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一種用于晶元生產(chǎn)中的廢氣處理裝置的制造方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號(hào):11325608

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本實(shí)用新型屬于一種廢氣處理裝置,具體為一種用于晶元生產(chǎn)中的廢氣處理裝置。背景技術(shù)晶元(Wafer),是生產(chǎn)集成電路所用的載體,多指單晶硅圓片。其形狀為圓形,故也稱為晶圓。在硅晶片上可加工制作成各種電路元件結(jié)構(gòu),而成為有特定電性功能之IC產(chǎn)品。單晶硅圓片由普通硅砂拉制提煉,經(jīng)過(guò)溶解、提純、蒸餾一系列措施制成單晶硅棒,單晶硅棒經(jīng)過(guò)拋光、切片之后,就成為了晶元。隨著科學(xué)技術(shù)的突飛猛進(jìn),半導(dǎo)體制造技術(shù)日新月異,在晶元的生產(chǎn)過(guò)程中,大量的各種各樣的特殊氣體以及大宗氣體不斷被應(yīng)用到新的工藝中去,如N2O、S...
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