時，所述分揀單元120可以沿著所述傳送單元130相互隔著間隔設(shè)置。根據(jù)本發(fā)明的變形實(shí)施例，在所述分揀單元120中，所述裝載單元121和所述卸載單元122也可以相互隔著間隔設(shè)置。由此，本發(fā)明涉及的直列式測試分選機(jī)1，可以實(shí)現(xiàn)相互獨(dú)立地進(jìn)行所述裝載過程和所述卸載過程。因此，本發(fā)明涉及的直列式測試分選機(jī)1，可以相互獨(dú)立地進(jìn)行所述裝載過程、所述卸載過程以及所述測試過程，從而能夠最大限度地減少各過程所需的工作時間彼此影響。所述裝載單元121和所述卸載單元122可以沿著所述傳送單元130相互
隔著間隔設(shè)置。
[0153]參照圖3、圖4以及圖19，所述傳送單元130搬運(yùn)測試盤200，使得測試盤200在所述分揀單元120和所述多個腔室單元110之間移送。所述傳送單元130搬運(yùn)測試盤200，使得從所述分揀單元120排出的測試盤200被供給所述腔室單元110。所述傳送單元130搬運(yùn)測試盤200，使得從所述腔室單元110排出的測試盤200被供給所述分揀單元120。因此，本發(fā)明涉及的直列式測試分選機(jī)1，可以通過所述傳送單元130，在相互隔著間隔設(shè)置的分揀單元120和多個腔室單元110之間循環(huán)移動測試盤200的同時，對收容在測試盤200上的半導(dǎo)體元件進(jìn)行所述裝載過程、所述測試過程以及所述卸載過程。
[0154]參照圖24，所述傳送單元130包括傳送機(jī)130a，該傳送機(jī)130a用于搬運(yùn)測試盤200。所述傳送機(jī)130a可以包括多個旋轉(zhuǎn)構(gòu)件130b，該多個旋轉(zhuǎn)構(gòu)件130b相互隔著規(guī)定間隔設(shè)置。所述傳送機(jī)130a使所述旋轉(zhuǎn)構(gòu)件130b以各自旋轉(zhuǎn)軸為中心旋轉(zhuǎn)。測試盤200可以以被所述旋轉(zhuǎn)構(gòu)件130b支撐的狀態(tài)，隨著所述旋轉(zhuǎn)構(gòu)件130b的旋轉(zhuǎn)而被搬運(yùn)。所述傳送機(jī)130a可以使所述旋轉(zhuǎn)構(gòu)件130b以各自旋轉(zhuǎn)軸為中心向順時針方向或逆時針方向旋轉(zhuǎn)。由此，所述傳送機(jī)130a調(diào)節(jié)所述旋轉(zhuǎn)構(gòu)件130b的旋轉(zhuǎn)方向，從而能夠調(diào)節(jié)搬運(yùn)測試盤200的方向。所述旋轉(zhuǎn)構(gòu)件130b分別可以以圓筒形狀形成。
[0155]雖然未圖示，所述傳送機(jī)130a可以包括動力源，該動力源用于使所述旋轉(zhuǎn)構(gòu)件130b以各自旋轉(zhuǎn)軸為中心旋轉(zhuǎn)。所述動力源可以是電機(jī)。所述傳送機(jī)130a也可以包括連接單元，該連接單元用于連接所述動力源和所述旋轉(zhuǎn)構(gòu)件130b各自的旋轉(zhuǎn)軸。所述連接單元可以是皮帶輪以及傳送帶。所述傳送機(jī)130a還可以包括循環(huán)構(gòu)件(未圖示)，該循環(huán)構(gòu)件以包圍旋轉(zhuǎn)構(gòu)件130b的方式結(jié)合。測試盤200被所述循環(huán)構(gòu)件支撐。所述循環(huán)構(gòu)件可以隨著位于內(nèi)部的旋轉(zhuǎn)構(gòu)件130b以各自旋轉(zhuǎn)軸為中心旋轉(zhuǎn)而進(jìn)行循環(huán)移動，從而搬運(yùn)測試盤 200。
[0156]所述傳送機(jī)130a包括設(shè)置機(jī)構(gòu)130c，該設(shè)置機(jī)構(gòu)130c用于支撐所述多個旋轉(zhuǎn)構(gòu)件130b。所述設(shè)置機(jī)構(gòu)130c支撐所述多個旋轉(zhuǎn)構(gòu)件130b，使得被所述多個旋轉(zhuǎn)構(gòu)件130b支撐的測試盤200位于規(guī)定高度。所述設(shè)置機(jī)構(gòu)130c支撐所述多個旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)130b，使得被所述多個旋轉(zhuǎn)構(gòu)件130b支撐的測試盤200位于能夠移送至所述多個腔室單元110 (在圖4中示出)以及所述分揀單元120 (在圖4中示出)的高度。所述設(shè)置機(jī)構(gòu)130c支撐所述旋轉(zhuǎn)構(gòu)件130b，使得從所述多個腔室單元110 (在圖4中示出)以及所述分揀單元120 (在圖4中示出)排出的測試盤200位于能夠移送至所述多個旋轉(zhuǎn)構(gòu)件130b的高度。
[0157]所述傳送單元130可以包括多個所述傳送機(jī)130a。所述多個傳送機(jī)130a設(shè)置成相互鄰接。測試盤200隨著所述多個傳送機(jī)130a進(jìn)行搬運(yùn)，從而能夠在所述多個腔室單元110 (在圖4中示出)和所述分揀單元120 (在圖4中示出)之間移送。所述多個傳送機(jī)130a可以各自單獨(dú)動作的同時單獨(dú)地移動測試盤200。例如，在所述多個傳送機(jī)130a中至少一個被停止的狀態(tài)下，其他傳送機(jī)130a能夠動作，以便搬運(yùn)測試盤。所述第一傳送機(jī)構(gòu)131和所述第二傳送機(jī)構(gòu)132分別可以包括多個所述傳送機(jī)130a。
[0158]參照圖25，所述傳送單元130可以包括所述第一傳送機(jī)構(gòu)131和所述第二傳送機(jī)構(gòu) 132。
[0159]所述第一傳送機(jī)構(gòu)131以直列式連接所述分揀單元120和所述第一腔室單元111。所述第一傳送機(jī)構(gòu)131可以包括多個所述傳送機(jī)130a (在圖24中示出)。當(dāng)本發(fā)明涉及的直列式測試分選機(jī)100包括多個所述第一腔室單元111時，所述多個第一腔室單元111可以沿著所述第一傳送機(jī)構(gòu)131設(shè)置。所述旋轉(zhuǎn)裝置I的一側(cè)與所述第一傳送機(jī)構(gòu)131連接。由此，測試盤200可以在所述第一傳送機(jī)構(gòu)131和所述旋轉(zhuǎn)裝置I之間進(jìn)行搬運(yùn)。
[0160]雖然未圖示，所述第一傳送機(jī)構(gòu)131可以包括第一移送單元，該第一移送單元用于移送測試盤200。所述第一移送單元可以推移測試盤200或拽移測試盤200。所述第一移送單元可以將完成所述裝載過程的測試盤200移送至所述第一腔室單元111。所述第一移送單元可以將完成所述測試過程的測試盤200從所述第一腔室單元111搬出。通過所述第一移送單元和所述第一腔室單元111所具有的移送單元組合動作，測試盤200可以在所述第一腔室單元111和所述第一傳送機(jī)構(gòu)131之間進(jìn)行搬運(yùn)。
[0161]所述第一移送單元也可以將從所述第一腔室單元111搬出的測試盤200移送至所述旋轉(zhuǎn)裝置I。所述第一移送單元也可以將從所述第二腔室單元112搬出的測試盤200移送至所述旋轉(zhuǎn)裝置I。通過所述第一移送單元和所述旋轉(zhuǎn)裝置I的移送機(jī)構(gòu)5(在圖5中示出)組合動作，測試盤200可以在所述第一傳送機(jī)構(gòu)131和所述旋轉(zhuǎn)裝置I之間進(jìn)行搬運(yùn)。
[0162]所述第一移送單元可以通過利用液壓缸或氣缸的缸體式、利用電機(jī)和滾珠螺桿等的滾珠螺桿式、利用電機(jī)和齒條和小齒輪等的齒輪式、利用電機(jī)和皮帶輪和傳送帶等的帶式、利用線圈和永久磁體等的直線電動機(jī)等來移送測試盤200。
[0163]所述第二傳送機(jī)構(gòu)132以直列式連接所述分揀單元120和所述第二腔室單元112。所述第二傳送機(jī)構(gòu)132可以包括多個所述傳送機(jī)130a (在圖24中示出)。當(dāng)本發(fā)明涉及的直列式測試分選機(jī)100包括多個所述第二腔室單元112時，所述多個第二腔室單元112可以沿著所述第二傳送機(jī)構(gòu)132設(shè)置。所述第二傳送機(jī)構(gòu)132和所述第一傳送機(jī)構(gòu)131可以沿所述第二軸方向(Y軸方向)相互隔著間隔設(shè)置。所述旋轉(zhuǎn)裝置I的另一側(cè)與所述第二傳送機(jī)構(gòu)132連接。由此，測試盤200能夠在所述第二傳送機(jī)構(gòu)132和所述旋轉(zhuǎn)裝置I之間進(jìn)行搬運(yùn)。所述旋轉(zhuǎn)裝置I的一側(cè)可以與所述第一傳送機(jī)構(gòu)131連接，而另一側(cè)與所述第二傳送機(jī)構(gòu)132連接。由此，測試盤200能夠在所述第一傳送機(jī)構(gòu)131、所述旋轉(zhuǎn)裝置I和所述第二傳送機(jī)構(gòu)132之間進(jìn)行搬運(yùn)。
[0164]本發(fā)明涉及的直列式測試分選機(jī)100也可以包括多個所述旋轉(zhuǎn)裝置I。此時，所述多個旋轉(zhuǎn)裝置I可以沿著所述第一傳送機(jī)構(gòu)131和所述第二傳送機(jī)構(gòu)132設(shè)置，以使所述旋轉(zhuǎn)裝置I位于所述第一傳送機(jī)構(gòu)131和所述第二傳送機(jī)構(gòu)132之間。所述多個旋轉(zhuǎn)裝置I可以沿所述第一軸方向(X軸方向)相互隔著間隔設(shè)置。因此，本發(fā)明涉及的直列式測試分選機(jī)100，可以通過所述旋轉(zhuǎn)裝置1，以與所述多個腔室單元110的設(shè)置方向無關(guān)地，根據(jù)分別進(jìn)行所述裝載過程、所述卸載過程以及所述測試過程所需的時間，有效地分配測試盤200。由此，本發(fā)明涉及的直列式測試分選機(jī)100，能夠提高設(shè)備可動率，并且縮短完成半導(dǎo)體元件的裝載過程、測試過程、卸載過程以及分揀過程所需的時間。
[0165]雖然未圖示，所述第二傳送機(jī)構(gòu)132可以包括第二移送單元，該第二移送單元用于移送測試盤200。所述第二移送單元可以推移測試盤200或拽移測試盤200。所述第二移送單元可以將完成所述裝載過程的測試盤200移送至所述第二腔室單元112。所述第二移送單元可以將完成所述測試過程的測試盤200從所述第二腔室單元112搬出。通過所述第二移送單元和所述第二腔室單元112所具有的移送單元組合動作，測試盤200可以在所述第二腔室單元112和所述第二傳送機(jī)構(gòu)132之間進(jìn)行搬運(yùn)。
[0166]所述第二移送單元也可以將從所述第一腔室單元111搬出的測試盤200移送至所述旋轉(zhuǎn)裝置I。所述第二移送單元也可以將從第二腔室單元112搬出的測試盤200移送至所述旋轉(zhuǎn)裝置I。通過所述第二移送單元和所述旋轉(zhuǎn)裝置I的移送機(jī)構(gòu)5 (在圖5中示出)組合動作，測試盤200可以在所述第二傳送機(jī)構(gòu)132和所述旋轉(zhuǎn)裝置I之間進(jìn)行搬運(yùn)。
[0167]所述第二移送單元可以通過利用液壓缸或氣缸的缸體式、利用電機(jī)和滾珠螺桿等的滾珠螺桿式、利用電機(jī)和齒條和小齒輪等的齒輪式、利用電機(jī)和皮帶輪和傳送帶等的帶式、利用線圈和永久磁體等的直線電動機(jī)等來移送測試盤200。
[0168]參照圖17至圖19，所述第一傳送機(jī)構(gòu)131和所述第二傳送機(jī)構(gòu)132分別包括多個傳送機(jī)130a (在圖17中示出)，該多個傳送機(jī)130a沿所述垂直方向(Z軸方向)相互隔著間隔形成。
[0169]所述第一傳送機(jī)構(gòu)131可以沿著向所述垂直方向(Z軸方向)形成的多個搬運(yùn)路徑單獨(dú)搬運(yùn)多個測試盤200。例如，所述第一傳送機(jī)構(gòu)131可以包括沿著所述第一搬運(yùn)路徑Pl (在圖17中示出)搬運(yùn)測試盤200的傳送機(jī)130a以及沿著所述第二搬運(yùn)路徑P2 (在圖17中示出)搬運(yùn)測試盤200的傳送機(jī)130a。此時，形成所述第一搬運(yùn)路徑Pl的傳送機(jī)130a停止搬運(yùn)測試盤200的狀態(tài)下，所述第一傳送機(jī)構(gòu)131也能使形成所述第二搬運(yùn)路徑P2的傳送機(jī)130a搬運(yùn)測試盤200的動作。
[0170]所述第二傳送機(jī)構(gòu)132可以沿著向所述垂直方向(Z軸方向)形成的多個搬運(yùn)路徑單獨(dú)搬運(yùn)多個測試盤200。例如，所述第二傳送機(jī)構(gòu)132可以包括沿著所述第一搬運(yùn)路徑Pl搬運(yùn)測試盤200的傳送機(jī)130a以及沿著所述第二搬運(yùn)路徑P2搬運(yùn)測試盤200的傳送機(jī)130a。此時，形成所述第一搬運(yùn)路徑Pl的傳送機(jī)130a停止搬運(yùn)測試盤200的狀態(tài)下，所述第二傳送機(jī)構(gòu)132也能使形成所述第二搬運(yùn)路徑P2的傳送機(jī)130a搬運(yùn)測試盤200的動作。
[0171]本發(fā)明涉及的直列式測試分選裝置100，當(dāng)從所述傳送單元130向所述腔室單元110移送測試盤200，或從所述腔室單元110向所述傳送單元130移送測試盤200時，可以利用所述第一搬運(yùn)路徑Pl來移送測試盤200。本發(fā)明涉及的直列式測試分選裝置100，當(dāng)在所述第一搬運(yùn)路徑Pl上有待機(jī)的測試盤200時，可以利用所述第二搬運(yùn)路徑P2來搬運(yùn)測試盤200，以便其他測試盤200能夠避開所述待機(jī)測試盤200而移動。
[0172]本發(fā)明涉及的直列式測試分選裝置100，當(dāng)通過所述第一腔室單元111的測試盤200不經(jīng)由所述第二腔室單元112而直接移送至所述分揀單元120時，也可以利用所述第二搬運(yùn)路徑P2來移送該測試盤200。本發(fā)明涉及的直列式測試分選裝置100，當(dāng)通過所述第二腔室單元112的測試盤200不經(jīng)由所述第一腔室單元111而直接移送至所述分揀單元120時，也可以利用所述第二搬運(yùn)路徑P2來移送該測試盤200。此時，所述旋轉(zhuǎn)裝置I可以變更在所述第一傳送機(jī)構(gòu)131和所述第二傳送機(jī)構(gòu)132之間搬運(yùn)的測試盤200的搬運(yùn)路徑。
[0173]以上說明的本發(fā)明并非限定于上述的實(shí)施例以及附圖，對于本發(fā)明所屬【技術(shù)領(lǐng)域】的技術(shù)人員來說，在不脫離本發(fā)明的技術(shù)思想的范圍內(nèi)，可以進(jìn)行各種置換、變形以及變更。
【權(quán)利要求】
1.一種直列式測試分選機(jī)，其特征在于，包括: 第一腔室單元，用于執(zhí)行對半導(dǎo)體元件的測試過程； 第二腔室單元，朝向與所述第一腔室單元不同的方向，并且與所述第一腔室單元隔著間隔設(shè)置，用于執(zhí)行對半導(dǎo)體元件的測試過程； 分揀單元，分別與所述第一腔室單元和所述第二腔室單元隔著間隔設(shè)置，用于執(zhí)行將待測試的半導(dǎo)體元件收容在測試盤上的裝載過程和將測試后的半導(dǎo)體元件從測試盤分離的卸載過程； 傳送單元，搬運(yùn)測試盤，使得所述分揀單元、所述第一腔室單元以及所述第二腔室單元連接成直列；以及 旋轉(zhuǎn)裝置，旋轉(zhuǎn)測試盤，使得收容在測試盤上的半導(dǎo)體元件在所述第一腔室單元和所述第二腔室單元中以相同的配置進(jìn)行測試。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的直列式測試分選機(jī)，其特征在于， 所述第一腔室單元和所述第二腔室單元設(shè)置成朝向相反方向， 所述旋轉(zhuǎn)裝置旋轉(zhuǎn)測試盤，使得從所述第一腔室單元排出的測試盤旋轉(zhuǎn)180度后供給所述第二腔室單元。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的直列式測試分選機(jī)，其特征在于， 所述旋轉(zhuǎn)裝置使水平狀態(tài)的測試盤保持水平狀態(tài)的同時進(jìn)行旋轉(zhuǎn)。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的直列式測試分選機(jī)，其特征在于， 所述傳送單元包括:第一傳送機(jī)構(gòu)，用于搬運(yùn)測試盤，以使所述分揀單元和所述第一腔室單元連接成直列；以及第二傳送機(jī)構(gòu)，用于搬運(yùn)測試盤，以使所述分揀單元和所述第二腔室單元連接成直列， 所述旋轉(zhuǎn)裝置設(shè)置在所述第一傳送機(jī)構(gòu)和所述第二傳送機(jī)構(gòu)之間，以使所述第一傳送機(jī)構(gòu)和所述第二傳送機(jī)構(gòu)連接成直列。
5.根據(jù)權(quán)利要求1至4中任一項(xiàng)所述的直列式測試分選機(jī)，其特征在于， 所述旋轉(zhuǎn)裝置包括: 支撐機(jī)構(gòu)，用于支撐測試盤； 基座機(jī)構(gòu)，設(shè)置在所述支撐機(jī)構(gòu)的下側(cè)，可旋轉(zhuǎn)地結(jié)合有所述支撐機(jī)構(gòu)；以及旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)，設(shè)置在所述基座機(jī)構(gòu)上，以從所述基座機(jī)構(gòu)朝著面向所述支撐機(jī)構(gòu)的垂直方向形成的旋轉(zhuǎn)軸為中心旋轉(zhuǎn)所述支撐機(jī)構(gòu)，以便旋轉(zhuǎn)被所述支撐機(jī)構(gòu)支撐的測試盤。
6.根據(jù)權(quán)利要求1至4中任一項(xiàng)所述的直列式測試分選機(jī)，其特征在于， 所述旋轉(zhuǎn)裝置包括: 支撐機(jī)構(gòu)，用于支撐測試盤； 基座機(jī)構(gòu)，可旋轉(zhuǎn)地結(jié)合有所述支撐機(jī)構(gòu)； 旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)，設(shè)置在所述基座機(jī)構(gòu)上，用于旋轉(zhuǎn)所述支撐機(jī)構(gòu)，以便旋轉(zhuǎn)位于旋轉(zhuǎn)位置上的測試盤；以及 移送機(jī)構(gòu)，設(shè)置在所述支撐機(jī)構(gòu)上，用于將從所述傳送單元搬出的測試盤移送至所述旋轉(zhuǎn)位置，并且將通過所述旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)旋轉(zhuǎn)的測試盤搬出至所述傳送單元。
7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的直列式測試分選機(jī)，其特征在于， 所述移送機(jī)構(gòu)包括:插入構(gòu)件，用于插入到測試盤； 升降構(gòu)件，結(jié)合有所述插入構(gòu)件； 升降機(jī)構(gòu)，用于升降所述升降構(gòu)件，使得所述插入構(gòu)件插入到測試盤或從測試盤分離；以及 驅(qū)動機(jī)構(gòu)，用于移動所述升降機(jī)構(gòu)，以便移送插入有所述插入構(gòu)件的測試盤。
8.根據(jù)權(quán)利要求1至4中任一項(xiàng)所述的直列式測試分選機(jī)，其特征在于， 所述旋轉(zhuǎn)裝置包括: 支撐機(jī)構(gòu)，用于支撐測試盤； 基座機(jī)構(gòu)，設(shè)置在所述支撐機(jī)構(gòu)的下側(cè)，可旋轉(zhuǎn)地結(jié)合有所述支撐機(jī)構(gòu)； 旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)，設(shè)置在所基座機(jī)構(gòu)上，旋轉(zhuǎn)所述支撐機(jī)構(gòu)180度，使得被所述支撐機(jī)構(gòu)支撐的測試盤旋轉(zhuǎn)180度； 突起，在所述支撐機(jī)構(gòu)上從所述支撐機(jī)構(gòu)朝著面向所述基座機(jī)構(gòu)的下側(cè)方向突出地形成；以及 緩沖機(jī)構(gòu)，結(jié)合在所述基座機(jī)構(gòu)上，以便彈性地支撐隨著所述旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)旋轉(zhuǎn)測試盤180度而旋轉(zhuǎn)180度的突起。
9.根據(jù)權(quán)利要求1至4中任一項(xiàng)所述的直列式測試分選機(jī)，其特征在于， 所述旋轉(zhuǎn)裝置包括: 支撐機(jī)構(gòu)，用于支撐測試盤； 基座機(jī)構(gòu)，可旋轉(zhuǎn)地結(jié)合有所述支撐機(jī)構(gòu)； 旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)，設(shè)置在所述基座機(jī)構(gòu)上，并且為了旋轉(zhuǎn)被所述支撐機(jī)構(gòu)支撐的測試盤而旋轉(zhuǎn)所述支撐機(jī)構(gòu)； 移送機(jī)構(gòu)，設(shè)置在所述支撐機(jī)構(gòu)上，用于在所述支撐機(jī)構(gòu)和所述傳送單元之間移送測試盤；以及 升降單元，升降所述支撐機(jī)構(gòu)，以便在所述支撐機(jī)構(gòu)和所述傳送單元之間調(diào)節(jié)移送測試盤的高度。
10.一種測試盤旋轉(zhuǎn)裝置，其特征在于，包括: 支撐機(jī)構(gòu)，用于支撐在第一腔室單元和第二腔室單元之間搬運(yùn)的測試盤，所述第一腔室單元和所述第二腔室單元朝向相互不同的方向且隔著間隔設(shè)置； 基座機(jī)構(gòu)，可旋轉(zhuǎn)地結(jié)合有所述支撐機(jī)構(gòu)；以及 旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)，設(shè)置在所述基座機(jī)構(gòu)上，用于旋轉(zhuǎn)所述支撐機(jī)構(gòu)，以便旋轉(zhuǎn)被所述支撐機(jī)構(gòu)支撐的測試盤， 其中，所述旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)旋轉(zhuǎn)測試盤，使得收容在測試盤上的半導(dǎo)體元件在所述第一腔室單元和所述第二腔室 單元中以相同的配置進(jìn)行測試。
11.根據(jù)權(quán)利要求10所述的測試盤旋轉(zhuǎn)裝置，其特征在于， 所述旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)使測試盤旋轉(zhuǎn)180度，使得半導(dǎo)體元件在設(shè)置成朝向相反方向的第一腔室單元和第二腔室單元中以相同的配置進(jìn)行測試。
12.根據(jù)權(quán)利要求10所述的測試盤旋轉(zhuǎn)裝置，其特征在于， 所述基座機(jī)構(gòu)設(shè)置成位于所述支撐機(jī)構(gòu)的下側(cè)， 所述旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)以從所述基座機(jī)構(gòu)朝著面向所述支撐機(jī)構(gòu)的垂直方向形成的旋轉(zhuǎn)軸為中心旋轉(zhuǎn)所述支撐機(jī)構(gòu)，以使被所述支撐機(jī)構(gòu)支撐的測試盤保持水平狀態(tài)的同時進(jìn)行旋轉(zhuǎn)。
13.根據(jù)權(quán)利要求10所述的測試盤旋轉(zhuǎn)裝置，其特征在于，包括: 移送機(jī)構(gòu)，設(shè)置在所述支撐機(jī)構(gòu)上，以移送測試盤， 所述移送機(jī)構(gòu)將從所述第一腔室單元搬出的測試盤移送至所述支撐機(jī)構(gòu)，并且從所述支撐機(jī)構(gòu)搬出測試盤，以便向所述第二腔室單元供給通過所述旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)旋轉(zhuǎn)的測試盤。
14.根據(jù)權(quán)利要求13所述的測試盤旋轉(zhuǎn)裝置，其特征在于， 所述移送機(jī)構(gòu)包括: 插入構(gòu)件，用于插入到測試盤； 升降構(gòu)件，結(jié)合有所述插入構(gòu)件；升降機(jī)構(gòu)，用于升降所述升降構(gòu)件，使得所述插入構(gòu)件插入到測試盤或從測試盤分離；以及 驅(qū)動機(jī)構(gòu)，用于移動所述升降機(jī)構(gòu)，以便移送插入有所述插入構(gòu)件的測試盤。
15.根據(jù)權(quán)利要求10所述的測試盤旋轉(zhuǎn)裝置，其特征在于， 所述旋轉(zhuǎn)裝置包括: 突起，在所述支撐機(jī)構(gòu)上從所述支撐機(jī)構(gòu)朝著面向所述基座機(jī)構(gòu)的方向突出地形成；以及 緩沖機(jī)構(gòu)，結(jié)合在所述基座機(jī)構(gòu)上，以便彈性地支撐隨著所述旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)旋轉(zhuǎn)被所述支撐機(jī)構(gòu)支撐的測試盤180度而旋轉(zhuǎn)180度的突起。
16.根據(jù)權(quán)利要求10所述的測試盤旋轉(zhuǎn)裝置，其特征在于，包括: 升降單元，用于升降所述基座機(jī)構(gòu)，以便升降所述支撐機(jī)構(gòu)， 所述升降單元通過升降所述基座機(jī)構(gòu)來調(diào)節(jié)被所述支撐機(jī)構(gòu)支撐的測試盤的高度。
【文檔編號】B07C5/02GK103934224SQ201410016369
【公開日】2014年7月23日 申請日期:2014年1月14日 優(yōu)先權(quán)日:2013年1月22日
【發(fā)明者】金景泰, 樸贊豪, 李宰圭, 柳雄鉉, 樸?？? 李國炯, 鄭賢采, 樸長用 申請人:未來產(chǎn)業(yè)株式會社