技術(shù)總結(jié)
一種等離子體聚合涂層裝置，屬于等離子體工程技術(shù)領(lǐng)域，該裝置真空室側(cè)部的室體內(nèi)壁任一橫截面為相同直徑的圓或相同邊長的正多邊形，正多邊形邊數(shù)至少為6邊；真空室內(nèi)壁處安裝有多孔電極，多孔電極與高頻電源連接，真空室外壁上密封安裝有至少兩個放電腔，放電腔與真空室內(nèi)壁連接處設(shè)置有至少兩層金屬柵網(wǎng)，真空室內(nèi)的中心軸上豎直安裝有尾氣收集管，真空室內(nèi)設(shè)置有旋轉(zhuǎn)置物架，所述旋轉(zhuǎn)置物架的旋轉(zhuǎn)軸與真空室的中心軸同軸，旋轉(zhuǎn)置物架上放置待處理基材。該實(shí)用新型的裝置采用中心軸對稱真空室結(jié)構(gòu)保持空間聚合反應(yīng)活性物種濃度的穩(wěn)定性，具有真空室的容積大，單次處理批量大，處理效率高、成本低、批處理均勻性良好等優(yōu)點(diǎn)。

技術(shù)研發(fā)人員：宗堅(jiān)
受保護(hù)的技術(shù)使用者：無錫榮堅(jiān)五金工具有限公司
文檔號碼：201621296613
技術(shù)研發(fā)日：2016.11.30
技術(shù)公布日：2017.07.07