技術總結
本實用新型公布了一種用于晶元生產(chǎn)中的廢氣處理裝置，包括加熱腔、冷卻腔、廢水腔、集氣腔，加熱腔為中空腔體，內部側壁上設置有電熱管，頂部設置有與內部腔體連通的廢氣集合管，側邊上部設置有空氣管；空氣管延伸至加熱腔內部與腔體內部的噴氣管相連；噴氣管上端延伸至加熱腔內壁頂部，且噴氣管表面設置有氣孔；加熱腔下端設置有與冷卻腔上端相連的耐高溫氣管；冷卻腔的內壁頂部設置有噴淋頭，下方設置有廢水腔，側面設置有與集氣腔相連的冷氣管；廢水腔通過水管與噴淋頭相連。本實用新型用于初步處理廢氣，通過加熱使氣體高溫分解、燃燒、然后進行噴淋冷卻，同時溶解易溶性廢氣。

技術研發(fā)人員：陳波;唐淋;余朝晃;鄭敏;樊建銀
受保護的技術使用者：湖南新中合光電科技股份有限公司
文檔號碼：201720005916
技術研發(fā)日：2017.01.04
技術公布日：2017.09.08