技術(shù)特征：

技術(shù)總結(jié)
本發(fā)明涉及膜層制備技術(shù)領(lǐng)域，公開了一種涂布檢測裝置、涂布設(shè)備及涂布檢測方法，該涂布檢測裝置中，包括：預(yù)涂輥，設(shè)于預(yù)涂輥周側(cè)的光檢測組件；光學(xué)檢測組件包括用于向預(yù)涂輥表面發(fā)射光線的光發(fā)射器、和用于接收光發(fā)射器發(fā)射的光線被預(yù)涂輥表面反射回來的光線的光接收器；數(shù)據(jù)處理模塊，數(shù)據(jù)處理模塊與光接收器信號連接。上述涂布檢測裝置中的光發(fā)射器向預(yù)涂輥發(fā)射的光線經(jīng)反射形成出射光線，通過光接收器感應(yīng)出射光線的偏移量判斷光線掃射處光刻膠涂層的涂覆狀況，進(jìn)而可以確定涂布設(shè)備是否發(fā)生阻塞，避免在基板上涂覆時發(fā)生Suji?Mura，提高產(chǎn)品良率，減少人力、物力浪費。

技術(shù)研發(fā)人員：王兆君;趙永亮;吳旭
受保護(hù)的技術(shù)使用者：京東方科技集團股份有限公司;重慶京東方光電科技有限公司
技術(shù)研發(fā)日：2017.08.17
技術(shù)公布日：2017.11.07