本實(shí)用新型屬于一種廢氣處理裝置，具體為一種用于晶元生產(chǎn)中的廢氣處理裝置。

背景技術(shù)：

晶元（Wafer），是生產(chǎn)集成電路所用的載體，多指單晶硅圓片。其形狀為圓形，故也稱為晶圓。在硅晶片上可加工制作成各種電路元件結(jié)構(gòu)，而成為有特定電性功能之IC產(chǎn)品。單晶硅圓片由普通硅砂拉制提煉，經(jīng)過溶解、提純、蒸餾一系列措施制成單晶硅棒，單晶硅棒經(jīng)過拋光、切片之后，就成為了晶元。

隨著科學(xué)技術(shù)的突飛猛進(jìn)，半導(dǎo)體制造技術(shù)日新月異，在晶元的生產(chǎn)過程中，大量的各種各樣的特殊氣體以及大宗氣體不斷被應(yīng)用到新的工藝中去，如N2O、SiH4等氣體，使晶圓表面生產(chǎn)二氧化硅緩沖層，但是同時在生成過程中卻也會產(chǎn)生大量的廢氣，廢氣需要進(jìn)行一些列的處理后，才能排放。

技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素：

本實(shí)用新型的目的是針對以上問題，提供一種用于晶元生產(chǎn)中的廢氣處理裝置，初步處理廢氣，通過加熱使氣體高溫分解、燃燒、然后進(jìn)行噴淋冷卻，同時溶解易溶性廢氣。

為實(shí)現(xiàn)以上目的，本實(shí)用新型采用的技術(shù)方案是：一種用于晶元生產(chǎn)中的廢氣處理裝置，包括加熱腔（1）、冷卻腔（2）、廢水腔（3）、集氣腔（4），所述加熱腔（1）為中空腔體，內(nèi)部側(cè)壁上設(shè)置有電熱管（11），頂部設(shè)置有與內(nèi)部腔體連通的廢氣集合管（12），側(cè)邊上部設(shè)置有空氣管（13）；所述空氣管（13）延伸至加熱腔（1）內(nèi)部與腔體內(nèi)部的噴氣管（15）相連；所述噴氣管（15）上端延伸至加熱腔（1）內(nèi)壁頂部，且所述噴氣管（15）表面設(shè)置有氣孔（151）；加熱腔（1）下端設(shè)置有與冷卻腔（2）上端相連的耐高溫氣管（102），耐高溫氣管（102）與冷卻腔（2）內(nèi)部連通；所述冷卻腔（2）的內(nèi)壁頂部設(shè)置有噴淋頭（22），下方設(shè)置有廢水腔（3），側(cè)面設(shè)置有與集氣腔（4）相連的冷氣管（304）；所述廢水腔（3）通過水管（203）與噴淋頭（22）相連。

進(jìn)一步的，所述噴氣管（15）下端以螺旋狀向下延伸，所述氣孔（151）均勻分布于螺旋表面。

進(jìn)一步的，所述冷卻腔（2）的內(nèi)壁上部設(shè)置有倒八字型的中空隔板（21），所述隔板（21）下端表面上均勻設(shè)置有噴淋頭（22）。

進(jìn)一步的，所述隔板（21）下方設(shè)置有與冷卻腔（2）內(nèi)側(cè)壁相接的導(dǎo)板（23），所述導(dǎo)板（23）與隔板（21）平行；所述導(dǎo)板（23）的中間間隔處設(shè)置有可活動的活塞（24）；所述活塞（24）通過下端的彈簧（25）與基板（26）連接。

進(jìn)一步的，所述活塞（24）的截面為三角形。

進(jìn)一步的，所述集氣腔（4）的上部設(shè)置有氣水分離器（41），所述冷氣管（304）通過氣水分離器（41）與集氣腔（4）相連。

本實(shí)用新型的有益效果：

1、初步處理廢氣，通過加熱使氣體高溫分解、燃燒、然后進(jìn)行噴淋冷卻，同時溶解易溶性廢氣；

2、螺旋狀的噴氣管使得內(nèi)部加熱腔內(nèi)部的廢氣能充分的與從空氣管進(jìn)入的壓縮空氣接觸，還能是內(nèi)部氣體流動，使得燃燒充分；

3、字型的中空隔板和導(dǎo)板形成了氣體通道，使冷卻腔內(nèi)的氣體能進(jìn)行二次噴淋，也更有利于可溶性廢氣的溶解；

4、本裝置的廢水腔的水采用部分循環(huán)，節(jié)省資源同時不影響處理效果。

附圖說明

圖1為本實(shí)用新型結(jié)構(gòu)示意圖。

圖2為圖1中B處的局部放大示意圖。

圖中所述文字標(biāo)注表示為：1、加熱腔；2、冷卻腔；3、廢水腔；4、集氣腔；5、自來水管；11、電熱管；12、廢氣集合管；13、空氣管；14、泵機(jī)；15、噴氣管；151、氣孔；102、耐高溫氣管；21、隔板；22、噴淋頭；23、導(dǎo)板；24、活塞；25、彈簧；26、基板；203、水管； 41、氣水分離器；42、排氣管；304、冷氣管。

具體實(shí)施方式

為了使本領(lǐng)域技術(shù)人員更好地理解本實(shí)用新型的技術(shù)方案，下面結(jié)合附圖對本實(shí)用新型進(jìn)行詳細(xì)描述，本部分的描述僅是示范性和解釋性，不應(yīng)對本實(shí)用新型的保護(hù)范圍有任何的限制作用。

如圖1-圖2所示，本實(shí)用新型的具體結(jié)構(gòu)為：一種用于晶元生產(chǎn)中的廢氣處理裝置，包括加熱腔1、冷卻腔2、廢水腔3、集氣腔4，所述加熱腔1為中空腔體，內(nèi)部側(cè)壁上設(shè)置有電熱管11，頂部設(shè)置有與內(nèi)部腔體連通的廢氣集合管12，側(cè)邊上部設(shè)置有空氣管13；所述空氣管13延伸至加熱腔1內(nèi)部與腔體內(nèi)部的噴氣管15相連；所述噴氣管15上端延伸至加熱腔1內(nèi)壁頂部，且所述噴氣管15表面設(shè)置有氣孔151；加熱腔1下端設(shè)置有與冷卻腔2上端相連的耐高溫氣管102，耐高溫氣管102與冷卻腔2內(nèi)部連通；所述冷卻腔2的內(nèi)壁頂部設(shè)置有噴淋頭22，下方設(shè)置有廢水腔3，側(cè)面設(shè)置有與集氣腔4相連的冷氣管304；所述廢水腔3通過水管203與噴淋頭22相連。

進(jìn)一步的，所述噴氣管15下端以螺旋狀向下延伸，所述氣孔151均勻分布于螺旋表面。

進(jìn)一步的，所述冷卻腔2的內(nèi)壁上部設(shè)置有倒八字型的中空隔板21，所述隔板21下端表面上均勻設(shè)置有噴淋頭22；所述隔板21與水管203相連，使水通過隔板21內(nèi)部從噴淋頭22噴出。

進(jìn)一步的，所述隔板21下方設(shè)置有與冷卻腔2內(nèi)側(cè)壁相接的導(dǎo)板23，所述導(dǎo)板23與隔板21平行；所述導(dǎo)板23的中間間隔處設(shè)置有可活動的活塞24；所述活塞24通過下端的彈簧25與基板26連接。

進(jìn)一步的，所述活塞24的截面為三角形。

進(jìn)一步的，所述集氣腔4的上部設(shè)置有氣水分離器41，所述冷氣管304通過氣水分離器41與集氣腔4相連。

具體使用時，生產(chǎn)中產(chǎn)生的廢氣有泵機(jī)14集中抽送到廢氣集合管12內(nèi)，然后進(jìn)入加熱腔1，進(jìn)入加熱腔1以后，通過電熱管11，在控制器以及溫控裝置下，使腔內(nèi)溫度達(dá)到700~800℃，讓一些氣體高溫分解；然后通過空氣管13吹入壓縮空氣，壓縮空氣從述噴氣管15表面設(shè)置的氣孔151排出，使廢氣燃燒分解；處理后的高溫氣體從耐高溫氣管102進(jìn)入到冷卻腔2，在冷卻腔2中，通過噴淋頭22噴淋降溫以及溶解，然后從導(dǎo)板23與隔板21形成的氣道通過，再一次噴淋，二次噴淋，也更有利于可溶性廢氣的溶解以及冷卻；沉積在導(dǎo)板23上的水，將擠壓活塞24向下運(yùn)動，如圖2箭頭方向流下，所述活塞24為三角形，不僅具有較好的密封效果，也可以為流出的水進(jìn)行導(dǎo)流，向外擴(kuò)散的分散流出，與氣體有更好的接觸效果；冷卻腔2的底部廢水積聚，并且流入下方的廢水腔3，而廢水腔3的部分水由泵機(jī)14經(jīng)水管203抽往冷卻腔1內(nèi)的噴淋頭22的管路中，部分廢水從廢水腔3底部排水口排出；噴淋頭22還與自來水管5相連，以補(bǔ)充新鮮的水,優(yōu)選的，在自來水管5上安裝一氣動水閥，通電時打開，斷電時關(guān)閉，為了防止突然停電以后，自來水管5一直補(bǔ)充水而溢出機(jī)臺，影響使用。經(jīng)過冷卻腔2冷卻后的廢氣經(jīng)冷氣管304通過氣水分離器41后，氣體從排氣管42排出，進(jìn)入下一處理工序；分離后的水從集氣腔4底部的水管排入到廢水腔3內(nèi)。

需要說明的是，在本文中，術(shù)語“包括”、“包含”或者其任何其他變體意在涵蓋非排他性的包含，從而使得包括一系列要素的過程、方法、物品或者設(shè)備不僅包括那些要素，而且還包括沒有明確列出的其他要素，或者是還包括為這種過程、方法、物品或者設(shè)備所固有的要素。

本文中應(yīng)用了具體個例對本實(shí)用新型的原理及實(shí)施方式進(jìn)行了闡述，以上實(shí)例的說明只是用于幫助理解本實(shí)用新型的方法及其核心思想。以上所述僅是本實(shí)用新型的優(yōu)選實(shí)施方式，應(yīng)當(dāng)指出，由于文字表達(dá)的有限性，而客觀上存在無限的具體結(jié)構(gòu)，對于本技術(shù)領(lǐng)域的普通技術(shù)人員來說，在不脫離本實(shí)用新型原理的前提下，還可以做出若干改進(jìn)、潤飾或變化，也可以將上述技術(shù)特征以適當(dāng)?shù)姆绞竭M(jìn)行組合；這些改進(jìn)潤飾、變化或組合，或未經(jīng)改進(jìn)將實(shí)用新型的構(gòu)思和技術(shù)方案直接應(yīng)用于其它場合的，均應(yīng)視為本實(shí)用新型的保護(hù)范圍。