本發(fā)明涉及液晶板加工領(lǐng)域，特別是涉及一種框膠涂布控制方法及控制系統(tǒng)。

背景技術(shù)：

目前，液晶滴下制程odf(onedropfilling)工藝中的框膠涂布過程，通常利用噴嘴噴涂。噴涂過程主要通過氣壓式吐膠來實(shí)現(xiàn)，借由控制出膠管線的輸入氮?dú)鈮毫砜刂瞥瞿z量。

在對現(xiàn)有技術(shù)的實(shí)踐過程中，本發(fā)明的發(fā)明人發(fā)現(xiàn)，通過控制輸入氮?dú)鈮毫Φ姆椒刂瞥瞿z量受到氮?dú)鈮毫ΡＷo(hù)范圍的限制，調(diào)整幅度有限，另外，出膠量對氮?dú)鈮毫ψ兓撵`敏度有限，在需要改變出膠量時(shí)，往往需要較大地改變輸入氮?dú)鈮毫?，一方面?dǎo)致較大的響應(yīng)時(shí)間，另一方面氮?dú)鈮毫Φ耐鶑?fù)變化也給輸入管線的壽命造成一定的損傷。因此，現(xiàn)有的框膠涂布方法無法有效地調(diào)整框膠出膠量。

技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素：

本發(fā)明提供一種框膠涂布控制方法及控制系統(tǒng)，主要解決的技術(shù)問題是快速、準(zhǔn)確地調(diào)整框膠出膠量。

為解決上述技術(shù)問題，本發(fā)明采用的一個(gè)技術(shù)方案是，提供一種框膠涂布控制方法，包括：測量與布膠厚度相關(guān)的參數(shù)，其中，所述參數(shù)至少包括當(dāng)前噴嘴的移動(dòng)速度和當(dāng)前出膠氣壓；根據(jù)所述當(dāng)前噴嘴的移動(dòng)速度和預(yù)設(shè)的目標(biāo)布膠厚度計(jì)算第一參考?xì)鈮?；?jì)算所述當(dāng)前出膠氣壓與所述第一參考?xì)鈮旱臍鈮翰?；將所述氣壓差與預(yù)設(shè)的切換閾值比較，當(dāng)所述氣壓差大于所述切換閾值時(shí)，根據(jù)所述當(dāng)前出膠氣壓和所述目標(biāo)布膠厚度計(jì)算所述噴嘴的參考移動(dòng)速度，根據(jù)所述噴嘴的參考移動(dòng)速度調(diào)整所述噴嘴的移動(dòng)速度以使所述布膠厚度接近或等于所述目標(biāo)布膠厚度；當(dāng)所述氣壓差小于所述切換閾值時(shí)，根據(jù)所述第一參考?xì)鈮赫{(diào)整所述出膠氣壓以使所述布膠厚度接近或等于所述目標(biāo)布膠厚度。

為解決上述技術(shù)問題，本發(fā)明采用的另一個(gè)技術(shù)方案是，提供一種框膠涂布控制系統(tǒng)，包括：速度控制器、氣壓控制器和轉(zhuǎn)換器；所述速度控制器設(shè)置在噴嘴上，用于測量所述噴嘴的當(dāng)前移動(dòng)速度并調(diào)整所述噴嘴的移動(dòng)速度；所述氣壓控制器設(shè)置在所述噴嘴之前的氣體通路中，用于測量當(dāng)前出膠氣壓并調(diào)整所述出膠氣壓；所述轉(zhuǎn)換器與所述速度控制器和所述氣壓控制器連接，用于根據(jù)所述當(dāng)前噴嘴的移動(dòng)速度和預(yù)設(shè)的目標(biāo)布膠厚度計(jì)算第一參考?xì)鈮海?jì)算所述當(dāng)前出膠氣壓與所述第一參考?xì)鈮旱臍鈮翰畈⑺鰵鈮翰钆c預(yù)設(shè)的切換閾值比較；當(dāng)所述氣壓差大于所述切換閾值時(shí)，所述轉(zhuǎn)換器根據(jù)所述當(dāng)前出膠氣壓和所述目標(biāo)布膠厚度計(jì)算所述噴嘴的參考移動(dòng)速度，所述速度控制器根據(jù)所述噴嘴的參考移動(dòng)速度調(diào)整所述噴嘴的移動(dòng)速度以使所述布膠厚度接近或等于所述目標(biāo)布膠厚度；當(dāng)所述氣壓差小于所述切換閾值時(shí)，所述氣壓控制器根據(jù)所述第一參考?xì)鈮赫{(diào)整所述出膠氣壓以使所述布膠厚度接近或等于所述目標(biāo)布膠厚度。

本發(fā)明通過測量當(dāng)前噴嘴的移動(dòng)速度和當(dāng)前出膠氣壓，并根據(jù)當(dāng)前噴嘴的移動(dòng)速度和預(yù)設(shè)的目標(biāo)布膠厚度計(jì)算第一參考?xì)鈮?，將?dāng)前出膠氣壓與第一參考?xì)鈮旱臍鈮翰钔袚Q閾值比較，在該氣壓差大于切換閾值時(shí)調(diào)整噴嘴移動(dòng)速度以調(diào)整出膠量，在該氣壓差小于切換閾值時(shí)調(diào)整出膠氣壓，可以利用控制噴嘴移動(dòng)速度和出膠氣壓兩個(gè)參數(shù)來調(diào)整出膠量，以實(shí)現(xiàn)出膠量的快速、精確地調(diào)整，從而使布膠厚度沿基板基本均勻。因此，本發(fā)明可以幫助操作人員均勻地涂布框膠。

附圖說明

圖1是本發(fā)明框膠涂布控制方法一實(shí)施例的流程圖；

圖2是本發(fā)明框膠涂布控制方法另一實(shí)施例的流程圖；

圖3是本發(fā)明框膠涂布控制系統(tǒng)一實(shí)施例的結(jié)構(gòu)示意圖；

圖4是本發(fā)明框膠涂布控制系統(tǒng)另一實(shí)施例的結(jié)構(gòu)示意圖；

圖5是圖4中框膠涂布控制系統(tǒng)工作過程中的示意圖。

具體實(shí)施方式

下面結(jié)合附圖和實(shí)施方式對本發(fā)明進(jìn)行詳細(xì)說明。

請參閱圖1，圖1所示的框膠涂布控制方法包括如下步驟：

s101：測量與布膠厚度相關(guān)的參數(shù)，參數(shù)至少包括當(dāng)前噴嘴的移動(dòng)速度和當(dāng)前出膠氣壓。

布膠厚度是指在基板上涂膠的厚度，一般來說，布膠厚度受到噴嘴移動(dòng)速度、出膠氣壓和涂膠間隙等參數(shù)的影響，例如，噴嘴的移動(dòng)速度越快，單位長度上的出膠量就越小，布膠厚度也就越小，噴嘴的出膠氣壓越大，噴嘴的單位時(shí)間內(nèi)的出膠量就越大，布膠厚度也就隨之增大，而噴嘴的涂膠間隙改變，噴出的框膠在接觸到基板前擴(kuò)散的范圍也隨之改變，因此也會(huì)影響布膠厚度。

為了后續(xù)調(diào)節(jié)布膠厚度，首先在步驟s101中測量與布膠厚度相關(guān)的參數(shù)，至少包括當(dāng)前噴嘴的移動(dòng)速度和當(dāng)前出膠氣壓，在一些實(shí)施例中，還可包括涂膠間隙。

s102：根據(jù)當(dāng)前噴嘴的移動(dòng)速度和預(yù)設(shè)的目標(biāo)布膠厚度計(jì)算第一參考?xì)鈮骸?/p>

目標(biāo)布膠厚度是指希望達(dá)到的布膠厚度，目標(biāo)布膠厚度的值可以為系統(tǒng)默認(rèn)值，也可以由操作人員在系統(tǒng)中調(diào)整。在目標(biāo)布膠厚度改變時(shí)，需要相應(yīng)地調(diào)整噴嘴的移動(dòng)速度和/或出膠氣壓，因此，首先在步驟s102中，根據(jù)當(dāng)前的噴嘴的移動(dòng)速度和預(yù)設(shè)的目標(biāo)布膠厚度計(jì)算第一參考?xì)鈮?。第一參考?xì)鈮菏侵福趪娮毂３之?dāng)前的移動(dòng)速度的情況下，如果出膠氣壓等于第一參考?xì)鈮?，則實(shí)際的布膠厚度等于預(yù)設(shè)的目標(biāo)布膠厚度。第一參考?xì)鈮嚎梢杂上鄬鈮罕硎?，例?0kpa，表示大于標(biāo)準(zhǔn)大氣壓50kpa。

在一些實(shí)施例中，基板可以為水平、光滑的平板，因此只需在開始涂膠時(shí)預(yù)設(shè)一個(gè)涂膠間隙初始值，在涂膠過程中保持噴嘴離基板的距離不便即可。在這種情況下，在步驟s101中測量的參數(shù)為當(dāng)前噴嘴的移動(dòng)速度和當(dāng)前出膠氣壓。而后在步驟s102中，利用噴嘴的移動(dòng)速度、出膠氣壓和布膠厚度之間的函數(shù)關(guān)系a＝f(v,p)的反函數(shù)(由于涂膠間隙固定，其在函數(shù)關(guān)系中體現(xiàn)為一個(gè)常數(shù))，將當(dāng)前噴嘴的移動(dòng)速度和預(yù)設(shè)的目標(biāo)布膠厚度代入其中，可計(jì)算得到對應(yīng)的第一參考?xì)鈮?，在前述的函?shù)關(guān)系式中，a為布膠厚度，v為噴嘴的移動(dòng)速度，p為出膠氣壓。

在另一些實(shí)施例中，基板相對噴嘴的表面可以有起伏或不平，沿噴嘴的行進(jìn)方向?qū)嶋H的涂膠間隙可能改變，從而與預(yù)設(shè)值產(chǎn)生偏差，因此，需要對實(shí)際的涂膠間隙進(jìn)行測量。需要指出的是，由于通過調(diào)整涂膠間隙來調(diào)節(jié)布膠厚度較為困難，因此，仍然需要通過調(diào)節(jié)噴嘴的移動(dòng)速度和/或出膠氣壓實(shí)現(xiàn)精確地調(diào)節(jié)布膠厚度。在這種情況下，在步驟s101中測量的參數(shù)為當(dāng)前噴嘴的移動(dòng)速度、當(dāng)前出膠氣壓和當(dāng)前的涂膠間隙。而后在步驟s102中，利用噴嘴的移動(dòng)速度、出膠氣壓、涂膠間隙和布膠厚度之間的函數(shù)關(guān)系a＝f(v,p,h)的反函數(shù)，將當(dāng)前噴嘴的移動(dòng)速度、當(dāng)前涂膠間隙和預(yù)設(shè)的目標(biāo)布膠厚度代入其中，可計(jì)算得到對應(yīng)的第一參考?xì)鈮?，在前述的函?shù)關(guān)系式中，a為布膠厚度，v為噴嘴的移動(dòng)速度，p為出膠氣壓，h為涂膠間隙。

s103：計(jì)算當(dāng)前出膠氣壓與第一參考?xì)鈮旱臍鈮翰睢?/p>

在步驟s103中，將當(dāng)前出膠氣壓與第一參考?xì)鈮合鄿p，得到的差值的絕對值即為氣壓差。

s104：將該氣壓差與預(yù)設(shè)的切換閾值比較。當(dāng)該氣壓差大于切換閾值時(shí)，執(zhí)行步驟s105，否則執(zhí)行步驟s106。

布膠厚度對噴嘴移動(dòng)速度的靈敏度要大于對出膠氣壓的靈敏度，在需要較大地調(diào)節(jié)布膠厚度的情況下，如果通過調(diào)整出膠氣壓來調(diào)節(jié)布膠厚度，一方面調(diào)節(jié)速度偏慢，另一方面需要較大地改變出膠氣壓，給氣體通路管線造成一定影響，甚至超過氣壓限定范圍而無法調(diào)節(jié)，因此，可以優(yōu)先調(diào)節(jié)噴嘴移動(dòng)速度，以實(shí)現(xiàn)快速調(diào)節(jié)布膠厚度并保護(hù)氣體通路管線。與之相對，在布膠厚度需調(diào)整的量較小時(shí)，受到最小速度調(diào)整值和調(diào)節(jié)精度的影響，如只通過噴嘴移動(dòng)速度調(diào)節(jié)出膠量，可能無法精確地調(diào)節(jié)布膠厚度。因此，在本實(shí)施例中，預(yù)先設(shè)置一切換閾值，切換閾值是一個(gè)氣壓差值，在步驟s104中，將s103中計(jì)算得到的氣壓差與該切換閾值比較，當(dāng)氣壓差大于該切換閾值時(shí)，執(zhí)行步驟s105，通過優(yōu)先調(diào)節(jié)噴嘴移動(dòng)速度調(diào)節(jié)布膠厚度，當(dāng)氣壓差小于該切換閾值，執(zhí)行步驟s106，通過調(diào)節(jié)出膠氣壓調(diào)節(jié)布膠厚度。

切換閾值的取值與框膠涂布系統(tǒng)的具體參數(shù)有關(guān)，在一些實(shí)施例中，切換閾值可以較小，例如15kpa、20kpa、30kpa、50kpa等，在另一些實(shí)施例中，切換閾值也可以較大，例如1bar、3bar、5bar等。

s105：根據(jù)當(dāng)前出膠氣壓和目標(biāo)布膠厚度計(jì)算噴嘴的參考移動(dòng)速度，根據(jù)噴嘴的參考移動(dòng)速度調(diào)整噴嘴的移動(dòng)速度以使布膠厚度接近或等于目標(biāo)布膠厚度。

在步驟s105中，同樣利用函數(shù)關(guān)系a＝f(v,p)，將當(dāng)前出膠氣壓和目標(biāo)布膠厚度代入其中，計(jì)算得到噴嘴的參考移動(dòng)速度。而后根據(jù)噴嘴的參考移動(dòng)速度調(diào)整噴嘴的移動(dòng)速度。在實(shí)際情況中，受到噴嘴移動(dòng)速度的最大調(diào)節(jié)精度的影響，可能無法使實(shí)際的噴嘴移動(dòng)速度完全等于噴嘴的參考移動(dòng)速度，例如，噴嘴移動(dòng)速度的最大調(diào)節(jié)精度可以是1mm/s，即噴嘴移動(dòng)速度的改變量最小為1mm/s，在這種情況下，將噴嘴的移動(dòng)速度調(diào)整為最大精度允許的最接近參考移動(dòng)速度的值，以使布膠厚度基本等于目標(biāo)布膠厚度。

在一些實(shí)施例中，如需對涂膠間隙進(jìn)行測量，則步驟s105中利用的函數(shù)關(guān)系為a＝f(v,p,h)。

s106：根據(jù)第一參考?xì)鈮赫{(diào)整出膠氣壓以使布膠厚度接近或等于目標(biāo)布膠厚度。

在步驟s106中，根據(jù)步驟s102中計(jì)算得到的第一參考?xì)鈮赫{(diào)整出膠氣壓，類似地，在實(shí)際情況中，受到出膠氣壓的最大調(diào)節(jié)精度的影響，可能無法使實(shí)際的出膠氣壓完全等于第一參考?xì)鈮海?，出膠氣壓的最大調(diào)節(jié)精度可以是0.5kpa，即噴嘴移動(dòng)速度的改變量最小為0.5kpa，在這種情況下，將出膠氣壓調(diào)整為最大精度允許的最接近第一參考?xì)鈮旱闹?，以使布膠厚度基本等于目標(biāo)布膠厚度。

上述方法用于測量當(dāng)前噴嘴的移動(dòng)速度和當(dāng)前出膠氣壓，并根據(jù)當(dāng)前噴嘴的移動(dòng)速度和預(yù)設(shè)的目標(biāo)布膠厚度計(jì)算第一參考?xì)鈮?，將?dāng)前出膠氣壓與第一參考?xì)鈮旱臍鈮翰钔袚Q閾值比較，在該氣壓差大于切換閾值時(shí)調(diào)整噴嘴移動(dòng)速度以調(diào)整出膠量，在該氣壓差小于切換閾值時(shí)調(diào)整出膠氣壓，可以分別利用控制噴嘴移動(dòng)速度和出膠氣壓兩個(gè)參數(shù)來調(diào)整出膠量，以實(shí)現(xiàn)針對不同的情況下的出膠量的快速、精確地調(diào)整，從而使布膠厚度沿基板基本均勻。

請參閱圖2，圖2所示的框膠涂布控制方法包括如下步驟：

s201：測量與布膠厚度相關(guān)的參數(shù)，參數(shù)至少包括當(dāng)前噴嘴的移動(dòng)速度和當(dāng)前出膠氣壓。

s202：根據(jù)當(dāng)前噴嘴的移動(dòng)速度和預(yù)設(shè)的目標(biāo)布膠厚度計(jì)算第一參考?xì)鈮骸?/p>

s203：計(jì)算當(dāng)前出膠氣壓與第一參考?xì)鈮旱臍鈮翰睢?/p>

s204：將該氣壓差與預(yù)設(shè)的切換閾值比較。當(dāng)該氣壓差大于切換閾值時(shí)，執(zhí)行步驟s205，否則執(zhí)行步驟s206。

步驟s201至步驟s204與步驟s101至步驟s104類似，在此不再贅述。

s205：根據(jù)當(dāng)前出膠氣壓和目標(biāo)布膠厚度計(jì)算噴嘴的參考移動(dòng)速度，判斷在噴嘴的移動(dòng)速度的調(diào)節(jié)精度范圍內(nèi)，是否能將噴嘴的移動(dòng)速度調(diào)整至等于噴嘴的參考移動(dòng)速度。當(dāng)可以將噴嘴的移動(dòng)速度調(diào)整至等于噴嘴的參考移動(dòng)速度時(shí)，執(zhí)行步驟s207，否則執(zhí)行步驟s208。

在步驟s205中，利用函數(shù)關(guān)系a＝f(v,p)，將當(dāng)前出膠氣壓和目標(biāo)布膠厚度代入其中，計(jì)算得到噴嘴的參考移動(dòng)速度。而后判斷根據(jù)噴嘴移動(dòng)速度的最大調(diào)節(jié)精度，是否能將當(dāng)前噴嘴的移動(dòng)速度改變?yōu)閲娮斓膮⒖家苿?dòng)速度。例如，噴嘴移動(dòng)速度的最大調(diào)節(jié)精度是1mm/s，當(dāng)前噴嘴的移動(dòng)速度是5mm/s，若參考移動(dòng)速度是6mm/s，則可以將當(dāng)前噴嘴的移動(dòng)速度準(zhǔn)確地調(diào)整至等于噴嘴的參考移動(dòng)速度，若參考移動(dòng)速度是6.5mm/s，則無法將當(dāng)前噴嘴的移動(dòng)速度準(zhǔn)確地調(diào)整至等于噴嘴的參考移動(dòng)速度。

s206：根據(jù)第一參考?xì)鈮赫{(diào)整出膠氣壓以使布膠厚度接近或等于目標(biāo)布膠厚度。

s207：將噴嘴的移動(dòng)速度調(diào)整至最接近噴嘴的參考移動(dòng)速度的移動(dòng)速度近似值。

當(dāng)在調(diào)節(jié)精度的限制下，無法將噴嘴的移動(dòng)速度調(diào)整至等于噴嘴的參考移動(dòng)速度時(shí)，執(zhí)行步驟s207，將噴嘴的移動(dòng)速度調(diào)整至最接近噴嘴的參考移動(dòng)速度的移動(dòng)速度近似值。移動(dòng)速度近似值是指，在當(dāng)前噴嘴的移動(dòng)速度的基礎(chǔ)上，在噴嘴移動(dòng)速度的調(diào)節(jié)精度的允許范圍內(nèi)，能夠調(diào)整到的、最接近參考移動(dòng)速度的值。例如，參考移動(dòng)速度是6.4mm/s，當(dāng)前噴嘴的移動(dòng)速度是5mm/s，最大調(diào)節(jié)精度是1mm/s，則能夠調(diào)整到的、最接近參考移動(dòng)速度的值為6mm/s，即為移動(dòng)速度的近似值。

s208：調(diào)整噴嘴的移動(dòng)速度至等于噴嘴的參考移動(dòng)速度。

當(dāng)在調(diào)節(jié)精度的限制下，可以將噴嘴的移動(dòng)速度調(diào)整至等于噴嘴的參考移動(dòng)速度時(shí)，執(zhí)行步驟s207，直接調(diào)整噴嘴的移動(dòng)速度至等于噴嘴的參考移動(dòng)速度，在這種情況下，調(diào)整得到的布膠厚度等于目標(biāo)布膠厚度。

s209：根據(jù)移動(dòng)速度近似值和目標(biāo)布膠厚度計(jì)算第二參考?xì)鈮骸?/p>

在步驟s207后，為了進(jìn)一步精確地控制布膠厚度，需要對因移動(dòng)速度的近似值和移動(dòng)速度的參考值的不同產(chǎn)生的布膠厚度偏差作補(bǔ)償，因此在已調(diào)整噴嘴移動(dòng)速度的基礎(chǔ)上，還可對出膠氣壓做調(diào)節(jié)，因此，在步驟s209中，利用函數(shù)關(guān)系a＝f(v,p)，將移動(dòng)速度近似值和目標(biāo)布膠厚度代入，計(jì)算得到第二參考?xì)鈮?，第二參考?xì)鈮菏侵福趪娮毂３忠苿?dòng)速度等于移動(dòng)速度近似值的情況下，如果出膠氣壓等于第二參考?xì)鈮海瑒t實(shí)際的布膠厚度等于預(yù)設(shè)的目標(biāo)布膠厚度。

類似地，在一些實(shí)施例中，如需對涂膠間隙進(jìn)行測量，則步驟s209中利用的函數(shù)關(guān)系可以為a＝f(v,p,h)。

s210：根據(jù)第二參考?xì)鈮赫{(diào)整出膠氣壓。

在步驟s210中，根據(jù)s209中計(jì)算得到的第二參考?xì)鈮?，調(diào)整出膠氣壓，使出膠氣壓接近或等于第二參考?xì)鈮骸Ｔ趯?shí)際情況中，出膠氣壓也可能因?yàn)檎{(diào)節(jié)精度的限制而無法被調(diào)節(jié)至等于第二參考?xì)鈮海藭r(shí)，將出膠氣壓調(diào)節(jié)至在調(diào)節(jié)精度允許范圍內(nèi)最接近第二參考?xì)鈮旱闹怠．?dāng)出膠氣壓被調(diào)節(jié)至接近或等于第二參考?xì)鈮簳r(shí)，布膠厚度也相應(yīng)的接近或等于目標(biāo)布膠厚度。

上述方法用于測量當(dāng)前噴嘴的移動(dòng)速度和當(dāng)前出膠氣壓，并根據(jù)當(dāng)前噴嘴的移動(dòng)速度和預(yù)設(shè)的目標(biāo)布膠厚度計(jì)算第一參考?xì)鈮?，將?dāng)前出膠氣壓與第一參考?xì)鈮旱臍鈮翰钔袚Q閾值比較，在該氣壓差大于切換閾值時(shí)調(diào)整噴嘴移動(dòng)速度以調(diào)整出膠量，并在受噴嘴移動(dòng)速度的調(diào)節(jié)精度限制而無法將噴嘴移動(dòng)速度準(zhǔn)確調(diào)整至等于參考移動(dòng)速度的情況下，將噴嘴的移動(dòng)速度調(diào)整至接近參考移動(dòng)速度的移動(dòng)速度近似值，并進(jìn)一步調(diào)整出膠氣壓以補(bǔ)償布膠厚度與目標(biāo)值的偏差，以實(shí)現(xiàn)布膠厚度快速、精確地調(diào)整。因此，本方法可以通過同時(shí)調(diào)整噴嘴移動(dòng)速度和出膠氣壓，從而實(shí)現(xiàn)使布膠厚度沿基板基本均勻的目的。

請參閱圖3，圖4所示本發(fā)明一實(shí)施例的框膠涂布控制系統(tǒng)，其中控制系統(tǒng)包括速度控制器11、氣壓控制器13和轉(zhuǎn)換器12。

速度控制器11設(shè)置在噴嘴21上，用于測量噴嘴21的當(dāng)前移動(dòng)速度并調(diào)整噴嘴21的移動(dòng)速度。

氣壓控制器13設(shè)置在噴嘴21之前的氣體通路22中，用于測量出膠氣壓并調(diào)整出膠氣壓。

轉(zhuǎn)換器12與速度控制器11和氣壓控制器13連接，用于根據(jù)當(dāng)前噴嘴21的移動(dòng)速度和預(yù)設(shè)的目標(biāo)布膠厚度計(jì)算第一參考?xì)鈮?，?jì)算當(dāng)前出膠氣壓與第一參考?xì)鈮旱臍鈮翰畈⒃摎鈮翰钆c預(yù)設(shè)的切換閾值比較。

當(dāng)氣壓差大于切換閾值時(shí)，轉(zhuǎn)換器12根據(jù)當(dāng)前出膠氣壓和目標(biāo)布膠厚度計(jì)算噴嘴21的參考移動(dòng)速度，速度控制器11根據(jù)噴嘴21的參考移動(dòng)速度調(diào)整噴嘴21的移動(dòng)速度以使布膠厚度接近或等于目標(biāo)布膠厚度。

當(dāng)所述氣壓差小于所述切換閾值時(shí)，氣壓控制器13根據(jù)第一參考?xì)鈮赫{(diào)整出膠氣壓以使布膠厚度接近或等于目標(biāo)布膠厚度。

在速度控制器11根據(jù)噴嘴21的參考移動(dòng)速度調(diào)整所述噴嘴21的移動(dòng)速度的步驟中，將所述噴嘴21的移動(dòng)速度調(diào)整至等于所述噴嘴21的參考移動(dòng)速度。

當(dāng)在所述速度控制器11的調(diào)節(jié)精度范圍內(nèi)，不能將所述噴嘴21的移動(dòng)速度調(diào)整至等于所述噴嘴21的參考移動(dòng)速度時(shí)，則所述速度控制器11將所述噴嘴21的移動(dòng)速度調(diào)整至最接近所述噴嘴21的參考移動(dòng)速度的移動(dòng)速度近似值。隨后，轉(zhuǎn)換器12根據(jù)所述移動(dòng)速度近似值和所述目標(biāo)布膠厚度計(jì)算第二參考?xì)鈮?，所述氣壓控制?3根據(jù)所述第二參考?xì)鈮赫{(diào)整所述出膠氣壓。

請參閱圖4，圖4所示的框膠涂布控制系統(tǒng)還包括間隙傳感器14，間隙傳感器14設(shè)置在噴嘴21上，用于測量噴嘴21的涂料間隙。圖4所示的實(shí)施例中的框膠涂布控制系統(tǒng)的工作方式與圖3所示的實(shí)施例類似，區(qū)別在于：

在轉(zhuǎn)換器12根據(jù)當(dāng)前噴嘴21的移動(dòng)速度和預(yù)設(shè)的目標(biāo)布膠厚度計(jì)算第一參考?xì)鈮骸⒏鶕?jù)當(dāng)前出膠氣壓和目標(biāo)布膠厚度計(jì)算噴嘴的參考移動(dòng)速度以及根據(jù)移動(dòng)速度近似值和目標(biāo)布膠厚度計(jì)算第二參考?xì)鈮簳r(shí)，根據(jù)以下公式進(jìn)行計(jì)算：

a＝f(v,p,h)，其中，a是所述布膠厚度，v是所述噴嘴的移動(dòng)速度，p是所述出膠氣壓，h是所述涂料間隙。

請參閱圖5，在利用圖4所示的框膠涂布控制系統(tǒng)控制噴嘴21給基板30進(jìn)行涂膠工藝時(shí)，沿噴嘴21的前進(jìn)方向(圖中箭頭所示)，基板30的表面形狀通常存在起伏，引起預(yù)設(shè)的涂膠間隙與實(shí)際涂膠間隙h的偏差，在這種情況下，間隙傳感器14測量實(shí)際涂膠間隙h，將該實(shí)際涂膠間隙h傳遞給轉(zhuǎn)換器12，轉(zhuǎn)換器12再通過控制速度控制器11和/或氣壓控制器13調(diào)整噴嘴21的移動(dòng)速度和/或噴嘴21的進(jìn)氣壓力，以達(dá)到調(diào)整布膠厚度、使布膠均勻的目的。

以上所述僅為本發(fā)明的實(shí)施方式，并非因此限制本發(fā)明的專利范圍，凡是利用本發(fā)明說明書及附圖內(nèi)容所作的等效結(jié)構(gòu)或等效流程變換，或直接或間接運(yùn)用在其他相關(guān)的技術(shù)領(lǐng)域，均同理包括在本發(fā)明的專利保護(hù)范圍內(nèi)。