技術(shù)特征：

技術(shù)總結(jié)
本發(fā)明公開了一種多源斜插式等離子體氣體處理裝置，包括進(jìn)氣通道、減速腔、氣體處理區(qū)、排氣吸收裝置和等離子體源，氣體處理區(qū)的上端依次連有減速腔和進(jìn)氣通道，氣體處理區(qū)的下端連有排氣吸收裝置；氣體處理區(qū)包括若干個(gè)層式連接的氣體處理腔，沿每個(gè)氣體處理腔的周向設(shè)置若干排連通其腔體的等離子體源插入口，等離子體源插入口上設(shè)有等離子體源，其中，等離子體源的軸線與氣體處理腔的中心軸所成的夾角為銳角。本發(fā)明在大流量的進(jìn)氣情況下，多個(gè)等離子體源同時(shí)工作，且各等離子體與待處理氣體可以充分接觸，大大提高了等離子體的氣體處理效果和效率，具有結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單，空間利率高，易維護(hù)和維修的優(yōu)點(diǎn)。

技術(shù)研發(fā)人員：陳挺;劉文龍;周磊;徐晨
受保護(hù)的技術(shù)使用者：浙江全世科技有限公司
技術(shù)研發(fā)日：2017.07.19
技術(shù)公布日：2017.10.24