一種新型合成防爆爐除塵裝置的制造方法
【技術領域】
[0001]本發(fā)明涉及一種除塵裝置，尤其涉及一種新型合成防爆爐除塵裝置。
【背景技術】
[0002]半導體砷化鎵合成工藝中，需將裝有砷和鎵的石英管放入合成爐內，每根石英管單獨一個腔室，每個爐腔兩頭均為敞開式，合成爐外為集塵室也即防爆室，石英管內晶體合成后，石英管爆開，其中沒完全合成的砷和鎵以粉塵方式爆出，由于瞬間爆發(fā)力被排出爐腔，在壓強差的作用下，經集塵室排出，最后通過集塵室口端的布袋除塵室收集，防止有毒氣體外排。常規(guī)的合成爐防爆裝置外側集塵室空間較大，粉塵氣體爆出后易沾附在集成式內壁上。由于因各個合成爐的石英管爆開存在的時間差，爆開后各腔室之間相互連通，粉塵氣體相互影響，在腔室之間形成回流，造成粉塵收集難度高、收集率低等問題。

【發(fā)明內容】

[0003]本發(fā)明的目的是克服現有技術的不足，提供一種新型合成防爆爐除塵裝置。
[0004]一種新型合成防爆爐除塵裝置包括布袋除塵室、防爆室、泄壓管路、泄壓閥、緩沖室和合成爐；合成爐左、右兩側開口分別與緩沖室、泄壓閥、泄壓管路、防爆室、布袋除塵室順次連接。
[0005]所述的緩沖室形狀為柱體。
[0006]所述的緩沖室形狀為錐體。
[0007]所述的合成爐數量X多1，與其順次連接的緩沖室、泄壓閥、泄壓管路數量y =2x，防爆室數量z=2，布袋除塵室數量k多2。
[0008]所述的合成爐數量X多1，與其順次連接的緩沖室、泄壓閥、泄壓管路數量y =2x，防爆室數量z=l，布袋除塵室數量I。
[0009]所述的合成爐通過組架固定排列成直線。
[0010]所述的合成爐通過組架固定排列成圓形。
[0011]使用本實用新型，解決了現有防爆爐除塵裝置因各個合成爐的石英管爆開存在的時間差，造成爆開后各腔室之間相互連通，粉塵氣體相互影響，在腔室之間形成回流，粉塵收集難道高、收集率低等問題。本實用新型采用多級降壓設計，降低收集粉塵壓力；設有泄壓閥，提高工藝安全性；合成爐左右兩側各設有單獨防爆室，避免粉塵回流到其他爐腔。其具有使用方便、結構合理，收集效率高，改裝方便等優(yōu)點。
【附圖說明】
[0012]圖1為一種新型合成防爆爐除塵裝置一結構示意圖；
[0013]圖2為一種新型合成防爆爐除塵裝置另一結構示意圖；
[0014]圖3為一種新型合成防爆爐除塵裝置合成爐一固定排列示意圖；
[0015]圖4為一種新型合成防爆爐除塵裝置合成爐另一固定排列示意圖；
[0016]圖中，布袋除塵室1、防爆室2、泄壓管路3、泄壓閥4、緩沖室5和合成爐6。
【具體實施方式】
[0017]如圖1、2所示，一種新型合成防爆爐除塵裝置包括布袋除塵室1、防爆室2、泄壓管路3、泄壓閥4、緩沖室5和合成爐6 ;合成爐6左、右兩側開口分別與緩沖室5、泄壓閥4、泄壓管路3、防爆室2、布袋除塵室I順次連接。
[0018]一種新型合成防爆爐除塵裝置的緩沖室5形狀為柱體。
[0019]一種新型合成防爆爐除塵裝置的緩沖室5形狀為錐體。
[0020]一種新型合成防爆爐除塵裝置的合成爐6內壁設有不光滑的凸點，減小石英管爆裂經內壁反射出去的氣流壓力。
[0021]如圖1所示，一種新型合成防爆爐除塵裝置的合成爐6數量X多1，與其順次連接的緩沖室5、泄壓閥4、泄壓管路3數量y =2x，防爆室2數量z=2，布袋除塵室I數量2。
[0022]如圖2所示，一種新型合成防爆爐除塵裝置的合成爐6數量X多1，與其順次連接的緩沖室5、泄壓閥4、泄壓管路3數量y =2x，防爆室2數量z=l，布袋除塵室I數量k>l。
[0023]如圖3所示，一種新型合成防爆爐除塵裝置的合成爐6通過組架固定排列成直線。
[0024]如圖4所示，一種新型合成防爆爐除塵裝置的合成爐6通過組架固定排列成圓形。
[0025]一種新型合成防爆爐除塵裝置的除塵方法包括以下步驟:
[0026]I)將多個石英管依次放入各個合成爐6的爐腔中，關閉所有泄壓閥4 ;
[0027]2)合成爐6之間爆破存在時間差，爆開后粉塵從兩側爆出，打開合成爐6腔兩側的泄壓閥4，粉塵通過泄壓管路3進入防爆室2 ;
[0028]3)防爆室上部設有至少一個布袋除塵室，用于收集逸出粉塵氣體，防止有毒有害物質逸出；
[0029]4)收集粉塵篩分，再次利用，節(jié)約生產成本。
【主權項】
1.一種新型合成防爆爐除塵裝置，其特征在于包括布袋除塵室(1)、防爆室(2)、泄壓管路(3)、泄壓閥(4)、緩沖室(5)和合成爐(6);合成爐(6)左、右兩側開口分別與緩沖室(5 )、泄壓閥(4 )、泄壓管路(3 )、防爆室(2 )、布袋除塵室(I)順次連接。
2.根據權利要求1所述的一種新型合成防爆爐除塵裝置，其特征在于所述的緩沖室(5)形狀為柱體。
3.根據權利要求2所述的一種新型合成防爆爐除塵裝置，其特征在于所述的緩沖室(5)形狀為錐體。
4.根據權利要求1所述的一種新型合成防爆爐除塵裝置，其特征在于所述的合成爐(6)數量X多1，與其順次連接的緩沖室(5)、泄壓閥(4)、泄壓管路(3)數量y=2x，防爆室(2)數量z=2，布袋除塵室(I)數量k彡2。
5.根據權利要求1所述的一種新型合成防爆爐除塵裝置，其特征在于所述的合成爐(6)數量X多1，與其順次連接的緩沖室(5)、泄壓閥(4)、泄壓管路(3)數量y =2x，防爆室(2)數量z=l,布袋除塵室(I)數量k彡I。
6.根據權利要求1所述的一種新型合成防爆爐除塵裝置，其特征在于所述的合成爐(6)通過組架固定排列成直線。
7.根據權利要求1所述的一種新型合成防爆爐除塵裝置，其特征在于所述的合成爐(6)通過組架固定排列成圓形。
【專利摘要】本實用新型公開了一種新型合成防爆爐除塵裝置。它包括布袋除塵室、防爆室、泄壓管路、泄壓閥、緩沖室和合成爐；合成爐左、右兩側開口分別與緩沖室、泄壓閥、泄壓管路、防爆室、布袋除塵室順次連接。使用本實用新型，解決了現有防爆爐除塵裝置因各個合成爐的石英管爆開存在的時間差，造成爆開后各腔室之間相互連通，粉塵氣體相互影響，在腔室之間形成回流，粉塵收集難道高、收集率低等問題。本實用新型采用多級降壓設計，降低收集粉塵壓力；設有泄壓閥，提高工藝安全性；合成爐左右兩側各設有單獨防爆室，避免粉塵回流到其他爐腔。其具有結構合理，收集效率高等優(yōu)點。
【IPC分類】B01D46-42, B08B15-04, B01D46-02
【公開號】CN204411929
【申請?zhí)枴緾N201520020895
【發(fā)明人】易德福, 吳城, 張明文
【申請人】易德福
【公開日】2015年6月24日
【申請日】2015年1月13日