旋轉(zhuǎn)顯影真空管路中的簡易氣液分離裝置制造方法
【專利摘要】本發(fā)明屬于半導體行業(yè)光刻工藝基本步驟中的旋轉(zhuǎn)顯影過程領域，具體地說是一種旋轉(zhuǎn)顯影真空管路中的簡易氣液分離裝置，包括筒體、筒蓋及活動塞，筒體的一端與筒蓋密封連接，另一端開有排液口，活動塞插設在排液口內(nèi)，通過活動塞沿筒體軸向往復移動控制排液口的開關；筒蓋上分別開有進氣口及排氣口，筒蓋上沿筒體軸向向筒體延伸、形成豎隔板，豎隔板上沿徑向設有橫隔板，該隔板上開有供氣液介質(zhì)通過的通孔；氣液介質(zhì)通過橫隔板折流分離，液體經(jīng)過通孔，由排液口排出。本發(fā)明在筒體內(nèi)設置了橫、豎隔板，利用氣液比重的不同，將顯影液分離，很大程度上減少了化學液對真空管路的腐蝕問題，清潔了真空管路。
【專利說明】旋轉(zhuǎn)顯影真空管路中的簡易氣液分離裝置
【技術領域】
[0001]本發(fā)明屬于半導體行業(yè)光刻工藝基本步驟中的旋轉(zhuǎn)顯影過程領域，具體地說是一種旋轉(zhuǎn)顯影真空管路中的簡易氣液分離裝置。
【背景技術】
[0002]顯影是在硅片表面光刻膠中產(chǎn)生圖形的關鍵步驟。目前，顯影單元基片采用真空吸附方式定位時，在真空管路中就存在混入顯影液的問題，這樣一來，化學液對真空管路會有腐蝕，造成真空管路的破壞。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0003]為了解決現(xiàn)有通過真空吸附方式定位基片進行顯影時真空管路中混有顯影液的問題，本發(fā)明的目的在于提供一種旋轉(zhuǎn)顯影真空管路中的簡易氣液分離裝置。該分離裝置利用氣液比重的不同將顯影液分離，以達到清潔真空管路的目的。
[0004]本發(fā)明的目的是通過以下技術方案來實現(xiàn)的:
[0005]本發(fā)明包括筒體、筒蓋及活動塞，其中筒體的一端與筒蓋密封連接，另一端開有排液口，所述活動塞插設在排液口內(nèi)，通過活動塞沿筒體軸向往復移動控制排液口的開關；所述筒蓋上分別開有進氣口及排氣口，筒蓋上沿筒體軸向向筒體延伸、形成豎隔板，所述豎隔板上沿徑向設有橫隔板，該隔板上開有供氣液介質(zhì)通過的通孔；氣液介質(zhì)通過橫隔板折流分離，液體經(jīng)過通孔，由排液口排出。
[0006]其中:所述橫隔板的上表面為斜面；所述橫隔板分為上下設置的第一橫隔板及第二橫隔板，第一橫隔板的一端與所述豎隔板連接一體，另一端與所述筒體的內(nèi)壁留有供氣液介質(zhì)通過的間隙；所述第二隔板的一端與豎隔板連接，另一端與所述筒體的內(nèi)壁抵接，在第二隔板上、靠近第二隔板的一端沿筒體的軸向開有通孔；所述第一橫隔板與第二橫隔板的下表面相平行、且平行于筒體的底面，第一橫隔板與第二橫隔板的上表面均為斜面，其中第一橫隔板由其一端向另一端傾斜，第二橫隔板由其另一端向一端傾斜；所述第一橫隔板與第二橫隔板位于豎隔板的同側(cè)；
[0007]所述進氣口與排氣口分別位于豎隔板的兩側(cè)，其中橫隔板的上方為進氣口 ；所述活動塞的軸向截面為倒“T”形，該活動塞的一端由所述排液口插入筒體內(nèi)，螺紋連接有螺母，活動塞的另一端位于筒體外；所述活動塞與筒體底面之間設有套在活動塞上的密封墊；所述螺母的外徑大于排液口的直徑。
[0008]本發(fā)明的優(yōu)點與積極效果為:
[0009]1.本發(fā)明在筒體內(nèi)設置了橫、豎隔板，利用氣液比重的不同，將顯影液分離，很大程度上減少了化學液對真空管路的腐蝕問題，清潔了真空管路。
[0010]2.本發(fā)明的橫隔板上表面均為斜面，便于氣液混合介質(zhì)折流。
[0011]3.本發(fā)明具有結(jié)構(gòu)簡單、反應迅速、安裝方便、成本低的特點。
[0012]4.本發(fā)明能使真空管路中混入的顯影液自動排除?！緦＠綀D】

【附圖說明】
[0013]圖1是本發(fā)明的剖面示意圖；
[0014]圖2為圖1的俯視圖；
[0015]其中:1為筒體，2為密封圈，3為筒蓋，4為活動塞，5為密封墊，6為螺母，7為進氣口，8為排氣口，9為豎隔板，10為第一橫隔板，11為第二橫隔板，12為通孔，I 3為排液口，14為腔體,15為間隙。
【具體實施方式】
[0016]下面結(jié)合附圖對本發(fā)明作進一步詳述。
[0017]本發(fā)明用于旋轉(zhuǎn)顯影時去除進入到真空管路的顯影液，如圖1、圖2所示，包括筒體1、筒蓋3及活動塞4，其中筒體I為內(nèi)部中空結(jié)構(gòu)，中間為腔體14，筒體I的一端通過密封圈2與筒蓋3密封連接，另一端開有排液口 13。
[0018]活動塞4插設在排液口 13內(nèi)，通過活動塞4沿筒體I軸向往復移動控制排液口 13的開關。活動塞4的軸向截面為倒“T”形，該活動塞4的一端(直徑較小端)由所述排液口13插入到筒體I的腔體14內(nèi)，并螺紋連接有塑料的螺母6，該螺母6的外徑大于排液口 13的直徑，避免活動塞4由排液口 13脫落；活動塞4的另一端(直徑較大端)位于筒體I外，該端與筒體I的底面之間設有套在活動塞4上的密封墊5。
[0019]筒蓋3上分別開有進氣口 7及排氣口 8，在筒蓋3上沿筒體I軸向向筒體I的腔體I 4內(nèi)延伸、形成豎隔板9，進氣口 7與排氣口 8分別位于豎隔板9的兩側(cè)。豎隔板9上沿徑向設有橫隔板，橫隔板分為上下設置的第一橫隔板10及第二橫隔板11，第一、二橫隔板10、11位于豎隔板9的同側(cè),進氣口 7位于第一、二橫隔板10、11的上方；第一橫隔板10的一端與豎隔板9連接一體，另一端與筒體I的內(nèi)壁留有供氣液介質(zhì)通過的間隙15 ;第二隔板11的一端與豎隔板9連接，另一端與筒體I的內(nèi)壁抵接，在第二隔板11上、靠近第二隔板11的一端沿筒體I的軸向開有供氣液介質(zhì)通過的通孔12。第一橫隔板10與第二橫隔板11的下表面相平行、且平行于筒體I的底面，第一橫隔板10與第二橫隔板11的上表面均為斜面，其中第一橫隔板10由其一端向另一端傾斜，第二橫隔板11由其另一端向一端傾斜。
[0020]本發(fā)明的工作原理為:
[0021]在進行旋轉(zhuǎn)顯影工藝處理的真空管路中，混合氣體從筒蓋3上的進氣口 7進入筒體I的腔體14內(nèi)?；旌蠚怏w在筒體I的腔體14中，先沿第一橫隔板10的斜面由間隙15落到第二橫隔板11上，再沿第二橫隔板11的斜面通過通孔12流下，經(jīng)過第一、二橫隔板IOUl的兩次折流，由于氣液比重不同，顯影液在這一過程中被分離，而氣體則通過通孔I2后，最終由筒蓋3上的排氣孔8排出；氣體行進路線如圖1中的箭頭所示。在進行旋轉(zhuǎn)顯影工藝處理時，筒體I腔體14內(nèi)呈負壓，活動塞4、密封墊5和螺母6在負壓作用下上移將排液口 13密封；當旋轉(zhuǎn)顯影工藝處理完畢，真空解除，活動塞4、密封墊5和螺母6在自身重力作用下下移，排液口 13處于非密封狀態(tài)，顯影液沿排液口 13排出，這樣就實現(xiàn)了清潔真空管路的目的。
[0022]本發(fā)明中筒體1、筒蓋3采用透明PP塑料材質(zhì)制作，耐腐蝕并可以觀察筒體I內(nèi)的狀態(tài)。
【權利要求】
1.一種旋轉(zhuǎn)顯影真空管路中的簡易氣液分離裝置，其特征在于:包括筒體(I)、筒蓋(3)及活動塞(4)，其中筒體(I)的一端與筒蓋(3)密封連接，另一端開有排液口(13)，所述活動塞(4)插設在排液口( 13)內(nèi)，通過活動塞(4)沿筒體(I)軸向往復移動控制排液口( 13)的開關；所述筒蓋(3 )上分別開有進氣口( 7 )及排氣口( 8 )，筒蓋(3 )上沿筒體(I)軸向向筒體(I)延伸、形成豎隔板(9)，所述豎隔板(9)上沿徑向設有橫隔板，該隔板上開有供氣液介質(zhì)通過的通孔(12);氣液介質(zhì)通過橫隔板折流分離，液體經(jīng)過通孔(12)，由排液口(13)排出。
2.按權利要求1所述旋轉(zhuǎn)顯影真空管路中的簡易氣液分離裝置，其特征在于:所述橫隔板的上表面為斜面。
3.按權利要求1或2所述旋轉(zhuǎn)顯影真空管路中的簡易氣液分離裝置，其特征在于:所述橫隔板分為上下設置的第一橫隔板(10)及第二橫隔板(11)，其中第一橫隔板(10)的一端與所述豎隔板(9)連接一體，另一端與所述筒體(I)的內(nèi)壁留有供氣液介質(zhì)通過的間隙(15);所述第二隔板(11)的一端與豎隔板(9)連接，另一端與所述筒體(I)的內(nèi)壁抵接，在第二隔板(11)上、靠近第二隔板(11)的一端沿筒體(I)的軸向開有通孔(12)。
4.按權利要求3所述旋轉(zhuǎn)顯影真空管路中的簡易氣液分離裝置，其特征在于:所述第一橫隔板(10)與第二橫隔板(11)的下表面相平行、且平行于筒體(I)的底面，第一橫隔板(10)與第二橫隔板(11)的上表面均為斜面,其中第一橫隔板(10)由其一端向另一端傾斜，第二橫隔板(11)由其另一端向一端傾斜。
5.按權利要求3所述旋轉(zhuǎn)顯影真空管路中的簡易氣液分離裝置，其特征在于:所述第一橫隔板(10)與第二橫隔板(11)位于豎隔板(9)的同側(cè)。
6.按權利要求1所述旋轉(zhuǎn)顯影真空管路中的簡易氣液分離裝置，其特征在于:所述進氣口( 7)與排氣口(8)分別位于豎隔板(9)的兩側(cè)，其中橫隔板的上方為進氣口( 7)。
7.按權利要求1所述旋轉(zhuǎn)顯影真空管路中的簡易氣液分離裝置，其特征在于:所述活動塞(4)的軸向截面為倒“T”形，該活動塞(4)的一端由所述排液口(13)插入筒體(I)內(nèi)，螺紋連接有螺母(6 )，活動塞(4 )的另一端位于筒體(I)外。
8.按權利要求7所述旋轉(zhuǎn)顯影真空管路中的簡易氣液分離裝置，其特征在于:所述活動塞(4)與筒體(I)底面之間設有套在活動塞(4)上的密封墊(5)。
9.按權利要求7所述旋轉(zhuǎn)顯影真空管路中的簡易氣液分離裝置，其特征在于:所述螺母(6)的外徑大于排液口(13)的直徑。
【文檔編號】B01D45/06GK103706189SQ201210380881
【公開日】2014年4月9日 申請日期:2012年10月9日 優(yōu)先權日:2012年10月9日
【發(fā)明者】李曉飛, 王沖 申請人:沈陽芯源微電子設備有限公司