濾芯化學(xué)清洗裝置及清洗方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明涉及半導(dǎo)體制造領(lǐng)域，尤其涉及一種濾芯化學(xué)清洗裝置及清洗方法。
【背景技術(shù)】
[0002]在超純水制造過程中，RO膜是一個(gè)重要處理單元，在RO之前通常都需要使用安全過濾器，安全過濾器是以濾芯作為過濾介質(zhì)，用于過濾水中一些顆粒等污染物。在安全過濾器進(jìn)出口有一定壓差的條件下，對細(xì)微物理顆粒進(jìn)行截留與分離，達(dá)到去除顆粒物質(zhì)的目的。安全過濾器在使用過程中，隨著截留物的增加，濾芯進(jìn)出口壓力差會(huì)慢慢增大。通常在水處理系統(tǒng)中，定義壓差大于0.1MPa時(shí)需要更換濾芯。
[0003]自從公司的超純水系統(tǒng)自來水廠原水水源更換之后，濾芯的更換頻率明顯上升。經(jīng)全方面檢查超純水預(yù)處理系統(tǒng)設(shè)備運(yùn)行參數(shù)均在正常范圍之內(nèi)，最終調(diào)查的原因?yàn)樾滤吹氐乃|(zhì)變化使得自來水廠改變了處理工藝，在原先處理凈化工藝上有增加陰離子聚合物投入的環(huán)節(jié)，最終直接導(dǎo)致終端用戶的安全濾芯壽命大大縮短，更換頻率增加，安全過濾器耗材更換成本大大增加，高達(dá)原來的5.6倍。
[0004]由于濾芯的價(jià)格昂貴，如何減少濾芯更換的頻率，降低成本是本領(lǐng)域技術(shù)人員急需解決的技術(shù)問題。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0005]本發(fā)明的目的在于提供一種濾芯化學(xué)清洗裝置及清洗方法，能夠減少濾芯更換的頻率，降低成本。
[0006]為了實(shí)現(xiàn)上述目的，本發(fā)明提出了一種濾芯化學(xué)清洗裝置，包括:浸泡桶槽、進(jìn)水管、化學(xué)物品管及溢流管，其中，所述進(jìn)水管、化學(xué)物品管均與所述浸泡桶槽相連，所述溢流管與所述浸泡桶槽相連，并靠近所述浸泡桶槽的頂部。
[0007]進(jìn)一步的，在所述的濾芯化學(xué)清洗裝置中，還包括固定板，所述固定板設(shè)于所述浸泡桶槽內(nèi)，并設(shè)有多個(gè)孔洞，用于固定待清洗循環(huán)利用濾芯。
[0008]進(jìn)一步的，在所述的濾芯化學(xué)清洗裝置中，所述孔洞尺寸大于所述待清洗循環(huán)利用濾芯的尺寸。
[0009]進(jìn)一步的，在所述的濾芯化學(xué)清洗裝置中，所述孔洞個(gè)數(shù)為6個(gè)。
[0010]進(jìn)一步的，在所述的濾芯化學(xué)清洗裝置中，還包括排水管和排水閥，所述排水管與所述浸泡桶槽底部相連，所述排水閥設(shè)于所述排水管上。
[0011 ] 進(jìn)一步的，在所述的濾芯化學(xué)清洗裝置中，還包括踏板及頂蓋，所述踏板緊貼所述浸泡桶槽外側(cè)，所述頂蓋通過螺絲固定在靠近所述浸泡桶槽的頂部處。
[0012]進(jìn)一步的，在所述的濾芯化學(xué)清洗裝置中，還包括清洗桶槽，所述清洗桶槽與所述進(jìn)水管相連。
[0013]本發(fā)明提出了一種濾芯化學(xué)清洗方法，采用如上文所述的任一種濾芯化學(xué)清洗裝置，包括步驟:
[0014]將待清洗循環(huán)利用濾芯放入浸泡桶槽中；
[0015]打開進(jìn)水管，對所述浸泡桶槽注入去離子水，直至淹沒所述待清洗循環(huán)利用濾芯預(yù)定高度；
[0016]打開化學(xué)物品管，對所述浸泡桶槽注入雙氧水，直至所述浸泡桶槽內(nèi)的雙氧水達(dá)到預(yù)定濃度；
[0017]使所述待清洗循環(huán)利用濾芯浸泡預(yù)定時(shí)間。
[0018]進(jìn)一步的，在所述的濾芯化學(xué)清洗方法中，在將所述待清洗循環(huán)利用濾芯放入浸泡桶槽中之前，還包括預(yù)清洗步驟，所述預(yù)清洗步驟為:
[0019]將所述待清洗循環(huán)利用濾芯放入清洗桶槽中，采用去離子水對其進(jìn)行清洗。
[0020]進(jìn)一步的，在所述的濾芯化學(xué)清洗方法中，在完成對所述待清洗循環(huán)利用濾芯浸泡預(yù)定時(shí)間之后，還包括二次清洗步驟，所述二次清洗步驟為:
[0021]將所述待清洗循環(huán)利用濾芯放入清洗桶槽中，采用去離子水對其進(jìn)行多次清洗。
[0022]進(jìn)一步的，在所述的濾芯化學(xué)清洗方法中，所述預(yù)定高度大于等于10cm。
[0023]進(jìn)一步的，在所述的濾芯化學(xué)清洗方法中，所述雙氧水的預(yù)定濃度是體積比范圍為 0.3%?
[0024]與現(xiàn)有技術(shù)相比，本發(fā)明的有益效果主要體現(xiàn)在:將待清洗循環(huán)利用濾芯放入浸泡桶槽內(nèi)，并使用化學(xué)物品進(jìn)行浸泡，從而去除待清洗循環(huán)利用濾芯內(nèi)部粘附的高分子有機(jī)物，使待清洗循環(huán)利用濾芯能夠再次被使用，避免經(jīng)常更換造成的成本增加。
[0025]進(jìn)一步的，在提出的濾芯化學(xué)清洗方法中，采用預(yù)定濃度的雙氧水進(jìn)行浸泡，能夠?qū)⒄掣接诖逑囱h(huán)利用濾芯內(nèi)部粘附的高分子有機(jī)物氧化分解，從而將其排除，使待清洗循環(huán)利用濾芯恢復(fù)至可使用狀態(tài)，降低成本。
【附圖說明】
[0026]圖1為本發(fā)明一實(shí)施例中濾芯化學(xué)清洗裝置的結(jié)構(gòu)示意圖；
[0027]圖2為本發(fā)明一實(shí)施例中固定板的俯視圖；
[0028]圖3為本發(fā)明一實(shí)施例中濾芯化學(xué)清洗方法的流程圖。
【具體實(shí)施方式】
[0029]下面將結(jié)合示意圖對本發(fā)明的濾芯化學(xué)清洗裝置及清洗方法進(jìn)行更詳細(xì)的描述，其中表示了本發(fā)明的優(yōu)選實(shí)施例，應(yīng)該理解本領(lǐng)域技術(shù)人員可以修改在此描述的本發(fā)明，而仍然實(shí)現(xiàn)本發(fā)明的有利效果。因此，下列描述應(yīng)當(dāng)被理解為對于本領(lǐng)域技術(shù)人員的廣泛知道，而并不作為對本發(fā)明的限制。
[0030]為了清楚，不描述實(shí)際實(shí)施例的全部特征。在下列描述中，不詳細(xì)描述公知的功能和結(jié)構(gòu)，因?yàn)樗鼈儠?huì)使本發(fā)明由于不必要的細(xì)節(jié)而混亂。應(yīng)當(dāng)認(rèn)為在任何實(shí)際實(shí)施例的開發(fā)中，必須做出大量實(shí)施細(xì)節(jié)以實(shí)現(xiàn)開發(fā)者的特定目標(biāo)，例如按照有關(guān)系統(tǒng)或有關(guān)商業(yè)的限制，由一個(gè)實(shí)施例改變?yōu)榱硪粋€(gè)實(shí)施例。另外，應(yīng)當(dāng)認(rèn)為這種開發(fā)工作可能是復(fù)雜和耗費(fèi)時(shí)間的，但是對于本領(lǐng)域技術(shù)人員來說僅僅是常規(guī)工作。
[0031]在下列段落中參照附圖以舉例方式更具體地描述本發(fā)明。根據(jù)下面說明和權(quán)利要求書，本發(fā)明的優(yōu)點(diǎn)和特征將更清楚。需說明的是，附圖均采用非常簡化的形式且均使用非精準(zhǔn)的比例，僅用以方便、明晰地輔助說明本發(fā)明實(shí)施例的目的。
[0032]發(fā)明人對原安全過濾器的濾芯進(jìn)行解體，在濾芯表面并未發(fā)現(xiàn)污染物。然后通過切取原安全過濾器濾芯平膜使用藥品沉浸法根據(jù)過濾時(shí)間改善狀況來推測污染物后發(fā)現(xiàn)，造成濾芯被堵塞的堵塞物主要不是由于流入的顆粒增加，而是濾芯膜內(nèi)部粘附的Al (OH)2等的高分子有機(jī)物造成的，此高分子有機(jī)物殘留在濾芯表面將會(huì)在較短時(shí)間內(nèi)導(dǎo)致過水通量減少、壓差上升，造成濾芯堵塞。
[0033]了解到造成堵塞的原因，發(fā)明人通過實(shí)驗(yàn)測試對比尋找出一種可以讓半導(dǎo)體行業(yè)超純水系統(tǒng)安全過濾器濾芯重復(fù)利用的浸泡液、研宄和制造出一種應(yīng)用于該安全過濾器濾芯清洗循環(huán)利用的清洗裝置及清洗方法，以使濾芯能夠再循環(huán)使用。
[0034]請參考圖1，在本實(shí)施例中，一種濾芯化學(xué)清洗裝置，包括:浸泡桶槽10、進(jìn)水管15、化學(xué)物品管16及溢流管14，其中，所述進(jìn)水管15、化學(xué)物品管16均與所述浸泡桶槽10相連，所述溢流管14與所述浸泡桶槽10相連，并靠近所述浸泡桶槽10的頂部，優(yōu)選的，高于待清洗循環(huán)利用濾芯20放置進(jìn)去的高度，以方便后續(xù)排出氧化分解出的高分子有機(jī)物。
[0035]在本實(shí)施例中，濾芯化學(xué)清洗裝置還包括固定板11，所述固定板11設(shè)于所述浸泡桶槽10內(nèi)，并設(shè)有多個(gè)孔洞18，如圖2所示，用于固定待清洗循環(huán)利用濾芯20。所述孔洞18的尺寸可以略大于所述待清洗循環(huán)利用濾芯20的尺寸，以方便將所述待清洗循環(huán)利用濾芯20放入孔洞18中，從而起到固定待清洗循環(huán)利用濾芯20的作用。所述孔洞18個(gè)數(shù)為6個(gè)，其具體個(gè)數(shù)可以根