1.一種SF6充氣設(shè)備SF6氣體的循環(huán)干燥裝置，其特征在于：包括進(jìn)氣管、出氣管、緩沖罐、干燥支路以及充氣支路，緩沖罐的入口與進(jìn)氣管相連接、出口與出氣管相連接，進(jìn)氣管上依次設(shè)有第一閥門、第二閥門以及第三閥門；干燥支路包括第四閥門、SF6氣體干燥器和循環(huán)泵，SF6氣體干燥器的出氣口與位于第二閥門和第三閥門之間的進(jìn)氣管相連通，SF6氣體干燥器的入氣口依次經(jīng)循環(huán)泵和第四閥門后與出氣管相連通；充氣支路包括增壓泵和第五閥門，增壓泵的入氣口經(jīng)第五閥門與出氣管相連通，增壓泵的出氣口與位于第一閥門和第二閥門之間的進(jìn)氣管相連通。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的SF6充氣設(shè)備SF6氣體的循環(huán)干燥裝置，其特征在于：所述循環(huán)干燥裝置還包括抽真空支路，抽真空支路包括第六閥門和真空泵，真空泵的入氣口經(jīng)第六閥門后與位于第一閥門和第二閥門之間的進(jìn)氣管相連通。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的SF6充氣設(shè)備SF6氣體的循環(huán)干燥裝置，其特征在于：所述SF6氣體干燥器的入氣口連接有進(jìn)氣支管、出氣口連接有出氣支管，進(jìn)氣支管與循環(huán)泵的出口連通，出氣支管與位于第二閥門和第三閥門之間的進(jìn)氣管相連通，進(jìn)氣支管和出氣支管上都設(shè)有快速接頭，快速接頭包括陽接頭和陰接頭。
4.根據(jù)權(quán)利要求2所述的SF6充氣設(shè)備SF6氣體的循環(huán)干燥裝置，其特征在于：所述充氣支路設(shè)有第七閥門、過濾器和單向閥，增壓泵的出氣口經(jīng)單向閥與過濾器的入口相連通，過濾器的出口經(jīng)第七閥門后與位于第一閥門和第二閥門之間的進(jìn)氣管相連通。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的SF6充氣設(shè)備SF6氣體的循環(huán)干燥裝置，其特征在于：所述緩沖罐上設(shè)有用于監(jiān)測緩沖罐壓力的壓力監(jiān)測裝置和用于監(jiān)測緩沖罐內(nèi)氣體濕度的濕度檢測裝置。
6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的SF6充氣設(shè)備SF6氣體的循環(huán)干燥裝置，其特征在于：所述進(jìn)氣管上在第一閥門和第二閥門之間設(shè)有過渡罐，過渡罐的容積比緩沖罐的容積小。
7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的SF6充氣設(shè)備SF6氣體的循環(huán)干燥裝置，其特征在于：所述過渡罐設(shè)有用于監(jiān)測過渡罐壓力的壓力監(jiān)測裝置和用于監(jiān)測過渡罐內(nèi)氣體濕度的濕度檢測裝置。
8.根據(jù)權(quán)利要求4所述的SF6充氣設(shè)備SF6氣體的循環(huán)干燥裝置，其特征在于：所述第二閥門、第三閥門、第四閥門、第五閥門、第六閥門以及第七閥門都為電磁閥，第二閥門、第三閥門、第四閥門、第五閥門、第六閥門以及第七閥門的控制端分別連接在一PLC的輸出端上并由PLC控制通斷。
9.根據(jù)權(quán)利要求1至8任一所述的SF6充氣設(shè)備SF6氣體的循環(huán)干燥裝置，其特征在于： 所述SF6氣體干燥器為分子篩干燥筒。