技術(shù)編號:12872744
提示:您尚未登錄,請點(diǎn) 登 陸 后下載,如果您還沒有賬戶請點(diǎn) 注 冊 ,登陸完成后,請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及膜層制備技術(shù)領(lǐng)域,特別涉及一種涂布檢測裝置、涂布設(shè)備及涂布檢測方法。背景技術(shù)隨著TFT器件制作工藝的發(fā)展,玻璃基板的尺寸也越來越大,因此對TFT制造工藝要求也越來越高,對膜層缺陷的管控也更為嚴(yán)格。其中,在TFT制造工藝中的諸多缺陷中,很大一部分缺陷是由于曝光前涂膠不良引起的,在涂布過程中,由于涂布機(jī)上的噴嘴單元較長,很容易由于顆粒發(fā)生阻塞,導(dǎo)致阻塞處無PR膠涂覆,在玻璃基板上形成一處無PR膠的平行于短邊的亮線,這種缺陷成為SujiMura。目前,在TFT產(chǎn)業(yè)生產(chǎn)中用到的涂膠主要有兩種方...
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該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán),增加技術(shù)思路,做技術(shù)知識儲備,不適合論文引用。