技術(shù)編號:12812744
提示:您尚未登錄,請點 登 陸 后下載,如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ,登陸完成后,請刷新本頁查看技術(shù)詳細信息。本實用新型屬于等離子體工程技術(shù)領(lǐng)域,涉及到一種等離子體涂層裝置。背景技術(shù)等離子體聚合涂層處理是一種重要的表面處理方法,它是將需要處理的基材放在真空室內(nèi),在真空狀態(tài)下通入工藝氣體和氣態(tài)有機類單體,通過放電把有機類氣態(tài)單體等離子體化,使其產(chǎn)生各類活性種,由這些活性種之間或活性種與單體之間進行加成反應(yīng),在基材表面形成聚合物薄膜。在疏水薄膜等一些應(yīng)用中,納米尺度的等離子體聚合涂層具有優(yōu)異的特性。但是由于納米聚合物涂層的膜層很薄,它對涂層的均勻性有很高的要求?,F(xiàn)有的等離子體納米涂層裝置采用方形的真空室,在...
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