乙二酸尾氣中氧化二氮分離提純裝置的制造方法
【專利摘要】本實用新型公開一種乙二酸尾氣中氧化二氮分離提純裝置，包括壓縮機、洗滌凈化裝置、吸附凈化裝置、深冷液化裝置、精餾提純裝置。所述壓縮機進口通入原料氣，其出口連接所述洗滌凈化裝置的入口；所述洗滌凈化裝置的出口連接所述吸附凈化裝置的入口，所述吸附凈化裝置的出口連接所述深冷液化裝置的入口；所述深冷液化裝置的出口連接所述精餾提純裝置的入口，所述精餾提純裝置的出口輸出氧化二氮。本實用新型分離提純操作簡單、工作效率高、提純精度高、能耗低。
【專利說明】
乙二酸尾氣中氧化二氮分離提純裝置
技術(shù)領(lǐng)域
[0001]本實用新型涉及化工技術(shù)領(lǐng)域，具體涉及一種乙二酸尾氣中氧化二氮分離提純裝置。
【背景技術(shù)】
[0002]己二酸尾氣中含有較高濃度的N2O，現(xiàn)采用分解成02、N2的方式處理。針對現(xiàn)在生產(chǎn)高清晰度顯示屏的電子工業(yè)需要大量高純度(電子級)N2O,將尾氣中部分的N2O分離、提純?yōu)殡娮蛹壍漠a(chǎn)品液體N2O為亟待解決的問題。
【實用新型內(nèi)容】
[0003]有鑒于此，本申請?zhí)峁┮环N乙二酸尾氣中氧化二氮分離提純裝置，該裝置分離提純操作簡單、工作效率高、提純精度高、能耗低。
[0004]為解決以上技術(shù)問題，本實用新型提供的技術(shù)方案是一種乙二酸尾氣中氧化二氮分離提純裝置，包括壓縮機、洗滌凈化裝置、吸附凈化裝置、深冷液化裝置、精餾提純裝置；
[0005]所述壓縮機進口通入原料氣，其出口連接所述洗滌凈化裝置的入口；所述洗滌凈化裝置的出口連接所述吸附凈化裝置的入口，所述吸附凈化裝置的出口連接所述深冷液化裝置的入口 ；所述深冷液化裝置的出口連接所述精餾提純裝置的入口，所述精餾提純裝置的出口輸出氧化二氮。
[0006]進一步地，所述壓縮機將0.1Mpa的原料氣壓縮至1.65MPa。
[0007]進一步地，所述洗滌凈化裝置充入強堿堿液、脫鹽水;氣體先經(jīng)強堿堿液洗滌，再經(jīng)脫鹽水洗滌。
[0008]進一步地，所述吸附凈化裝置包括吸附塔、再生塔;所述再生塔采用升溫吹掃方式再生。
[0009]進一步地，所述深冷液化裝置內(nèi)部設(shè)置有冷箱，所述冷箱的入口通過內(nèi)拋光的管線連接所述吸附凈化裝置的出口。
[0010]進一步地，所述精餾提純裝置設(shè)置有過濾裝置，所述過濾裝置的過濾度為0.ιμπι。[0011 ]與現(xiàn)有技術(shù)相比，本實用新型的有益效果是:
[0012]本實用新型所述提純裝置，將原料氣中的含有C02、N0、N02等酸性氣體，經(jīng)洗滌凈化裝置采用強堿液洗滌去除，水分等采用吸附干燥去除，其它02、N2、CO等低沸點雜質(zhì)組分，采用深冷液化分離，高純電子級的N2O采用低溫精餾提純得到。分離提純操作簡單、工作效率高、提純精度高、能耗低。
【附圖說明】
[0013]圖1是本實用新型乙二酸尾氣中氧化二氮分離提純裝置結(jié)構(gòu)示意圖。
【具體實施方式】
[0014]為了使本領(lǐng)域的技術(shù)人員更好地理解本實用新型的技術(shù)方案，下面結(jié)合附圖和具體實施例對本實用新型作進一步的詳細說明。
[0015]參見圖1，本實用新型所描述的是一種乙二酸尾氣中氧化二氮分離提純裝置，包括壓縮機1、洗滌凈化裝置2、吸附凈化裝置3、深冷液化裝置4、精餾提純裝置5。其中，壓縮機I進口通入原料氣，其出口連接洗滌凈化裝置2的入口 ；洗滌凈化裝置2的出口連接吸附凈化裝置3的入口，吸附凈化裝置3的出口連接深冷液化裝置4的入口 ；深冷液化裝置4的出口連接精餾提純裝置5的入口，精餾提純裝置5的出口輸出氧化二氮。
[0016]本實用新型所述壓縮機I將0.1Mpa的原料氣壓縮至1.65MPa。所述洗滌凈化裝置2充入強堿堿液、脫鹽水;氣體先經(jīng)強堿堿液洗滌，再經(jīng)脫鹽水洗滌。所述吸附凈化裝置3包括吸附塔、再生塔;所述再生塔采用升溫吹掃方式再生。所述深冷液化裝置4內(nèi)部設(shè)置有冷箱，所述冷箱的入口通過內(nèi)拋光的管線連接所述吸附凈化裝置3的出口。所述精餾提純裝置5設(shè)置有過濾裝置，所述過濾裝置的過濾度為0.Iym。
[0017]本實用新型氧化二氮分離提純的工藝流程具體如下:
[0018]將0.1MPa的原料氣，經(jīng)過緩沖、壓縮至1.65MPa，，輸入洗滌凈化裝置2，采用強堿堿液，分三級循環(huán)洗滌，將氣體中⑶2、N0、N02等酸性氣體洗滌降至0.1ppm以下。堿洗后的氣體再采用脫鹽水進一步洗滌，去除夾帶的堿液。本實用新型所述的強堿溶液為Na0H、K0H等溶液。
[0019]洗滌凈化后的氣體輸入吸附凈化裝置3，采用變溫吸附進行純化，進一步脫除氣體中的CO2、NO、NO2、H2O等雜質(zhì)，使氣體凈化達到工藝要求。變溫吸附采用2塔工藝，一塔吸附，一塔升溫吹掃再生，再生吹掃氣采用冷箱來的馳放氣，采用電加熱方式。變溫吸附利用分子篩強大的吸附能力，將氣體中雜質(zhì)去除到0.lppm。變溫吸附純化氣體再經(jīng)過精密過濾器，將氣體可能攜帶的雜質(zhì)組分過濾去除。
[0020]凈化完成的氣體采用內(nèi)拋光的潔凈管線進入深冷液化裝置4的冷箱，氣體經(jīng)過換熱、液化、氣液分離，得到液體N2O,輸入精餾提純裝置。精餾提純裝置采用規(guī)整填料，低溫下經(jīng)精餾提純，得到滿足ULSI級的N2O的液體。液體再經(jīng)過0.Ιμπι的精密過濾，送往產(chǎn)品儲罐。
[0021]以上僅是本實用新型的優(yōu)選實施方式，應(yīng)當(dāng)指出的是，上述優(yōu)選實施方式不應(yīng)視為對本實用新型的限制，本實用新型的保護范圍應(yīng)當(dāng)以權(quán)利要求所限定的范圍為準(zhǔn)。對于本技術(shù)領(lǐng)域的普通技術(shù)人員來說，在不脫離本實用新型的精神和范圍內(nèi)，還可以做出若干改進和潤飾，這些改進和潤飾也應(yīng)視為本實用新型的保護范圍。
【主權(quán)項】
1.一種乙二酸尾氣中氧化二氮分離提純裝置，其特征在于:包括壓縮機、洗滌凈化裝置、吸附凈化裝置、深冷液化裝置、精餾提純裝置； 所述壓縮機進口通入原料氣，其出口連接所述洗滌凈化裝置的入口 ；所述洗滌凈化裝置的出口連接所述吸附凈化裝置的入口，所述吸附凈化裝置的出口連接所述深冷液化裝置的入口 ；所述深冷液化裝置的出口連接所述精餾提純裝置的入口，所述精餾提純裝置的出口輸出氧化二氮。2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的乙二酸尾氣中氧化二氮分離提純裝置，其特征在于:所述壓縮機將0.1Mpa的原料氣壓縮至1.65MPa。3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的乙二酸尾氣中氧化二氮分離提純裝置，其特征在于:所述洗滌凈化裝置充入強堿堿液、脫鹽水;氣體先經(jīng)強堿堿液洗滌，再經(jīng)脫鹽水洗滌。4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的乙二酸尾氣中氧化二氮分離提純裝置，其特征在于:所述吸附凈化裝置包括吸附塔、再生塔;所述再生塔采用升溫吹掃方式再生。5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的乙二酸尾氣中氧化二氮分離提純裝置，其特征在于:所述深冷液化裝置內(nèi)部設(shè)置有冷箱，所述冷箱的入口通過內(nèi)拋光的管線連接所述吸附凈化裝置的出□ O6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的乙二酸尾氣中氧化二氮分離提純裝置，其特征在于:所述精餾提純裝置設(shè)置有過濾裝置，所述過濾裝置的過濾度為0.?μπι。
【文檔編號】B01D53/62GK205435447SQ201620241078
【公開日】2016年8月10日
【申請日】2016年3月24日
【發(fā)明人】曾啟明, 彭磊
【申請人】成都巨濤油氣工程有限公司